【課題】検出光の出射空間のサイズを可変にすることのできる光学式位置検出装置を提供
すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０Ａにおいて、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射
した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を
検出する。第１検出用光源部１２Ａ〜第４検出用光源部１２Ｄは、第１発光素子１２Ａ₁
、１２Ｂ₁、１２Ｃ₁、１２Ｄ₁〜第３発光素子１２Ａ₃、１２Ｂ₃、１２Ｃ₃、１２Ｄ₃を備
えている。対象物体Ｏｂの検出空間１０Ｒを広く設定する場合には、点灯する発光素子の
数を増やして出射空間を広げる一方、対象物体Ｏｂの検出空間１０Ｒを狭く設定する場合
には、点灯する発光素子の数を減らして出射空間を狭める。 （もっと読む）

【課題】 規格内の大きさの受光センサを用いても、受光センサを大きくした場合と同じように、３次元形状の測定可能範囲が大きいか、又は分解能を高くする。
【解決手段】 レーザ光照射器から測定対象物（ＯＢ）の表面にレーザ光を照射し、測定対象物ＯＢの表面の照射スポット位置にて発生する散乱光の一部である反射光を集光レンズ３２で集光するとともに、集光された反射光をダイクロイックミラー３０で互いに異なる少なくとも第１方向及び第２方向に分離する。分離された反射光を、複数の受光素子からなる受光センサ１４，２４でそれぞれ受光する。受光センサ１４，２４は、レーザ出射器からの距離が異なる測定対象物ＯＢの表面からの反射光をそれぞれ受光するとともに、一部距離を重複させる。受光センサ１４，２４による受光信号を用いて、３角測量法の原理に基づいてレーザ光照射器から測定対象物ＯＢの表面までの距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】移動体の進行方向を、簡易な構成で検出する方向検出装置を提供する。
【解決手段】投光部２を間に挟んで受光部３，４を配置して、受光部３，４が移動体１０の有無を示すＯＮ／ＯＦＦ出力を行う。方向判定部６が、受光部３，４のＯＮ／ＯＦＦ出力の経時変化に基づいて、移動体１０の進行方向が受光部３から受光部４の方向か、又は受光部４から受光部３の方向かを１次元で検出する。 （もっと読む）

【課題】
レーザ光源と受光センサのみの簡易な装置で容易に極細のパイプ形状を含む丸棒の外周面の疵や汚れ等の表面欠陥を検出することができる丸棒検査装置及び丸棒検査方法を提供することにある。
【解決手段】
パイプ形状を含む丸棒の軸に略垂直に外周面に平行光であるレーザ光を照射するレーザ光源と、丸棒の軸断面視で、丸棒の軸におけるレーザ光の入射方向とのなす角度が９０度を超え１８０度未満になるように設けられた受光センサとを備え、レーザ光の外周面での反射光を受光センサで受光し、受光した光のレベルから外周面を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。
【解決手段】基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。 （もっと読む）

【課題】 検出物までの距離、位置を検出する物体検出装置の提供
【解決手段】 投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）が検知光を投光しているとする。このときに、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋１）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋２）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）を、順次、作動させる。例えば、投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）が検知光を投光しているときに、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）が反射光を受光したとすると、物体が位置ｃ４付近にあると判断できる。投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）から投光方向ｌ１に向かって投光された検知光が、位置ｃ４付近に存在する物体によって反射され、その反射光が受光方向ｒ４に向かって進行し、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）によって受光されたと考えられるからである。
（もっと読む）

【課題】一般の湿潤環境に適用可能な屈折率補正機能を有する光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉によって参照光路と被検光路の幾何学的距離差を計測する計測装置であって、測長用光源からの光であって参照面で反射した光と被検面で反射された光の干渉信号の位相を検出する位相検出部と、前記測長用光源の波長とは異なる非測長用光源からの光であって前記参照面で反射した光と前記被検面で反射された光の強度を検出する強度検出部と、前記位相と前記測長用光源の波長から算出される光路長と、前記非測長用光源の光の強度情報から算出される前記被検面と前記参照面の間の水蒸気圧分布の平均値とから前記幾何学的距離を算出する解析部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】規定の領域を通過する通過者の体型の推定を比較的安価な構成で可能にする。
【解決手段】２次元情報を取得する距離センサ２を、人が通過する枠部材１の上部に設ける。距離センサ２は、枠部材１の内側の平面を人が通過する期間における複数の異なる時刻において、２次元情報を取得する。複数の２次元情報は形状推定部３２に入力される。形状推定部３２は、２次元情報を用いて前記平面を通過する人の頭部の左右幅を計測するとともに頭部の左右幅から頭部の前後幅を推定する。さらに、前記平面を人が通過する間に取得した複数の２次元情報から人の３次元形状の推定に必要な２次元情報を選択し、通過方向における当該２次元情報の間隔を頭部の前後幅から求めることにより、人の３次元形状を推定する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】モードロックレーザを用い高速で波長を掃引しても高コヒーレンス性を保つ光源を用いて光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させること。
【解決手段】波長走査型レーザ光源１０に一対の回折格子３２，３３を対向して配置し、これを分散素子として用いる。この分散素子に半導体光増幅器３５を接続し、モードロック信号発生部３８よりクロック信号を与えて光信号を増幅する。このクロック信号のクロック周波数を変化させることによってクロック周波数に応じて発振波長を走査することで、高速で波長を可変でき、この光源を用いることで光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】タイヤ半径を高精度に測定する。
【解決手段】シート状の第１の磁石１１、第２の磁石２１をトレッド部２の内周面側に貼り付け、第１の磁気検出素子１２、第２の磁気検出素子２２を、磁石１１、２１と対向させてリムウェル部４に設ける。磁気検出素子１２、２２毎にその測定値について、変位が生じる前の、出荷時等といった基準状態における基準測定値Ｍｒ１、Ｍｒ２に対する測定値の変位を演算する。変位が最大となる測定値は、接地面からの影響を受けている可能性があると判断し、この測定値を除く他の測定値のみを、トレッド部２とリムウェル部４の間の距離を表すタイヤ半径相当値ＲＲとし、このタイヤ半径相当値ＲＲに、タイヤ中心からリムウェル部４までの距離などを表す予め検出した定数を加算してタイヤ半径Ｒを演算する。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィ装置で使用するために、自身の測定ビームの焦点高さによる影響を受け難いことが好ましい代替レベルセンサを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板の高さレベルを測定するように構成されたレベルセンサを提供し、レベルセンサは、測定ビームを基板に投影する投影ユニットと、基板で反射した後に測定ビームを受ける検出ユニットと、検出ユニットが受けた反射測定ビームに基づいて高さレベルを計算する処理ユニットとを備え、レベルセンサは、傾斜測定デバイスをさらに備え、傾斜測定デバイスは、反射測定ビームの少なくとも一部を受けるように配置され、公称平面に対する基板の傾斜を表すチルト信号を提供するように構成される。 （もっと読む）

【課題】簡素な回路構成で第１光源と第２光源とを交互に点灯させることのできる光学式位置検出装置、およびかかる光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０の位置検出用光源装置１１では、発光素子１２Ａ（第１光源）と発光素子１２Ｂ（第２光源）とが直列に電気的接続されて光源対１２１を構成しており、かかる光源対１２１の両端には定電圧が印加されている。光源駆動回路１４は、発光素子１２Ａと発光素子１２Ｂとの電気的接続個所にパルス信号Ｖ１を印加する。このため、パルス信号Ｖ１に連動して、発光素子１２Ａに印加される電圧、および発光素子１２Ｂに印加される電圧が変化するので、１つの信号Ｖ１（パルス信号）のみで発光素子１２Ａと発光素子１２Ｂとを交互に点灯させることができる。 （もっと読む）

【課題】蒸気タービンの構成部品位置を計測する際に、計測用の冶具の製作や取り付け等の手間が不要であり、構成部品位置を直接計測することで測定精度並びに信頼性の高い計測が可能な部品位置の計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】レーザ光３を照射するレーザ発振器１と、レーザ発振器１からのレーザ光３の照射方向に沿って走行することが可能な装置本体５と、装置本体５に設けられ、レーザ光３を所望の角度へ屈折して照射する光学部品と、装置本体５に設けられ、光学部品により屈折され照射されたレーザ光３が構成部品により反射されたレーザ反射光の受光量を検出する受光素子８とを備える。 （もっと読む）

【課題】２つの空間に位置する対象物体の各々の位置を検出することのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０には、Ｚ軸方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて第１検出光Ｌ１を出射する第１位置検出用光源１２１と、Ｚ軸方向の他方側Ｚ２から一方側Ｚ１に向けて第２検出光Ｌ２を出射する第２位置検出用光源１２２とが配置されている。このため、第１位置検出用光源１２１がＺ軸方向の他方側Ｚ２に向けて第１検出光Ｌ１を出射した際、第１空間１０Ｒ１に位置する対象物体Ｏｂで反射した第１検出光Ｌ１は光検出器３０の第１受光素子３１で受光される。また、第２位置検出用光源１２２がＺ軸方向の一方側Ｚ１に向けて第２検出光Ｌ２を出射した際、第２空間１０Ｒ２に位置する対象物体Ｏｂ２で反射した第２検出光Ｌ２は光検出器３０の第２受光素子３２で受光される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高速に絶対距離計測が可能な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、第１基準波長λ_１と第２基準波長λ_２との間で周期的に波長走査をして光束を射出する波長可変レーザと、第３基準波長λ_３の光束を射出する波長固定レーザと、前記波長可変レーザおよび前記波長固定レーザから射出した光束を参照光束および被検光束に分割する光束分割素子と、前記参照光束を反射する参照面と、前記被検光束を反射する被検面と、前記参照光束と前記被検光束との干渉信号から位相を検出する位相検出部と、第３基準波長λ_３、第１合成波長Λ_１２、第２合成波長Λ_１３、波長走査の際の位相変化量の整数成分、および、第１合成波長と第２合成波長の干渉次数から逐次的に第３基準波長λ_３の干渉次数を決定し、被検面と参照面との間の絶対距離を算出する解析装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、微小な曲げ変化を検出することが可能な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサ１０は、コア１１及びコア１１の外周に設けられたクラッド１２から構成された光ファイバの、少なくともコア１１に光ファイバの光軸に非対称に、伝送する光の漏洩源となる欠陥１３がフェトム秒レーザで形成されている、光の漏洩が光ファイバセンサ１０の曲げ方向に依存する。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

パターン発生器は、書込ツールと校正システムとを有する。書込ツールは、ステージ上に配列されたワークピース上にパターンを発生させるように構成される。校正システムは、書込ツールの座標系と、ステージおよびワークピースのうちの１つ上の校正プレートの座標系との間の相関を決定するように構成される。校正システムはまた、校正プレートの表面上の少なくとも１つの反射パターンから反射した少なくとも１つの光ビーム状の光相関信号、またはパターンに少なくとも部分的に基づき相関を決定するように構成される。
（もっと読む）

【課題】光の干渉現象を利用して検出した干渉光（光ビート信号）が正規の像を取得させるものであるのか折り返し像を取得させるものであるのかを簡易に判定することができる光干渉計測方法を提供する。
【解決手段】光源ユニットから射出された光を測定光と参照光とに分割し、前記参照光と、前記測定光が照射された測定対象１１から反射または後方散乱した光と、が干渉した干渉光を検出し、前記参照光の光路に設けられた光路長可変機構１３を駆動させて前記参照光の光路長を変化させ、前記参照光の光路長の変化に応じた前記干渉光の変化に基いて、検出された前記干渉光に基づく画像が正規の像か折り返し像かを判定し、その判定の結果に基いて前記干渉光から前記測定対象を計測する。 （もっと読む）