【課題】測定光の伝送経路上のノイズ源から生じたノイズ成分を除去する。
【解決手段】所定の測定面における測定光の分布データから、測定光の伝送経路に存在するノイズ源によるノイズ成分を除去するノイズ除去装置であって、測定面における測定光の分布データを、ノイズ源に対応する面まで伝播計算した分布データを算出する第１伝播計算部と、第１伝播計算部が算出した分布データにおいて、ノイズ源によるノイズ成分を除去した分布データを算出するノイズ除去部と、ノイズ除去部が算出した分布データを、測定面まで伝播計算した分布データを算出する第２伝播計算部とを備えるノイズ除去装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数の物体が計測エリアに位置する場合でも、高い精度で物体の同定を行うことができる物体同定装置および物体同定方法を提供すること。
【解決手段】物体同定装置４００は、同一の計測エリア内において、カメラ２００によって位置を検出された第１の物体とＲＦＩＤリーダ３００によって位置を検出された第２の物体との同定を行う装置であって、第１の物体の位置と第２の物体の位置との間の関係と、第１の物体の位置に対応する位置誤差の分布によって規定される誤差界と、第２の物体の位置に対応する位置誤差の分布によって規定される誤差界と、の間の関係と、に基づいて、第１の物体と第２の物体との間の関連度を求める関連度判定部４２０と、関連度が高いとき、第１の物体と第２の物体とが同一であると判定する同定判定部４３１とを有する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された半導体ウエーハ等の被加工物の上面高さを正確に計測できる計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】チャックテーブル３６に保持された被加工物に向けて発光する白色光源６１と、白色光を被加工物に照射する第１の色収差レンズ６２と、被加工物に照射された白色光の反射光を分光するビームスプリッター６３と、ビームスプリッター６３によって分光された反射光における光軸を通る波長の反射光を通過させる光分別手段６５と、回折格子６６によって回折された回折光の波長を検出する波長検出手段６７と、制御手段を具備する計測装置であって、ビームスプリッター６３と第１の色収差レンズ６２との間に配設され光軸上に白色光源６１からビームスプリッター６３を通して入光する白色光の仮想焦点の像を形成する第２の色収差レンズ６４を備え、各波長の集光点が所定波長間隔に比例するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 地盤に形成した深い穴内に容易に設置することができ、地盤歪を高精度で検出可能な地盤歪検出端を提供する。
【解決手段】 複数の短尺管体１５をつなぎ合わせて変位標識管体５を形成し、その変位標識管体５に沿って光ファイバセンサ６を張力を掛けた状態で配置し且つその光ファイバセンサ６の複数個所を固定治具７で変位標識管体５に固定して検出端３を構成する。この検出端３は、短尺管体１５をつなぎ合わせながら且つ光ファイバセンサ６を固定しながら縦穴２内に挿入することで深い縦穴２内に容易に設置可能であり、挿入した後は縦穴２内に充填材８を充填して地盤と一体化することで、地盤歪に応じて光ファイバセンサ６に歪を生じ、それを散乱光強度分布の観測で検出することで地盤に発生した歪分布を精度良く測定できる。 （もっと読む）

【課題】 干渉計と波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの量子化誤差に起因する計測誤差を低減した位置計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動体の位置を計測する干渉計と、前記干渉計の計測光の光路における気体の状態に起因する前記計測光の波長変動を補償する波長補償器と、前記干渉計と前記波長補償器の出力に応じた位置計測値を出力する制御器と、を備える位置計測装置であって、前記制御器は前記干渉計および前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換器を含み、前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの分解能が、前記干渉計の出力をデジタル信号に変換するときの分解能よりも高い。 （もっと読む）

【課題】観察試料の表面形状を直感的で判りやすく表示することができ、３次元情報取得の操作性を格段に向上することが可能な走査型共焦点顕微鏡を提供すること。
【解決手段】対物レンズの集光位置と試料の相対的な位置を集束光の光軸方向に治って離散的に繰り返し往復動作させて光強度情報を取得し、抽出した光強度情報に適合する変化曲線上の最大値と相対位置を推定し、輝度情報と高さ情報として取得し、移動機構の反転動作から次の反転動作までの間に取得される各相対位置での試料からの光強度情報を光強度情報群として取り扱い、試料からの非共焦点画像情報を光強度情報とは別に取得し、移動機構の反転動作位置から次の反転動作位置の間に得られる試料の高さ情報を、取得した非共焦点画像情報とともに同一画面上に、移動機構が反転動作位置から次の反転動作位置に移動する毎に試料形状の３Ｄ画像、非共焦点画像を更新して表示する。 （もっと読む）

本発明は、特定の物体の３次元モデルを生成する方法に関する。この方法は最初に、物体の物体奥行き表現を決定するステップと、物体のテクスチャを生成するステップとを含む。次に、３次元モデルは、変位マッピングを前記物体の前記物体奥行き表現に適用し、次に前記テクスチャを前記変位マッピングを使用して生成された前記物体の前記３次元モデルに適用することによって生成される。
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【課題】 光源から放射される光ビームを、板ガラスのような透明材料を透過させてスクリーンに投影し、透明材料内の欠陥を検出する検査装置において、光学倍率、光源からスクリーンまでの距離、または光源の光度を変えることなしに、種々のサイズの透明材料の検査を可能にする。
【解決手段】 スクリーン２６上に投影される光ビームを遮る光学素子２４を光源２２とスクリーン２６との間に配置して、光ビームの少なくとも一部分の光度を変えて、ほぼ一様な照度分布をスクリーン２６上に生成させ、透明材料３０内の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】構造の遠隔検査方法とシステム
【解決手段】検査対象となる構造部分の3Ｄ画像の作成、この3Ｄ画像をあらかじめ登録した構造のデジタルモデルに重ね合わせること、構造のモデル上での検査対象となる構造部分の位置の確定、3Ｄ画像とデジタルモデルを重ね合わせたものにおける検査対象となる構造部分の検査、の作業を伴なうことを特徴とする構造の遠隔検査の方法であって、
検査対象となる構造部分(2)付近に設置するのに適した画像撮影装置(10)と、カメラ(11)による画像から3Ｄ画像を生成するための画像撮影装置(10)から離れたところに位置する画像処理装置(6)を含む、方法の実施システムにも関するものである。 （もっと読む）

【課題】ビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法を提供する。
【解決手段】本発明は、被検査体を支持するテーブルと、テーブルをＹ方向に直線往復移動させるステージと、被検査体またはテーブルのイメージを取得するためにＸ方向に沿って離隔して配置される複数のカメラを含むビジョン検査システムにおいて、Ｘ方向に沿ってテーブルの一端部に離隔して配置される複数の第１マークと、最も左側及び右側の第１マークから各々テーブルの一側部にＹ方向に沿って離隔して配置される複数の第２マークとを含み、第１マークのイメージを取得してイメージの座標値をステージの座標値に変換し、第２マークのイメージを取得してイメージの座標値とステージの座標値を被検査体を基準とした絶対座標値に変換し、被検査体を基準とした絶対座標値はステージの精度が補正された座標値であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固定のセンサに対してテーブルが動作する計測装置において、ワークの形状を正確に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レーザーによるスリット光を照射する光源２１及びスリット光によって生じる光切断線を撮像する撮像部２２を有するセンサ２と、予め設定された計測開始位置に配置されてスリット光を受ける受光表面３１ａにワークＷを把持し、計測開始後に所定動作をするテーブル３１と、撮像部２２の撮像データを位置データに変換してワークの形状を計測する計測部４と、計測部４に対し、受光表面３１ａのずれを検出可能な位置情報を提供するずれ検出部５２と、を備え、計測部４は、位置情報に基づいてずれを検出し、ずれが検出された場合、当該ずれに応じて位置データを補正して、ワークの形状を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】入射面のゴミの影響を受け難く、基準球の表面の傷に対してロバストであり、基準球の局所的な真球誤差の影響を受け難くする。
【解決手段】固定位置に配設された透明な基準球６１４と、移動体に配設された再帰逆反射体（６２０）と、基準球の中心を中心として回動するように設計されたキャリッジ６３０と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体と基準球の間でレーザビーム（６４２）を往復させる光学系を含み、再帰逆反射体と基準球の間の距離を干渉測長する測長手段（６４０）と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体の入射光と反射光の光軸のずれ量に応じた信号を出力する追尾用位置検出手段６６０と、光軸のずれ量がゼロとなるようにキャリッジの回動を制御する制御部６７０とを備えた追尾式レーザ干渉測長計において、基準球に入射されるレーザビームが、基準球の中心Ｏに焦点を結び、入射側と反対の内側球面で反射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ等の位置計測装置を使用した基板ステージの位置決めを行う際に、スケールの形状に依存する誤差を最小限に抑える露光装置を提供する。
【解決手段】基板５を保持する基板ステージ６と、該基板ステージ６の位置を計測する光学式計測部７と、該光学式計測部７からの計測光の反射対象となるスケール８とを備える露光装置５０であって、基板ステージ６が設置された空間内を温度調節するための温調エアを供給する供給系と排気する排気系を有し、供給系は、基板ステージの走査部周辺に温調エアを供給する第１の供給系１１、排気系１４と、スケール８の設置部周辺に温調エアを供給する第２の供給系１３、排気系１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】鏡筒を本体に対して容易に取り付けることができるとともに、本体、及び鏡筒の破損を防止することができる光学式測定機の提供。
【解決手段】画像測定機１は、鏡筒２と、鏡筒２が取り付けられる円筒状の取付部３２を備える本体３と、鏡筒２の周方向に沿ってリング状に配設され、被測定物を照明するリング照明装置４と、取付部３２に取り付けられ、鏡筒２の本体３への取り付けを中継する中継部材５を備える。中継部材５は、鏡筒２が取り付けられる中継取付部５２２と、鏡筒２の外周を覆うように鏡筒２の軸方向に沿って延出し、鏡筒２を軸方向に沿ってガイドするガイド部５２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 迷光の混入を防止して高精度に干渉計測を行うことのできる光学ユニットを提供する
【解決手段】 光学ユニット（３０１）は、相互に偏光面が直交する第１の偏光（Ｅ１）及び第２の偏光（Ｅ２）の一方を透過させて他方を反射させる第１偏光分離面（Ｓ１１）及び第２偏光分離面（Ｓ１２）を含み、第１ビーム及び第２ビームを相互に分離して異なる方向に射出させる偏光分離部（２０１）と、該第１ビームの偏光状態を変化させる第１偏光変換部（１５）と、偏光分離部から射出した第２ビームを反射して偏光分離部に再入射させる固定反射部（１８）と、該第２ビームの偏光状態を変化させる第２偏光変換部（１７）と、第１ビーム及び第２ビームを、各々その入射位置と異なる射出位置から各々その入射方向に逆向きに射出させて偏光分離部に再入射させるリトロレフレクター（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】変位量測定装置の精度を向上する。
【解決手段】測定対象物に標識Ｄを取り付けて撮影する。最初に撮影した初期画面を基準画面として、基準画像を構成する画素に当該画素の輝度情報の重みを付けて、基準画像の中心位置座標を算出してその値と、画素数で表した面積とを記憶しておく、所定時間経過後に同様に測定対象物に標識Ｄを取り付けて撮影し、上記と同様の処理を得てその中心位置座標を算出し、その値と記憶した上記基準画像の中心位置座標を比較してその差（変位量）を求める。 （もっと読む）

【課題】スミアの発生方向を考慮してＣＣＤイメージセンサのカメラ（ＣＣＤカメラ）の設置を工夫することなく、簡単なエッジ検出の画像処理により撮影画像のスミアの除去および高輝度のノイズの低減の両方が同時に行なえるようにする。
【解決手段】画像処理ユニット３の水平エッジ検出部３１、垂直エッジ検出部３２により、ＣＣＤカメラ２の撮影画像Ｐｉの水平方向エッジ画像Ｐｈおよび垂直方向エッジ画像Ｐｖを生成する。このとき、スミアがＣＣＤカメラ２の撮影画像Ｐｉの垂直、水平いずれかの方向に発生しても、両方向のエッジ画像Ｐｈ、Ｐｖのいずれか一方にのみスミアが含まれ、他方にはスミアが含まれなくなる。そして、画像処理ユニット３の論理積演算部３３により両エッジ画像Ｐｈ、Ｐｖの論理積を演算し、演算結果の区分線の検出対象の画像Ｐｈｖとしてスミアが除去された画像Ｐｈｖを形成し、同時に、撮影画像Ｐｉに散在する高輝度のノイズも低減する。 （もっと読む）

【課題】対象物の輪郭線の位置を安定して検出できるようにする。
【解決手段】ＣＰＵ１０は、カラーカメラ２の撮像により生成され、画像メモリ１２，１３，１４に格納されたＲ，Ｇ，Ｂの画像データにより構成される処理対象画像が２種類の色彩に色分けされていることを前提として、この処理対象画像のｘ軸またはｙ軸に沿う方向に長い矩形状の計測対象領域を設定する。そして、幅狭の矩形状の小領域を短い方の辺を走査方向に合わせて計測対象領域内に設定し、この小領域により計測対象領域内を所定の間隔で走査しつつ各走査位置における小領域内の平均色を求める。さらに、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分を軸とする色空間において、各走査位置で得た平均色を順に追跡し、追跡処理の起点からの距離が所定のしきい値を初めて超えた点を抽出し、この点に対応する平均色を得たときの小領域の位置を、２種類の色彩の境界位置として判別する。 （もっと読む）

半導体ウエハの端部を検査する装置に関し、照明用経路（１０）と解析用経路（２０）を有する共焦点色顕微鏡（７）を有し、照明用経路（１０）は多色光源（１１）とスロット（１２）と少なくともアッベ数５０未満の材料からなるレンズからなる軸上色収差対物レンズ（１５）とを有し、解析用経路（２０）は対物レンズと、色フィルタスロット（２２）と光強度センサ（２４）をこの順番に有し、照明用経路のスロットおよび解析用経路のスロットは検査されるウエハの端部からの光学距離がほぼ同じ場所に設けられている。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、基板レベルでの測定を行うことのできるリソグラフィ装置の提供。
【解決手段】シングル・ステージ又は複数ステージのリソグラフィ装置において、例えば基板テーブル交換、及び／又は基板のロード及びアンロードの間、テーブルが液体供給システムに対して閉じ込め用の面を形成する。一実施例では、テーブルは、例えば基板テーブル交換、及び／又は基板のロード及びアンロードの間に投影ビームの測定を行うセンサを有している。 （もっと読む）