【課題】外部ノイズまたは外部磁界があっても磁束密度検出の直線性精度を確保した位置検出装置を得る。
【解決手段】第１の固定磁性体１０と第２の固定磁性体２０のギャップは、直線部１２と直線部２１が対向する側で狭く、さらに突出部２２等の磁性体で囲まれているため、外部磁界等の影響を比較的受け難い。一方、直線部１３と直線部２１が対向する側のギャップは広いので外部磁界等の影響を受け易いため、シールド板５０を配置して耐性を確保する。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び製造コストの低減を図った上で高分解能で高精度な可動レンズの位置検出を行う。
【解決手段】 所定の方向へ動作され連続的に増加又は減少する信号を出力して光軸方向へ移動される可動レンズの絶対位置を検出する第１の検出センサーと、所定の方向へ動作され周期的かつ連続的に変化する信号を出力して前記可動レンズの相対位置を検出する第２の検出センサーとを設け、前記第１の検出センサーと前記第２の検出センサーを異なら動作速度で動作するようにした。
これにより、第２の検出センサーの着磁ピッチを大きくしたり、第１の検出センサーとしてリニアリティー誤差やヒステリシスの小さいものを用いる必要がなく、小型化及び製造コストの低減を図った上で高分解能で高精度な可動レンズの位置検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】組立・調整作業が容易で良好な出力特性が得られる小型の位置検出装置およびこれを用いたレンズユニットを提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子３を保持するホルダ５は、一端に磁気抵抗素子３の感受面と略平行且つ移動方向と直交する方向に突出した凸部を有し、ベース７は、前記凸部が挿入される凹部と、光軸と平行な方向に配設され、互いに平行な２つの平面部２５を有する２つの突出部２１と、ベース７を鏡筒に取り付ける位置決め手段とを備え、シムは、突出部２１に設けられた平面部２５と前記鏡筒との間に挿入され、ベース７を前記位置決め手段によって前記鏡筒に取り付ける際に、ベース７が突出部２１を基点として湾曲することにより、磁気記録媒体と磁気抵抗素子３の間隔を調整し、前記シムは、その厚みを変更することで前記ベース７の前記鏡筒に対する距離が調整され、磁気抵抗素子３の前記磁気記録媒体に対する倒れが補正される。 （もっと読む）

【課題】広い検出範囲でありながら、高い測定精度をもち安価で小型の位置検出装置を提供する。
【解決手段】磁石３の長さより短い配置間隔で磁気検知器５を複数個並べ、検出範囲を複数の磁気検知器５で分割して測定する。これにより任意の検出範囲の位置検出装置が製作でき、検出範囲が長い場合でも磁石３が小型にでき、さらに位置検出装置の全長を短くできる。また、磁石３の着磁方向を移動方向に異極とし、移動方向に垂直な方向の磁力線を検出対象とすることで、磁力線の強さが磁石の全長方向に広い範囲でなだらかに変化するので、検出精度の高い位置検出装置が実現できる。さらに検出範囲を複数の磁気検知器５で分割して測定するので、位置測定の分解能を高くでき、高精度の測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】部品の寸法上の誤差や変形に関わらず移動体の位置を常に正確に読み取ることができる移動体の位置読取装置を提供する。
【解決手段】移動体の移動可能方向に延在形成され移動体の位置を記録する位置記録部１１０と、位置記録部を配置したフレーム１２０と、位置記録部と所定距離離間しかつ位置記録部に沿って延在するようにフレームに支持されたガイド軸１３０と、位置記録部に記録された移動体の位置を読み取る読取部１４０と、ガイド軸に沿って移動し、読取部が位置記録部と所定間隔隔てて対向配置するように読取部を備えたケース本体１５０と、ケース本体に備わった読取部とフレームに配置された位置記録部との間隔をケース本体がガイド軸の何れの位置にあっても一定となるようにケース本体を位置記録部に付勢する付勢部材１６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】検出コイル及び制御基板を水や油、異物等から保護可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】上面に長孔１２１ａが形成されたセンサ収納部１１Ａ及び前面が開口した基板収納部１１Ｂが挿通孔１１３ｃを有する内壁１１３によって隔てられる中空箱型のケース１と、前後方向に巻回される検出コイル２１を有してセンサ収納部１１Ａに配設されるコイルブロック２と、筒状に形成されてコイルブロック２が挿通し、前端が挿通孔１１３ｃ周縁に気密接合されるコイルホルダー３と、導電性材料から筒状に形成されてコイルホルダー３が挿通するスライドパイプ４１を有し、検知対象物の変位に応じて前後方向へ移動自在に配置されるスライダー本体４と、基板収納部１１Ｂに配設されて検出コイル２１と接続され、検出コイル２１のインダクタンス変化に基づく信号を出力する制御基板５と、基板収納部１１Ｂの開口に覆設されて密閉する蓋部材１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】各誘電体基板１，２の表面に印刷形成された検出コイルＣｏと、検出コイルＣｏと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して検出コイルＣｏに対して円周軌道上を変位する検出体３０ａ，３０ｂと、検出体３０ａ，３０ｂの変位に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部とを備え、検出コイルＣｏ又は検出体３０ａ，３０ｂのうち少なくとも何れか一方を、検出体３０ａ，３０ｂの変位に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出コイルとテーパ状の複数のスケールの組合わせにより簡単な構成で高性能の直線検出を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明によるリニアセンサは、長手状磁性部材(40)の上に貼り合わせた第１、第２、第３スケール(40A,40B,40C)と、前記各スケール(40A,40B,40C)に対応する第１〜第３突出歯部(32〜33)を有するＥ型の検出ステータ(30)と、を備え、前記第１、第３スケール(40Z,40C)の第１、第３スケール幅(B1,B3)は長手方向(A)に沿ってテーパ状に変化し、長手方向の位置を第１、第２検出コイル(2,2A)で検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】価格の安いリニアエンコーダを用いて安価な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に載置され該プラテン上をＸ−Ｙ方向に駆動可能に構成されたスライダを有する平面モータにおいて、前記スライダの位置検出手段として前記スライダに固定したヘッドと前記スライダが駆動されるＸ−Ｙ方向に配置されたスケールからなるリニアエンコーダを用いた。 （もっと読む）

【課題】従来のリニア位置センサは、複雑な構造が必要となり、信頼性が低くなっている。
【解決手段】本発明によるリニア位置センサでは、スケール方向３に沿う第１位置２６での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせが、スケール方向３に沿う第２位置２７での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせと異なるように第１〜第３スケール部材２１〜２３が配置されており、演算部３１が、第１検出コイル１５からの信号１５ａと第２検出コイル１６からの信号１６ａとに基づいて、スケール方向３に沿う検出ステータ１とスケール体２との相対的な位置を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】変形し難く、取り扱いが容易な微小静電容量型位置センサ、該位置センサを使用したアクチュエータ制御システム、及び内視鏡を提供する。
【解決手段】本発明の静電容量型位置センサは、筒状の第１電極と、該第１電極と同軸に固定された筒状又は柱状の第２電極とを備えている。第２電極の少なくとも一部は第１電極と接触せずに第１電極の筒内に挿抜可能である。また、測定点の位置に応じた長さだけ第２電極が第１電極の筒内に差し込まれて、測定点の位置に応じた静電容量を有するコンデンサを形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、ガントリーステージ直交性誤差に関連する問題を解決することである。
【解決手段】本発明によるホーミング処理のためのガントリーステージ直交性誤差測定方法および誤差補正方法は、直交性に構造的に一致するガントリーステージの現在位置のエンコーダ値を解読して記憶する工程と、ガントリーステージを低速で駆動している状態で、ガントリーステージのマスター軸およびスレーブ軸上にそれぞれ設定されたホーミング処理用のセンサまたはエンコーダのインデックス信号をモニタする工程と、インデックス信号が検出された場合、認知された位置のマスター軸またはスレーブ軸のリニアエンコーダ値を解読する工程とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置を検出でき、配線が簡単で断線し難い振動型駆動装置を提供する。
【解決手段】振動型駆動装置１は、印加された電圧に応じて機械的変位を生じる電気機械変換素子３と、電気機械変換素子３によって軸方向に移動可能に支持され、表面に、電気機械変換素子３の外部電極６に片側が接続された軸方向に延伸する２つの抵抗体８を備える駆動軸４と、駆動軸４に摺動可能に係合し、２つの抵抗体８に接触し、抵抗体８の接触した点を電気的に接続する移動体５と、電気機械変換素子３に周期的な駆動電圧を印加する駆動回路と、外部電極６間の電気抵抗を検出する検出回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】シリンダにおけるピストンロッドの絶対的なストロークを検出可能なストロークセンサを提供すること。
【解決手段】
シリンダ１０本体であるシリンダチューブ２０と、シリンダチューブ２０に対して進退自在に設けられるピストンロッド３０と、を備えるシリンダ１０のストロークセンサ１００であって、ピストンロッド３０は、軸方向のストロークによって異なる形状が軸方向に形成される磁気スケール６０を備え、シリンダチューブ２０は、磁気スケール６０の形状によって出力が変化するＭＲセンサ５０を備える。 （もっと読む）

【課題】小型光学機器で狭いスペースに組み込まれた複数のレンズを位置または変位を正確に計測できる実用性の高い静電型エンコーダ、これを備えた内視鏡を提供する。
【解決手段】静電型エンコーダは、位置計測方向に配置された電位検出電極１３を有する固定子１１と、各々が、交流信号ＴＸが供給される電位発生電極１７Ａ，１７Ｂを有し、固定子との相対的位置が変化するように設けられた２つの移動子１２Ａ，１２Ｂと、２つの移動子のいずれか１つに選択的に交流信号を供給する交流信号供給手段２１，２５と、固定子の電位検出電極から出力された信号に基づいて２つの移動子のいずれか１つの変位信号を生成する信号処理装置２０とを備える。静電型エンコーダは時分割で２つの移動子の変位を独立して計測する。 （もっと読む）

【課題】可動部の移動感触を損なうことなく耐静電電圧を向上させることができ、内部回路にノイズを発生させることなく安全に静電気を放電することができるリニアスケールを提供する。
【解決手段】リニアスケール１のケース１０には、マーキング部２ｂが内蔵された長尺のリニアスケール材２が設置されている。移動部３は、このリニアスケール材２に対して移動してマーキング部２ｂからの信号を検出する検出部３４及びこの検出部３４を保持する枠体３９を備えている。移動ガイド４は、移動部３をリニアスケール材２の長手方向に移動可能に支持する。腕部材３７は、リニアスケール材２との間に放電ギャップを設けて枠体３９に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】適用する移動体の組立作業を煩雑化することなく所望の検出精度を確保する。
【解決手段】摺動孔１１ａを有した第１のケース１１と、第１のケース１１に結合することにより、互いの間に油を充填した油室１４を構成する第２のケース１２と、第１のケース１１に形成した油室１４を外部に連通させる連通通路１６と、先端部が外部に露出する状態で第１のケース１１の摺動孔１１ａに進退可能に嵌合し、かつ油室１４の内部に摺動孔１１ａよりも太径となるフランジ２１を収容したシャフト２０と、油室１４に配設し、シャフト２０の先端部を第１のケース１１から常時突出する方向に押圧する押圧バネ５０と、第２のケース１２の外部においてシャフト２０の変位量に応じた電気信号を出力するホール素子８５とを備えた。 （もっと読む）

磁気エンコーダ装置用の磁気スケール（４；６２）が説明される。磁気スケール（４；６２）は複数の溝（１６，１８；４２，４４）を具えるスケール部材を具える。スケール部材は、対応する磁気スケールリーダユニット（６；７６）によって読み取り可能な受動的磁気スケールトラックを画成している。複数の溝は、少なくとも第１溝種類の溝（１６，４２）および第２溝種類の溝（１８，４４）を具え、第１溝種類の溝（１６，４２）の位置における磁気スケールの磁気特性は第２溝種類の溝（１８，４４）の位置における磁気スケールの磁気特性と異なっている。スケール部材はデータビットのシーケンスを具える少なくとも１つのコードワードの形態の絶対位置情報を担持し、データビットの各々はスケール部材の溝によって提供され、データビットは、溝（１６，４２）が第１の溝種類のものである場合には第１の値（１）を、溝（１８，４４）が第２の溝種類のものである場合には第２の値を取る。複数の溝（１６，１８；４２，４４）の中点はスケール部材（４；６２）の長さ方向に沿って実質的に等間隔である。従って、相対および絶対位置情報を磁気スケール（４；６２）から抽出することができる。
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【課題】コンパクトな構成でレンズの絶対位置を高精度に検出することができ、比較的大きな移動量にも対応した広い検出範囲を実現することができるレンズ位置検出装置及びこれを適用したレンズ装置を提供する。
【解決手段】鏡胴本体(112)の内部にカム筒(130)が配置され、カム筒(130)の内部において光軸方向に移動可能に構成されるレンズ(116)の位置を検出するレンズ位置検出装置であって、レンズ枠(122)に第１のシートコイル(171)を設けるとともに、鏡胴本体(112)の第１のシートコイル(171)の対面する位置に第２のシートコイル(172)を設け、レンズ枠(122)の移動に伴い第１のシートコイル(171)が第２のシートコイル(172)との対面距離を保って移動することにより、当該移動位置に応じて検出コイルから出力される電気信号に基づきレンズ(116)の位置を検出する。 （もっと読む）