【課題】焦点位置を高速に移動させることなく、測定対象物の表面に形成されるレーザ光の照射スポットを小さく保つことができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】
レーザ光を出射するレーザ光源１０と前記レーザ光を反射して走査するミラー３０を設ける。レーザ光源１０とミラー３０の間にスポット形成器２０を設ける。スポット形成器２０は、前記レーザ光を平行光に変換するコリメートレンズ２２、前記平行光をリング状の輪帯光に変換するフィルタ２３、前記輪帯光を集光する第１リレーレンズ２４及び第２リレーレンズ２５を備える。さらに、測定した測定対象物までの距離の平均値を算出して、前記算出した平均値に応じてスポット形成器２０を前記レーザ光の光軸方向に移動させる移動装置２０ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】高精度に膜厚を測定することを可能にした膜厚測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】分光スペクトル情報を信号処理して膜厚を推定する膜厚測定方法において、
検量線作成用分光スペクトル情報を基底分解し、その基底に掛かる第１の係数を分光スペクトル情報の代表値として求め、第１の係数と分光スペクトル情報に対応した膜厚データとから重回帰係数を求める工程と、測定対象物の分光スペクトル情報と基底とに基づいて基底に掛かる第２の係数を求め、第２の係数と重回帰係数とに基づいて測定対象物の膜厚を推定する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなユニット内に組み込むことができ、複数の自由度の位置測定値を提供できる位置センサを提供する。
【解決手段】位置センサは、ターゲットの位置データを測定するように構成される。位置センサは、放射ビームを照射するように構成された放射源と、放射ビームを第１の回折方向に少なくとも１つの１次放射ビームに回折するように構成された第１の格子と、１次回折ビームの光路内に配置され、第１の格子で回折された１次回折ビームを、第１の回折方向に実質的に垂直な第２の回折方向に回折するように構成された第２の格子とを含む。第２の格子はターゲットに接続される。第１の検出器は、第１の格子によって回折されたビームの少なくとも一部を検出するように構成され、少なくとも１つの第２の検出器は第１の格子と第２の格子によって回折されたビームの少なくとも一部を検出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを出射する光出射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸での対象物ＯＢのＺ座標位置に応じて、対象物ＯＢの位置情報の検出精度を異ならせる。 （もっと読む）

【課題】レーザレーダを用いて監視領域の物体を検知するのに用いる監視領域の地形データを、監視領域が広い場合であっても精度よく取得できるようにすること。
【解決手段】侵入物体Ｓが存在しない状態で監視領域Ａの地面Ｌを、表面に高反射率の反射材をコーティングした反射シートＲで覆い、その状態で走査光により監視領域Ａの地面Ｌを走査して、反射シートＲの表面からの反射光を受光する。これにより、地面Ｌを直接走査光で走査する場合に比べて反射光の受光強度を高くする。よって、走査光の入射が浅くなって反射光の強度が微弱となる遠方の監視領域Ａについても、反射率のよい反射シートＲからの反射光に基づいて、監視領域Ａの地面Ｌの地形データを精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。検出用光源１２Ａ〜１２Ｄにおいて、第１発光素子１２Ａ₁〜１２Ｄ₁と第２発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂とは、互いに異なる帯域にピークを有する第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁、および第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂を異なるタイミングで出射する。そして、光検出器３０での第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁の検出強度と第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】検出用光源から出射された検出光の一部が対象物体で反射せずに光検出器に入射
することに起因する検出誤差を解消することのできる光学式位置検出装置を提供すること
。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出光Ｌ２を出射する複数の検出用光源１２、
および対象物体Ｏｂで反射した検出光を受光する光検出器３０に加えて、検出空間１０Ｒ
を経由せずに光検出器３０に入射する参照光Ｌｒを出射する参照用光源１２Ｒを有する。
検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在する状態で、複数の検出用光源１２の一部を点灯さ
せる第１検出用光源点灯動作、他の一部を点灯させる第２検出用光源点灯動作、および参
照用光源点灯動作を行うとともに、検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在しない状態でも
第１検出用光源点灯動作、第２検出用光源点灯動作および参照用光源点灯動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、洗浄による飛散水や湯気の発生あるいは素子の汚れ等によって光量が不足した場合であっても、車形データを作成することができる車形検出装置及びこの装置を備えた洗車機を提供するものである。
【解決手段】発光部５ａにおける隣接する２つの発光素子Ｌａ・Ｌａ+1を同時に発光させ、その一方の発光素子Ｌａと水平に対向する１つの受光素子Ｒａで受光する第１の光軸Ｂｄと、同じく２つの発光素子Ｌａ・Ｌａ+1を同時に発光させ、その他方の発光素子Ｌａ+1のと水平に対向する１つの受光素子Ｒａ+1で受光する第２の光軸Ｂｅとを形成し、各素子毎に各光軸で車体検出する強光検出モードを実行可能にした。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を光検出器で検出する方式を採用した場合において、検出空間の全体にわたって対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光した結果に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。Ｚ軸方向からみたとき、光検出器３０に近い位置にある検出用光源１２Ｂ、１２Ｄから出射された検出光Ｌ２ｂ、Ｌ２ｄは、検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｃに比して導光板１３から検出空間１０Ｒに到達するまでの減衰度合いが大である。従って、対象物体Ｏｂと光検出器３０との距離に起因する減衰度合いの差は、検出空間１０ＲにおけるＹ軸方向の一方側Ｙ１と他方側Ｙ２とにおける強度差によって相殺される。 （もっと読む）

【課題】光通信等の高速変調に対応した高速の光波長検出器を低コストで実現することができる光機能素子を提供する。
【解決手段】光機能素子１は、石英基板等からなる透光性基板２と、透光性基板２の一方の面に形成された、直線状の溝３ａと凸状部３ｂとからなる凹凸パターン３と、凹凸パターン３上に形成された金属パターンとを備えている。金属パターン４の各パターンは、透光性基板２の前記一方の面の法線方向から見た場合に、直線状パターンとなっている。そして、金属パターン４の各直線状パターンは、凹凸パターン３の直線状の溝３ａ又は凸状部３ｂに対して略４５度だけずれた状態となっている。 （もっと読む）

【課題】温度変化等によって生じる基板の走査中の真直度ずれやヨーイングによるずれを補正し、基板の所定の位置に常に正確にインクを塗布することのできるインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】基板の両側に付与されたスケールパターンを２個の第１センサで読み取り、位置演算部が位相差をゼロにするようθ軸搬送部を補正することにより、ヨーイングによるズレを抑制する。同様に、基板の両側に付与された直線パターンを２個の第２センサで読み取り、位置演算部が走査中の平均値の変動がゼロになるようＹ軸搬送部を補正する。更に、第１センサからの信号でインクジェット制御部のインク吐出タイミングの補正を行い、温度変化でヘッドユニットと基板の相対位置がずれた場合でも、正確にインクを基板の所定の位置に着弾させることができ、混色や輝度ばらつきなどの少ないデバイスを製作できる。 （もっと読む）

【課題】例えばマニピュレータを構成する径が細い管状の細径管の内部にも配設可能な光ポテンショメータ、及び該光ポテンショメータを具備するマニピュレータを提供すること。
【解決手段】一端が閉じられた金属パイプ１１４と、金属パイプ１１４に対して入れ子構造の関係を有し、金属パイプ１１４をその長手方向に移動可能に案内する金属パイプ１１２と、金属パイプ１１４内部に光を供給する光源１２２及び光ファイバ１１８と、金属パイプ１１４内部からの反射光量の変化を検出する光パワーメータ１２４と、を光ポテンショメータに具備させる。金属パイプ１１４は、その長手方向に沿ってスリット１３２を備え、光パワーメータ１２４は、金属パイプ１１４の長手方向における移動に伴って生じるスリット１３２の開口量の変化に起因する金属パイプ１１４内部からの反射光量の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】電磁波を送受信した結果に基づき区画線の検出を行う装置において、検出精度を向上させる。
【解決手段】近距離スキャンの１ライン分の測定データ（強度データ，距離データ，スキャン角度）を読み込み、読み込んだ強度データ列および距離データ列のそれぞれを微分することで、微分強度データ列および微分距離データ列を求める（S110〜S120）。微分強度データ列において正レベル，負レベルが連続し且つヌルレベルに挟まれた領域を候補範囲として抽出し（S130）、その抽出した候補範囲の中から、微分距離データ列の極性が、候補範囲に対応する部位で正，負，正（第１スキャン領域の場合）、又は負，正，負（第１スキャン領域の場合）と変化するものを、区画線からの反射が得られた対象領域として抽出する（S140）。 （もっと読む）

【課題】 正確な距離測定が可能であって測定可能な距離の範囲が広く、又機構の調整を容易に行える距離測定装置と、該距離測定装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 プロジェクタは、光源装置と、当該光源装置からの光を表示素子に導光する光源側光学系と、表示素子と、該表示素子から射出された画像をスクリーンに投影する投影側光学系と、距離測定装置1とを備え、光源装置や表示素子を制御するプロジェクタ制御手段を有しているものである。そして、この距離測定装置1は、レーザー光を測距対象に照射するレーザー発光器2と、測距対象からの反射光を集光する受光レンズ4と、この受光レンズ4を透過した測距対象からの反射光を受光する受光素子3と、を有し、レーザー発光器2からの射出レーザー光の光軸位置に受光レンズ4の受光領域を位置させているものである。 （もっと読む）

【課題】レーザ走査干渉を用いて円筒面の形状を簡単に、かつ、短時間で測定することができ、同時に円筒面の表面画像を得ることのできる、円筒面の形状計測方法を提供する。
【解決手段】テレセントリックｆθレンズ８の焦点面近傍に近接配置した参照平面９ａ及び被観察円筒面10ａからの反射光を前記テレセントリックｆθレンズ８により平行光束に変換し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックｆθレンズ８の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12ａを通過させ、ピンホール12ａを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。レーザ光源１からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、走査光を被観察円筒面10ａの母線に沿って走査させ、かつ、被観察円筒面10ａを有する被測定物10をその円筒軸10ｂを中心に回転させながら計測する。 （もっと読む）

【課題】検出光が対象物体で反射した光を受光した結果に基づいて対象物体の傾きを検出
することのできる光学式センサー装置を提供すること。
【解決手段】光学式センサー装置１０において、検出用光源１２が検出光Ｌ２を出射した
際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出
する。光源駆動部１４は、複数の検出用光源１２を第１出射強度をもって順次点灯させる
第１モード、および複数の検出用光源１２を第１出射強度よりも大の第２出射強度をもっ
て順次点灯させる第２モードを行ない、その間、光検出器３０は、対象物体Ｏｂで反射し
た検出光Ｌ３を受光する。従って、監視部５０は、対象物体Ｏｂの異なる範囲で反射した
検出光Ｌ３の２つの受光結果を用いて対象物体Ｏｂの傾きを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】検出光の出射空間のサイズを可変にすることのできる光学式位置検出装置を提供
すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０Ａにおいて、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射
した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を
検出する。第１検出用光源部１２Ａ〜第４検出用光源部１２Ｄは、第１発光素子１２Ａ₁
、１２Ｂ₁、１２Ｃ₁、１２Ｄ₁〜第３発光素子１２Ａ₃、１２Ｂ₃、１２Ｃ₃、１２Ｄ₃を備
えている。対象物体Ｏｂの検出空間１０Ｒを広く設定する場合には、点灯する発光素子の
数を増やして出射空間を広げる一方、対象物体Ｏｂの検出空間１０Ｒを狭く設定する場合
には、点灯する発光素子の数を減らして出射空間を狭める。 （もっと読む）

【課題】 規格内の大きさの受光センサを用いても、受光センサを大きくした場合と同じように、３次元形状の測定可能範囲が大きいか、又は分解能を高くする。
【解決手段】 レーザ光照射器から測定対象物（ＯＢ）の表面にレーザ光を照射し、測定対象物ＯＢの表面の照射スポット位置にて発生する散乱光の一部である反射光を集光レンズ３２で集光するとともに、集光された反射光をダイクロイックミラー３０で互いに異なる少なくとも第１方向及び第２方向に分離する。分離された反射光を、複数の受光素子からなる受光センサ１４，２４でそれぞれ受光する。受光センサ１４，２４は、レーザ出射器からの距離が異なる測定対象物ＯＢの表面からの反射光をそれぞれ受光するとともに、一部距離を重複させる。受光センサ１４，２４による受光信号を用いて、３角測量法の原理に基づいてレーザ光照射器から測定対象物ＯＢの表面までの距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】移動体の進行方向を、簡易な構成で検出する方向検出装置を提供する。
【解決手段】投光部２を間に挟んで受光部３，４を配置して、受光部３，４が移動体１０の有無を示すＯＮ／ＯＦＦ出力を行う。方向判定部６が、受光部３，４のＯＮ／ＯＦＦ出力の経時変化に基づいて、移動体１０の進行方向が受光部３から受光部４の方向か、又は受光部４から受光部３の方向かを１次元で検出する。 （もっと読む）