【課題】ステレオマッチング処理において互いに異なる部品９１a〜９１c間で対応付けが行われるといった誤対応の発生を抑制する。
【解決手段】認識対象部品９１aを含む複数の部品９１a〜９１cを異なる視点から撮像した複数の撮像画像Ｉ1、Ｉ2それぞれから、認識対象部品９１aが写る対象領域Ｒ1、Ｒ2が抽出される。複数の撮像画像Ｉ1、Ｉ2それぞれの対象領域Ｒ1、Ｒ2に対して、ステレオマッチング処理が実行される。つまり、ステレオマッチング処理を行う領域Ｒ1、Ｒ2を、撮像画像Ｉ1、Ｉ2のうちの認識対象部品９１aを含む対象領域Ｒ1に限定する。そのため、対象領域Ｒ1から認識対象部品９１a以外の部品９１b、９１cを外してステレオマッチング処理を実行することができ、その結果、ステレオマッチング処理において互いに異なる物体間で対応付けが行われるといった誤対応の発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】部品９１の三次元認識を正確に実行する。
【解決手段】互いに異なる場所から部品９１を撮像した２枚の撮像画像Ｉ1、Ｉ2に対してステレオマッチング処理が実行されて、２枚の撮像画像Ｉ1、Ｉ2間の視差ｐを示す視差画像Ｉsが取得される。また、撮像画像Ｉ1からエッジＥが抽出されて、部品９１のエッジＥを示すエッジ画像Ｉeが取得される。そして、エッジ画像Ｉeが示す部品９１のエッジＥ上の位置での視差ｐが、視差画像Ｉsに含まれる視差ｐから抽出されるとともに、こうして抽出された視差ｐに基づいて、三次元における部品９１の位置および姿勢が認識される。これにより、部品９１のエッジＥ部分の視差ｐに基づいて、三次元における部品９１の位置および姿勢を認識することが可能となり、その結果、この三次元認識を正確に実行することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】スリット光の予測投影領域を最適化することによってロボットによるワークの取出作業の速度および精度を向上させることができるロボットシステムを提供すること。
【解決手段】実施形態の一態様に係るロボットシステムは、投影部と撮像部と予測投影領域決定部と投影位置検出部とロボットとを備える。投影部は、ワークが載置される載置領域へスリット光を投影して所定の移動方向へ移動させる。撮像部は、ワーク上を移動するスリット光を順次複数回撮像する。予測投影領域決定部は、撮像された画像を移動方向と交差する交差方向へ横断し、画像における交差方向の中央に近いほど移動方向と平行な方向の長さが長くなるように、画像におけるスリット光の予測投影領域を決定する。投影位置検出部は、予測投影領域の中からスリット光の投影位置を検出する。ロボットは、検出された投影位置に基づいてワークを把持する。 （もっと読む）

【解決手段】ボンディング装置を構成する物品認識装置は、基板のバンプに照明光を照射する第１照明と、該第１照明とは異なる角度から上記バンプに照明光を照射する第２照明と、上記バンプで反射した上記照明光の反射光を撮影する第１撮影手段とを備えている。上記第２照明の輝度を固定したまま、第１照明の輝度を変化させて（Ｓ３）、上記第１撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における第１照明の輝度を記憶する（Ｓ７）。続いて第１照明の輝度を上記記憶した輝度で固定したまま、第２照明の輝度を変化させて（Ｓ９）、上記第１撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における上記一方の照明の輝度を記憶する（Ｓ１３）。
【効果】照明の設定値の設定を容易にかつ安定して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】３次元辞書データから、対象物に関して測定されない領域に該当するデータを除去することで、高精度・高速な照合・認識を実現する。
【解決手段】概要姿勢の推定を行い（Ｓ３）、３次元辞書データを概要姿勢に応じて姿勢変換して、「概要変換後の３次元辞書データＰ’」を作成する（Ｓ４）。続いて「概要変換後の３次元辞書データＰ’」の点群を、測定器から対象物への距離方向と垂直な仮想平面へ投影する（Ｓ５）。そして、仮想平面を多数の矩形領域に分割し、各矩形領域毎に、その矩形領域に属する（投影された）複数の点のなかから測定器に最も近い点のみを選択し、選択された点のみから構成される３次元辞書データを再構築することにより、３次元辞書データから対象物に関して測定されない領域に該当するデータを除去する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラの設置状態を、簡単にかつ精度良く測定することができるカメラ状態測定装置を提供すること。
【解決手段】カメラ状態測定装置１００は、ステレオカメラの設置状態に関し、ステレオカメラの撮影画像から、特徴点を抽出する特徴点検出部１３０と、特徴点検出部１３０で検出された特徴点のうち、基準面上に位置する２点の指定をユーザから受け付ける計測点指定部１５０と、上記２点についての対カメラ距離ｄ_１、ｄ_２を取得する対カメラ距離測定部１８０と、上記２点にいての対カメラ角θ_１、θ_２を取得する対カメラ角測定部１９０と、上記ｄ_１、ｄ_２、θ_１、θ_２に基づいて、ピッチ角θ_０を算出するピッチ角計算部２００と、上記ｄ_１、ｄ_２、θ_１、θ_２、θ_０に基づいて、カメラ高さｈを算出するカメラ高さ計算部２１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラを自動車等に取り付ける際に、該ステレオカメラの校正距離方向と目的距離方向の調整を容易に行えるようにする。
【解決手段】ステレオカメラ１０を自動車４０に取り付けて、自動車の直進方向の距離を測定するものとする。ステレオカメラ１０は複数の単眼カメラを筐体内に備え、筐体前面を筐体基準面とし、該筐体基準面は反射面を有している。車外に設置されたレーザ光源５０の出射光軸と自動車４０の直進方向が平行になるように調整した後、レーザ光源５０からの出射光をステレオカメラ１０の筐体基準面で反射させて、反射光が出射光位置に戻るように、ステレオカメラ１０の取り付け姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムを提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部（２１ａ〜２１ｃ）と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部（２２ａ、２２ｂ）と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 複数の視点から撮像した画像に基づいて、より広範囲における任意の被写体の位置情報を取得する。
【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明の画像処理装置は、第一の画像と、前記第一の画像とは異なる視点から撮像した第二の画像とを取得する取得手段と、前記第一の画像および前記第二の画像それぞれにおける被写体の特徴点を検出する検出手段と、前記第一の画像および前記第二の画像に基づいて、前記被写体の位置情報を算出する算出手段とを有し、 前記算出手段は、前記第一の画像および前記第二の画像の両方において前記特徴点が検出された場合、前記特徴点それぞれに基づいて、前記位置情報および前記被写体に対応する被写体モデルを算出し、前記第一の画像および前記第二の画像のいずれかのみにおいて前記特徴点が検出された場合は、前記被写体モデルを参照して、前記情報を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤差の影響を受けにくいが大きな空間を占有しない、改善された精密測定システムを提供する。
【解決手段】本体の動きを検出するシステムであって、本体と、基準フレームに対して実質的に静止して取り付けられた第１回折格子４０，４２と、本体に取り付けられた第２回折格子５０，５２と、第１および第２回折格子で回折された一つ以上の放射ビームを受け取り、基準フレームに対する本体の動きを検出するように構成された検出器６０，６１，６２，６３と、を備え、検出器６０，６１，６２，６３が本体に結合され、本体に対して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】プラットフォームの位置を識別するための方法および装置を提供する。
【解決手段】プラットフォームが動いている間、プラットフォームに関連するカメラシステムによって生成された一連の画像内の特徴が識別される。カメラシステムのパースペクティブの移動が、一連の画像内の特徴の位置の移動から識別される。プラットフォームの位置の変化が、パースペクティブの移動に基づいて識別される。 （もっと読む）

【課題】 三次元位置計測において、投影パターンのパターン形状を適切に設定することを目的とする。
【解決手段】 計測対象に対してパターン光を投影する投影手段と、前記パターン光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影手段と、前記撮影画像と、前記投影手段の位置および姿勢と、前記撮影手段の位置および姿勢とに基づいて、前記計測対象の位置および／または姿勢を計測する計測手段と、前記計測対象の位置および／または姿勢の変動範囲から、前記パターン光の識別分解能を設定する設定手段と、前記識別分解能に応じて、前記パターン光のパターン形状を変更する変更手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤検出指標や検出精度の低い指標による影響を減少させ、高精度かつより安定な撮像装置の位置姿勢計測方法を提供する。
【解決手段】指標検出部２０３０は、物体上に配置または設定された指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を撮像画像から検出する。評価量算出部２０６０は評価量を、指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像上での２次元幾何特徴及び／又は指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の３次元空間中における撮像装置２０１０と指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３との間の関係を表す３次元幾何特徴を利用して算出する。信頼度算出部２０７０は、算出した指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の評価量に応じて指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の信頼度を算出する。位置姿勢算出部２０８０は、算出された指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の信頼度と、検出された夫々の指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像座標に関する情報とを少なくとも用いて、物体または撮像装置２０１０の位置姿勢を求める。 （もっと読む）

【課題】計測装置と計測対象物体との間の位置または／及び姿勢の関係があいまい性を含んだ場合であっても、高精度に物体の位置姿勢を計測できるようにする。
【解決手段】撮像時刻におけるロボットのモーション情報から、撮像装置と対象物体の位置姿勢移動量に変換して計測データとして位置姿勢更新に用いる。ロボットのモーション差分という確度の高い情報を計測データとして加えることにより、精度および安定性を向上させるようにする。また、撮像時刻の異なる距離画像と濃淡画像の幾何的関係を、ロボットアームの軌跡情報を用いて求めることで、両者の情報を同時に利用して位置姿勢推定を行うようにすることにより、全体のデータを同時に用いることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 三次元位置計測において、投影パターンのパターン形状を適切に設定することを目的とする。
【解決手段】 計測対象に対してパターン光を投影する投影手段と、前記パターン光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影手段と、前記撮影画像と、前記投影手段の位置および姿勢と、前記撮影手段の位置および姿勢とに基づいて、前記計測対象の位置および／または姿勢を計測する計測手段と、前記計測対象の位置および／または姿勢の変動範囲に基づいて、以降に投影される前記パターン光のパターン形状を変更する変更手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】撮像装置と計測対象物体との関係が高速に変化している場合であっても、物体の位置及び姿勢の計測を精度良く行えるようにする。
【解決手段】２次元画像及び距離画像が撮像可能な撮像装置２０、３０により、被測定物体の３次元的な位置姿勢を推定する情報処理装置１であって、被測定物体の位置姿勢推定用照合データを保存する位置姿勢推定用照合データ保存手段１１０と、撮像装置が第１の位置姿勢において撮影した２次元画像を入力する２次元画像入力手段１２０と、撮像装置が第２の位置姿勢において撮像した距離画像を入力する距離画像入力手段１３０と、第１の位置姿勢と第２の位置姿勢の相対位置姿勢情報である位置姿勢差分情報を取得する相対位置姿勢情報入力手段と、位置姿勢差分情報に基づき、２次元画像及び距離画像に対して、位置姿勢推定用照合データが当てはまるように被測定物体の位置姿勢を算出する位置姿勢推定手段１６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】面位置センサの設置位置を計測し、該計測された設置位置に基づいて面位置センサを用いて移動体の２次元移動面の垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、移動体を安定かつ高精度に駆動する。
【解決手段】 干渉計システムを用いてウエハステージＷＳＴのＸＹ位置を監視しながらウエハステージを移動させて、面位置センサ７２_ｋ，７４_ｉ，７６_ｊを用いてＹスケール３９Ｙ₃，３９Ｙ₄を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、面位置センサのＸＹ設置位置を計測する。得られた設置位置情報に基づいて、面位置センサを用いて、ウエハステージのＸＹ平面（移動面）に対する垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、ウエハステージを安定かつ高精度に駆動する。 （もっと読む）

【課題】カメラに取り付けられた画像センサのチルトを求めるための、改善された方法を提供する。
【解決手段】カメラ１２における画像センサ１０表面の、カメラ１２のレンズ基準面２６に対するチルトを求めるための方法であり、画像センサ１０に光を送るステップと、画像センサ１０から反射した光を受けるステップと、反射光における干渉パターンを特定するステップと、干渉パターンの特徴を特定するステップと、干渉パターンにおいて特定された特徴の位置に基づいて画像センサ１０表面のチルトを求めるステップとを含む。 （もっと読む）