【課題】 母材が露出する領域が少ない場合でも、フィッティング領域を広く設定することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 曲面形状を有する第１板材と曲面形状を有する第２板材とを溶接した構造体の溶接ビードの検査装置であって、溶接ビードに交差する断面における構造体の表面形状を測定した測定形状７０を記述する測定形状データの入力を受ける入力手段と、前記断面における第１板材の溶接前の表面形状の基準形状を記述する第１板材基準形状データ７４を記憶する記憶手段と、測定形状７０の傾斜角度分布と第１板材の基準形状７４の傾斜角度分布に基づいて、測定形状７０の中から、第１板材の表面形状に相当する第１板材領域８０を特定する第１板材領域特定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の悪化を防止し、測定対象を正確に拘束し固定することなく簡易に測定できると共に、部品交換に要する工数等の低減を図ることができる円形状機械部品の測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】 円形状機械部品Ｗにおける円形状部分を成す円の弦となる箇所の幅寸法を測定可能なレーザ変位計２を用い、支持された円形状機械部品Ｗの形状測定対象に対してレーザ変位計２を対向させて、このレーザ変位計２に、それぞれ前記弦となる任意の２箇所以上の箇所の幅寸法を測定させる。演算手段４は、レーザ変位計２で測定された前記任意の２箇所以上の各箇所の幅寸法を、直交座標系における各両端２点の座標点に変換し、これら各座標点から算出される近似円から、形状測定対象となる前記円形状部分の直径および中心位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】バンプの高さを保護膜表面の反射の影響を除去した状態で精度よく測定するとともに、高さ測定の処理を高速化することが出来るウェーハバンプの高さ測定装置及び高さ測定方法を提供する。
【解決手段】保護膜の無い部位でＰＳＤ素子からの出力に基づいて算出した高さとエリア撮像カメラからの撮像画像に基づいて算出した高さとが「０」となるようにリセットした後（ＳＣ１）、保護膜表面の高さをエリア撮像素子からの撮像画像に基づいて測定し、バンプの頂点の高さをＰＳＤ素子からの出力に基づいて測定する（ＳＣ２）。バンプの頂点の高さから保護膜表面の高さを減算してバンプ高さｈを演算し（ＳＣ３）、メインルーチンへ戻る。 （もっと読む）

【課題】比較的大きなサイズの欠陥を高感度で検出できると共に、高さ又は深さの変化量が１ｎｍ又はそれ以下の微細な欠陥も検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】照明光源１からの照明ビームを被検査基板２１に向けて投射する対物レンズ２０と、入射した照明ビームを、互いに干渉性を有する第１及び第２のサブビームに変換すると共に、基板の表面で反射したサブビーム同士を合成し、基板表面の高さ又は深さと関連する位相差情報を含む干渉ビームを出射させる微分干渉光学系１６と、出射した干渉ビームを受光する光検出手段２８と有する。微分干渉光学系のリターデーション量は、ｍを零又は正の整数とした場合に、第１と第２のサブビームとの間に（２ｍ＋１）π又はその近傍の位相差が形成されるように設定し、前記光検出手段から出力される出力信号のバックグランドの輝度レベルがほぼ零となる検査状態において基板表面を照明ビームにより走査する。 （もっと読む）

【課題】表面疵検査の広範囲化、高速化に対応して安定した光切断凹凸疵検出ができる、スリット光輝度分布設計方法および光切断凹凸疵検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】測定対象にスリット光を照射し、その反射光をスリット光源とは異なる角度から撮像し、撮像画像に基いて凹凸疵を検出する光切断凹凸疵検出方法における、スリット光輝度分布設計方法であって、輝度分布が既知であるスリット光源Ａを用いた測定対象の撮像装置方向への平均反射率を測定する平均反射率測定工程と、測定された平均反射率に基いて、前記反射光が一様な輝度として撮像されるためのスリット光源の最適輝度分布を算出するスリット光輝度分布算出工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定の省力化及びシステム構成の最小化が可能となる浸せき試験用自動測定システムを提供する。
【解決手段】浸せき試験用自動測定システム１は、ゴム試験片Ｐを自動移送する移送部２と、移送部２によってゴム試験片Ｐが供給され当該ゴム試験片Ｐの長さを測定する長さ測定部３と、長さ測定部３による測定後にて移送部２によってゴム試験片Ｐが供給され当該ゴム試験片Ｐの気中重量及び水中重量を測定することによりゴム試験片Ｐの質量及び体積を測定する質量体積測定部５と、移送部２、長さ測定部３及び質量体積測定部５の動作を制御すると共に長さ測定部３及び質量体積測定部５で測定した測定値のそれぞれを取り込んで外部出力するコントローラ２０と、を備えている。また、長さ測定部３は、移送部２によるゴム試験片Ｐの移送中にゴム試験片Ｐの長さを測定する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に形成されたチップ内の直接周辺回路部の近辺に存在する致命欠陥を高感度に検出することができる欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置において、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから領域毎に複数の異なる欠陥判定を行い，結果を統合して欠陥候補を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】製造した磁気ディスク用基板の全てについて、歩留まりを悪化させることなく高精度で内径測定を行うことができる円板状基板内径測定装置、円板状基板内径測定方法及び円板状基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】レーザ変位計（測定装置）１００は、ラインレーザ１１２を円板状基板２００の主表面に照射するラインレーザ光源１１０と、円板状基板２００を支持する基板ホルダ１３０と、ラインレーザ１１２が円板状基板２００の円孔２１０を通過するように基板ホルダ１３０を昇降させる昇降部１４０と、基板ホルダ１３０の昇降中、円板状基板２００を反射又は通過したラインレーザ１１２を受光し、該光量分布を取得するレーザセンサ１２０と、レーザセンサ１２０が取得した光量分布から円孔２１０の内径を測定する内径測定部１５０とを具備し、基板ホルダ１３０は、測定時の基板姿勢が、地面に対し鉛直から所定の角度の範囲に入るように円板状基板２００を支持する。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光源を用いて線状パターンの投影を行いつつ、投影面でのスペックルの発生を抑制する
【解決手段】レーザビームＬ５０を、光ビーム走査装置６０によって反射させ、ホログラム記録媒体４５に照射する。ホログラム記録媒体４５には、走査基点Ｂに収束する参照光を用いて線状散乱体の像３５がホログラムとして記録されている。光ビーム走査装置６０は、レーザビームＬ５０を走査基点Ｂで屈曲させてホログラム記録媒体４５に照射する。このとき、レーザビームの屈曲態様を時間的に変化させ、屈曲されたレーザビームＬ６０のホログラム記録媒体４５に対する照射位置を時間的に変化させる。ホログラム記録媒体４５からの回折光Ｌ４５は、ステージ２１０の受光面Ｒ上に線状散乱体の再生像３５を生成する。受光面Ｒに物体を載置すると、ホログラム再生光により線状パターンが投影されるので、その投影像を撮影して物体の三次元形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、対象物体の３次元形状データに基づいてその特徴的な部位を正確に設定できる３次元形状の骨格モデルの作成方法及び装置並びに骨格モデルを用いた３次元形状の寸法測定方法及び装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】骨格モデル作成装置の制御部１は、対象物体表面の３次元形状データを取得するデータ取得部１０、取得した３次元形状データを主成分分析により主軸を算出して予め設定された座標軸方向に主軸が一致するように座標変換処理を行う正規化処理部１１、正規化処理された３次元形状データを用いて対象物体を複数の異なる方向からみた輪郭に対応した輪郭形状データを抽出する輪郭抽出部１２、抽出した各輪郭形状データに対して中心軸変換処理を行って点集合で表現した中心軸データを抽出する中心軸抽出部１３、抽出した複数の中心軸データを特徴点で関連付けた骨格モデルデータを作成する骨格作成部１４を備えている。 （もっと読む）

【課題】表面に何ら特徴のない物体についても高速に非接触で三次元形状計測を可能にする非接触三次元計測装置及び非接触三次元計測方法を提供する。
【解決手段】非接触三次元計測装置は、互いに距離をおいて配置され、被計測物を撮影する第１及び第２のカメラと、被計測物にラインレーザを照射するラインレーザとを備え、第１及び第２の画像２０、３０で、ラインレーザが撮影された部分を含む矩形領域を第１対象領域２６及び第２対象領域３６として選択し、ラインレーザが撮影された部分を第１線分データ２２及び第２線分データ３２として抽出し、第１線分データ２２の中の一つの点を特徴点２４として選択し、選択した特徴点２４に対応するエピポーラ線を第２対象領域３６内に計算して、第２線分データ３２とエピポーラ線との交点を、特徴点２４と対応する対応点３４として決定し、被計測物上の該当点の三次元座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】車両ホイールへのタイヤの着座具合を点検する方法及び装置を提供する。
【解決手段】車両ホイール（１）のリム（２）に取り付けられたチューブレスタイヤ（３）の着座具合を点検するため、車両ホイール（１）のリム（２）を回転マウントの中心に締結した状態で車両ホイールを少なくとも１回転、その回転軸線回りに回転させる。ホイールの回転中、リム（２）の半径方向外縁領域及びタイヤ（３）の隣接領域の外側輪郭を距離測定装置によって走査し、リム（２）とタイヤ（３）との軸方向距離の差を検出して評価する。 （もっと読む）

【課題】良否判定の判定基準を自動設定し検査の効率を高めながら、判定の精度を確保することできる形状検査装置及び形状方法を提供する。
【解決手段】被検査物２０の形状を検査する形状検査装置１０であって、被検査物２０の検査結果を蓄積する蓄積手段と、判定基準に基いて、被検査物２０の良否を判定する判定手段と、判定基準を設定する判定基準設定手段とを備えており、判定基準は、あらかじめ入力された算出手順と蓄積手段に蓄積された被検査物２０の検査結果とに基いて、判定基準設定手段により自動設定される。 （もっと読む）

【課題】一度のスリット光の走査により、任意の断面線における断面形状を検査することができる形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】撮像光学系１２を用いて被検査物２０の形状を検査する形状検査装置１０であって、被検査物２０にスリット光を投射する投射手段１３と、スリット光の走査により被検査物２０上に順次形成される形状線を撮像する撮像手段１４と、順次形成された各形状線の撮像データに基いて、被検査物２０の三次元形状を点群データとして取得する点群データ取得手段と、点群データに基いて表示された被検査物に、入力に応じて切断線を設定する切断線設定手段と、切断線に対応した点群データにより、切断線における被検査物２０の断面形状を算出する断面形状算出手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】回転中の工具と被加工物間の間隙を直接測定する手法を確立する。
【解決手段】回転工具とそれに対向配置した被加工物との間の間隙を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、発生レーザ光の光軸を被加工平面に対して傾斜させて間隙に照射する。パルス化レーザ光は、回転工具の１回転又は整数回転当たり１パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に回転工具の同一角度範囲に照射する。間隙に照射されて該間隙により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出して、間隙長さを測定する。 （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】
計測対象物体の位置及び姿勢に関する複数の計測手法の中からいずれかを選択して実施する。
【解決手段】
位置姿勢計測装置は、撮像装置により撮像された計測対象物体の二次元画像を入力し、距離センサにより計測された計測対象物体の距離データを取得し、二次元画像から計測対象物体の画像特徴を検出し、計測対象物体の状態を判定し、当該判定した状態に基づいて、画像特徴と距離データとを用いて計測を行なう第１のモードと、画像特徴と距離データとのうち一方のみを用いて計測を行なう第２のモードとを含むモードの中からいずれかのモードを設定し、当該設定したモードに従って計測対象物体の位置及び姿勢の計測を行なう。 （もっと読む）

【課題】 安定的に検査領域を特定することが可能な画像処理装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 濃淡画像を取得する濃淡画像取得手段１１０と、距離画像を生成する距離画像生成手段１３０と、濃淡画像と距離画像の一方の画像において、他方の画像上で検査範囲に相当する検査領域を特定するための特定パターンを検出する特定パターン検出手段１５０と、濃淡画像と距離画像の他方の画像において、特定パターン検出手段により検出された特定パターンの位置及び傾斜角度の少なくとも一方に基づいて、検査領域を特定する検査領域特定手段１７０と、特定された検査領域から特徴量を算出する特徴量算出手段１８０と、算出された特徴量に基づいて、ワークの良否を判定する判定手段１９０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】表面の凹凸、輪郭線近傍の欠陥等の存在を高い精度で検出することができ、良品判定を確実に行うことができる画像処理装置、画像処理方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像手段で撮像された、良品に関する複数の第一の多値画像を取得し、取得した第一の多値画像の画素ごとに、撮像手段からの距離を濃淡値に変換した第一の距離画像を生成する。生成した第一の距離画像の画素ごとの濃淡値の、良品判定を行うための分布範囲を算出する。判定対象物に関する第二の多値画像を取得し、取得した第二の多値画像の画素ごとに、撮像手段からの距離を濃淡値に変換した第二の距離画像を生成する。生成した第二の距離画像の画素ごとの濃淡値が対応する分布範囲に含まれているか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】歪検出を簡易かつ高精度に行なうことができる。
【解決手段】検査面１ａに対し帯パターンが並行する所定の図形を照明パネル２Ａ，２Ｂによって所定角度で投影するステップと、投影された上記図形の画像をＣＣＤカメラ３Ａ，３Ｂにより検査画像として得るステップと、上記図形を上記所定角度と同一角度で平坦面に投影して得られた基準画像と上記検査画像の差分面積を検出するステップとを備え、差分面積の大きさによって前記検査面の歪の程度を検出する。 （もっと読む）