【課題】乾式ガスホルダーに関し、ピストンの傾斜のみならず偏心も監視するための方法および装置を提供する。
【解決手段】筒状のホルダー本体２と、ホルダー本体内に配置された落し蓋状のピストン３と、ピストンとホルダー本体との隙間のシール機構４を具える乾式ガスホルダー１の、ピストンの監視方法において、ピストンの中心位置に偏心量測定テーブル５を設け、ホルダー本体の上端部に、偏心量測定テーブルおよびその近傍並びにその中心位置を含みまたは含まずに互いに多角形を形成する他の複数位置までの高さ方向距離を非接触でそれぞれ計測する距離計６を設け、中心位置の偏心量測定テーブルまでの高さ方向距離に急激な変化が生じた場合にピストンに偏心が生じたと判断し、その高さ方向距離の変化がないか穏やかな場合は、距離計で計測した多角形を形成する複数位置までの高さ方向距離に基づきピストンに傾斜が生じたか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】画像処理の負担を軽減し、容易かつ正確に切断面を区別することのできる、新規の切断面の検出方法を提供する。
【解決手段】第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａを所定の方向に向けて第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａと第２の偏光フィルタ４の偏光方向４ａを直交させ、照明光１を第１の偏光フィルタ２を透過させ試料３の切断面３ｂ，３ｃで反射させてから第２の偏光フィルタ４を透過させデジタルカメラ５により撮影して第１の画像を取得し、第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａを所定の方向から４５度傾かせて第２の画像を取得し、第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａと第２の偏光フィルタ４の偏光方向４ａを平行にして第３の画像を取得し、第１、第２、第３の画像を加算する。 （もっと読む）

【課題】スカッフィングを精度よく検出できるとともに、スカッフィングの大きさを定量的に評価できるエンジンボア表面傷の評価方法を提供する。
【解決手段】解析画像データ４１を取得して、第一周波数スペクトル４２を求める工程Ｓ１０・Ｓ２０と、フィルタリングした第一周波数スペクトル４２を復元し、二次元凹凸データ４５を生成するステップＳ３０〜Ｓ５０と、二次元凹凸データ４５から第二周波数スペクトル４６を求めるとともに、スカッフィングＷ３を検出するステップＳ６０・Ｓ７０と、二次元凹凸データ４５から第三周波数スペクトル４７を求めるとともに、フィルタリングした第二周波数スペクトル４６を復元するステップＳ８０〜Ｓ１１０と、復元した二次元凹凸データ４９よりスカッフィングＷ３を評価するステップＳ１２０〜Ｓ１５０とを行う。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来の較正方法と比べてあまり時間がかからない較正を適用するより正確な位置測定システムを提供する。
【解決手段】位置測定システムは、第１部分ＥＧおよび第２部分ＥＳと、計算ユニットと、を備える。第１部分および第２部分は、第２部分に対する第１部分の位置を表す位置信号を提供することによって第２部材に対する第１部材の位置を決定する。計算ユニットは、位置信号を受信するための入力端子を含む。計算ユニットは、使用中、位置信号に変換を適用して第２部材に対する第１部材の位置を表す信号を得るように、および、変換に調整を適用して第１部分または第２部分あるいは両方のドリフトを少なくとも部分的に補償するように、構成される。調整は、第１部分または第２部分あるいは両方のそれぞれの所定のドリフト特性に基づく。所定のドリフト特性は、第１部分および／または第２部分の１つ以上の基本形状を有する。 （もっと読む）

【課題】光学センサを用いて用紙搬送量を正確に特定する。
【解決手段】画像形成装置は、記録ヘッドを搭載するキャリッジを主走査方向に搬送し、用紙を搬送ローラを通じて主走査方向とは垂直な副走査方向に搬送する。この画像形成装置は、キャリッジの静止状態で、用紙搬送方向に平行な第一の検出方向への用紙移動量及びキャリッジ搬送方向に平行な第二の検出方向への用紙移動量を検出可能な光学センサを備える。キャリッジに固定された光学センサは、キャリッジの移動に伴って、キャリッジと共に傾くため、本装置では、リニアエンコーダを用いて検出したキャリッジ位置、ロータリエンコーダを用いて検出した搬送ローラ回転量、及び、光学センサの検出値を用いて、光学センサの傾き（角度θ）を算出する（Ｓ２７０）。そして、用紙搬送中にキャリッジが搬送される際には、光学センサにより検出された第一の検出方向の用紙移動量を上記角度θに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】研磨部及び再研磨部の仕上がり具合を簡単な手法で定量的に評価できる金属板の外観評価方法を提供する。
【解決手段】この金属板の外観評価方法では、金属板１の表面のデジタル画像１０をスキャナ４によって取得し、デジタル画像１０の一部画像１１に含まれる各ピクセルのＲＧＢ値をグレースケール変換して得られるＡｃ値の波形パターンに基づいて研磨部２及び再研磨部３の外観の可否を判断する。波形パターンを用いることで、研磨部２及び再研磨部３の外観を容易かつ定量的に判断できる。また、この方法では、波形パターンに基づいて、研磨部２及び再研磨部３の研磨方向がスキャナ４の走査方向と一致しているデジタル画像１０を判断対象として選別する。この前処理により、外観判断工程で用いる波形パターンのＳ／Ｎ比が向上し、判断精度が高められる。 （もっと読む）

【課題】都市部の駅ホームや、地下鉄の駅ホームでは、駅ホームのスペースが狭く、列車の乗降口または可動式ホーム柵の開閉部を広範囲にするための監視用カメラ装置のカメラ部の設置スペースを十分に確保できない。
【解決手段】本発明の可動式ホーム柵監視用カメラ装置は、可動式ホーム柵と、反射鏡と、前記可動式ホーム柵内に設置し前記反射鏡を介して前記可動式ホーム柵を撮像するカメラ部と、前記カメラ部が撮像した画像から乗客を検出する画像処理部と、モニタとを備え、前記画像処理部は、前記カメラ部が撮像した画像から前記可動式ホーム柵の開閉部およびその周辺を切り出して合成した合成画像を作成し、前記モニタは、前記合成画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】箱体の姿勢にかかわらず接合部の精度を正確に検査でき、箱体の形状精度や印刷品質、異物の有無も同時に検査することができ、検査スペースの効率化を図ることができる品質検査装置を提供する。
【解決手段】接合部を挟んで隣り合う２つの領域を撮像する撮像手段３と、照明手段４と、基準形状データ記憶部、及び基準画像データ記憶部を有する記憶手段５０と、撮像される画像に基づき形状データを検出し、各領域の基準形状データと対比することにより各領域のずれ量を算出し、各領域の形状精度の良否を判定する形状精度判定手段と、形状精度判定手段により算出される各領域のずれ量に基づき、当該箱体の接合精度の良否を判定する手段と、撮像手段により撮像される画像に基づき各領域の画像データと基準画像データ記憶部に記憶された各領域の基準画像データとを対比することにより各領域の印刷品質の良否及び異物の有無を判定する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被検査試料に形成されたパターンの位置ずれマップを高精度に作成する装置を提供する。
【解決手段】位置ずれマップ作成装置２００は、被検査試料から取得された光学画像と参照画像との間での位置ずれ量に基づいた位置ずれマップ（１）に対し、ワイドパスフィルタ処理をおこなって位置ずれマップＢを作成するＷＰフィルタ処理部５６と、ローパスフィルタ処理をおこなって位置ずれ量マップＣを作成するＬＰフィルタ処理部５８と、座標計測装置で計測された複数の位置計測用パターンの各パターンの位置の位置ずれ量に基づく位置ずれマップ（２）に対し、ＬＰフィルタ処理をおこなって位置ずれマップＣを作成するＬＰフィルタ処理部６４と、位置ずれマップＡと位置ずれマップＢの差分に位置ずれマップＣを加算することによって合成して位置ずれマップＤを作成する合成部６６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】経年変化に伴ってレーザー測長系のレーザー光源の出力特性が変化しても、移動ステージの位置を精度良く検出して、基板の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】移動ステージに複数の反射手段３４ａ，３４ｂ，３５を取り付け、複数のレーザー干渉計３２ａ，３２ｂ，３３により、レーザー光源３１ａ，３１ｂからのレーザー光と各反射手段３４ａ，３４ｂ，３５により反射されたレーザー光との干渉を複数箇所で測定する。各レーザー干渉計３２ａ，３２ｂ，３３の測定結果から、移動ステージの位置を検出し、検出結果に基づき、移動ステージによりチャック１０ａ，１０ｂを移動して、基板１の位置決めを行う。各レーザー干渉計３２ａ，３２ｂ，３３が受光したレーザー光の強度の変化を検出し、検出したレーザー光の強度の変化を補う様に、レーザー光源３１ａ，３１ｂへ供給する駆動電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンに損傷を与えることなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、半導体基板を測定光学系によって表面観察し、観察結果に基づいて前記半導体基板の欠陥検査を行う基板検査部を備えている。また、前記欠陥検査装置は、前記測定光学系のうち前記表面観察を行う際に前記半導体基板の表面に近接する底部近傍を撮像し、撮像した画像である第１の撮像画像を用いて前記底部近傍の状態検査を行う測定光学系検査部を備えている。前記測定光学系検査部は、前記基板検査部が前記半導体基板の欠陥検査を行っていない間に、前記底部近傍の状態検査を行う。また、前記測定光学系検査部は、前記状態検査の基準となる基準画像と、前記第１の撮像画像と、を比較し、比較結果に基づいて、前記底部近傍の状態検査を行う。 （もっと読む）

【課題】偏光画像による車両位置検知方法及びシステムを提供する。
【解決手段】かかる方法は、偏光カメラにより路面の偏光画像を取得する段階と、取得された前記偏光画像中の路面及び路肩の違いに基づいて、前記偏光画像中の路肩を算出し、算出された路肩間の部分を路面部分と決定する段階と、前記偏光画像における車両の車輪の画素値と実際の路面の画素値との顕著な差に基づいて、決定された前記路面部分における少なくとも一つ以上の推定車両底部を識別する段階と、識別された前記推定車両底部の各々に対し、前記偏光画像における車両の輪郭の画素値と背景の画素値との差に基づいて、対応する推定車両底部による推定車両位置を取得する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】封筒のフラップと平行な方向に封筒を搬送しつつ、フラップの封緘不良を確実に検知できる封筒フラップ検査装置等を提供する。
【解決手段】搬送手段である搬送ローラ５、曲げ手段である搬送上台１、検知手段であるレーザセンサ３、制御部４等からなるフラップ検査装置２を用い、封緘を終えた封筒７を、表面９を上に、フラップ１９が設けられた裏面１７を下にした状態で、フラップ１９が設けられた側辺３３と平行な方向に搬送する。このとき、封筒７のフラップ１９は、搬送上台１の凸条１３に乗り上げ、フラップ１９が設けられた裏面１７が外側となるように湾曲する。レーザセンサ３は、フラップ１９に向けてレーザ光線１５を投光し、該フラップ１９までの距離を検出する。制御部４は、検出した距離に基づき、封緘不良を判定する。 （もっと読む）

【課題】過去のトロリ線データと現在のトロリ線データとで走行位置を正確に一致させることを可能としたトロリ線データ比較装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に配置されて鉛直上方のトロリ線を撮影するラインセンサカメラ２と、ラインセンサカメラ２から入力される映像信号を収録する画像録画部と、画像録画部から現在のトロリ線画像を入力するラインセンサ画像入力部５ａ、現在のトロリ線画像からトロリ線の摩耗及び偏位を抽出する摩耗・偏位抽出部５ｂ、過去のトロリ線画像と現在のトロリ線画像とから車両の偏位の位置ずれ量を検出する偏位位置ずれ検出部５ｃ、及び位置ずれ量を現在のトロリ線画像に反映し、過去のトロリ線画像と比較する摩耗量比較部５ｄを備える画像処理部とから構成した。 （もっと読む）

【課題】操舵角計測装置を改善することにより、ステアリングホイールの操舵角を作業効率を向上しつつ精度よく計測し得る操舵角計測装置に関する。
【解決手段】ステアリングホイール３とともに回転する反射面５を有する反射部材４と、前記反射面５との距離に基づいた信号を出力する第１の変位計７ａ及び第２の変位計７ｂからなるレーザ変位計７とを含む車両のステアリングホイール３の操舵角計測装置１である。前記反射面５は、前記第１の変位計７ａとの距離を一定とする等距離面と、第１継ぎ面とが交互にかつ階段状に接続される階段状面Ｋからなる第１の反射面と、前記第２の変位計７ｂとの距離が漸減する傾斜面と、第２継ぎ面とが交互に接続される鋸歯状面からなる第２の反射面とからなる。しかも、前記傾斜面と、前記等距離面とは、位相が揃えられている。 （もっと読む）

【課題】バーコードの外観不良を簡易に検査できるバーコード外観検査システム等を提供する。
【解決手段】バーコード外観検査システムの画像処理装置の制御部は、カメラで撮影されたバーコード６の撮影画像データを取得し、バーコード６のバー配列方向の両端部のエッジ６５の位置と、バー配列方向の両端部の近傍におけるバー長さ方向の両端部のエッジ６７ａ、６７ｂの位置を算出する。続いて、これらエッジ６５、６７ａ、６７ｂの位置に基づきバーコード６の中心座標等を演算して求め、これに基づきバーコード６の欠陥検出領域を生成する。次に、この欠陥検出領域において、バー長さ方向の微分フィルタ演算と演算結果の２値化を行い、バーコード６の汚れ６１、抜け６３等の欠陥領域を検出する。いずれかの欠陥領域の面積が所定値以上の場合に、画像処理装置の制御部は、バーコード６に外観不良があると判定する。 （もっと読む）

【目的】マスクに形成されたパターン自体の位置精度の均質性を検査可能な検査装置を提供する。
【構成】検査装置１００は、離散的な領域を撮像した際に取得されたそれぞれの光学画像中の図形の寸法と、対応する参照画像中の図形の寸法との間での第１の位置ずれ量を用いて、被検査領域全体における第１の位置ずれ量マップを作成するマップ作成回路１３１と、検査領域全体を撮像した際に取得されたそれぞれの光学画像中の図形の寸法と、それぞれ対応する参照画像中の図形の寸法との間での第２の位置ずれ量を用いて、被検査領域全体における第２の位置ずれ量マップを作成するマップ作成回路１３２と、第２の位置ずれ量マップを、第１の位置ずれ量マップと第２の位置ずれ量マップとの第１の差分マップで補正した第３の位置ずれ量マップに定義される各値のうち、許容値を超える値の有無を判定する判定回路１５６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤検出指標や検出精度の低い指標による影響を減少させ、高精度かつより安定な撮像装置の位置姿勢計測方法を提供する。
【解決手段】指標検出部２０３０は、物体上に配置または設定された指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を撮像画像から検出する。評価量算出部２０６０は評価量を、指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像上での２次元幾何特徴及び／又は指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の３次元空間中における撮像装置２０１０と指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３との間の関係を表す３次元幾何特徴を利用して算出する。信頼度算出部２０７０は、算出した指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の評価量に応じて指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の信頼度を算出する。位置姿勢算出部２０８０は、算出された指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の信頼度と、検出された夫々の指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像座標に関する情報とを少なくとも用いて、物体または撮像装置２０１０の位置姿勢を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定者の動作の制約が少ない状態で舌の動きを計測することができるモーションキャプチャ装置およびモーションキャプチャプログラムを提供する。
【解決手段】モーションキャプチャ装置１は、被測定者Ｍの舌表面に貼付される磁気ソース１０と、被測定者Ｍの顔表面に貼付され、磁気ソース１０によって形成される磁場を検出する磁気センサ４０と、被測定者の顔表面に貼付された磁気センサ４０と同一の位置に配置された光学マーカ４１と、光学マーカ４１を異なる位置および異なる方向から撮影する複数の撮影装置６０と、磁気センサ４０によって検出された磁場の大きさと、撮影装置６０によって撮影された光学マーカ４１の画像とから、被測定者Ｍの舌表面に貼付された磁気ソース１０の絶対座標を算出する座標算出手段７０と、からなる。なお、磁気ソース１０と磁気センサ４０の位置は入れ替えてもよい。 （もっと読む）