【課題】被加工物の上面位置を計測する高さ位置計測装置およびレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導き、反射光を第２の経路に導く光分岐手段と、第１の経路に導かれた光を平行光に形成するコリメーションレンズによって平行光に形成された光を被加工物に導く対物レンズと、コリメーションレンズと対物レンズとの間に配設され、対物レンズ側の端面に反射ミラーが形成され、光路長を伸ばす透明体からなる円筒状の基準光路長設定部材と、反射ミラーによって反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光と、被加工物で反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光との干渉を回折する回折格子と、回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーからの検出信号に基づいてチャックテーブルの表面から被加工物の上面までの距離を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】転写条件の調整を高精度に行うことができるとともに高スループット化を可能とすること。
【解決手段】基板に第一パターン、第二パターン及び第三パターンを重ねて転写する露光方法であって、基板に第一パターンを所定の転写条件で転写する第一転写ステップと、転写された第一パターンのパターン情報を計測する第一計測ステップと、第一パターンのパターン情報に関する第一計測結果に基づいて転写条件を調整する第一調整ステップと、調整された転写条件で基板に第二パターンを転写する第二転写ステップと、転写された第二パターンのパターン情報を計測する第一計測ステップと、第二パターンのパターン情報に関する第二計測結果と、第一計測結果とに基づいて転写条件を調整する第二調整ステップと、調整された転写条件で基板に第三パターンを転写する第三転写ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 大変形を高精度かつ動的に計測可能な計測装置及び計測方法を提案する。
【解決手段】 スペックル干渉を用いた変形計測において、２光束のうち一方の光束が非コリメート光となる光路と平行平面状の透明物体を利用し、キャリア縞を形成することが可能となる。具体的には、非コリメート光となる光路上に上記透明物体を設置、または光路上からの除去、もしくは光路上に設置した透明物体の屈折率、厚み、光軸に対する傾斜角を変更する。上記処理とスペックル干渉パターンの取得を繰り返し行うことにより、変形に応じた縞画像からの位相解析を行うことができ、大変形を高精度かつ動的に計測できる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなユニット内に組み込むことができ、複数の自由度の位置測定値を提供できる位置センサを提供する。
【解決手段】位置センサは、ターゲットの位置データを測定するように構成される。位置センサは、放射ビームを照射するように構成された放射源と、放射ビームを第１の回折方向に少なくとも１つの１次放射ビームに回折するように構成された第１の格子と、１次回折ビームの光路内に配置され、第１の格子で回折された１次回折ビームを、第１の回折方向に実質的に垂直な第２の回折方向に回折するように構成された第２の格子とを含む。第２の格子はターゲットに接続される。第１の検出器は、第１の格子によって回折されたビームの少なくとも一部を検出するように構成され、少なくとも１つの第２の検出器は第１の格子と第２の格子によって回折されたビームの少なくとも一部を検出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】油田における坑井ボアの内部寸法を計測するための装置において、過酷な環境（高温または高圧）でも、使用に耐えられるものを提供する。
【解決手段】坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するための検層システムＬＳは、坑井ボアＷＢの内部に配置されるようになされた検層工具１を備える。検層工具１はセントラライザー５を含み、全体として、検層工具１および下ノーズ５’に連結された複数の機械式アーム６、７等を含む。機械式アーム６、７等は、坑井ボア壁ＷＢＷと接触し、検層工具１が正しく位置決めされるように、半径方向に展開するとともに、坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するために使用される光学式センサのカリパーアームを形成する。また、検層工具１は、光ファイバライン２に連結されており、適合した地表ユニット（例えば、車輛３および対応するシステム４）によって坑井ボアＷＢの内部へ展開される。 （もっと読む）

【課題】 調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】 光源から射出された光を２つの光束に分割し該２つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動を観測することによって被検物の変位を計測する干渉計測装置は、複数の部分領域を有する受光領域を備え、前記複数の部分領域のそれぞれで前記干渉光を受光する受光部と、前記複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて、前記受光領域における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学素子の被検面の加工誤差を定量的に評価するのに好適な光学素子形状評価方法を提供すること。
【解決手段】光学素子形状評価方法を、理想面に対する被検面の偏差形状を多項式近似する多項式近似ステップと、多項式近似の結果から偏差形状の回転対称イレギュラリティ成分を切り出して評価形状を計算する評価形状計算ステップと、評価形状の瞳中心を含む領域が平面状に変形するように該評価形状に球面成分又２次成分を付与する成分付与ステップと、球面成分又２次成分が付与された評価形状に基づいて被検面の加工誤差を計算する加工誤差計算ステップとを有する方法とした。 （もっと読む）

【課題】回転対称な非球面からなる被検面の形状を、干渉計と被検面との相対位置を変えることなく測定可能な回転対称非球面形状測定装置を得る。
【解決手段】白色光源１１からの低可干渉光からなる測定光を、回折光学素子３２を有する光偏向素子３０を介して被検面７１に照射する。また、被検面７１から再帰反射された被検光と参照光の光路長差が低干渉光の可干渉距離以下となるように迂回路部１３における迂回距離の調整がなされる。被検光と参照光との干渉光は、回折格子板の傾斜角度と干渉光の波長とが所定の関係を満たす場合のみ撮像カメラ２８内に入射し、撮像素子２９上に干渉縞画像が形成される。干渉光の波長別に撮像された各干渉縞画像および該各干渉縞画像の撮像時点における、参照基準面３１ａから被検面７１までの測定光の光路上における光学距離に基づき、被検面７１の形状が測定解析される。 （もっと読む）

【課題】シート状の被検体の厚みおよび厚みムラの測定において、厚み測定の精度を向上させることが可能な被検体測定装置を得る。
【解決手段】低可干渉光源１１から出力された低可干渉光を迂回路部２において２光束に分岐し、一方の光束が他方の光束よりも光路長が長くなるように該２光束を別々の経路を進行させた後に１光束に再合波して被検体９０に照射する。被検体９０を透過した光束のうち、該被検体９０での内部反射の回数が２回だけ異なる光束同士が干渉するように迂回路部２における２光束の光路長差を調整し、撮像素子４３上に結像された干渉縞を撮像する。撮像された干渉縞のコントラストと、迂回路部２における２光束の光路長差との対応関係に基づき、被検体９０の厚みを算出するとともに、撮像された干渉縞を解析して被検体９０の厚みムラを求める。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる高さ位置計測装置を提供する。
【解決手段】高さ位置計測装置は、発光源からの光を第１の偏波保持ファイバーと第２の偏波保持ファイバーに導く光分岐手段と、光照射光路に導かれた光を平行光に形成する第１のコリメーションレンズと、平行光に形成された光を偏光する１／４波長板と、対物レンズと、第１の反射光と第２の反射光とを平行光に形成する第２のコリメーションレンズと、第１の反射光と第２の反射光との光路長を調整する光路長調整手段と、第１の反射光と第２の反射光との干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した第１の反射光と第２の反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号に基づいて分光干渉波形を求め分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】非測定対象膜との屈折率の差が小さい基板上に形成された被測定対象膜の膜厚を高精度に測定する。
【解決手段】被測定対象膜である保護膜１６の表面に４５度以上の入射角度を有してパルス光４１を照射する光源４２と、表面から反射した表面反射光と誘電体層１５と保護膜１６との界面から反射した界面反射光とによって形成された干渉光を分光する分光器４４と、パルス光４１の位相と周期の情報に基づいて光源４２からの信号と外乱光によるノイズとを分離する分離器４７と、分光器４４で分光された光を検知する光検出器４６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】目標とする非球面波をより正確に発生する非球面波発生光学系。
【解決手段】非球面波を発生するための非球面波発生光学系は、第１非球面を有する第１アルバレツレンズと、第２非球面を有する第２アルバレツレンズと、前記第１アルバレツレンズと前記第２アルバレツレンズとの間に配置されたリレー光学系とを備え、前記第１非球面および前記第２非球面が前記リレー光学系に関して互いに共役な位置に配置され、前記非球面波発生光学系の光軸をｚ軸とするｘｙｚ座標系において、前記第１非球面の形状をｚ＝ｆ１（ｘ、ｙ）、前記第２非球面の形状をｚ＝ｆ２（ｘ、ｙ）とし、前記リレー光学系の倍率をβ、定数をＣとしたときに、前記第１非球面および前記第２非球面が、ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ１（βｘ，βｙ）＋Ｃを満たすことができる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】 被検面の形状や被検光学系の透過波面を簡便かつ迅速に計測する。
【解決手段】 被検面の形状又は被検光学系の透過波面を計測する計測装置であって、光源から出射された光を参照光と被検光とに分割する分割部と、前記被検光を回折することにより分割し、当該分割された被検光を前記被検面又は前記被検光学系の瞳の複数の領域へそれぞれ出射する回折光学素子と、前記参照光と前記被検面又は前記被検光学系の反射面で反射され前記回折光学素子で再度回折された前記被検光とによって生じた互いに部分的に重なり合う複数の干渉縞を検出する検出器と、前記検出器によって検出された互いに部分的に重なり合った複数の干渉縞から、前記複数の干渉縞それぞれの情報を分離して取得し、前記取得されたそれぞれの情報から前記複数の領域それぞれにおける面形状又は透過波面を算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波を用いて、従来全く不可能であった１〜１０μｍの皮膚角層の厚さを、簡便且つ高精度に計測する技術を提供する。
【解決手段】皮膚角層の厚さを計測する技術であって、テラヘルツ波を用いた透過反射法において、ミラーとシリコンとで検体である皮膚角層を挟むことによって生じる干渉現象を利用する、又は、テラヘルツ波を用いたメタルメッシュ法を利用する、皮膚角層の厚さを簡便且つ精度良く計測する技術に関する。 （もっと読む）

【課題】高い空間分解能を維持しつつ、歪み又は温度を高感度且つ高精度に計測することができる分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、光ファイバ１０と、レイリー散乱現象を利用して光ファイバ１０の歪み又は温度に基づくレイリー周波数シフト量Δνｒを計測するレイリー計測手段１１と、レイリー周波数シフト量Δνｒから光ファイバ１０の歪み又は温度を算出する算出手段とを備え、レイリー計測手段１１は、スペクトル拡散方式を用いた光パルスを生成してこの光パルスを光ファイバ１０内に入射させる光パルス出射手段１３と、光ファイバ１０から射出される光に対してスペクトル拡散方式に対応したパルス圧縮を行う整合フィルタ５５１と、整合フィルタ５５１で圧縮された光に基づいてレイリー散乱現象に係る光を検出する検出手段５６０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可干渉距離を超える奥行きを持つ被測定体の表面形状を迅速に測定できる装置を提供する。
【解決手段】フォトカプラ１３との間の光路長に差を設けられて配置される参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、２５Ｎを有する参照光生成部２０を備える。参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、…２５Ｎは、この順に可干渉距離ΔＺの光路長差を設けて配置されている。走査軸２４を中心に走査ミラー２３を揺動させることで、走査ミラー２３による反射光を参照ミラー２５１、２５２、２５３、２５４、…２５Ｎに順に照射することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ走査干渉を用いて円筒面の形状を簡単に、かつ、短時間で測定することができ、同時に円筒面の表面画像を得ることのできる、円筒面の形状計測方法を提供する。
【解決手段】テレセントリックｆθレンズ８の焦点面近傍に近接配置した参照平面９ａ及び被観察円筒面10ａからの反射光を前記テレセントリックｆθレンズ８により平行光束に変換し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックｆθレンズ８の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12ａを通過させ、ピンホール12ａを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。レーザ光源１からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、走査光を被観察円筒面10ａの母線に沿って走査させ、かつ、被観察円筒面10ａを有する被測定物10をその円筒軸10ｂを中心に回転させながら計測する。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の部材やプラスチック製の部材の品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要があるが、従来の測定方法では、破壊検査であったり、有毒物を使用したり、平面でしか測れないといった課題がある。
【解決手段】光センサで得られた干渉信号に基づいて、被検物なしの基準反射面と、被検物の表面と、被検物の裏面と、被検物を透過後の基準反射面および被検物の手前で集光し平行光で反射する基準反射面の少なくとも一方との、それぞれの距離を測定し、これらの測定距離に基づいて被検物の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）