【課題】従来の干渉計に比べて高精度な移動体の位置情報の計測を可能にする。
【解決手段】露光装置は、基板を保持して、ＸＹ平面内で移動し、ＸＹ平面に交差する反射面１３４を有するステージＷＳＴと、計測装置２０Ｙ’とを備えている。計測装置は、ステージＷＳＴの上方に配置され反射面１３４を介して入射した光ビームを回折させて反射面１３４に戻す固定スケール１３５と、反射面１３４に戻された光ビームを検出する検出部（１２４Ａ、１２４Ｂ、１２６、２８）と、を有する。計測装置は、固定スケール１３５からの戻りビームを、再度反射面１３４を経由させることで得られる前記光ビームの複数の回折ビームの干渉光を前記検出部で検出することで、ステージＷＳＴのＹ軸方向の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】船舶における操船性の向上が図れるプロペラレーシング監視装置を得る。
【解決手段】船体１０に設置され、水面１１にレーザ光１ａを照射するレーザ発振器１と、船体１０の側壁に設置されレーザ光が水面１１から散乱する散乱光を検出する複数の光センサ２を備え、これらにより水面位置を検出する水面位置検出装置と、水面位置検出装置で検出した水面位置と、プロペラの位置との関係からプロペラレーシングの可能性を判断するプロペラレーシング判断装置とを具備し、プロペラレーシングの可能性ありと判断したとき、推進器４に対してプロペラ３の回転数を下げるように指令を与えるもの。
水面位置検出装置は、船舶周辺の水面状態が逐次どのように変化しているのかを定量的に測定する。そして、プロペラ３の空気中への露出する可能性が高いと判断した場合、予めプロペラ３の回転数を下げるよう推進器４を制御する指令を送出する。 （もっと読む）

【課題】同じ測定箇所で位相差値と厚みデータとを測定することで、複屈折や厚み方向位相差値Ｒｔｈをより精度よく得ることができる光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置Ｍは、光学フィルムＳに光Ｌ１を入射する投光器３０と、投光器３０から光学フィルムＳに入射された入射光Ｌ１を受光する受光器３４と、受光器３４によって受光された透過光Ｌ１から光学フィルムＳの面内位相差値Ｒ０を算出する位相差Ｒ０算出部１１と、位相差Ｒ０算出部１１で面内位相差値Ｒ０を算出するのに用いた入射光Ｌ１と同じ入射光Ｌ１を用いて光学フィルムＳの厚みデータｄを算出する厚み算出部１２とを備えている。受光器３４は、２つのファイバ部８ａ，８ｂに分岐される光ファイバ８を含んでおり、一方のファイバ部８ａが位相差Ｒ０算出部１１に接続され、他方のファイバ部８ｂが厚み算出部１２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】移動する被検体までの絶対距離を高精度に計測する。
【解決手段】第１光源からの第１光束によって形成される被検体の位置情報を含む第１干渉信号と、第２光源からの第２光束によって形成される前記被検体の位置情報を含む第２干渉信号と、前記第１光束の波長を走査しながらの前記第１干渉信号と前記第２光束の波長を走査しながらの前記第２干渉信号とに基づいて前記被検体までの絶対距離を算出する処理部とを備え、前記処理部は第１時刻から第２時刻までの時間間隔における前記第１干渉信号の位相と前記第２干渉信号の位相との差分の変化量によって得られる前記被検体の速度によって、前記第１干渉信号および前記第２干渉信号の少なくとも一方に基づいて算出される誤差を有する絶対距離を補正し、誤差が補正された絶対距離を算出する。前記第１時刻および前記第２時刻は前記第１光束の波長と前記第２光束の波長との差分が互いに等しい時刻である。 （もっと読む）

【課題】部品点数を低減するとともに、単純な構成の導光体を利用可能にする。
【解決手段】搬送中の移動体を検知する移動体検知部Ｄ１，Ｄ２を有し、移動体検知部は、搬送路５に臨む発光部Ｓ１，Ｓ３と、搬送路に臨む受光部Ｓ２，Ｓ４と、搬送路を介して発光部及び受光部に対向しており、発光部が放射した光を受光部に導く導光体Ｐ１，Ｐ２とによって構成されており、かつ、発光部及び受光部が移動体のサイズを区分するために予め設定された仮想上の境界線の両側に配置されるように、境界線の上に、境界線に対して傾斜して配置されている。 （もっと読む）

【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で距離を測定可能なレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部１１、出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段３０で反射された反射光を集光する光束径変更部１４、反射光を受光する受光部１６、出射光と反射光を用い、反射手段３０までの距離を算出する算出部１８、その距離の変位を検出する変位検出部２１、検出された変位に関する出力を行う変位出力部２２、拡張前の出射光と、光束径変更部１４からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部１１からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部１４に透過または反射させ、光束径変更部１４からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部１６に反射または透過させる反射部１７ａを備え、光束径変更部１４は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい。 （もっと読む）

【課題】地盤変位の測定に於いて拡散レーザ光を用い、レーザ光の単位面積当たりの光量を減少し、人、動物への眼に対する影響を減少する。また、雨、霧、雪等の影響を少なくした観測を可能とする。また、地盤変位の発生が予測される位置への設置作業を迅速にし作業者の安全性を確保できる。また、測定機構により測定した位相のズレが一定の許容範囲を超えたときに警報発生機構によって警報を発生させる。
【解決手段】照射先のビーム直径を照射元のビーム直径よりも大きくした拡散レーザ光４を発振するレーザ光発振部１と、地盤変位の発生予測位置に設置するレーザ光反射板６と、反射される反射波７を受光する検出器８と、この検出器８によって受光した反射波７とレーザ光発振部１の照射波１０の位相のズレからレーザ光発振部１とレーザ光反射板６の距離を計測する測定機構１１と、位相のズレが設置時における基準値の許容範囲を超えたときに警報を発生させる警報発生機構１４とから成るものである。 （もっと読む）

【課題】人の接近を高精度に判定することができる人体検知装置等を提供する。
【解決手段】それぞれ一対の正負電極１０ａ，１０ｂ，２０ａ，２０ｂを有する第１及び第２の焦電型センサ１０，２０と、各焦電型センサを被覆するレンズ３を備える。垂直状被取付面５１に対して直交する面からなる検知エリア６において、第１の焦電型センサの正負電極に対応する第１の正極視野１００ａと負極視野１００ｂ、第２の焦電型センサの正負電極に対応する第２の正極視野２００ａと負極視野２００ｂを含む検知ブロック３００、３０１が、第１の正極視野と負極視野を結ぶ仮想線１００ｃまたはその延長線と、第２の正極視野と負極視野を結ぶ仮想線２００ｃまたはその延長線が交差する態様で形成されている。交点から被取付面５１への垂線について、各仮想線同士が線対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高速、且つ高精度に測定対象の形状認識情報を得ることができる移動環境認識装置を提供する。
【解決手段】測定対象７に対して円錐走査を行う円錐走査手段１を備えている。円錐走査手段は、移動環境検出器３と、この移動環境検出器で計測した情報を加工する外界認識装置９を備えている。この外界認識装置は、円錐走査手段の測定データに基づいて前記測定対象の傾斜角、傾斜方向及び測定対象中心までの距離を算出する移動環境検出手段と、この移動環境検出手段が算出した前記測定対象の算出データに基づき、各測定対象の面形状を判断する面形状判断手段と、この面形状判断手段が水平面と判断した所定の測定対象の形状を認識する形状認識手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】ラインイメージセンサーと同等の機能を有する比較的安価な受光装置を提供する。
【解決手段】検出領域における光を検出するための受光装置であって、ホトデテクターと、ホトデテクターに入光する光を規制する開孔を有するマスクを備えた受光手段と、受光手段を検出領域に渡り移送せしめる移動手段と、受光手段の移動位置を検出する位置検出手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】パターンが形成される物体を保持する移動体を安定して位置制御する。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招来することなく、簡単な構成により、自動的にセンサーの感度を調整することができるマーク検出装置およびマーク検出方法ならびに画像作成および切り抜き装置を提供しようとする。
【解決手段】投光手段から投光された光の反射光を受光手段により受光し、受光量に応じた検出電圧を出力するセンサーを備え、上記センサーにより検出した検出電圧を基準電圧と比較することにより、媒体上に形成されたマークを検出するマーク検出装置において、上記センサーにおける基準電圧を設定することが可能であるとともに、設定した基準電圧を出力する基準電圧出力手段と、上記基準電圧出力手段より出力された基準電圧と、上記センサーに出力された検出電圧との差分を増幅して出力する電位差出力手段とを有するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】パターンが経年劣化等の変化することにより、位置検知用のセンサからの出力信号が変化したとしても、行程位置を把握することができるアクチュエータの行程位置検知装置を提供する。
【解決手段】油圧シリンダ１（アクチュエータ）のロッド４に、ストローク方向の範囲内において変化がない基準部とストローク位置を特定できるように変化させる符号化部とを有するパターンＸを描画して、基準部を検知する基準センサ（基準検知部）が出力する基準信号に基づき位置検知センサ（位置検知部）が出力する位置信号を判断して、ストローク位置を把握する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】受光素子が指向性を有している場合でも、検出範囲を広く設定することのできる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置において、受光部１３は、受光素子１３０と、受光素子１３０に対する反射光Ｌ３の入射角度範囲を狭める入射角変換部１４とを備え、入射角変換部１４は、入射部１４８、第１反射面１４１、第２反射面１４２、および第３反射面１４３を備えた入射角変換用導光路１４０を有している。このため、対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２（反射光Ｌ３）は、入射部１４８から入射した後、第１反射面１４１と第２反射面１４２との間で反射を繰り返しながらＸＹ平面に沿って第１反射面１４１と第２反射面１４２との間で進行し、その後、第３反射面１４３でＺ軸方向に反射して、受光素子１３０の受光面１３１に入射する。このため、受光面１３１に対する入射角度が狭い。 （もっと読む）

【課題】 曲面を有する膜厚を正確に計測する。
【解決手段】 膜厚の検査装置は、テラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生器１５と、前記テラヘルツ波を、膜が形成された試料に照射させる照射光学系１６、１７と、前記試料において反射したテラヘルツ波を検出し、検出信号を出力するテラヘルツ波検出器２２と、前記試料の反射面の形状情報に基づき、当該反射面から前記テラヘルツ波検出器に至るまでの反射波の電場強度を参照信号として算出し、前記参照信号を用いて前記検出信号を補正する制御装置５を備える。 （もっと読む）

【課題】圧着端子をより正確に検査することができ、構成の簡単化または検査時間の短縮を図ることのできる圧着端子の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置４０は、第１検査ユニット４１、第２検査ユニット４２、および第３検査ユニット４３を備える。第１、第２、第３検査ユニット４１，４２，４３は、それぞれ連続端子３０の移動経路から外れた位置に配置された第１、第２、第３投光装置および第１、第２、第３受光装置６１，６２，６３を備える。第１投光装置は、端子３５の長手方向に延びる帯状の第１の光７１を照射する。第２および第３投光装置は、端子３５の長手方向と直交する方向に延びる帯状の第２の光７２を照射する。コンピュータは、第１、第２、第３受光装置６１，６２，６３の各受光量に基づいて、端子３５の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】鎖錠桿に塗布されたグリースの一部が移動スリット保持体、または固定スリット保持体のスリットを塞いでしまうことによる誤検出を防止し得るロック狂い検出装置を提供する。
【解決手段】ロック狂い検出装置１は、転てつ機２の鎖錠桿４ａ，４ｂが出入りする鎖錠桿案内部と、鎖錠桿４ａ，４ｂに取り付けられた移動スリット保持体とともにロック狂いの検出に用いられる固定スリット保持体の間に、特徴的なパッキン部が設けられている。パッキン部の先端は、鎖錠桿４ａ，４ｂの進入ごとに鎖錠桿４ａ，４ｂの表面を擦るため、鎖錠桿４ａ，４ｂの表面に塗布されたグリースなどの潤滑剤は、パッキン部に遮られて、固定スリット保持体または移動スリット保持体が設けられた領域へ侵入することがない。 （もっと読む）

【課題】改良されたレベルセンサを提供する。
【解決手段】レベルセンサはリソグラフィ装置において基板表面高さを測定する。レベルセンサには、検出用の放射を基板に発する光源と、基板から反射された放射を測定するための検出器ユニットと、が設けられている。光源は、リソグラフィ装置において基板を処理するために使用されるレジストが反応する波長域の検出用放射を発する。 （もっと読む）