【課題】三次元計測器によって計測した点群データから計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを生成する。
【解決手段】計測点群データに基づいて計測対象物の表面形状を表すサーフェイスを陰関数として作成する工程と、サーフェイスが存在する計測領域全体を三次元ドロネー図による分割処理により隙間なく、重複なく埋め尽くされた四面体の小領域（以下、セルという）に分割する工程と、セルの各頂点をサーフェイスの内側に存在する内点５と、外側に存在する外点６とに分類する工程と、境界セルを抽出する工程と、境界セルとサーフェイスとの交点７を計算する工程と、各境界セルが持つ交点７を繋ぎ合わせることにより三角形又は四角形の面を求める工程と、全ての面を結合する工程とを含むので、計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを自動的に作成することができる。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】計測装置が揺動する状況下であっても、計測対象の３次元形状を好適に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１２により撮像された画像データを含む撮像情報を取得する撮像部１１と、撮像情報に基づいて計測対象の３次元座標を取得する３次元形状演算処理部２３と、撮像装置１２の加速度および姿勢角度を含む位置姿勢情報を撮像情報の取得と同期して取得する位置姿勢計測部１４と、位置姿勢情報に基づいて計測原点に対する撮像装置１２の移動量・方向と姿勢角度の変化量・方向とを演算する位置姿勢補正処理部１７と、撮像情報と同期して取得された撮像装置１２の移動量および方向と姿勢角度の変化量および方向とに基づいて３次元形状演算処理部２３により得られる３次元座標を平行移動および回転して複数の３次元座標を統合し、計測対象の３次元形状を取得する統合演算処理部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】多段積みされた裁断対象を精度良く検査できる裁断対象検査装置等を提供する。
【解決手段】多段積みされた裁断対象Ｂｋを検査する裁断対象検査装置において、所定形状のレーザ光Ｌ１、Ｌ２が投影された裁断対象の画像データを取得し（Ｓ７）、画像データからレーザ光が投影された部分の画像を抽出し、抽出されたレーザ光の画像からレーザ光の投影形状の情報を算出し（Ｓ８）、所定形状の情報と投影形状の情報とに基づき、多段積みされた裁断対象の良否を判定する（Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】物体の反射特性によらずに高精度に形状計測ができ、また計測精度の調整が可能な光学的走査による高速な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測装置１００は、スリット光１により物体を走査する光学走査手段１０と、物体からの、スリット光１の反射光による計測画像を取得する撮像手段２０と、取得した計測画像を基に、物体の反射位置を算出する反射位置検出手段３０と、を備え、反射位置検出手段３０は、取得した計測画像を構成する複数の画素に分布する計測輝度パターンから、物体の反射位置候補座標を算出し、計測輝度パターンと、反射位置候補座標を含む比較座標範囲内において所定の分解能の間隔で用意された複数の参照輝度パターンとを比較して、計測輝度パターンとそれぞれの参照輝度パターンとのパターン類似度を算出し、パターン類似度が最も大きな参照輝度パターンが特定する座標情報から、物体の反射位置座標を求める。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体に垂直でかつ幅方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、被測定物体に垂直でかつ搬送方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、撮像素子上の結像座標を被測定物体の測定座標に変換する座標変換器と、顕在形状演算器を備えた。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ幅方向に高い分解能を有することができ、高精度に被測定物体の形状を測定可能にする。
【解決手段】被測定物体１の搬送方向に対し垂直な平面内であってその斜め上方または下方に配置されスリット状光を照射するスリット状光光源２ａ，２ｂと、被測定物体１を介しスリット状光光源２ａ，２ｂと反対側となる被測定物体１の斜め上方または下方であって、被測定物体１の表面１ａまたは裏面１ｂ上に照射されたスリット状光をその照射方向に対し所定の角度だけずれた方向から撮像する撮像部３ａ，３ｂと、撮像部３ａ，３ｂが撮像した被測定物体表面１ａおよび裏面１ｂの撮像画像の座標を、撮像部３ａ，３ｂがスリット状光光源２ａ，２ｂからの照射線上で撮像したように変換する座標変換部４ａ，４ｂと、その座標変換された撮像画像の座標に基づいて、被測定物体１の断面厚み形状を演算する断面厚み形状演算部５とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】テープギャップの手動測定は労働集約的であるため、構造物の大きな領域にわたる複数のテープギャップの測定を正確かつ効率的に実行し、しかもオペレーターの技能に大きく依存しないテープギャップの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面を構成する複合テープの細片間のギャップはゲージによって測定される。表面に沿ってゲージを移動するにつれて隣接するテープ細片のエッジの位置は検出され、隣接する細片間のギャップは検出したエッジの位置に基づいて計算される。 （もっと読む）

【課題】帯状体の顕在化形状を、幅方向の分解能を高めて検出可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体１の搬送方向に平行な直線と垂直の平面内に配置され、平面内の被測定物体１表面の幅方向へスリット状の光を照射するスリット光光源２と、平面と垂直な平面でかつ被測定物体１の表面に垂直な平面を介してスリット光光源２と反対側に配置され、被測定物体１上のスリット状の光を撮像する撮像装置３とを備えた。また、被測定物体１の幅方向に沿い被測定物体１に外力を印加する外力印加装置１４を設け、潜在形状演算器４０を備えた。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】装置構造を大型化することなく、光切断法によって至近距離から大型な被測定物の形状を精度よく測定できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置１は、被測定物１５にスリット光Ｌ１を照射し、被測定物１５から反射したスリット光Ｌ１をフィルタ３を介して撮像するとともにスリット光Ｌ１以外を遮光して、被測定物１５の形状を測定する。フィルタ３の中心透過波長は、レンズ４の光軸Ｃ近傍においてスリット光Ｌ１の主ピーク波長と同等であり、スリット光Ｌ１の入射面に沿って光軸Ｃからフィルタ３の縁側に向けて大きくなる。 （もっと読む）

【課題】誤差を抑制して測定の精度を向上することができるグリーンシートの膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】膜厚測定装置１は、光源５１及び光源５１から発せられた光を測定領域Ａに向けてライン状に出射する投光ロッド５２を有するライン光照明５と、測定領域Ａを挟んで投光ロッド５２と対向するように配置されたラインカメラ６と、を備えている。投光ロッド５２のライン状の光の出射範囲（出射口５３）は、投光ロッド５２の軸線方向に沿った長さが搬送部３により搬送されるグリーンシートＧの軸線方向に沿った長さよりも長い。投光ロッド５２と測定領域Ａとの間には、投光ロッド５２から出射された光のうち、測定領域Ａに搬送されたグリーンシートＧの軸線方向での端の外側を通って、ラインカメラ６に入射する光を遮光する遮光部材７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】太陽電池ウェハの表面及び裏面の形状のみならず、太陽電池ウェハの厚みを高速に算出する。
【解決手段】光源１２１，１３１は太陽電池ウェハの表面及び裏面に光切断線ＣＬを照射する。カメラ１２２，１３２は太陽電池ウェハが所定距離搬送される都度、測定試料５００の表面及び裏面の光切断線画像を連続撮像する。計測データ算出部１２３，１３３は角光切断線画像から光切断線ＣＬが現れている重心座標を表面計測データ及び裏面計測データとして算出する。高さデータ算出部１４３は、表面計測データ及び裏面計測データから太陽電池ウェハの表面及び裏面の高さデータを算出する。厚みデータ算出部１４６は、太陽電池ウェハの表面及び裏面の高さデータから太陽電池ウェハの厚みデータを求める。 （もっと読む）

【課題】表面を溶削された鋼材の表面に残留する湯だれや未溶削部などの欠陥を精度良く確実に検出できる溶削済み鋼材の表面検査方法、およびこれに用いる検査装置を提供する。
【解決手段】１２００℃以上に加熱され且つ表面ｆ１〜ｆ４，ｃ１〜ｃ４を溶削された鋼材Ｍの該表面を撮像する第１カメラ１０、および、該カメラ１０により得られた画像の輝度信号ｂｓを温度に換算し、健常部位との温度差により湯だれ部ｍｄや未溶削部ｕｍの疑似欠陥部分の有無を判別する信号処理部１１を含む疑似欠陥検出部１２と、上記撮像がされた同じ鋼材Ｍの表面ｆ１〜ｆ４，ｃ１〜ｃ４にレーザＬ１を照射するレーザ照射装置２、照射された該レーザＬ１が拡散反射された鋼材Ｍの表面ｆ１〜ｆ４，ｃ１〜ｃ４を撮像する第２カメラ７、および、該カメラ７により得られた画像を基に、鋼材Ｍの表面を連続した断面形状により３次元的に示す画像処理部８を含む３次元計測部９と、を備えている、溶削済み鋼材の表面検査装置１。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法により、人の爪部のような湾曲形状の印刷対象面に対しても高精細な印刷を行うことのできる曲面印刷装置及び印刷制御方法を提供する。
【解決手段】インク噴射方向における印刷部４０との距離が幅方向の中央部では小さな距離Ｌ１で、幅方向の端部に行くほど大きな距離Ｌ２となる湾曲形状をなす爪領域Ｔａを有する爪部Ｔに対して印刷を行うネイルプリント装置１であって、爪領域Ｔａの幅方向の中央部の印刷ピッチＰ１よりも幅方向の両端部の方の印刷ピッチＰ２が印刷部４０による印刷の際の印刷ピッチが細かくなるように対応付けられたピッチ調整基本テーブルに応じて、爪領域Ｔａに印刷すべき画像の元画像データから爪領域画像の幅寸法に対応した印刷用データを生成し、この印刷用データにしたがって爪領域Ｔａに印刷を施す。 （もっと読む）

【課題】光学系に可動機構を備えることなく、測定対象物の形状を逐次測定することが可能な光学式プローブを提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光源により出射されたレーザ光を平行光とするコリメータレンズと、コリメータレンズにより平行光とされたレーザ光をライン形状の光に変形する光形状変形手段と、光形状変形手段により変形されたライン形状の光を測定対象物に対して選択的に照射させる光照射手段と、光照射手段により選択的に照射されて測定対象物の表面にて反射されたレーザ光に基づいて測定対象物の画像を撮像する撮像手段と、光照射手段によるライン形状の光の照射を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、光照射手段において、ライン形状の光の一端部から他端部まで所定の範囲ずつ順次光を照射させる。 （もっと読む）

【課題】目視に頼っていた封止容器のリッドの位置ずれ検査を光切断方式を用いて自動化する方式と検査装置を提供する。
【解決手段】パッケージ３６にリッド３７を接合した封止容器の上面へスリット光を照射し、スリット光に対し封止容器を相対的に移動させて封止容器の複数箇所にスリット光を照射し、パッケージ３６の厚みにより分離したスリット光の端点の位置情報を光切断方式を用いて測定し、測定した平面方向の位置情報と予め定めた基準値とを比較する事によりパッケージ３６に対するリッド３７の位置ずれと傾きを判断する。 （もっと読む）

【課題】 従来の２次元画像と距離画像を併用した場合の位置姿勢計測手法に比べて、複雑背景下であっても高速かつロバストに位置姿勢を計測すること。
【解決手段】 ２次元画像対応探索部１４０は、撮像画像中における仮想物体の幾何特徴と、撮像画像中に映っている現実物体において該幾何特徴に対応する特徴部分と、の対応付けを行う。対応探索領域設定部１５０は、仮想物体を構成するそれぞれの図形を距離画像上に投影し、該投影された図形の領域から、特徴部分に対応する距離画像内の部分の周辺を省いた残りの領域を、対応探索領域として設定する。位置姿勢算出部１７０は対応探索領域内の画素の奥行き値が示す位置と該画素に対応する仮想物体上の位置との３次元空間における距離、幾何特徴と特徴部分との３次元空間における距離、を表す評価関数を最小化するように位置姿勢情報を繰り返し更新する。 （もっと読む）