【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置情報を演算し、対象物のＺ位置情報に応じて、コマンド処理とホバリング処理とを適切に切り替えることが可能な光学式検出装置、電子機器及び光学式検出方法を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、面状領域に沿う領域に照射光を照射する照射部と、対象物に反射した照射光の反射光を受光する第１及び第２の受光部と、第１及び第２の受光部の少なくとも一方の受光結果に基づいて、対象物の位置情報を演算する演算部と、を備え、第１の受光部と面状領域との距離は、第２の受光部と面状領域との距離よりも小さく、第１及び第２の受光部は、面状領域に沿う方向から入射する反射光を受光する。 （もっと読む）

【課題】プリント板上の測定しようとするはんだ箇所に対し、高さの基準となる基準面を設定し、その基準面に対するはんだの高さを求めるときに、部品実装後のプリント板を分割するために加工された分割用加工部の影響を受けないようにする技術を提供する。
【解決手段】変位センサがはんだが印刷されたプリント板を光学的に計測し、このプリント板の高さの変位を示す変位情報を出力し、分割ライン決定部がプリント板を分割するための分割用加工部を変位情報に基づき検出し、プリント板の分割ラインを分割ライン情報として出力する。基準面算出領域設定手段は、分割ライン情報を受け分割ラインの内側の領域内に基準面算出領域を設定し、基準面算出手段が基準面算出領域内の変位情報に基づいて、基準面算出領域に形成される平面を基準面として設定する。変位測定部は、はんだ箇所のはんだの高さを、はんだ箇所の変位情報と設定された基準面とから算出する。 （もっと読む）

【課題】干渉計を利用した測長において、環境変動により測定光路上の光学窓の厚みが変動しても影響の小さい測長装置を提供する。
【解決手段】測定光路上に、内部が真空で両端に光学窓１０ｂ、１０ｃを有する真空管１０を配置する。各光学窓１０ｂ、１０ｃは、厚みが異なる２つの部分を有する構成とする。各光学窓１０ｂ、１０ｃの厚みが異なる部位へ２本の測長レーザ２ａ、２ｂの測定光を入射させ、測定ミラー５でそれぞれ反射させて、参照ミラー６による参照光と干渉させる。測長レーザ２ａ、２ｂによる２つの測長値を用いて、環境変動に起因する光学窓１０ｂ、１０ｃの厚み変化による光路長変動の影響を除去した測長を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウェハの表面粗さを高精度で非破壊に測定できる平坦な検査範囲を、目視によらず探索できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】照射される照射光により生じる散乱光の散乱光強度を、パターン付きウェハ２００上の測定座標に対応付けて測定し、ウェハ２００の表面粗さを検査する表面検査装置において、制御部が、下限閾値以上である散乱光強度の測定座標を抽出し、抽出された測定座標の周辺に相当するパターンの全体レイアウト４０１の一部の部分レイアウト４０５ａ内に、表面粗さの検査の検査範囲４０６を設定し、検査範囲４０６における表面粗さを求める。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置の位置決めシステムは、位置決め放射線源１、第１検出器チャネルおよび第２検出器チャネルを有する検出システム、および検出システムと連絡する位置決定ユニットを有する。位置決定ユニットは、第１および第２検出器チャネルからの情報を組み合わせて処理し、組み合わせた情報に基づいて、第２オブジェクト上の基準位置に対する第１オブジェクト上の位置決めマークの位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの位置決め範囲が従来より狭く、かつ、測定光の光軸が固定されたレーザ干渉計であっても、測定光の光軸方向を測定可能な方法を提供すること。
【解決手段】レーザ干渉計１０４と再帰反射体１０６とハンドリング装置１０２を有する測定システム１００を用いる。レーザ干渉計１０４は、測定光を再帰反射体１０６に照射し、その反射光と参照光との干渉光強度を検出する。ハンドリング装置１０２は、再帰反射体１０６を測定位置まで移動して位置座標情報を検出する。まず、レーザ干渉計１０４が干渉光を検出でき、かつ同一平面上に存在しない少なくとも４つの測定位置ｐ_ｉを選ぶ。再帰反射体１０６を各測定位置ｐ_ｉに移動させて、その位置座標情報を検出する。レーザ干渉計１０４が再帰反射体１０６までの距離の変化量を測定する。各測定位置の位置座標情報と各距離の変化量に基づき測定光のベクトル情報 ａ を算出する。 （もっと読む）

【課題】環境変化に左右されない正確な測距値を取得可能なレーザ画像計測装置を得る。
【解決手段】レーザ光の発振時間と反射光の受光時間との時間差に基づき対象物までの距離を導出するために、基準となる変調信号Ｍを生成する基準信号発生部２０と、変調信号Ｍにより変調されたレーザ光を出射するレーザ光送信部３０と、レーザ光を走査して整形された送信ビームＬを出射するレーザ光走査部４０と、反射光を受信信号に変換する受信部５０と、レーザ光走査部４０内のレーザ光走査光学系５から基準固定距離に設置されて送信ビームＬが照射される基準反射板６と、受信信号から基準反射板６および対象物の距離値Ｄｚを導出する信号処理部６０と、を備える。レーザ光走査部４０および受信部５０は、基準反射板６からの反射光を、対象物に対する距離測定と同一の光路で送受信する。信号処理部６０は、基準反射板６の距離変動量ΔＤｚから、対象物の距離値を補正する。 （もっと読む）

【課題】レーザースキャナを用いた得た三次元点群位置データを補完する三次元点群位置データを撮影画像から得る技術において、当該撮影を行う条件における撮影手段のキャリブレーションを効率よく簡便に行う。
【解決手段】第１の視点から建物１２０のレーザースキャンを行い、三次元点群位置データを得る。他方で、第２の視点から第１の視点でオクルージョンとなる建物１２０の部分のステレオペア画像の撮影を行う。そして、第２の視点で得たステレオ画像と第１の視点で得た三次元点群位置データとの対応関係を求めることで、当該三次元点群位置データを利用してのステレオペア画像撮影装置１２４のキャリブレーションを行なう。 （もっと読む）

【課題】光格子の解像度を改良すること。
【解決手段】相互に平行な監視ビーム１８の場２０を互いの間に形成する複数の光送信器１４及び受光器２６を備え、光送信器１４及び受光器２６にビーム成形光学系１６、２４が割り当てられる、光電センサ１０の光学系１６、２４は、場２０に対して斜め方向、特に垂直方向における該光学系１６、２４の相互重複をもたらす幾何学形状及び配置を含む。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置を得る。
【解決手段】移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第１の発光部と前記マークを介した光を検出する第１の受光部とを備える第１の検出部と、前記第１の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第２の発光部と前記マークを介した光を検出する第２の受光部とを備える第２の検出部と、前記第１の発光部と、前記第２の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第１、第２の検出部で各々検出する第１のタイミングと前記第１のタイミングと異なる第２のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第１のタイミング及び前記第２のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】出射光学系の部品の取り付け角度がずれたとき、出射光学系から出射されるレーザ光の光軸方向のずれを相殺するように出射光学系に入射するレーザ光の光軸の方向を調整することができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源１０とレーザ光を走査する第１ミラー１６との間に、直交する２つの回転軸回りに回転可能に支持されたミラー１４ａを設ける。測定対象物ＯＢからの反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第１受光センサ２４と、第１受光センサ２４にて反射した反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第２受光センサ２６を設ける。３次元カメラＣＡと測定対象物ＯＢが所定の位置関係になるようにセットし、反射光が第２受光センサ２６の所定の範囲内にて受光されるように、ミラー１４ａを回転させる。 （もっと読む）

【課題】水圧試験機の一連の試験工程の中に検尺機能を付加することにより、次工程条件の最適化に反映させることを可能にする。
【解決手段】水圧試験時の両ヘッド部１，２の移動距離をパルスジェネレータ方式で計測可能とし、各ヘッド部に前記鋼管の管端位置を検出するためのレーザ式位置センサ４_１，４_２を設置し、鋼管３のセット前に各ヘッド部を移動させてそのレーザ式位置センサのレーザ光路を所定の原点に一致させ、その時点から、水圧試験を経て各ヘッド部を鋼管から離間させる際に各レーザ式位置センサが鋼管の管端位置を検出した時点まで、各ヘッド部の移動距離を計測し、この計測結果を用いて鋼管の管長を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤによる単純でコスト効率のよい可動物体の位置決めシステムを提供する。
【解決手段】移動物体の位置を決定するシステムは少なくとも３つの全般照明ＬＥＤを有する配置であって、そこにおいて、全般照明ＬＥＤのそれぞれは、それぞれ送信時間情報およびトランスミッタ情報を有する１つの光信号を送信するために実装され、そこにおいて、信号伝送のための全般照明ＬＥＤの波長範囲は、重なり、そこにおいて、前記トランスミッタ情報は、少なくともそれぞれの全般照明ＬＥＤの位置の決定を可能にし、さらに、送信時間情報は、それぞれの信号が送信された時点に関する情報である、配置と、移動物体に取り付けられ、さらに、光信号を受信しさらにそれぞれ１つの信号受信時間を割り当てるために実装される光センサと、トランスミッタ情報、送信時間情報および受信時間情報に基づいて物体の位置を決定するために実装される評価ユニットとを含む。 （もっと読む）

【課題】 中空部の状態を基体外部から直接確認することができる内燃機関用構造体を提供する。
【解決手段】 中空部を備え、前記中空部で生じる爆発に応じて前記中空部内を運動する運動体が収容される基体と、前記基体に設けられた、前記基体の外側から前記中空部に入射する光、および前記基体の外側から前記中空部に出射する光を透過する窓部材とを備え、前記窓部材が、サファイア単結晶からなることを特徴とする内燃機関用構造体を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置において、ウェハ加工途中の微細な凹凸のパターンを有するパターン付きウェハの表面粗さを測定することを可能にすることで、ウェハ間の膜厚や膜質のばらつきによる歩留まりを向上させることを目的とする。
【解決手段】基板に形成されたパターンに関する設計情報を得る第１のステップと、前記設計情報を用いて、前記基板の表面粗さを得ることができる表面粗さ測定領域を得る第２のステップとを有する基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置である。 （もっと読む）

【課題】複層塗膜の内部構造及び内部欠陥を、非接触非破壊且つ簡便に測定、解析することができる複層塗膜の非接触非破壊評価方法及びそれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】本評価方法は、光源１からの光を参照光と複層塗膜４への入射光とに分岐する分岐ステップと、前記参照光の光学距離を調整する調整ステップと、前記複層塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめる干渉ステップと、前記複層塗膜からの前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出ステップと、前記強度信号を解析する解析ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】評価ユニットとたわみボディとの間に生じるノイズの影響を受けにくい、光ファイバー手段を用いた干渉法原理による、たわみ測定機器を提供すること。
【解決手段】第１の光ファイバー手段と第２の光ファイバー手段は、たわみボディにのみ配置されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は入力側で、ビーム源を備えた唯一の光供給ファイバーと接続されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は出力側で、評価回路を備えた唯一の光評価ファイバーと接続されている。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）