【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、、膜剥がれに対する耐久性を向上し経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、化学式ＡＢＯ３で記述されるペロブスカイト構造を有し、Ａ＝Ｌａ、Ｓｒ、Ｂ＝Ｍｎ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕの何れか１つ以上から構成されている密着層１３と、密着層１３上に形成されたＰｔ族の金属からなる電極１４と、電極１４上に形成された電極１５と、電極１５上に形成された電気−機械変換膜１６と、膜１６上に形成された電極１７と、電極１７上に形成されたＰｔ族の金属からなる電極１８とを有し、電極１５、１７は、ＳＲＯ等からなる。 （もっと読む）

【課題】高集積化に適用可能にポーリング処理を行うことができる。
【解決手段】個別電極１４は、配線５４及びダイシングライン５１の領域に設けられているコンタクト５２−２を介して導電性材料の個別液室基板１２に電気的に接続されている。このため、この個別液室基板１２と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加することで、各個別電極１４と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加したことになる。そして、コンタクト５２−２はダイシングライン５１に設けられており、ダイシングライン５１に沿ってダイシングを行って配線５４とコンタクト５２−２を電気的な接続を切断することで、個別液室基板１２と各個別電極１４とは互いに電気的に絶縁となる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドが提供される。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、流入するインクが圧力チャンバを通過してノズルを介して吐出されるインク流路を有する複数のヘッドセルが設けられるインクジェットヘッドプレートと、インクジェットヘッドプレートの上面に形成され、圧力チャンバに対応する位置に形成される圧電アクチュエータと、を含み、圧力チャンバ及び圧電アクチュエータのうち少なくとも一つの面積が変更されて、複数のヘッドセルから吐出されるインクの吐出特性が均一になることができる。 （もっと読む）

【課題】気泡排出性を確保しつつ、十分な圧力変動抑制効果を得ることが難しい。
【解決手段】共通液室１０は、ノズル配列方向において、平面形状で長方形状に形成され、流路部材２３を構成する流路板２の液室長手方向端部はそのまま共通液室１０内に臨み、振動板部材３の液室長手方向端部は流路板２の液室長手方向端部に対して共通液室１０と反対側の方向に後退した位置にあり、流路板２の液室６の共通液室１０側端部の一部を開口することで、液室６の入口側、すなわち、液体供給経路７の共通液室１０側は、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向（Ｘ方向）に開口する水平開口部７ａと、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向と直交する方向（Ｙ方向）に開口する垂直開口部７ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、構造が比較的簡易で経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、（１１１）配向を有するＰｔ族の元素製の電極１４と、電極１４上に形成された電極１５と、電極１５上に形成され（１１１）を優先配向とするＰＺＴからなる電気−機械変換膜１６と、膜１６上に形成された個別電極１７と、電極１７上に形成された金属の個別電極１８とを有し、電極１５、１７はルテニウム酸ストロンチウムからなり、電極１５は、ペロブスカイト構造を有する（１１１）配向を有し、表面粗さが４ｎｍ以上１５ｎｍ以下であり、厚さが４０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置における液体吐出安定性の低下を抑制すると共に、消費電力の増加を抑制する。
【解決手段】液体吐出装置は、液体を吐出する複数のノズルと駆動信号に従い駆動される複数のアクチュエーターとを有する液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドに駆動信号を供給する駆動回路と、を備える。駆動回路は、駆動信号の基準となる駆動波形信号に対し、所定の基準クロック信号から生成された周波数制限用クロック信号を加算または減算し、自励式の変調方式でパルス変調して変調信号とする変調回路と、変調信号を電力増幅して電力増幅変調信号とするデジタル電力増幅回路と、電力増幅変調信号を平滑化して駆動信号とする平滑フィルターと、を含む。 （もっと読む）

【課題】液体流路から封止部材を介して漏れ出た液体が配線基板とアクチュエーター装置との接続部に流入することを防止することで、当該接続部の接触不良を防止し、信頼性を向上させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】マニホールド１００を形成する保護基板３０及びコンプライアンス基板４０と、コンプライアンス基板４０を保護基板３０とで挟持するケースヘッド１１０と、異方性導電性接着剤２２０で配線基板２００に接続されたリード電極９０を有するアクチュエーター装置と、異方性導電性接着剤２２０を覆うポッティング剤２１０とを備え、保護基板３０に、保護基板３０及びケースヘッド１１０がコンプライアンス基板４０を挟持した挟持領域から貫通孔までの間に非挟持領域Ｄを設け、ポッティング剤２１０を非挟持領域Ｄまで設けないようにした。 （もっと読む）

【課題】フィルタより下流側の共通液室内の気泡がノズル側に移動して吐出不良を生じる。
【解決手段】共通液室５は、フィルタ６により上流側のフィルタ上共通液室７と、下流側のフィルタ下共通液室８とに分割され、フィルタ下共通液室８にはフィルタ６に接して液体の流れを遮断しないリブ９が形成されており、フィルタ６は、リブ９により、圧力室３への液体供給路４に面する領域６ａと圧力室３への液体供給路４に面しない領域６ｂとに分割されている。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電部材の両端面に電極膜を形成して個別外部電極と共通外部電極とすると、圧電部材の活性部が不活性部で拘束されて変位量が低減する。
【解決手段】圧電部材１２の両端面及び底面には電極層３３が形成され、両端面のうちの各圧電柱１２Ａの個別外部電極２３を形成する端面側の不活性部３１の部分には、圧電柱並び方向に沿ってスリット溝３４が形成され、電極層３３は駆動柱１２Ａに対応する領域を含む個別外部電極２３と、不活性部３２に対応する部分とに分割されている。 （もっと読む）

【課題】電極パターンの断線が生じ難いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に枠部材を設置し、この枠部材に囲まれた空間内に、溝状の圧力室を形成した圧電部材を設置し、前記空間を、前記圧力室との対向部にノズルを有するノズルプレートにより覆って共通液室を形成し、前記基板に穿設したインク流通孔を通して前記共通液室に供給されるインクを、外部からの信号により前記圧力室を変形させて、前記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、前記圧電部材は、直方体の両側面を所定の傾斜面とした台形状を成し、前記圧力室は、前記圧電部材の台形面と平行で、上面に開溝する溝状に形成され、この圧力室の溝底部上面から前記両傾斜面上を通って基板上に達する電極パターンが形成されており、前記圧力室として前記圧電部材に形成される溝の底辺と前記傾斜面との交差部は滑らかに形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力室とノズルとを通じる貫通孔部分で隣接クロストークが発生して、安定した滴吐出を行うことができない。
【解決手段】流路板２には、流路板２を厚み方向に貫通して、ノズル１１と圧力室１２とを通じる複数の第１貫通孔１５が隔壁３２を挟んで配列され、第１貫通孔１５は、壁面部材側開口１５ａに対してノズル板側開口１５ｂの位置がノズル配列方向にずれて形成され、壁面部材側開口１５ａからノズル板側開口１５ｂに至る途中で液体の流れの方向が変化する屈曲部１５ｃを有し、隔壁３２にも壁面部材側からノズル板側に至る途中で屈曲する屈曲部３２ａが形成される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子に駆動信号を印加して液体を噴射する液体噴射装置を高い電力効率で動作させる。
【解決手段】圧電素子に印加する駆動信号を、Ｄ級増幅器を用いて生成する。デジタル電力増幅器では、プッシュ・プル接続された二つのスイッチ素子を、変調信号のデューティー比、変調信号に変調する前の駆動波形信号の電圧、あるいは駆動信号の電圧の何れかに応じたデッドタイムで駆動する。こうすれば、二つのスイッチ素子の寄生容量での電荷の回生および充電が完了した後に、スイッチ素子をＯＮに切り換えることができる。その結果、ＯＮにしようするスイッチ素子の寄生容量に蓄えられた電荷が、ＯＮにしたスイッチ素子を流れて電力損失が発生することを回避することができるので、高い電力効率で駆動信号を生成して圧電素子を駆動することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液１７の成分の一部を含むバンク形成溶液１５を液滴吐出ヘッド１４により基板１１の第１の電極上の所定部分に選択的に塗布することで、基板１１の第１の電極上の所定部分を囲むように形成されたバンク膜１６が所定部分の周縁に向って盛り上がる。そして、このバンク膜１６を乾燥させてバンクを形成する。このバンクで囲まれた内側の当該所定部分に、電気機械変換膜１８を形成するための原料を含むＰＺＴ前駆体溶液１７の液滴を液滴吐出ヘッド１４のノズルから吐出させて塗布する。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔におけるメニスカスの壊れを防止でき、液滴吐出特性を安定させることができる。
【解決手段】ドライバＩＣのスイッチをオフした状態で、個別電極に印加する駆動電圧の電圧値を共通電極に印加するバイアス電圧の所定の電圧値まで変化させる。駆動電圧の電圧値がバイアス電圧の所定の電圧値と略同じになったら、ドライバＩＣのスイッチをオンにして駆動電圧を個別電極に印加する。圧電材料層の個別電極の電圧値と共通電極の電圧値はバイアス電圧の電圧値であって両者はほぼ同じなので、圧電材料層における個別電極の共通電極との電位差はほとんどなくなる。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】吐出不良を抑制できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置の提供。
【解決手段】共通液室１２と各加圧液室１１とを連通する連通路１３の開口により各加圧液室１１には気泡の侵入を防いでいるが、共通液室内に気泡が滞留し続けることになる。このため、共通液室１２と連通する連通路１３と、外部に気泡を排出する開口とを有する気泡排出室を、共通液室１２の下流側領域であって気泡が滞留する部分に設ける。この気泡排出室は滞留する気泡を外部に排出する流路となる。そして、維持回復動作時に気泡を気泡排出室を通して外部に排出する。 （もっと読む）

【課題】或る色の濃インクと淡インクとを用いて、その色の段階的な濃淡印刷を行う印刷装置において、粒状性の向上を図る。
【解決手段】この印刷装置はヘッドと駆動信号生成部とを有する。ヘッドは、インクを吐出するための動作を行う素子を有し、或る色の段階的な濃淡印刷に用いられる濃インク及び淡インクを、形成すべきドットの大きさに基づくドット階調値毎に量を異ならせて吐出する。駆動信号生成部は、前記素子を動作させるための波形部を有する複数種類の駆動信号を生成する。そして、複数種類の駆動信号は、インクを吐出する際の最小ドット階調値に対応する濃インク用の波形部とこの最小ドット階調値に対応する淡インク用の波形部とが異なり、かつ、最大ドット階調値に対応する濃インク用の波形部とこの最大ドット階調値に対応する淡インク用の波形部とが異なっている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの小型化を図ることが難しい。
【解決手段】流路部材５は、個別液室６の入口側開口９が形成された第１面２１と、ノズル配列方向の両端部に設けられ、第１面２１よりも液体流入方向と反対方向に突出した第２面２２と、第１面２１と第２面２２とを繋ぐ第３面２３とを有し、第２面２２から第３面２３に跨る領域と共通液室部材２０との間が封止部材である接着剤２４により封止され、接着剤２４により、流路部材５と共通液室部材２０との間のノズル配列方向における共通液室１０の壁面２５が形成される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、上部電極、下部電極ともにテニウム酸ストロンチウム（ＳＲＯ）を用い、経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、電極１４と、電極１４上に形成されＳＲＯからなる電極１５と、電極１５上に形成されたＰＺＴからなる電気−機械変換膜１６と、電気−機械変換膜１６上に形成されＳＲＯからなる個別電極１７と、電極１７上に形成された個別電極１８とを有し、厚さ方向におけるＳｒの分布を、ＳＩＭＳを用いた２次イオン強度比を用いて表したとき、ＰＺＴの厚さの１／２の位置でのＳｒの同強度を、電極１５のＳＲＯの厚さの１／２の位置でのＳｒの同強度で除すると、０．０１以下である。 （もっと読む）