【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の偏位量を正確に測定する。
【解決手段】トロリ線測定装置は、トロリ線に向けて光を投光し、その反射光を受光することによってトロリ線の外形を測定する。このトロリ線の外形を測定する際に、剛体電車線区間では剛体部やイヤー部からのノイズが多く正確に測定することが困難である。そこで、このトロリ線測定装置は、剛体電車線区間でトロリ線及びその近傍の電車線設備（剛体部及びイヤー部）の画像を撮影し、撮影された画像に基づいて電車線設備の偏位を測定し、その測定結果をトロリ線の外形の測定に反映させるようにした。 （もっと読む）

【課題】全体形状と局所的形状とを両方とも精度良く計測する。
【解決手段】プロジェクタ１は物体Ｍ上に映像を投影する。撮像装置２はプロジェクタ１によって物体Ｍ上に投影された映像を、プロジェクタ１とは異なる角度から撮像する。ステージ３及びステージ駆動装置４は、物体Ｍとプロジェクタ１及び撮像装置２との間の所定方向の相対走査を実行する。記憶部６には、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつ、プロジェクタ１によりＹ軸方向に延びるスリット像を基準となる物体Ｍ上に投影させたときに撮像装置２によって撮像される動画像も記憶されている。制御部９は、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつプロジェクタ１により記憶部６に記憶された動画像を計測対象の物体Ｍ上に投影させるとともに、撮像装置２により物体Ｍ上に投影された動画像を撮像させる。 （もっと読む）

【課題】エネルギ照射装置と２次元撮像装置を用いることで、種々の条件下で頑健に動作する対象物認識システムおよび見守りシステム、監視システムを提供する。
【解決手段】観測対象となる空間に向けて、所定の位置から照射方向を変えながら、エネルギを照射する照射手段と、照射手段で照射されたエネルギの反射エネルギを２次元的に感知し、対象となる空間を２次元的に撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した撮像画像上の切断曲線の特徴を用いて対象物の認識を行う認識手段とを備える対象物認識システムおよび該システムを備える見守りシステム、監視システム。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーにより光ビームを走査することで対象物上に光のパターンを投影する三次元形状計測装置において、投影する光のパターンの環境条件等による変化を補償する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー１４で走査されるスリット光が実効的な走査範囲のＡ端を通るタイミングを光ファイバ２０Ａ及び光検出器３６Ａにより検出する。時間間隔計測部３８は、往復走査されるスリット光がＡ端を通過するタイミング同士の時間間隔を計測する。走査角度判定部４０は、計測された時間間隔に対応する走査角度変化パターンを求め、そのパターンからレーザー駆動信号の位相に対応する走査角度を求める。変調パターン信号生成部４２は、求められた走査角度に対応するレーザー発光強度を投影パターンから求める。レーザー駆動回路３２は、求められたレーザー発光強度に従って、レーザー１０の発光を制御する。 （もっと読む）

【課題】照射部の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制する。
【解決手段】ムラ検査用画像取得装置１１は、基板９が載置されるステージ２、基板９の検査表面９１に向けて照明光を照射する照射部３、検査表面９１にて反射した照明光を受光する撮像部４１を備える。撮像部４１は、ラインセンサ４１１および撮像光学系４１２を備える。ラインセンサ４１１の各受光素子には、ムラ検査に必要な強度の光が入射する。撮像光学系４１２は、物体側において非テレセントリックであり、ラインセンサ４１１の位置と光学的に共役な合焦位置は、検査表面９１から撮像部４１側にずれて位置する。ムラ検査用画像取得装置１１では、照射部３と検査表面９１との間の光軸Ｊ１に沿う方向における距離が１００ｍｍ以上である。これにより、照射部３の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に平坦度を検出可能な平坦度検出装置、および平坦度検出方法を提供する。
【解決手段】平坦度検出装置１は、三次元測定装置２から計測データを取得する計測データ取得手段１４１と、検査対象計測面上の第一計測点を取得する第一計測点取得手段１４３と、第一計測点から検査対象計測面の幾何形状式を算出する第一形状算出手段１４４と、計測データから隣接計測面に属する第二計測点を取得する第二計測点取得手段１４５と、第二計測点から隣接計測面の幾何形状式を算出する第二形状算出手段１４６と、検査対象計測面および隣接計測面の交線または交点を算出する外周縁算出手段１４７と、交線または交点に基づいて補正検査対象計測面の幾何形状式を算出する補正計測面算出手段１４８と、補正検査対象計測面の幾何形状式に基づいて検査対象面の平坦度を検出する平坦度検出手段１４９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】高温の被計測体に発生する酸化スケール等の表面異常を精度良く識別することができる被計測体の表面異常識別装置を提供する。
【解決手段】高温の被計測体５から得られる輻射光を輻射光撮像部１８により、被計測体５が一定角度回転される毎に撮像して得た複数の輻射光画像を合成して、合成輻射光画像を作成する画像合成部１０と、前記合成輻射光画像から所定領域を抽出して、撮像中の被計測体５の温度低下に基づく前記所定領域の画像の輝度変化を補正する第１輝度補正部１２と、前記補正した所定領域の画像から所定暗部を検出し、該所定領域の画像の暗部を前記被計測体の表面異常と判定する異常判定部１４と、を備える被計測体の表面異常識別装置１を用いる。 （もっと読む）

【課題】ショルダ部を含めてタイヤの表面形状を検出することができるようにする。
【解決手段】タイヤ形状検査装置は、タイヤのトレッド部８に対してライン光を照射する第１ライン光照射手段１０と、タイヤのサイドウォール部７に対してライン光を照射する第２ライン光照射手段１２と、タイヤのショルダ部９から当該ショルダ部９を超えた領域までライン光を照射する第３ライン光照射手段１３と、第１ライン光照射手段１０、第２照射手段及び第３ライン光照射手段１３が照射してタイヤ表面で反射したライン光を撮像する撮像手段１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】幅広いシート材種に対してシート材のしわ発生の余裕度を評価し、しわの発生を予防する技術を提供する。
【解決手段】波打ち形状算出手段が、ニップ部におけるシート材の搬送方向と直行する方向の搬送速度分布を記憶手段から読み出して（Ｓ１）、搬送速度分布からシート材の波打ち形状を算出し（Ｓ２）、しわ発生判別手段が、波打ち形状算出手段により算出された波打ち形状に基づいてシート材にしわが発生するか否かを判断する（Ｓ３、Ｓ６、Ｓ７）。 （もっと読む）

【課題】光断面式により形状を測定する形状測定装置の校正を、校正用ターゲットを頻繁に移動させることなく行うことのできる形状測定装置の校正方法、形状測定装置及び校正用ターゲットを提供する。
【解決手段】底面形状及び寸法が既知である柱体の校正用ターゲット２０に、校正用ターゲット２０の底面形状における複数の特徴点に対応し、該底面と平行に配置された複数の発光点を含む少なくとも３組の発光体群２１〜２３を、校正用ターゲット２０の柱体高さ方向の位置が異なり、且つそれぞれの前記特徴点と該特徴点に対応する前記発光点各々とが同一直線上に位置するように並設し、発光体各々及びラインレーザの撮像画像と射影変換で複比が不変であることとに基づいて校正用ターゲット２０の特徴点の位置座標を同定し、装置校正を行う。 （もっと読む）

【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置１が照射部１３からレーザーを照射し、溶接部を複数の２次元座標（直交座標又は極座標）を持った計測点で計測する計測装置１０と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置２０とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法（ＦＥＭ）工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】光切断式形状計測装置および校正用治具を静止させた状態で、撮像手段の内部パラメーターおよび撮像手段とスリット光との相対位置を校正する。
【解決手段】光切断式形状計測装置の校正に用いる校正用治具１において、互いに平行かつ高低差が既知である参照面１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを複数有する校正用治具１本体と、参照面１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄに設けられた参照面内における位置が既知である複数の参照孔２と、複数の参照孔２から光を射出する光源とを備える。 （もっと読む）

【課題】正確に半田の高さを算出することができる三次元形状計測装置を提供することである。
【解決手段】半田塗布前の検査ブロックにおいて、配線パターンの近似面を作成する（Ｓ２２）。また、半田塗布前の検査ブロックにおいて、ランドの近似面を作成する（Ｓ２３）。そして、作成した配線パターンの近似面Ｓｒとランドの近似面Ｓｌとに基づいて、オフセット、すなわち、配線パターンの近似面Ｓｒとランドの近似面Ｓｌとの距離を算出する（Ｓ２４）。そして、算出したオフセットをＲＡＭ等に記録する（Ｓ２５）。そして、半田塗布後に、記憶したオフセットを読み出して、半田の高さを計算する。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置自体の振動や蛇行の影響を受けずに測定対象の形状を正確に測定すること。
【解決手段】高さ方向に関する測定対象の形状を左右同時に測定する測定ステップ（ＳＴＰ１）と、測定対象の右側及び左側の面全体を走査する走査ステップ（ＳＴＰ２）と、測定対象の右側測定データと左側測定データとから、それぞれ独立に短周期成分を除去する振動除去ステップ（ＳＴＰ３）と、短周期成分を除去した右側測定データと左側測定データとの両方を用いて長周期成分を除去する蛇行除去ステップ（ＳＴＰ４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】装置構造を大型化することなく、光切断法によって至近距離から大型な被測定物の形状を精度よく測定できること。
【解決手段】本発明の一態様である形状測定装置１は、被測定物１５にスリット光Ｌ１を照射し、フィルタ３およびレンズ４を介して被測定物１５からのスリット光Ｌ１を撮像して、被測定物１５の形状を測定する。フィルタ３は、レンズ４の物体側主点４ａを中心として被測定物１５側に凸な弧形状をなし、スリット光Ｌ１を透過するとともにスリット光Ｌ１以外を遮光する。 （もっと読む）

【課題】微小径ワイヤーボンドの接合状態の良否検査に先立ち、当該ワイヤーボンドの三次元的位置決めを迅速且つ精確に行うことができるワイヤーボンドの三次元位置決め方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】カメラ５とラインレーザー３、４を用いて、可動ステージ２上に載置されたワイヤーボンド１の三次元位置決めを行うための方法であって、 ラインレーザー３、４を、カメラ５の向きに対して角度を持たせて配置することにより、照射されたレーザーラインがワイヤーボンド照射部分において他の照射部分と一直線状にならないようにし、カメラ５で取り込んだレーザーラインが照射された状態のワイヤーボンド１の画像データにおいて、ワイヤーボンド１上におけるレーザーラインの位置と基準位置とのずれとラインレーザーの傾斜角度とから演算して求めた数値を基に、可動ステージ２を移動制御する （もっと読む）

【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ（２３）により受光され、その出力信号は信号処理装置（１１）に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する２次元画像生成手段（３２）を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段（３４）に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段（３６）に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第１の分類手段（５０）と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第２の分類手段（５１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】投影装置の温度ドリフトによる影響を軽減する３次元計測装置、および３次元計測方法を提供することを目的としている。
【解決手段】所定の照射パターンの光を照射する投光部３０と、投光部により照射された光による反射光を含む像を撮像する撮像部２０とを有する３次元計測装置１であって、投光部に対して照射パターンの光の照射位置を制御する照射指示を出力し、撮像部が撮像した画像データから計測データを算出する計測部４０を備え、計測部は、投光部に照射パターンの光を照射し続けさせ、撮像部により撮像される領域を含む計測領域内で走査を繰り返すように制御し、照射指示による照射位置を撮像された画像データから検出し、検出した異なる時刻且つ同一位置への照射指示による照射位置を示す情報同士を比較して、計測値の校正のための校正データを補正する。 （もっと読む）

【課題】パネル上に穴加工の基準となる目標点の座標を短時間で検出することが可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る位置検出装置１は、被測定面と交差する方向の高さを有する基準ボルトＢの頭部Ｂｔに直線光を照射し、その反射光から基準ボルトＢの頭部Ｂｔまでの距離を測定する光学センサ２と、直線光を照射方向と交差する２つの方向へ移動させる回転支軸３と、光学センサ２により所定の値の距離が測定された時点の回転支軸３の移動位置を検出する位置センサと、この位置センサから得られた複数の位置データから２つの移動方向により規定される平面において、基準ボルトＢの略中心にあるボルト穴Ｐｂの中心の座標を演算する演算部と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】対象物を光ストライプで照射し、対象物表面から反射した光を検出することで、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブを提供する。
【解決手段】走査プローブは、（ａ）光ストライプを生成および発するためのストライプ生成手段１４、（ｂ）対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ１６、（ｃ）カメラ１６によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプの強度を調節するための手段を備える。ストライプ長を修正する手段、処理手段のための隔離された区分室、およびスキャナのための取り付け可能なダストカバーを有するスキャナにも関する。 （もっと読む）