除害装置
【課題】 排気ガスの除害率の測定を繰り返し行う場合において、測定作業効率を向上させるとともに、大気中に排気ガスが漏れることを抑えることができる除害装置を提供する。
【解決手段】 除害装置１３は、排気ガス１７を除害する除害ユニット１８を有し、ＣＶＤ装置１２と除害ユニット１８とが接続された第１排気管２０と、除害ユニット１８によって除害された排気ガス１７ａを大気中に排出する第２排気管２１とが接続されている。更に、除害装置１３は、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定すべく、第１排気管２０及び第２排気管２１と継続的に接続されたサンプリングユニット１９を有する。除害装置１３の筐体の側面には、サンプリングユニット１９と除害装置１３の外部にある赤外分光解析装置１４と接続可能な第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８が設けられている。
【解決手段】 除害装置１３は、排気ガス１７を除害する除害ユニット１８を有し、ＣＶＤ装置１２と除害ユニット１８とが接続された第１排気管２０と、除害ユニット１８によって除害された排気ガス１７ａを大気中に排出する第２排気管２１とが接続されている。更に、除害装置１３は、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定すべく、第１排気管２０及び第２排気管２１と継続的に接続されたサンプリングユニット１９を有する。除害装置１３の筐体の側面には、サンプリングユニット１９と除害装置１３の外部にある赤外分光解析装置１４と接続可能な第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子または液晶表示素子を製造するときに、製造装置から排出される排気ガスに含まれる温室効果ガスを除去する除害装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記した除害装置１０１は、例えば、図４に示すように、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置１０２に接続されており、ＣＶＤ装置１０２のチャンバ１０３内で発生した排気ガス１０４から有害ガスの除去を行っている。除害装置１０１には、排気ガス１０４を除害する除害ユニット１０５が備えられているとともに、除害ユニット１０５によって排気ガス１０４に含まれる有害ガス（温室効果ガス）がどの程度除害されたか（除害率）を測定するための、例えば、特許文献１に記載のような、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ：Fourier Transform Infra Redspectrophotometer、以下「赤外分光解析装置」という。）１０６が接続されている。
【０００３】
詳しくは、ＣＶＤ装置１０２から除害装置１０１に繋がる第１配管１１１に第１ポート１２１を設置し、除害装置１０１から大気に繋がる第２配管１１２に第２ポート１２２及び第３ポート１２３を設置する。
第１ポート１２１は、除害する前の排気ガス１０４を取得するために用いられ、第３配管１１３及び第５配管１１５を介して赤外分光解析装置１０６と接続される。第２ポート１２２は、除害したあとの排気ガス１０４ａを取得するために用いられ、第４配管１１４及び第５配管１１５を介して赤外分光解析装置１０６と接続される。第３ポート１２３は、測定後の排気ガス１０４，１０４ａを第２配管１１２に戻すために用いられ、第６配管１１６を介して赤外分光解析装置１０６と接続される。また、赤外分光解析装置１０６には、コンピュータ１０７が接続されており、コンピュータ１０７によって除害ユニット１０５前後の温室効果ガスの濃度やガスの流量から除害率が求められるようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２８５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、除害率の測定をする度に、第１〜第３ポート１２１〜１２３に、第３〜第６配管１１３〜１１６をそれぞれ接続するとともに、第５配管１１５及び第６配管１１６と赤外分光解析装置１０６とを接続したりしなければならず、測定すべく接続作業に時間を要し、作業効率が悪いという問題があった。
加えて、除害率を測定する度に、各配管の接続部（第１〜第３ポート１２１〜１２３など）において、配管の接続及び取り外しを行わなければならず、これを繰り返すことにより各接続部が劣化し、これにより、気密性が保たれないという問題があった。その結果、劣化した接続部から排気ガスが大気中に漏れる恐れがあった。
【０００６】
本発明は、排気ガスの除害率の測定を繰り返し行う場合において、測定作業効率を向上させるとともに、大気中に排気ガスが漏れることを抑えることができる除害装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る除害装置は、排気ガスを除害すべく除害部を有する除害装置であって、前記除害装置の外部にある前記排気ガスを分析する分析装置によって、前記除害部で前記排気ガスを除害する前の第１排気ガス、及び、前記除害部で前記排気ガスを除害した後の第２排気ガスの分析をすべく、前記除害装置内に設けられた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを取得することが可能な継続的に接続された配管と、前記配管と継続的に接続され、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられたサンプリングポートと、を有する。
【０００８】
この構成によれば、除害装置に設けられたサンプリングポートによって、サンプリングポートと継続的に接続された配管を介して、分析すべく第１排気ガス及び第２排気ガスを取得することが可能となるので、分析装置とサンプリングポートとを接続するだけで、第１排気ガス及び第２排気ガスの分析をすることができる。よって、排気ガスの分析をする度に、除害部に送られる除害する前の排気ガスが流れる管、及び、除害部から排出される除害後の排気ガスが流れる管、に接続する作業を必要とせずに排気ガスの分析を行うことが可能となる。これにより、排気ガスを分析する際の接続作業が簡単になり、接続準備に時間をかけることなく、分析作業の効率を向上させることができる。
【０００９】
本発明に係る除害装置の除害部は、前記除害装置の外部にある前記排気ガスの発生源から前記第１排気ガスを吸引するための第１ガス排気管と、前記除害部から前記第２排気ガスを前記除害装置の外部の大気中に放出するための第２ガス排気管とが接続されており、前記配管は、前記第１排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第１ガス排気管と第１接続部を介して接続された第１配管と、前記第２排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第２ガス排気管と第２接続部を介して接続された第２配管と、を有することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、第１接続部によって第１ガス排気管と第１配管が継続的に接続されているとともに、第２接続部によって第２ガス排気管と第２配管が継続的に接続されているので、排気ガスの分析をする度に、第１接続部及び第２接続部を接続することがなくなり、第１接続部及び第２接続部が劣化することを防ぐことが可能となる。これにより、第１接続部及び第２接続部の気密性を維持することができる。その結果、排気ガスが大気中に漏れることを抑えることができ、温暖化（環境）に配慮することができる。
加えて、第１配管及び第２配管を設けることにより、第１排気ガスと第２排気ガスとを別々に取得することが可能となり、分析装置によってそれぞれの排気ガスを分析比較することができる。
【００１１】
本発明に係る除害装置は、前記分析装置で分析に用いた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを前記除害装置に戻すべく、前記除害部と継続的に接続された第３配管を介して接続される、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられた除害ポートを更に有することが望ましい。
【００１２】
本発明に係る除害装置は、前記第１接続部及び前記第２接続部を含む配管同士を接続する接続部が、メタルガスケットによって接続されている。
【００１３】
この構成によれば、メタルガスケットによって、各接続部が接続されているので、良好なシール特性を得ることが可能となり、排気ガスが大気中に漏れることを抑えることができる。加えて、メタルガスケットによって接続された接続部が、継続的に接続された状態であるので、接続部が劣化することを防ぐことができる。
【００１４】
本発明に係る除害装置と接続される前記分析装置は、前記排気ガスの除害率を測定する赤外分光解析装置であることが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、赤外分光解析装置を除害装置に設けられたサンプリングポートと接続することにより、排気ガスの除害率を測定することが可能となり、除害率の測定をするとき、接続作業が簡単に済むとともに時間をかけずに除害率の測定を行うことができる。加えて、測定の準備に時間をかけないことから、赤外分光解析装置と例えばコンピュータとを複数の除害装置に持ち回りで使用させることができる。
【００１６】
本発明に係る除害装置は、前記除害装置の内部が大気圧以下の圧力状態になっていることが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、除害装置の中が大気圧以下の圧力になっていることから、除害装置の中の配管の接続部から排気ガス（温室効果ガス）が漏れたとしても、除害装置から外部（即ち大気中）に漏れることを防ぐことが可能となる。
【００１８】
本発明に係る除害装置は、前記配管に、前記排気ガスの流量を設定及び調節するバルブ付き流量計と、ポンプ（ダイヤフラムポンプ）と、前記排気ガスの流れを開閉するバルブとが接続されていることが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、流量計を見ながら、バルブによって排気ガスの流量を調整するので、除害率の測定を、常に一定の測定条件下で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る除害装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、除害システムの構成を示す模式図である。以下、除害システムの構成を、図１を参照しながら説明する。
【００２２】
図１に示すように、除害システム１１は、ＣＶＤ装置１２と、除害装置１３と、分析装置である赤外分光解析装置（ＦＴＩＲ）１４と、コンピュータ１５とを有する。
【００２３】
ＣＶＤ装置１２は、例えば、図示しない基板に膜を成膜するためのチャンバ（発生源）１６を有する。チャンバ１６内において膜を成膜するときに発生する第１排気ガスである排気ガス１７は、ＳＦ６（六フッ化イオウ）、Ｃ２Ｆ６（六フッ化エチレン）、ＣＨＦ３（三フッ化エチレン）、ＮＦ３（三フッ化窒素）、ＣＦ4（四フッ化炭素）などである。これらの排気ガス１７は、地球の温暖化に影響を与える温室効果ガスと呼ばれている。
【００２４】
除害装置１３は、チャンバ１６内で発生した排気ガス１７から有害ガス（温室効果ガス）を、例えば、燃焼させて除去するために用いられる。また、除害装置１３は、内部が真空（大気圧に対して負圧）状態になっており、除害部である除害ユニット１８と、サンプリングユニット１９とを有する。
【００２５】
除害ユニット１８は、排気ガス１７から有害ガスを除去する部分である。除害ユニット１８は、第１ガス排気管である第１排気管２０を介してＣＶＤ装置１２のチャンバ１６内と接続されており、チャンバ１６内の排気ガス１７を吸引することが可能となっている。
また、除害ユニット１８は、第２ガス排気管である第２排気管２１を介して、除害装置１３の外側の大気中に、無害化された第２排気ガスである排気ガス１７ａを放出することが可能となっている。
【００２６】
サンプリングユニット１９は、除害ユニット１８の除害率を測定するために排気ガス１７，１７ａを取得すべく、除害ユニット１８と赤外分光解析装置１４とを接続する配管、ポンプ、流量計、バルブ、ポートなどを有する。サンプリングユニット１９は、第１配管である第１排気ガス導入ライン２２を介して、除害する前の排気ガス１７の一部を取得することが可能となっている。
また、サンプリングユニット１９は、第２配管である第２排気ガス導入ライン２３を介して、除害した後の排気ガス１７ａの一部を取得することが可能となっている。
また、サンプリングユニット１９は、第３配管を構成するガス排出ライン２４を介して、除害率の測定で用いたサンプリングのための排気ガス１７，１７ａを第２排気管２１に戻すことで、赤外分光解析装置１４から除去することが可能となっている。
【００２７】
赤外分光解析装置１４は、フーリエ変換赤外分光光度計であり、例えば、排気ガス１７に含まれる各成分の濃度を解析して、排気ガス１７からどの位有害ガスが取り除かれたかを示す除害率を測定するために用いられる。赤外分光解析装置１４は、サンプリングライン２５を介して、サンプリングユニット１９と接続されている。
【００２８】
コンピュータ１５は、排気ガス１７の除害率を解析するために用いられる。赤外分光解析装置１４によって排気ガス１７に赤外線を照射したことにより、例えば、排気ガス１７に含まれる各成分の波長の吸光度（吸収度）データを得ることができる。コンピュータ１５は、このような方法を用いて、排気ガス１７の除害する前と除害した後との吸光度データを基に比較することにより、排気ガス１７の除害率を求めることができる。
【００２９】
図２は、除害装置の構造を示す模式図である。以下、除害装置の構造を、図２を参照しながら説明する。サンプリングユニット１９の詳細は、後述する図３において説明する。
【００３０】
図２に示すように、除害装置１３は、上記した除害ユニット１８及びサンプリングユニット１９と、第１接続部である第１排気ガスポート３１と、第２接続部である第２排気ガスポート３２と、排出ポート３３と、パージガス導入管３４と、第１サンプリングポート３５と、除害ポートである第２サンプリングポート３６と、第１パージポート３７と、第２パージポート３８とを有する。
【００３１】
第１排気ガスポート３１は、除害する前の排気ガス１７の一部を、サンプリングユニット１９を介して赤外分光解析装置１４に供給するために用いられる。第１排気ガスポート３１の接続には、例えば、メタルガスケットが用いられる。メタルガスケットによって、第１排気管２０に第１排気ガス導入ライン２２を継続的に接続（接続したままの状態）することにより、除害する前の排気ガス１７の一部をサンプリングユニット１９に送ることが可能となっている。
なお、メタルガスケットは、例えば、金属部品を挟み込んで接続するものであり、シール性（気密性）に優れているものの、抜き挿しに対して強くないため、早期に劣化し易いなどの特性をもっている。
【００３２】
第２排気ガスポート３２は、除害した後の排気ガス１７ａの一部を、サンプリングユニット１９を介して赤外分光解析装置１４に供給するために用いられる。第２排気ガスポート３２の接続には、上記した第１排気ガスポート３１と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。メタルガスケットによって、第２排気管２１に第２排気ガス導入ライン２３を継続的に接続（接続したままの状態）することにより、除害した後の排気ガス１７ａをサンプリングユニット１９に送ることが可能となっている。
【００３３】
排出ポート３３は、赤外分光解析装置１４の測定に用いた排気ガス１７，１７ａを、サンプリングユニット１９を介して、大気中に排出するために用いられる。排出ポート３３の接続には、上記した第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。メタルガスケットによって、第２排気管２１にガス排出ライン２４を継続的に接続（接続したままの状態）することにより、測定に使用した排気ガス１７，１７ａを、大気中に放出することが可能となっている。
【００３４】
パージガス導入管３４は、除害装置１３と赤外分光解析装置１４とを接続したときに、赤外分光解析装置１４のセル外に入った大気を、パージガスによって第１パージライン４３、第２パージライン４４を介して、除害装置１３の外側にパージ（追放）するために設けられている。加えて、パージガス導入管３４は、除害率の測定時に温室効果ガスの濃度を調整すべく、第１サンプリングライン４１及び第２サンプリングライン４２を通じてパージガス（この場合は希釈用）を加えて流すために設けられている。パージガスは、例えば、窒素（Ｎ2）ガスである。
また、パージガス導入管３４は、図示しないパージガス導入源に接続されており、パージガス導入源から送られたパージガスの導入量を調整するためのレギュレータ３９が設けられている。
【００３５】
第１サンプリングポート３５は、測定に用いられる排気ガス１７，１７ａを、除害装置１３から赤外分光解析装置１４に送るために用いられる。第１サンプリングポート３５は、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第１サンプリングポート３５は、サンプリングライン２５の一つである第１サンプリングライン４１を介して赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第１サンプリングポート３５に第１サンプリングライン４１を接続することにより、除害率の測定に用いる排気ガス１７，１７ａを、赤外分光解析装置１４に供給することが可能となっている。第１サンプリングポート３５において、サンプリングユニット１９と第１サンプリングライン４１とを接続するために、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３６】
第２サンプリングポート３６は、赤外分光解析装置１４の測定に用いた排気ガス１７，１７ａを、赤外分光解析装置１４から除害装置１３に送るために用いられる。第２サンプリングポート３６は、上記した第１サンプリングポート３５と同様に、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第２サンプリングポート３６は、サンプリングライン２５の一つである第２サンプリングライン４２を介して赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第２サンプリングポート３６に第２サンプリングライン４２を接続することにより、赤外分光解析装置１４によって除害率の測定に用いた排気ガス１７，１７ａを、除害装置１３に戻すことが可能となっている。第２サンプリングポート３６において、サンプリングユニット１９と第２サンプリングライン４２とを接続するために、上記した第１サンプリングポート３５と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３７】
第１パージポート３７は、パージガス導入管３４からサンプリングユニット１９に導入されたパージガスを、赤外分光解析装置１４に送るために用いられる。第１パージポート３７は、上記した第１、第２サンプリングポート３５，３６と同様に、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第１パージポート３７は、サンプリングライン２５の一つである第１パージライン４３を介して赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第１パージポート３７に第１パージライン４３を接続することにより、パージガスを赤外分光解析装置１４に供給することが可能となっている。第１パージポート３７において、サンプリングユニット１９と第１パージライン４３とを接続するために、上記した第１、第２サンプリングポート３５，３６と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３８】
第２パージポート３８は、赤外分光解析装置１４（セル内）に送られたパージガスを、除害装置１３に戻すために用いられる。第２パージポート３８は、上記した第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７と同様に、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第２パージポート３８は、サンプリングライン２５の一つである第２パージライン４４を介して、赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第２パージポート３８に第２パージライン４４を接続することにより、セル内のパージガスを、除害装置１３に戻すことが可能となっている。第２パージポート３８において、サンプリングユニット１９と第２パージライン４４とを接続するために、上記した第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３９】
図３は、サンプリングユニットの構成を示す模式詳細図である。以下、サンプリングユニットの構成を、図３を参照しながら説明する。
【００４０】
図３に示すように、サンプリングユニット１９は、第１配管及び第２配管を兼ねる排気ガス導入ライン５１と、パージガス導入ライン５２と、パージガス接続ライン５３と、第３配管を構成する排気ガス排出ライン５４と、パージガス排出ライン５５とを有する。
【００４１】
排気ガス導入ライン５１は、除害前の排気ガス１７又は除害後の排気ガス１７ａを赤外分光解析装置１４に送るべく、第１排気ガス導入ライン２２と第２排気ガス導入ライン２３との接続部６１と、第１サンプリングポート３５との間に継続的（接続したままの状態）に接続されている。排気ガス導入ライン５１には、排気ガス１７，１７ａを導入又は遮断するための第１バルブ６２が設けられている。接続部６１には、メタルガスケットによって、第１排気ガス導入ライン２２と、第２排気ガス導入ライン２３と、排気ガス導入ライン５１とが接続されている。
また、第１排気ガス導入ライン２２には、除害前の排気ガス１７を導入又は遮断するための第２バルブ６３が設けられている。また、第２排気ガス導入ライン２３には、除害後の排気ガス１７ａを導入又は遮断するための第３バルブ６４が設けられている。
【００４２】
パージガス導入ライン５２は、パージガスを赤外分光解析装置１４に送るべく、パージガス導入管３４と第１パージポート３７との間に、継続的（接続したままの状態）に接続されている。パージガス導入ライン５２には、パージガスの導入量を設定及び測定するための第１流量計６５と、パージガスを導入又は遮断するための第４バルブ６６とが設けられている。
【００４３】
また、パージガス導入管３４には、パージガスを導入又は遮断するための第５バルブ６７が設けられている。また、排気ガス導入ライン５１及び第１サンプリングライン４１の中で温室効果ガスの濃度調整をするべく、パージガス導入管３４と排気ガス導入ライン５１との間に、例えば、メタルガスケットによってパージガス接続ライン５３が接続されている。パージガス接続ライン５３には、パージガスの導入量を調整するための第３流量計６８が設けられている。
【００４４】
排気ガス排出ライン５４は、赤外分光解析装置１４で用いた排気ガス１７，１７ａを除害ユニット１８に送るべく、第２サンプリングポート３６とガス排出ライン２４との間に、継続的（接続したままの状態）に接続されている。また、排気ガス排出ライン５４には、図示しないセル内に、排気ガス１７，１７ａを吸引によって導入するためのダイヤフラムポンプ６９と、吸引する排気ガス１７，１７ａを設定及び測定するための第２流量計７０と、吸引する排気ガス１７，１７ａを導入又は遮断するための第７バルブ７１とが設けられている。排気ガス１７，１７ａの流量を、第２流量計７０を見ながら調整して所定の流量にすることにより、一定の測定条件下で除害率の測定を行うことが可能となる。
【００４５】
パージガス排出ライン５５は、パージするために用いたパージガスを、赤外分光解析装置１４から除害ユニット１８に送るべく、第２パージポート３８とガス排出ライン２４との間に、継続的（接続したままの状態）に接続されている。なお、排気ガス排出ライン５４と、パージガス排出ライン５５と、ガス排出ライン２４とを接続する接続部は、例えば、メタルガスケットによって接続されている。
また、パージガス排出ライン５５には、パージガスを排出又は遮断するための第８バルブ７２が設けられている。また、ガス排出ライン２４には、排出する排気ガス１７，１７ａ及びパージガスの排出又は遮断するための第９バルブ７３が設けられている。
【００４６】
また、サンプリングユニット１９は、除害率の測定を自動で行うことが可能となるように、例えば、予め定められた順序に従って動作するオートシーケンスが組み込まれている。これにより、各バルブ（バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３）やダイヤフラムポンプ６９などが自動で動作するようになっている。更に、例えば、各バルブの開閉時間などの時間設定が可能になっている。以上のような構成により、赤外分光解析装置１４にパージガスや排気ガス１７，１７ａを自動で供給したり、赤外分光解析装置１４から排気ガス１７，１７ａを自動で排除したりすることができる。また、除害率の測定を自動化することにより、配管の接続ミスを防ぐことが可能となり、例えば、赤外分光解析装置１４内のセルを破損させることを低減できる。
【００４７】
以上のように、除害装置１３に、第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８を設けるとともに、配管など（第１排気ガス導入ライン２２、第２排気ガス導入ライン２３、ガス排出ライン２４、排気ガス導入ライン５１、排気ガス排出ライン５４、バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３、流量計６５，６８，７０、及びダイヤフラムポンプ６９などを含む）が継続的に接続されたサンプリングユニット１９を収納したので、除害装置１３の除害率を測定するとき、第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８に、赤外分光解析装置１４と接続された第１サンプリングライン４１、第２サンプリングライン４２、第１パージライン４３、第２パージライン４４を、それぞれに接続するだけで測定することが可能となる。
更に、継続的に接続しておくことにより、各接続部を脱着したことによる接続部の疲労を軽減することが可能となる。
【００４８】
以上詳述したように、本実施形態の除害装置によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態の除害装置によれば、除害装置１３の中に、第１排気管２０及び第２排気管２１から排気ガス１７，１７ａを取得するべく、第１排気管２０及び第２排気管２１と接続されたサンプリングユニット１９を継続的に配置（接続した状態に）するとともに、除害装置１３の筐体の側面に、サンプリングユニット１９と接続された赤外分光解析装置１４と接続することが可能な第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８を設けるので、除害率の測定をするとき、上記したポート３５〜３８と赤外分光解析装置１４とを接続するだけで、除害率の測定を行うことが可能となる。よって、除害率の測定をする度に、第１排気管２０及び第２排気管２１に第１排気ガス導入ライン２２及び第２排気ガス導入ライン２３をそれぞれ接続したり、バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３などを接続したりする必要がなく、測定のための接続作業に時間をかけずに行うことができる。その結果、測定作業の効率を向上させることができる。
加えて、接続作業に時間がかからないことから、赤外分光解析装置１４を複数の除害装置に持ち回りで使用させる（対応させる）ことができる。
【００４９】
（２）本実施形態の除害装置によれば、第１排気ガスポート３１によって第１排気管２０と第１排気ガス導入ライン２２及びサンプリングユニット１９とが継続的に接続されているとともに、第２排気ガスポート３２によって第２排気管２１と第２排気ガス導入ライン２３及びサンプリングユニット１９とが継続的に接続されているので、除害率の測定をする度に、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２を接続することがなくなり、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２の劣化を防ぐことが可能となる（排出ポート３３も同様）。これにより、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２の気密性を維持することができる。その結果、排気ガス１７，１７ａが大気中に漏れることを抑えることができ、温暖化（環境）に配慮することができる。
更に、各配管を継続的に接続した状態にしてあるので、各配管の接続ミスを防ぐことができる。例えば、接続ミスにより、通常負圧の状態である赤外分光解析装置１４にパージガスなどの陽圧を直接加えてしまうことによる、赤外分光解析装置１４を破損することを防止することができる。
【００５０】
（３）本実施形態の除害装置によれば、各配管の接続部（第１排気ガスポート３１、第２排気ガスポート３２、排出ポート３３など）にメタルガスケットを用いているので、良好なシール特性（高い信頼性）を得ることが可能となる。これにより、排気ガス１７，１７ａが大気中に漏れることを抑えることができる。
【００５１】
（４）本実施形態の除害装置によれば、除害装置１３の中に、除害率を測定するための各配管（第１排気ガス導入ライン２２及び第２排気ガス導入ライン２３、ガス排出ライン２４、排気ガス導入ライン５１、排気ガス排出ライン５４など）や、流量計６５，６８，７０、バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３などを、サンプリングユニット１９として除害装置１３の中に収納したので、除害率を測定するとき、測定者の邪魔になるものを減らすことが可能となり、除害率を測定するときの作業性を向上させることができる。
【００５２】
（５）本実施形態の除害装置によれば、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２を設けたことにより、除害率測定を行う際の排気ガス１７，１７ａを取得する位置を、常に決まった位置にすることができる。よって、除害率の測定を、常に一定の測定条件下で行うことができる。
【００５３】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
（変形例１）上記したように、除害装置１３は、排気ガス１７から有害ガスを燃焼によって除去していることに限定されず、例えば、ヒータ式の除害装置や吸着式の除害装置などによって除去するようにしてもよい。
【００５４】
（変形例２）上記したように、除害率の測定に使用した排気ガス１７，１７ａを除害装置１３の中に戻す場所は、第２排気管２１ではなく、第１排気管２０における第１排気ガスポート３１と除害ユニット１８との間に戻すようにしてもよい。これによれば、測定に使用した排気ガス１７，１７ａから有害ガスを除去してから大気中に放出することができる。
【００５５】
（変形例３）上記したように、排気ガス導入ライン５１によって、除害率の測定に使用する二つの排気ガス１７，１７ａを赤外分光解析装置１４に送っていることに代えて、それぞれの排気ガス１７，１７ａ毎に配管を設け、別々に赤外分光解析装置１４に送るようにしてもよい。更に、赤外分光解析装置１４から除害装置１３に排気ガス１７，１７ａを戻すときも、それぞれ別々の配管によって排気ガス１７，１７ａを戻すようにしてもよい。これによれば、測定したあとの排気ガス１７，１７ａを大気中に放出するとき、除害していない排気ガス１７のみ除害ユニット１８に戻すことで、有害ガスを除去することができる。
【００５６】
（変形例４）上記したように、除害率の測定をオートシーケンスによって自動で行うようにすることに代えて、手動で除害率の測定を行うようにしてもよい。これによれば、各バルブの開閉（調整）を手動で行ったとしても、予め、除害率を測定すべく各配管が接続されているので、測定するための作業効率を上げることが可能となる。
【００５７】
（変形例５）上記したように、排気ガス１７，１７ａを発生させる装置はＣＶＤ装置１２に限定されず、排気ガスを発生させる装置であればよく、その装置に本発明の除害装置を適用することで、安全性を高めるとともに作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】一実施形態における、除害システムの構成を示す模式図。
【図２】除害装置の構造を示す模式図。
【図３】サンプリングユニットの構造を示す模式図。
【図４】従来の除害システムの構成を示す模式図。
【符号の説明】
【００５９】
１１…除害システム、１２…ＣＶＤ装置、１３…除害装置、１４…赤外分光解析装置（ＦＴＩＲ）、１５…コンピュータ、１６…チャンバ、１７，１７ａ…排気ガス、１８…除害ユニット、１９…サンプリングユニット、２０…第１ガス排気管である第１排気管、２１…第２ガス排気管である第２排気管、２２…第１配管である第１排気ガス導入ライン、２３…第２配管である第２排気ガス導入ライン、２４…第３配管を構成するガス排出ライン、２５…サンプリングライン、３１…第１接続部である第１排気ガスポート、３２…第２接続部である第２排気ガスポート、３３…排出ポート、３４…パージガス導入管、３５…第１サンプリングポート、３６…除害ポートである第２サンプリングポート、３７…第１パージポート、３８…第２パージポート、３９…レギュレータ、４１…第１サンプリングライン、４２…第２サンプリングライン、４３…第１パージライン、４４…第２パージライン、５１…第１配管及び第２配管を兼ねる排気ガス導入ライン、５２…パージガス導入ライン、５３…パージガス接続ライン、５４…第３配管を構成する排気ガス排出ライン、５５…パージガス排出ライン、６１…接続部、６２…第１バルブ、６３…第２バルブ、６４…第３バルブ、６５…第１流量計、６６…第４バルブ、６７…第５バルブ、６８…第３流量計、６９…ダイヤフラムポンプ、７０…第２流量計、７１…第７バルブ、７２…第８バルブ、７３…第９バルブ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子または液晶表示素子を製造するときに、製造装置から排出される排気ガスに含まれる温室効果ガスを除去する除害装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記した除害装置１０１は、例えば、図４に示すように、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置１０２に接続されており、ＣＶＤ装置１０２のチャンバ１０３内で発生した排気ガス１０４から有害ガスの除去を行っている。除害装置１０１には、排気ガス１０４を除害する除害ユニット１０５が備えられているとともに、除害ユニット１０５によって排気ガス１０４に含まれる有害ガス（温室効果ガス）がどの程度除害されたか（除害率）を測定するための、例えば、特許文献１に記載のような、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ：Fourier Transform Infra Redspectrophotometer、以下「赤外分光解析装置」という。）１０６が接続されている。
【０００３】
詳しくは、ＣＶＤ装置１０２から除害装置１０１に繋がる第１配管１１１に第１ポート１２１を設置し、除害装置１０１から大気に繋がる第２配管１１２に第２ポート１２２及び第３ポート１２３を設置する。
第１ポート１２１は、除害する前の排気ガス１０４を取得するために用いられ、第３配管１１３及び第５配管１１５を介して赤外分光解析装置１０６と接続される。第２ポート１２２は、除害したあとの排気ガス１０４ａを取得するために用いられ、第４配管１１４及び第５配管１１５を介して赤外分光解析装置１０６と接続される。第３ポート１２３は、測定後の排気ガス１０４，１０４ａを第２配管１１２に戻すために用いられ、第６配管１１６を介して赤外分光解析装置１０６と接続される。また、赤外分光解析装置１０６には、コンピュータ１０７が接続されており、コンピュータ１０７によって除害ユニット１０５前後の温室効果ガスの濃度やガスの流量から除害率が求められるようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２８５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、除害率の測定をする度に、第１〜第３ポート１２１〜１２３に、第３〜第６配管１１３〜１１６をそれぞれ接続するとともに、第５配管１１５及び第６配管１１６と赤外分光解析装置１０６とを接続したりしなければならず、測定すべく接続作業に時間を要し、作業効率が悪いという問題があった。
加えて、除害率を測定する度に、各配管の接続部（第１〜第３ポート１２１〜１２３など）において、配管の接続及び取り外しを行わなければならず、これを繰り返すことにより各接続部が劣化し、これにより、気密性が保たれないという問題があった。その結果、劣化した接続部から排気ガスが大気中に漏れる恐れがあった。
【０００６】
本発明は、排気ガスの除害率の測定を繰り返し行う場合において、測定作業効率を向上させるとともに、大気中に排気ガスが漏れることを抑えることができる除害装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る除害装置は、排気ガスを除害すべく除害部を有する除害装置であって、前記除害装置の外部にある前記排気ガスを分析する分析装置によって、前記除害部で前記排気ガスを除害する前の第１排気ガス、及び、前記除害部で前記排気ガスを除害した後の第２排気ガスの分析をすべく、前記除害装置内に設けられた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを取得することが可能な継続的に接続された配管と、前記配管と継続的に接続され、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられたサンプリングポートと、を有する。
【０００８】
この構成によれば、除害装置に設けられたサンプリングポートによって、サンプリングポートと継続的に接続された配管を介して、分析すべく第１排気ガス及び第２排気ガスを取得することが可能となるので、分析装置とサンプリングポートとを接続するだけで、第１排気ガス及び第２排気ガスの分析をすることができる。よって、排気ガスの分析をする度に、除害部に送られる除害する前の排気ガスが流れる管、及び、除害部から排出される除害後の排気ガスが流れる管、に接続する作業を必要とせずに排気ガスの分析を行うことが可能となる。これにより、排気ガスを分析する際の接続作業が簡単になり、接続準備に時間をかけることなく、分析作業の効率を向上させることができる。
【０００９】
本発明に係る除害装置の除害部は、前記除害装置の外部にある前記排気ガスの発生源から前記第１排気ガスを吸引するための第１ガス排気管と、前記除害部から前記第２排気ガスを前記除害装置の外部の大気中に放出するための第２ガス排気管とが接続されており、前記配管は、前記第１排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第１ガス排気管と第１接続部を介して接続された第１配管と、前記第２排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第２ガス排気管と第２接続部を介して接続された第２配管と、を有することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、第１接続部によって第１ガス排気管と第１配管が継続的に接続されているとともに、第２接続部によって第２ガス排気管と第２配管が継続的に接続されているので、排気ガスの分析をする度に、第１接続部及び第２接続部を接続することがなくなり、第１接続部及び第２接続部が劣化することを防ぐことが可能となる。これにより、第１接続部及び第２接続部の気密性を維持することができる。その結果、排気ガスが大気中に漏れることを抑えることができ、温暖化（環境）に配慮することができる。
加えて、第１配管及び第２配管を設けることにより、第１排気ガスと第２排気ガスとを別々に取得することが可能となり、分析装置によってそれぞれの排気ガスを分析比較することができる。
【００１１】
本発明に係る除害装置は、前記分析装置で分析に用いた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを前記除害装置に戻すべく、前記除害部と継続的に接続された第３配管を介して接続される、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられた除害ポートを更に有することが望ましい。
【００１２】
本発明に係る除害装置は、前記第１接続部及び前記第２接続部を含む配管同士を接続する接続部が、メタルガスケットによって接続されている。
【００１３】
この構成によれば、メタルガスケットによって、各接続部が接続されているので、良好なシール特性を得ることが可能となり、排気ガスが大気中に漏れることを抑えることができる。加えて、メタルガスケットによって接続された接続部が、継続的に接続された状態であるので、接続部が劣化することを防ぐことができる。
【００１４】
本発明に係る除害装置と接続される前記分析装置は、前記排気ガスの除害率を測定する赤外分光解析装置であることが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、赤外分光解析装置を除害装置に設けられたサンプリングポートと接続することにより、排気ガスの除害率を測定することが可能となり、除害率の測定をするとき、接続作業が簡単に済むとともに時間をかけずに除害率の測定を行うことができる。加えて、測定の準備に時間をかけないことから、赤外分光解析装置と例えばコンピュータとを複数の除害装置に持ち回りで使用させることができる。
【００１６】
本発明に係る除害装置は、前記除害装置の内部が大気圧以下の圧力状態になっていることが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、除害装置の中が大気圧以下の圧力になっていることから、除害装置の中の配管の接続部から排気ガス（温室効果ガス）が漏れたとしても、除害装置から外部（即ち大気中）に漏れることを防ぐことが可能となる。
【００１８】
本発明に係る除害装置は、前記配管に、前記排気ガスの流量を設定及び調節するバルブ付き流量計と、ポンプ（ダイヤフラムポンプ）と、前記排気ガスの流れを開閉するバルブとが接続されていることが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、流量計を見ながら、バルブによって排気ガスの流量を調整するので、除害率の測定を、常に一定の測定条件下で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る除害装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、除害システムの構成を示す模式図である。以下、除害システムの構成を、図１を参照しながら説明する。
【００２２】
図１に示すように、除害システム１１は、ＣＶＤ装置１２と、除害装置１３と、分析装置である赤外分光解析装置（ＦＴＩＲ）１４と、コンピュータ１５とを有する。
【００２３】
ＣＶＤ装置１２は、例えば、図示しない基板に膜を成膜するためのチャンバ（発生源）１６を有する。チャンバ１６内において膜を成膜するときに発生する第１排気ガスである排気ガス１７は、ＳＦ６（六フッ化イオウ）、Ｃ２Ｆ６（六フッ化エチレン）、ＣＨＦ３（三フッ化エチレン）、ＮＦ３（三フッ化窒素）、ＣＦ4（四フッ化炭素）などである。これらの排気ガス１７は、地球の温暖化に影響を与える温室効果ガスと呼ばれている。
【００２４】
除害装置１３は、チャンバ１６内で発生した排気ガス１７から有害ガス（温室効果ガス）を、例えば、燃焼させて除去するために用いられる。また、除害装置１３は、内部が真空（大気圧に対して負圧）状態になっており、除害部である除害ユニット１８と、サンプリングユニット１９とを有する。
【００２５】
除害ユニット１８は、排気ガス１７から有害ガスを除去する部分である。除害ユニット１８は、第１ガス排気管である第１排気管２０を介してＣＶＤ装置１２のチャンバ１６内と接続されており、チャンバ１６内の排気ガス１７を吸引することが可能となっている。
また、除害ユニット１８は、第２ガス排気管である第２排気管２１を介して、除害装置１３の外側の大気中に、無害化された第２排気ガスである排気ガス１７ａを放出することが可能となっている。
【００２６】
サンプリングユニット１９は、除害ユニット１８の除害率を測定するために排気ガス１７，１７ａを取得すべく、除害ユニット１８と赤外分光解析装置１４とを接続する配管、ポンプ、流量計、バルブ、ポートなどを有する。サンプリングユニット１９は、第１配管である第１排気ガス導入ライン２２を介して、除害する前の排気ガス１７の一部を取得することが可能となっている。
また、サンプリングユニット１９は、第２配管である第２排気ガス導入ライン２３を介して、除害した後の排気ガス１７ａの一部を取得することが可能となっている。
また、サンプリングユニット１９は、第３配管を構成するガス排出ライン２４を介して、除害率の測定で用いたサンプリングのための排気ガス１７，１７ａを第２排気管２１に戻すことで、赤外分光解析装置１４から除去することが可能となっている。
【００２７】
赤外分光解析装置１４は、フーリエ変換赤外分光光度計であり、例えば、排気ガス１７に含まれる各成分の濃度を解析して、排気ガス１７からどの位有害ガスが取り除かれたかを示す除害率を測定するために用いられる。赤外分光解析装置１４は、サンプリングライン２５を介して、サンプリングユニット１９と接続されている。
【００２８】
コンピュータ１５は、排気ガス１７の除害率を解析するために用いられる。赤外分光解析装置１４によって排気ガス１７に赤外線を照射したことにより、例えば、排気ガス１７に含まれる各成分の波長の吸光度（吸収度）データを得ることができる。コンピュータ１５は、このような方法を用いて、排気ガス１７の除害する前と除害した後との吸光度データを基に比較することにより、排気ガス１７の除害率を求めることができる。
【００２９】
図２は、除害装置の構造を示す模式図である。以下、除害装置の構造を、図２を参照しながら説明する。サンプリングユニット１９の詳細は、後述する図３において説明する。
【００３０】
図２に示すように、除害装置１３は、上記した除害ユニット１８及びサンプリングユニット１９と、第１接続部である第１排気ガスポート３１と、第２接続部である第２排気ガスポート３２と、排出ポート３３と、パージガス導入管３４と、第１サンプリングポート３５と、除害ポートである第２サンプリングポート３６と、第１パージポート３７と、第２パージポート３８とを有する。
【００３１】
第１排気ガスポート３１は、除害する前の排気ガス１７の一部を、サンプリングユニット１９を介して赤外分光解析装置１４に供給するために用いられる。第１排気ガスポート３１の接続には、例えば、メタルガスケットが用いられる。メタルガスケットによって、第１排気管２０に第１排気ガス導入ライン２２を継続的に接続（接続したままの状態）することにより、除害する前の排気ガス１７の一部をサンプリングユニット１９に送ることが可能となっている。
なお、メタルガスケットは、例えば、金属部品を挟み込んで接続するものであり、シール性（気密性）に優れているものの、抜き挿しに対して強くないため、早期に劣化し易いなどの特性をもっている。
【００３２】
第２排気ガスポート３２は、除害した後の排気ガス１７ａの一部を、サンプリングユニット１９を介して赤外分光解析装置１４に供給するために用いられる。第２排気ガスポート３２の接続には、上記した第１排気ガスポート３１と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。メタルガスケットによって、第２排気管２１に第２排気ガス導入ライン２３を継続的に接続（接続したままの状態）することにより、除害した後の排気ガス１７ａをサンプリングユニット１９に送ることが可能となっている。
【００３３】
排出ポート３３は、赤外分光解析装置１４の測定に用いた排気ガス１７，１７ａを、サンプリングユニット１９を介して、大気中に排出するために用いられる。排出ポート３３の接続には、上記した第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。メタルガスケットによって、第２排気管２１にガス排出ライン２４を継続的に接続（接続したままの状態）することにより、測定に使用した排気ガス１７，１７ａを、大気中に放出することが可能となっている。
【００３４】
パージガス導入管３４は、除害装置１３と赤外分光解析装置１４とを接続したときに、赤外分光解析装置１４のセル外に入った大気を、パージガスによって第１パージライン４３、第２パージライン４４を介して、除害装置１３の外側にパージ（追放）するために設けられている。加えて、パージガス導入管３４は、除害率の測定時に温室効果ガスの濃度を調整すべく、第１サンプリングライン４１及び第２サンプリングライン４２を通じてパージガス（この場合は希釈用）を加えて流すために設けられている。パージガスは、例えば、窒素（Ｎ2）ガスである。
また、パージガス導入管３４は、図示しないパージガス導入源に接続されており、パージガス導入源から送られたパージガスの導入量を調整するためのレギュレータ３９が設けられている。
【００３５】
第１サンプリングポート３５は、測定に用いられる排気ガス１７，１７ａを、除害装置１３から赤外分光解析装置１４に送るために用いられる。第１サンプリングポート３５は、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第１サンプリングポート３５は、サンプリングライン２５の一つである第１サンプリングライン４１を介して赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第１サンプリングポート３５に第１サンプリングライン４１を接続することにより、除害率の測定に用いる排気ガス１７，１７ａを、赤外分光解析装置１４に供給することが可能となっている。第１サンプリングポート３５において、サンプリングユニット１９と第１サンプリングライン４１とを接続するために、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３６】
第２サンプリングポート３６は、赤外分光解析装置１４の測定に用いた排気ガス１７，１７ａを、赤外分光解析装置１４から除害装置１３に送るために用いられる。第２サンプリングポート３６は、上記した第１サンプリングポート３５と同様に、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第２サンプリングポート３６は、サンプリングライン２５の一つである第２サンプリングライン４２を介して赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第２サンプリングポート３６に第２サンプリングライン４２を接続することにより、赤外分光解析装置１４によって除害率の測定に用いた排気ガス１７，１７ａを、除害装置１３に戻すことが可能となっている。第２サンプリングポート３６において、サンプリングユニット１９と第２サンプリングライン４２とを接続するために、上記した第１サンプリングポート３５と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３７】
第１パージポート３７は、パージガス導入管３４からサンプリングユニット１９に導入されたパージガスを、赤外分光解析装置１４に送るために用いられる。第１パージポート３７は、上記した第１、第２サンプリングポート３５，３６と同様に、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第１パージポート３７は、サンプリングライン２５の一つである第１パージライン４３を介して赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第１パージポート３７に第１パージライン４３を接続することにより、パージガスを赤外分光解析装置１４に供給することが可能となっている。第１パージポート３７において、サンプリングユニット１９と第１パージライン４３とを接続するために、上記した第１、第２サンプリングポート３５，３６と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３８】
第２パージポート３８は、赤外分光解析装置１４（セル内）に送られたパージガスを、除害装置１３に戻すために用いられる。第２パージポート３８は、上記した第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７と同様に、例えば、除害装置１３の筐体の側面に、除害装置１３の外側にある赤外分光解析装置１４と接続可能な状態に設けられている。
また、第２パージポート３８は、サンプリングライン２５の一つである第２パージライン４４を介して、赤外分光解析装置１４と接続される。つまり、排気ガス１７，１７ａの除害率を測定するときに、第２パージポート３８に第２パージライン４４を接続することにより、セル内のパージガスを、除害装置１３に戻すことが可能となっている。第２パージポート３８において、サンプリングユニット１９と第２パージライン４４とを接続するために、上記した第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７と同様に、例えば、メタルガスケットが用いられる。
【００３９】
図３は、サンプリングユニットの構成を示す模式詳細図である。以下、サンプリングユニットの構成を、図３を参照しながら説明する。
【００４０】
図３に示すように、サンプリングユニット１９は、第１配管及び第２配管を兼ねる排気ガス導入ライン５１と、パージガス導入ライン５２と、パージガス接続ライン５３と、第３配管を構成する排気ガス排出ライン５４と、パージガス排出ライン５５とを有する。
【００４１】
排気ガス導入ライン５１は、除害前の排気ガス１７又は除害後の排気ガス１７ａを赤外分光解析装置１４に送るべく、第１排気ガス導入ライン２２と第２排気ガス導入ライン２３との接続部６１と、第１サンプリングポート３５との間に継続的（接続したままの状態）に接続されている。排気ガス導入ライン５１には、排気ガス１７，１７ａを導入又は遮断するための第１バルブ６２が設けられている。接続部６１には、メタルガスケットによって、第１排気ガス導入ライン２２と、第２排気ガス導入ライン２３と、排気ガス導入ライン５１とが接続されている。
また、第１排気ガス導入ライン２２には、除害前の排気ガス１７を導入又は遮断するための第２バルブ６３が設けられている。また、第２排気ガス導入ライン２３には、除害後の排気ガス１７ａを導入又は遮断するための第３バルブ６４が設けられている。
【００４２】
パージガス導入ライン５２は、パージガスを赤外分光解析装置１４に送るべく、パージガス導入管３４と第１パージポート３７との間に、継続的（接続したままの状態）に接続されている。パージガス導入ライン５２には、パージガスの導入量を設定及び測定するための第１流量計６５と、パージガスを導入又は遮断するための第４バルブ６６とが設けられている。
【００４３】
また、パージガス導入管３４には、パージガスを導入又は遮断するための第５バルブ６７が設けられている。また、排気ガス導入ライン５１及び第１サンプリングライン４１の中で温室効果ガスの濃度調整をするべく、パージガス導入管３４と排気ガス導入ライン５１との間に、例えば、メタルガスケットによってパージガス接続ライン５３が接続されている。パージガス接続ライン５３には、パージガスの導入量を調整するための第３流量計６８が設けられている。
【００４４】
排気ガス排出ライン５４は、赤外分光解析装置１４で用いた排気ガス１７，１７ａを除害ユニット１８に送るべく、第２サンプリングポート３６とガス排出ライン２４との間に、継続的（接続したままの状態）に接続されている。また、排気ガス排出ライン５４には、図示しないセル内に、排気ガス１７，１７ａを吸引によって導入するためのダイヤフラムポンプ６９と、吸引する排気ガス１７，１７ａを設定及び測定するための第２流量計７０と、吸引する排気ガス１７，１７ａを導入又は遮断するための第７バルブ７１とが設けられている。排気ガス１７，１７ａの流量を、第２流量計７０を見ながら調整して所定の流量にすることにより、一定の測定条件下で除害率の測定を行うことが可能となる。
【００４５】
パージガス排出ライン５５は、パージするために用いたパージガスを、赤外分光解析装置１４から除害ユニット１８に送るべく、第２パージポート３８とガス排出ライン２４との間に、継続的（接続したままの状態）に接続されている。なお、排気ガス排出ライン５４と、パージガス排出ライン５５と、ガス排出ライン２４とを接続する接続部は、例えば、メタルガスケットによって接続されている。
また、パージガス排出ライン５５には、パージガスを排出又は遮断するための第８バルブ７２が設けられている。また、ガス排出ライン２４には、排出する排気ガス１７，１７ａ及びパージガスの排出又は遮断するための第９バルブ７３が設けられている。
【００４６】
また、サンプリングユニット１９は、除害率の測定を自動で行うことが可能となるように、例えば、予め定められた順序に従って動作するオートシーケンスが組み込まれている。これにより、各バルブ（バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３）やダイヤフラムポンプ６９などが自動で動作するようになっている。更に、例えば、各バルブの開閉時間などの時間設定が可能になっている。以上のような構成により、赤外分光解析装置１４にパージガスや排気ガス１７，１７ａを自動で供給したり、赤外分光解析装置１４から排気ガス１７，１７ａを自動で排除したりすることができる。また、除害率の測定を自動化することにより、配管の接続ミスを防ぐことが可能となり、例えば、赤外分光解析装置１４内のセルを破損させることを低減できる。
【００４７】
以上のように、除害装置１３に、第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８を設けるとともに、配管など（第１排気ガス導入ライン２２、第２排気ガス導入ライン２３、ガス排出ライン２４、排気ガス導入ライン５１、排気ガス排出ライン５４、バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３、流量計６５，６８，７０、及びダイヤフラムポンプ６９などを含む）が継続的に接続されたサンプリングユニット１９を収納したので、除害装置１３の除害率を測定するとき、第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８に、赤外分光解析装置１４と接続された第１サンプリングライン４１、第２サンプリングライン４２、第１パージライン４３、第２パージライン４４を、それぞれに接続するだけで測定することが可能となる。
更に、継続的に接続しておくことにより、各接続部を脱着したことによる接続部の疲労を軽減することが可能となる。
【００４８】
以上詳述したように、本実施形態の除害装置によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態の除害装置によれば、除害装置１３の中に、第１排気管２０及び第２排気管２１から排気ガス１７，１７ａを取得するべく、第１排気管２０及び第２排気管２１と接続されたサンプリングユニット１９を継続的に配置（接続した状態に）するとともに、除害装置１３の筐体の側面に、サンプリングユニット１９と接続された赤外分光解析装置１４と接続することが可能な第１サンプリングポート３５、第２サンプリングポート３６、第１パージポート３７、第２パージポート３８を設けるので、除害率の測定をするとき、上記したポート３５〜３８と赤外分光解析装置１４とを接続するだけで、除害率の測定を行うことが可能となる。よって、除害率の測定をする度に、第１排気管２０及び第２排気管２１に第１排気ガス導入ライン２２及び第２排気ガス導入ライン２３をそれぞれ接続したり、バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３などを接続したりする必要がなく、測定のための接続作業に時間をかけずに行うことができる。その結果、測定作業の効率を向上させることができる。
加えて、接続作業に時間がかからないことから、赤外分光解析装置１４を複数の除害装置に持ち回りで使用させる（対応させる）ことができる。
【００４９】
（２）本実施形態の除害装置によれば、第１排気ガスポート３１によって第１排気管２０と第１排気ガス導入ライン２２及びサンプリングユニット１９とが継続的に接続されているとともに、第２排気ガスポート３２によって第２排気管２１と第２排気ガス導入ライン２３及びサンプリングユニット１９とが継続的に接続されているので、除害率の測定をする度に、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２を接続することがなくなり、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２の劣化を防ぐことが可能となる（排出ポート３３も同様）。これにより、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２の気密性を維持することができる。その結果、排気ガス１７，１７ａが大気中に漏れることを抑えることができ、温暖化（環境）に配慮することができる。
更に、各配管を継続的に接続した状態にしてあるので、各配管の接続ミスを防ぐことができる。例えば、接続ミスにより、通常負圧の状態である赤外分光解析装置１４にパージガスなどの陽圧を直接加えてしまうことによる、赤外分光解析装置１４を破損することを防止することができる。
【００５０】
（３）本実施形態の除害装置によれば、各配管の接続部（第１排気ガスポート３１、第２排気ガスポート３２、排出ポート３３など）にメタルガスケットを用いているので、良好なシール特性（高い信頼性）を得ることが可能となる。これにより、排気ガス１７，１７ａが大気中に漏れることを抑えることができる。
【００５１】
（４）本実施形態の除害装置によれば、除害装置１３の中に、除害率を測定するための各配管（第１排気ガス導入ライン２２及び第２排気ガス導入ライン２３、ガス排出ライン２４、排気ガス導入ライン５１、排気ガス排出ライン５４など）や、流量計６５，６８，７０、バルブ６２〜６４，６６，６７，７１〜７３などを、サンプリングユニット１９として除害装置１３の中に収納したので、除害率を測定するとき、測定者の邪魔になるものを減らすことが可能となり、除害率を測定するときの作業性を向上させることができる。
【００５２】
（５）本実施形態の除害装置によれば、第１排気ガスポート３１及び第２排気ガスポート３２を設けたことにより、除害率測定を行う際の排気ガス１７，１７ａを取得する位置を、常に決まった位置にすることができる。よって、除害率の測定を、常に一定の測定条件下で行うことができる。
【００５３】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
（変形例１）上記したように、除害装置１３は、排気ガス１７から有害ガスを燃焼によって除去していることに限定されず、例えば、ヒータ式の除害装置や吸着式の除害装置などによって除去するようにしてもよい。
【００５４】
（変形例２）上記したように、除害率の測定に使用した排気ガス１７，１７ａを除害装置１３の中に戻す場所は、第２排気管２１ではなく、第１排気管２０における第１排気ガスポート３１と除害ユニット１８との間に戻すようにしてもよい。これによれば、測定に使用した排気ガス１７，１７ａから有害ガスを除去してから大気中に放出することができる。
【００５５】
（変形例３）上記したように、排気ガス導入ライン５１によって、除害率の測定に使用する二つの排気ガス１７，１７ａを赤外分光解析装置１４に送っていることに代えて、それぞれの排気ガス１７，１７ａ毎に配管を設け、別々に赤外分光解析装置１４に送るようにしてもよい。更に、赤外分光解析装置１４から除害装置１３に排気ガス１７，１７ａを戻すときも、それぞれ別々の配管によって排気ガス１７，１７ａを戻すようにしてもよい。これによれば、測定したあとの排気ガス１７，１７ａを大気中に放出するとき、除害していない排気ガス１７のみ除害ユニット１８に戻すことで、有害ガスを除去することができる。
【００５６】
（変形例４）上記したように、除害率の測定をオートシーケンスによって自動で行うようにすることに代えて、手動で除害率の測定を行うようにしてもよい。これによれば、各バルブの開閉（調整）を手動で行ったとしても、予め、除害率を測定すべく各配管が接続されているので、測定するための作業効率を上げることが可能となる。
【００５７】
（変形例５）上記したように、排気ガス１７，１７ａを発生させる装置はＣＶＤ装置１２に限定されず、排気ガスを発生させる装置であればよく、その装置に本発明の除害装置を適用することで、安全性を高めるとともに作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】一実施形態における、除害システムの構成を示す模式図。
【図２】除害装置の構造を示す模式図。
【図３】サンプリングユニットの構造を示す模式図。
【図４】従来の除害システムの構成を示す模式図。
【符号の説明】
【００５９】
１１…除害システム、１２…ＣＶＤ装置、１３…除害装置、１４…赤外分光解析装置（ＦＴＩＲ）、１５…コンピュータ、１６…チャンバ、１７，１７ａ…排気ガス、１８…除害ユニット、１９…サンプリングユニット、２０…第１ガス排気管である第１排気管、２１…第２ガス排気管である第２排気管、２２…第１配管である第１排気ガス導入ライン、２３…第２配管である第２排気ガス導入ライン、２４…第３配管を構成するガス排出ライン、２５…サンプリングライン、３１…第１接続部である第１排気ガスポート、３２…第２接続部である第２排気ガスポート、３３…排出ポート、３４…パージガス導入管、３５…第１サンプリングポート、３６…除害ポートである第２サンプリングポート、３７…第１パージポート、３８…第２パージポート、３９…レギュレータ、４１…第１サンプリングライン、４２…第２サンプリングライン、４３…第１パージライン、４４…第２パージライン、５１…第１配管及び第２配管を兼ねる排気ガス導入ライン、５２…パージガス導入ライン、５３…パージガス接続ライン、５４…第３配管を構成する排気ガス排出ライン、５５…パージガス排出ライン、６１…接続部、６２…第１バルブ、６３…第２バルブ、６４…第３バルブ、６５…第１流量計、６６…第４バルブ、６７…第５バルブ、６８…第３流量計、６９…ダイヤフラムポンプ、７０…第２流量計、７１…第７バルブ、７２…第８バルブ、７３…第９バルブ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガスを除害すべく除害部を有する除害装置であって、
前記除害装置の外部にある前記排気ガスを分析する分析装置によって、前記除害部で前記排気ガスを除害する前の第１排気ガス、及び、前記除害部で前記排気ガスを除害した後の第２排気ガスの分析をすべく、前記除害装置内に設けられた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを取得することが可能な継続的に接続された配管と、
前記配管と継続的に接続され、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられたサンプリングポートと、
を有することを特徴とする除害装置。
【請求項２】
請求項１に記載の除害装置であって、
前記除害部は、前記除害装置の外部にある前記排気ガスの発生源から前記第１排気ガスを吸引するための第１ガス排気管と、前記除害部から前記第２排気ガスを前記除害装置の外部の大気中に放出するための第２ガス排気管とが接続されており、
前記配管は、前記第１排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第１ガス排気管と第１接続部を介して接続された第１配管と、
前記第２排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第２ガス排気管と第２接続部を介して接続された第２配管と、
を有することを特徴とする除害装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の除害装置であって、
前記分析装置で分析に用いた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを前記除害装置に戻すべく、前記除害部と継続的に接続された第３配管を介して接続される、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられた除害ポートを更に有することを特徴とする除害装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の除害装置であって、
前記第１接続部及び前記第２接続部を含む配管同士を接続する接続部は、メタルガスケットによって接続されていることを特徴とする除害装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の除害装置であって、
前記分析装置は、前記排気ガスの除害率を測定する赤外分光解析装置であることを特徴とする除害装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の除害装置であって、
前記除害装置の内部が大気圧以下の圧力状態になっていることを特徴とする除害装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の除害装置であって、
前記配管は、前記排気ガスの流量を設定及び調節するバルブ付き流量計と、ポンプと、前記排気ガスの流れを開閉するバルブとが接続されていることを特徴とする除害装置。
【請求項１】
排気ガスを除害すべく除害部を有する除害装置であって、
前記除害装置の外部にある前記排気ガスを分析する分析装置によって、前記除害部で前記排気ガスを除害する前の第１排気ガス、及び、前記除害部で前記排気ガスを除害した後の第２排気ガスの分析をすべく、前記除害装置内に設けられた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを取得することが可能な継続的に接続された配管と、
前記配管と継続的に接続され、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられたサンプリングポートと、
を有することを特徴とする除害装置。
【請求項２】
請求項１に記載の除害装置であって、
前記除害部は、前記除害装置の外部にある前記排気ガスの発生源から前記第１排気ガスを吸引するための第１ガス排気管と、前記除害部から前記第２排気ガスを前記除害装置の外部の大気中に放出するための第２ガス排気管とが接続されており、
前記配管は、前記第１排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第１ガス排気管と第１接続部を介して接続された第１配管と、
前記第２排気ガスを取得することが可能な、前記除害装置内における前記第２ガス排気管と第２接続部を介して接続された第２配管と、
を有することを特徴とする除害装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の除害装置であって、
前記分析装置で分析に用いた前記第１排気ガス及び前記第２排気ガスを前記除害装置に戻すべく、前記除害部と継続的に接続された第３配管を介して接続される、前記分析装置と接続可能な状態で前記除害装置に設けられた除害ポートを更に有することを特徴とする除害装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の除害装置であって、
前記第１接続部及び前記第２接続部を含む配管同士を接続する接続部は、メタルガスケットによって接続されていることを特徴とする除害装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の除害装置であって、
前記分析装置は、前記排気ガスの除害率を測定する赤外分光解析装置であることを特徴とする除害装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の除害装置であって、
前記除害装置の内部が大気圧以下の圧力状態になっていることを特徴とする除害装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の除害装置であって、
前記配管は、前記排気ガスの流量を設定及び調節するバルブ付き流量計と、ポンプと、前記排気ガスの流れを開閉するバルブとが接続されていることを特徴とする除害装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００７−７５７５６（Ｐ２００７−７５７５６Ａ）
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２６８１２５（Ｐ２００５−２６８１２５）
【出願日】平成１７年９月１５日（２００５．９．１５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月１５日（２００５．９．１５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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