【課題】 煩雑なギャップ管理を要することなく、転動装置や転動装置部品の焼入れ深さを精度良く測定することができる焼入れ深さ測定方法、およびこの測定方法に用いられる焼入れ深さ測定装置を提供する。
【解決手段】 この焼入れ深さ測定方法では、転動装置または転動装置部品を測定対象物２０として励磁する励磁コイル３と、インピーダンス検出回路５と、信号処理回路６とを備えた焼入れ深さ測定装置１を用いる。励磁コイル２のインピーダンスの変化から、測定対象物２０の焼入れ深さを測定する。励磁コイル２は、測定対象物２０に接触させて測定を行う。励磁コイル３とは別に検出コイルを設け、検出コイルで検出した磁束から焼入れ深さを測定するようにしても良い。また、温度補正を行っても良い。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成でレンズの絶対位置を高精度に検出することができ、比較的大きな移動量にも対応した広い検出範囲を実現することができるレンズ位置検出装置及びこれを適用したレンズ装置を提供する。
【解決手段】鏡胴本体(112)の内部にカム筒(130)が配置され、カム筒(130)の内部において光軸方向に移動可能に構成されるレンズ(116)の位置を検出するレンズ位置検出装置であって、レンズ枠(122)に第１のシートコイル(171)を設けるとともに、鏡胴本体(112)の第１のシートコイル(171)の対面する位置に第２のシートコイル(172)を設け、レンズ枠(122)の移動に伴い第１のシートコイル(171)が第２のシートコイル(172)との対面距離を保って移動することにより、当該移動位置に応じて検出コイルから出力される電気信号に基づきレンズ(116)の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型かつシンプルな構造を持つシリンダ位置検出装置の提供。
【解決手段】 ピストンロッドの表面においてストローク変位方向に沿って面積が漸増又は漸減する区間を有する所定のパターンで配置された磁気応答部と、磁気応答部に対応してシリンダ本体の側に固定され、１相の交流信号で励磁されるコイルと、該交流信号が印加されるインピーダンス手段と、コイル及びインピーダンス手段の電圧をそれぞれ取り出し、ピストンロッドのストローク位置に対して異なる振幅特性をそれぞれ示す複数の交流出力信号を生成するアナログ演算回路とを具備する。ピストンロッドの直線的ストローク位置の変位に応じて該コイルに対する該磁気応答部の対応面積が変化し、この対応面積変化に応じて該コイルのインダクタンスが変化し、該コイルに対する前記磁気応答部の対応面積が漸増又は漸減する区間に対応して該コイルの両端間電圧が漸増又は漸減する。 （もっと読む）

【課題】直線方向の移動量を直接検出できる高精度で安価な直線移動量検出装置を提供する。
【解決手段】固定部１０に対して、所定範囲Ｄｘで直線移動する可動部２０の移動量Ｘを検出する直線移動量検出装置１０１であって、固定部１０または可動部２０のいずれか一方に配置され、所定磁界Ｂａ，Ｂｂを発生する磁石２０ａ，２０ｂと、固定部１０または可動部２０のもう一方に、直線移動するＸ方向で所定間隔Ｌを置いて平行に配置される２個のホール素子１０ａ，１０ｂとを有してなり、２個のホール素子１０ａ，１０ｂの出力が、それぞれ、直線移動する所定範囲Ｄｘにおいてｓｉｎ関数またはｃｏｓ関数で近似され、所定の位相差αを持つように、所定磁界Ｂａ，Ｂｂと所定間隔Ｌが設定されてなり、２個のホール素子１０ａ，１０ｂの出力と位相差αを演算して、可動部２０の移動量Ｘを検出する。 （もっと読む）

【課題】静電気作用で位置情報を検出でき、必要に応じて固定子を可能な限り長尺化できる静電型エンコーダを提供する。
【解決手段】この静電型エンコーダは、誘導電極および電位検出電極を有する固定子３１、櫛歯状電極を有し、固定子の上で移動するように設けられた移動子３２と、固定子の電位検出電極から出力される信号に基づいて固定子に対する移動子の相対的変位に係る出力信号を生成する信号処理装置５０とを備え、固定子の電位検出電極は４相の電極３１ｃを含み、複数の固定子は、４相の電極（Ａ，Ｂ，Ｃ．Ｄ）が規則的な距離位置に配列するように配置され、複数の固定子の各々の間に、４相の電極同士を接続する接続回路部１１２を備える。 （もっと読む）

【課題】主に自動車のステアリングの回転角度検出等に用いられる回転角度検出装置に関し、安価な構成で、回転角度の確実な検出が可能なものを提供することを目的とする。
【解決手段】第一または第二の検出手段１５または１６のいずれかを磁石１６Ａと、直交配置された複数のホール素子１６Ｂと１６Ｃから形成すると共に、制御手段１７がこの複数のホール素子１６Ｂ、１６ＣとＡＭＲ素子１５Ｂからの検出信号を用いて、先ず回転体１１の概略の回転角度を検出し、この後、ＡＭＲ素子１５Ｂからの検出信号を用いて、詳細な回転角度を検出することによって、安価なホール素子１６Ｂや１６Ｃを用いることができるため、安価な構成で、回転角度の確実な検出が可能な回転角度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】主に自動車のステアリングの回転角度検出等に用いられる回転角度検出装置に関し、簡易な構成で、回転角度の確実な検出が可能なものを提供することを目的とする。
【解決手段】制御手段１０が第一の検出体２と第二の検出体３の回転角度から、回転体１の回転角度を各々算出すると共に、これらを比較することによって、各平歯車部に破損や消耗、あるいは各検出手段に誤差が生じた場合等には、第一の検出体２と第二の検出体３の回転角度から各々算出した回転体１の回転角度の差異によって、これらの不具合を検出することができるため、簡易な構成で、回転角度の確実な検出が可能な回転角度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】交流ブリッジ方式の静電容量型近接センサでは、ブリッジがバランスすると出力電圧がおのずと低くなり、相対的にノイズの影響を受けやすく静電容量の微小変化に対して検出感度と動作安定度が低いという欠点があり、ガラスや合成樹脂等の絶縁体でできたアンプルやスピッツ管中の少量の薬液の液面を検出する場合には、安定的に運用することが至難であった。
【解決手段】検出用電極１３と対象物との間に生ずる静電容量をインダクタ１１とコンデンサ１２とからなる共振回路の一部として組み込んだ共振回路を、励振電源１で駆動される可変電流源１０を介して励振し、励振電圧と共振電圧との位相差を位相検波器１４で検出するように構成し、共振点付近では共振容量のわずかの変化で、励振電圧に対する共振電圧の位相が敏感に変化することを利用する。 （もっと読む）

【課題】ステージの目的位置で停止させた後に生じる位置変動（ドリフト）を正確に検出可能なステージの位置変動検出装置を提供する。
【解決手段】固定体に設けられた第１の固定電極と、前記ステージに設けられた第１移動電極とで構成された第１コンデンサ部、前記固定体に設けられた第２の固定電極と、前記ステージに設けられた第２移動電極とで構成された第２コンデンサ部、および、前記第１コンデンサ部および前記第２コンデンサ部の双方に電圧を印加する電源、を備え、前記第１コンデンサ部の電気容量と前記第２コンデンサ部の電気容量とのうち、いずれか一方の電気容量に基づいて、前記ステージの位置変動を検出する装置であって、前記固定体に対して前記ステージを移動させたとき、前記第１コンデンサ部の出力波形と前記第２コンデンサ部の電出力波形の位相がずれるように構成される。 （もっと読む）

【課題】ピストンロッドが回転したとしても誤差のないストローク位置検出を行うこと。
【解決手段】ピストンロッドの表面において、該ピストンロッドの直線的ストローク変位の方向に沿って面積が漸増又は漸減する区間を有する所定のパターンで配置された少なくとも１つの磁気応答部と、シリンダ本体の側に固定され、前記磁気応答部のパターンの夫々に対応して設けられたコイルとを具備する。ピストンロッドの直線的ストローク変位に応じて、該コイルに対する磁気応答部の対応面積が変化し、この対応面積の変化に応じて該コイルに生じる電気的インピーダンスが変化する。コイルは、ピストンロッドの回転によって磁気応答部のコイルに対する対応位置が相対的に円周方向に変位することを許容すべく、該磁気応答部に対向する該コイル端部の幅員を、該磁気応答部のパターンの円周方向についての最大幅よりも所定角度範囲だけ幅広に構成される。 （もっと読む）

【課題】侵入者の進入場所を特定できる信頼性の高い侵入位置検知装置を実現することを目的とする。
【解決手段】内側電極と、この内側電極に周設された圧電体層と、この圧電体層に周設した外側電極とを備えてケーブル状に構成した圧電センサ２をｎ個の領域に分割するｎ−１個の領域分割素子３を設置し、圧電センサ２の両端に設置した信号処理部７、８と信号処理部７、８の出力信号の差から侵入領域を特定する感圧領域検出手段９によって外部からの侵入者の進入領域を特定する。装置は耐久性があり、また直接雨に曝されることもなく、秘匿性もあるので信頼性も高い装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速な位置決め制御を可能にする。
【解決手段】位置決め制御システム１において、変位センサ４は、共振回路６に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に共振回路６から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数Ｎに達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理に要した時間測定にもとづいて自由振動波の位相ズレ成分を検出するにあたり、一回の自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数Ｎを変更可能であり、置決め制御装置５は、可動体２の目標位置Ｔに対する検出位置Ｋの偏差Ｈに応じて、変位センサ４にカウント数Ｎの変更指令を出力する手段を備え、該手段が偏差Ｈの減少に応じてカウント数Ｎを増加させる。 （もっと読む）

【課題】 シートコイル部の狭幅化によるレゾルバ全体の小型コンパクト化及び低コスト化を図る。
【解決手段】 励磁信号Ｓｘ，Ｓｙが入力するシートコイル部Ｃｍにより形成した励磁巻線２ｘ，２ｙ又は検出信号Ｓｄが出力するシートコイル部Ｃｄにより形成した検出巻線３の一方を固定し、かつ他方を回転部４に設けて構成したレゾルバ本体１０と、回転部４の回転角Φに応じて変化する検出信号Ｓｄと励磁信号Ｓｘ，Ｓｙの位相差から回転角Φを検出する信号処理回路３０を備えるレゾルバ１を構成するに際して、励磁巻線２ｘ，２ｙにおける各磁極Ｍｎ…，Ｍｓ…を構成する複数の導線部Ｌ…をそれぞれ一又は二以上に区分し、各区分Ｚ…内における各導線部Ｌ…を並列接続するとともに、各区分Ｚ…同士を順次直列接続し、かつ正弦波磁束分布を生じさせるように各導線部Ｌ…の位置ｘａ…又は各導線部Ｌ…の電気抵抗ｒａ…を設定する。 （もっと読む）

【課題】 高分子アクチュエータの伸縮量センシング精度を向上させ、かつコンパクトである、高分子アクチュエータの伸縮量センシング方法および装置を提供する。
【解決手段】 高分子アクチュエー１の駆動を周波数変調した駆動電圧８により行い、駆動電圧８と駆動波形１０との位相１５を比較することにより、高分子アクチュエータ１の伸縮に伴う静電容量の変化を計測することで、高分子アクチュエータの伸縮量１７を求める方法である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、地上障害物に影響されることなく、掘削装置の地中位置を容易に検知することができる地中位置検知方法を提供する。
【解決手段】掘削装置１の地中位置を検知する地中位置検知方法において、掘削装置１に磁石２を設け、この磁石２を、掘削装置１の軸方向に伸びるｙ軸と直交するｘ軸およびｚ軸を含む平面上で回転させることで回転磁場を発生させ、少なくとも三つの測点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３で磁石２が発生させる回転磁場の磁束密度のｘ軸成分およびｚ軸成分をそれぞれ時刻暦として測定し、ｘ軸成分およびｚ軸成分より各測点Ｐ_１，Ｐ_２，Ｐ_３間の位相差をそれぞれ算出し、得られた位相差を、各測点を前記原点を含むｘｚ平面にそれぞれ投影した各投影点から磁石２の位置を見込む見込み角度とみなし、この見込み角度より磁石２の位置のｘ座標およびｚ座標を算出し、他方、掘削装置１の掘削距離より磁石２の位置のｙ座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】複雑な幾何学形状を有する部品における小さな亀裂及び他の異常を検出する。
【解決手段】多周波渦電流信号からデータを収集することを含めた渦電流検査を含む。生検査画像の信号対雑音比を向上するために、位相解析を使用して多周波データが組合わされる。その後、通常はエッジ効果信号により隠蔽されると考えられる縁部３４の亀裂及び他のきずと関連する信号を分離することを目的として、渦電流きず信号の周波数成分と相関するために、時空間フィルタを使用して画像が再処理される。 （もっと読む）

【課題】サーフェスモータステージ装置等を使った平面ステージにおいて、移動体の移動距離を測定するために、軽量安価でかつ構造が簡単な磁束センサを備えた平面ステージを提供すること。
【解決手段】磁性体からなる凸極が等間隔で形成されたプラテン８と、プラテン８上に浮上して移動する移動体２と、移動体２を制御する制御部９とを備えた平面ステージ１において、移動体２に、磁性体からなり、プラテン８の凸極のピッチの整数倍のピッチを有し、かつ前記凸極の幅と同じ幅を有する複数の凸部を有する櫛歯状部が形成された磁性体本体と、前記櫛歯状部に磁束を発生させる磁束発生手段と、前記櫛歯状部の磁束の変化を測定し、その結果を出力する磁束測定手段とを備え、前記櫛歯状部の凸部をプラテン８に対向するように配置した磁束センサ７を設け、制御部９は、前記磁束測定手段で測定された出力に基づいて、移動体２の移動距離を算出することを特徴とする平面ステージである。 （もっと読む）

【課題】回転角度検出装置の部品点数を削減できると共に、検出回路の出力信号の誤差要因が少なくなるため、ロジック回路や増幅回路を簡略化でき、回転角度検出装置のコストダウンを達成する。
【解決手段】コイル及び抵抗体からなる検出素子部を含む検出回路と、コイルのインダクタンスを被測定回転体の回転に応じて変化させるインダクタンス変化手段とを有する角度検出手段を備え、さらに検出回路に出力信号を発生させるための基準パルス電圧発生手段と、検出回路の出力信号を演算する演算手段とを備えている回転角度検出装置であって、演算手段は、基準パルス電圧発生手段で発生した基準パルス電圧を前記検出回路に入力した際に生じる過渡現象的出力電圧を所定時間積分して積分値を求め、該積分値に基づいて前記被測定回転体の回転角度を検出する。 （もっと読む）

【課題】安価で簡単に測定対象物の厚さを測定することができる厚さ測定装置及び厚さ測定プログラムを提供する。
【解決手段】渦電流検出部３は、基準信号発生部２から励磁電流が流れて測定対象物に渦電流が流れると、この渦電流に対応する誘導出力を位相検波部６に出力させる。移相部５は、移相用信号発生部４が発生する移相用信号の位相を所定の検波位相（例えば90°）ずらした移相用信号を発生し、位相検波部６は移相部５が出力する移相用信号に基づいて渦電流検出部３が出力する渦電流信号を位相検波する。位相遅れ検出部７ａは、渦電流信号を所定の検波位相（例えば90°）で検波したときのこの渦電流信号の位相遅れを検出する。厚さ測定部７ｆは、位相遅れ情報検出部が検出した渦電流信号の位相遅れと相関関係情報記憶部７ｅが相関関係情報とに基づいて、測定対象物の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】雑音を減少させ、感度を増大し、そして直線型可変差動トランス（ＬＶＤＴ）の時間応答を改良する変換器を提供する。
【解決手段】本装置は、従来型ＬＶＤＴの一次コイルおよび高透磁率強磁性コアを、非強磁性可動コア１４の周囲に巻いた一次巻線１５で置き換える。バルクハウゼン雑音を軽減または除去することに加えて、このアプローチは、コアの過度の渦電流加熱、高透磁率材料と関連する非線形性、および磁束回路の長さスケールを含む、従来型ＬＶＤＴの他の好ましくない効果を軽減または除去した。これらの改良は、改良型ＬＶＤＴの信号調整回路に連結される。本装置はアクチュエータでもあり、それを用いて差動電圧を力に変換することができる。これらの改良点を伴う装置は、分子力測定、原子間力顕微鏡、および操作技術、リソグラフィ製造、ナノメータースケールの表面形状測定、およびナノテクノロジーの他の局面を含め、多くの用途を有する。 （もっと読む）