【課題】装置を大型化することなく、安定して像担持体のホームポジションを検出可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】最表面薄膜層３ｂが、厚みが比較的厚い厚膜領域３１および厚みが比較的薄い薄膜領域３２を有し、厚膜領域の厚みｄ_１（ｎｍ）および薄膜領域の厚みｄ_２（ｎｍ）が関係式；５０ｎｍ≦ｄ_１−ｄ_２≦９５０ｎｍ；２０ｎｍ≦ｄ_２＜ｄ_１≦１０００ｎｍ；を満たす像担持体３、および光センサ２０を備えた画像形成装置であって、像担持体のｄ_１およびｄ_２が、発光センサからの光に対する像担持体外周面の反射率Ｒと像担持体の最表面薄膜層の厚みｄ（ｎｍ）との関係を表す反射率関数Ｒ（ｄ）について、関係式；｜Ｒ（ｄ_１）−Ｒ（ｄ_２）｜≧０．５×｛Ｒ_ｍａｘ（ｄ）−Ｒ_ｍｉｎ（ｄ）｝をさらに満たす画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】大型化したウエハの搬送を容易にする。
【解決手段】 露光装置は、ＸＹ平面に沿って移動可能であるとともに、互いに接近及び離間が可能な第１部分と第２部分とを含む粗動ステージＷＣＳ１と、ウエハＷを保持するとともに、粗動ステージＷＣＳ１によって少なくともＸＹ平面内で相対移動可能に支持される微動ステージＷＦＳ１と、粗動ステージＷＣＳ１に支持されている微動ステージＷＦＳ１を単独で若しくは粗動ステージＷＣＳ１と一体で駆動する駆動系と、を備える。また、露光装置は、粗動ステージＷＣＳ１との間で、微動ステージＷＦＳ１の受け渡しが可能なリレーステージＤＲＳＴを備えている。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材７１の変動を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。この場合、駆動系は、第１計測系の計測結果に含まれるアーム部材の変動に起因する計測誤差を、第２計測系の計測結果を用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】 粗微動ステージにおいて、微動ステージの位置を高精度に計測する。
【解決手段】 粗動ステージＷＣＳに保持された微動ステージＷＦＳのＸＹ平面内での位置情報の計測には、微動ステージのＸＹ平面に実質的に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対向して配置され、該グレーティングに計測ビームを照射するヘッドを含むエンコーダシステムが用いられる。そして、微動ステージは、駆動系によって、エンコーダシステムで計測された位置情報に基づいて、単独で、若しくは粗動ステージと一体で駆動される。この場合、エンコーダシステムのヘッドを微動ステージ（グレーティング）に近接して配置することができ、これにより、エンコーダシステムによる微動ステージの位置情報の高精度な計測が可能になる。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を高精度で計測する。
【解決手段】 露光ステーション２００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ１の位置情報は、計測アーム７１Ａを含む第１の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション３００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ２の位置情報は、計測アーム７１Ｂを含む第２の微動ステージ位置計測系により計測される。露光装置１００は、ステージＷＦＳ２が計測ステーション３００から露光ステーション２００へ搬送される際、このステージＷＦＳ２の位置情報を計測可能な第３の微動ステージ計測系を有する。第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 （もっと読む）

【課題】光弾性計測法を用いて、例えば、チェーンのリンクプレートなどのような組立体の構成部品の歪み、形状、内部応力及び外観などを精度良く検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】透明又は半透明な被検知体Ｍと被検知体Ｍに対して検査光を照射する光源と検査光の進行方向上であって光源と被検知体Ｍとの間に配置された第１偏光手段１１０と被検知体Ｍに対して第１偏光手段１１０と反対方向の検査光の進行方向上に配置された第２偏光手段１２０とを有し、検査光が第１偏光手段１１０及び第２偏光手段１２０を通ることによって生じる干渉模様を撮像する撮像手段１４０とを有し、光源が積層式の有機ＥＬ照明板１３０であることによって前記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】測定光の伝送経路上のノイズ源から生じたノイズ成分を除去する。
【解決手段】所定の測定面における測定光の分布データから、測定光の伝送経路に存在するノイズ源によるノイズ成分を除去するノイズ除去装置であって、測定面における測定光の分布データを、ノイズ源に対応する面まで伝播計算した分布データを算出する第１伝播計算部と、第１伝播計算部が算出した分布データにおいて、ノイズ源によるノイズ成分を除去した分布データを算出するノイズ除去部と、ノイズ除去部が算出した分布データを、測定面まで伝播計算した分布データを算出する第２伝播計算部とを備えるノイズ除去装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】第１の光源から光を受けたときに輪郭干渉縞投影パターンを有し、第２の光源から光を受けたときに実質的に一様な照明場を有する照明光線を形成する照明場発生器を有する口腔内撮像装置を提供する。
【解決手段】照明光線の経路内の偏光子１４は、第１の偏光透過軸を有する。投影レンズ１６は、偏光された照明光線を歯表面に向け、結像レンズ２２は、歯表面からの光の少なくとも一部を検出経路に沿わせる。検出経路に沿って配置された偏光選択的要素は、第２の偏光透過軸を有する。少なくとも１つの検出器３０は、偏光選択的要素を通じて供給される光から画像データを取得する。制御論理プロセッサ３４は、第１の光源と第２の光源とに順次、電力を交互に供給し、輪郭干渉縞投影データおよびカラー画像データの両方を取得するためのプログラムされた命令に応答する。 （もっと読む）

【課題】スループットの更なる向上。
【解決手段】露光ステーション２００において、粗動ステージＷＣＳ１に支持された微動ステージＷＦＳ１に保持されたウエハＷに対する露光処理が行われる間に、計測ステーション３００において、粗動ステージＷＣＳ２に支持された微動ステージＷＦＳ２に保持されたウエハＷに対する計測処理と、センターテーブル１３０上の微動ステージＷＦＳ３に保持されたウエハＷの交換とが少なくとも一部並行して行われる。このため、１つのウエハステージ上のウエハに対する露光処理と、別のウエハステージ上でのウエハ交換、アライメントなどの処理と、を並行して行う従来の露光装置に比べても、より高スループットな露光が可能になる。 （もっと読む）

【課題】目標形状からの光学面のずれを測定する方法および装置において、精度を改善した方法および装置を提供する。
【解決手段】波長λを有する電磁光線の入射ビームを光学試験面に向け、光学試験面と相互作用した測定ビームを生成し、参照ビームに測定ビームを重畳して干渉計を用いた測定を行い、参照ビームからの測定ビームの波面ずれを決定し、この測定に基づいて決定した波面ずれにおける追跡エラーを除去して波面ずれを補正する。波面ずれを最小化するように光学試験面と干渉計の光学構成部材とを最適に整列した状態で測定を行った場合に１０×λより大きい波面ずれが得られるように光学試験面を構成し、測定中に測定ビームによって干渉計に蓄積された収差と、最適の整列状態で得られる波面ずれがλより小さくなるように光学試験面を構成した場合に測定ビームによって蓄積されたであろう仮想収差とが異なるようにし、蓄積された収差の差によって波面ずれに追跡エラーを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】ダブルパルスを用いた光ファイバ歪み測定装置に特有の非干渉成分に起因する測定誤差を軽減でき、測定精度を改善できる光ファイバ歪み測定装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ中におけるブリルアン散乱光を利用し、ダブルパルスによる周期スペクトルに基づきピーク周波数を検出する光ファイバ歪み測定装置において、ピーク周波数検出手段の前段に、前記ダブルパルスの前方パルスと後方パルスで生じる非干渉の散乱信号を除去する非干渉成分除去手段を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】平面状の大型被検面の形状および平行平板状の被検体の２つの被検面の形状を短時間で高精度に測定できるようにする。
【解決手段】被検面８０を回転軸Ｒ回りに回転可能に構成するとともに、干渉計本体部１を被検面８０に対し移動可能に構成し、回転する被検面８０上を被観察領域が移動するようにする。被観察領域が前記被検面内を移動する間に、干渉光を１次元イメージセンサにより順次取り込み、該干渉光により形成される直帯状の観察位置別干渉縞を順次撮像し、撮像された各々の前記観察位置別干渉縞に基づき、被検面８０の形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得する。
【解決手段】均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。次に、反射波面と、反射波面のレプリカとの間の位相シフトを調整し、別の干渉模様を取得する。干渉模様を処理し、被計測表面１３０の照射場所の全域で、表面傾斜に関する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】基板上のマークの位置をより短い時間で検出し、基板へのパターンの転写のために要する時間を削減する。
【解決手段】原版のパターンを基板の複数のショット領域に順に転写する。各ショット領域は、チップ領域１０２ａとそれを取り囲むスクライブライン領域Ｓ１とを含む。露光装置は、走査方向に駆動されている基板における隣接する第１スクライブライン領域Ｓ１、第２スクライブライン領域Ｓ２を同時に観察し、前記第１スクライブライン領域、前記第２スクライブライン領域にそれぞれ配置されている第１マーク１０４ａ、第２マーク１０４ｂからの光を検出する検出器と、前記検出器から出力される検出信号を処理して前記第１マーク、前記第２マークの位置を決定する処理部とを備える。前記基板は、前記第１マークおよび前記第２マークの位置に基づいて位置決めされ、露光される。 （もっと読む）

【課題】入射面のゴミの影響を受け難く、基準球の表面の傷に対してロバストであり、基準球の局所的な真球誤差の影響を受け難くする。
【解決手段】固定位置に配設された透明な基準球６１４と、移動体に配設された再帰逆反射体（６２０）と、基準球の中心を中心として回動するように設計されたキャリッジ６３０と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体と基準球の間でレーザビーム（６４２）を往復させる光学系を含み、再帰逆反射体と基準球の間の距離を干渉測長する測長手段（６４０）と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体の入射光と反射光の光軸のずれ量に応じた信号を出力する追尾用位置検出手段６６０と、光軸のずれ量がゼロとなるようにキャリッジの回動を制御する制御部６７０とを備えた追尾式レーザ干渉測長計において、基準球に入射されるレーザビームが、基準球の中心Ｏに焦点を結び、入射側と反対の内側球面で反射されるようにする。 （もっと読む）

本発明は車両の動きを分析するレーザダイオードを用いたマルチビームレーザスポット画像処理システムに関連する。レーザダイオード(好ましくはVCSEL)を用いた画像処理システムは、車両の運動を分析するために使用される。1つ以上のレーザビームが路面に向けられている。CCDやCMOSカメラのような画像処理マトリクスセンサを含む小型画像処理システムは、個々のレーザスポットの位置又は距離を測定する。車両の積載状況、車両のピッチ及びロール角は、レーザスポットの位置や距離の変化を分析することで判明する。
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【課題】スケールの位置が基準位置からずれている場合であっても、被測定体（例えば、ステージ）の位置を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】いずれか一方が被測定体に設けられるスケール及びセンサを備え、前記スケールを前記センサで読み取ることで前記被測定体の位置を測定する測定装置であって、基準位置からの前記スケールのずれ量を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記基準位置からの前記スケールのずれ量に基づいて、前記スケールを前記センサで読み取ることで測定された前記被測定体の位置を補正する演算部と、を有することを特徴とする測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】溶剤の蒸散や固形成分の濃度にかかわらず、液滴吐出装置からの液滴吐出量を高い精度で計測することのできる液滴吐出量測定方法、および当該液滴吐出量測定方法を利用した有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】固形成分および溶媒を含む機能液を導入したインクジェット方式の液滴吐出装置２により吐出した機能液の液滴Ｍの量を測定するにあたって、検査面１１上に機能液の液滴Ｍを吐出着弾させた後、液滴Ｍから溶剤を蒸散させて固形ドットＤとする。その際、液滴Ｍからの溶剤の蒸散に伴って液滴Ｍを堆積収縮させて液滴Ｍの着弾面積よりも固形ドットＤの面積を狭くする。しかる後に、固形ドットＤを画像認識して固形ドットＤの体積を測定する。 （もっと読む）

【課題】外乱（例えば温度変化や振動）が測定精度に与える影響を抑制でき、測定レンジに依存しない高精度の測定が可能な低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明に係る低コヒーレンス干渉計１は、測定対象２の三次元形状又は膜厚測定に供される低コヒーレンス干渉計であって、白色光を射出する光源１１と、白色光を測定対象に集光させ光軸方向に移動可能な対物レンズ１４と、白色光を測定対象２に照射する物体光３と参照鏡１７に照射する参照光４とに分波し、測定対象で反射された物体光３と参照鏡１７で反射された参照光４を合波して白色干渉光を出力させる光分波合波器１６と、光分波合波器１６から出力された白色干渉光を検出する白色光検出器２０と、対物レンズの光軸方向の移動量を測定するための移動量測定器３０を備え、移動量測定器はレーザ光を射出するレーザ光源３１と光軸上に形成されレーザ光を反射する反射膜３２を有する。 （もっと読む）

【課題】 投光部および受光部が近接し、かつ、これらの前側にカバーガラスが設けられている構成の光学式膜厚測定装置において、カバーガラスに起因する迷光の影響を有効に抑制し、測定精度を向上させる。
【解決手段】 投光部１２１ａの投光面１２２ａおよび受光部１２１ｂの受光面１２２ｂ同士の間隔をｄと定義し、投光面１２２ａおよび受光面１２２ｂとカバーガラス１４との間隔をＬと定義し、投光部１２１ａの開口数をＮＡ₁ 、受光部１２１ｂの開口数をＮＡ₂ と定義すれば、カバーガラス１４は、０＜Ｌ＜ｄ／（tanθ₁ ＋tanθ₂ ）を満たす位置に設けられる。但し、θ₁ ＝sin^-1 (ＮＡ₁ )であり、θ₂ ＝sin^-1 (ＮＡ₂ )であり、θ₁ およびθ₂ はいずれも９０°未満である。 （もっと読む）