【課題】測定対象物の形状を高精度で測定できる形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に所定の光量分布を有するパターン光を形成する照明部と、光が被測定物に照射される照射方向と異なる方向から被測定物に照射されたパターン光の像を撮像する撮像素子を含む撮像部と、像の撮像信号を評価する評価部と、評価部の評価結果に基づき撮像部の撮像結果に対して所定の処理を行うことで被測定物の位置情報を算出する処理部と、を備える形状測定装置に関する。 （もっと読む）

【課題】ブランクマスクの欠陥等に起因する測定値の誤り発生を招くこと無しに、ブランクマスクの所望領域の表面粗さを迅速に測定する。
【解決手段】露光用マスクを作製するためのブランクマスクの表面粗さを測定するマスク表面粗さ測定方法であって、ブランクマスクに測定光を入射させ、該マスクによる暗視野像を取得する光学系を用い、該マスク上の任意領域の暗視野像を取得する第１のステップと、任意領域内の注目位置における暗視野像の像強度が予め定めておいたしきい値未満の場合に、該注目位置の周辺領域の像強度と予め定めておいた関係式とを用いて表面粗さを求める第２のステップと、任意領域の全ての点において第２のステップを繰り返し、得られた表面粗さを平均化する第３のステップと、第３のステップで得られた平均値を、任意領域の表面粗さとして出力する第４のステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】空中写真画像データ同士の対応点を精度良く自動で設定することを可能にする空中写真画像データの対応点設定方法及び対応点設定装置並びに対応点設定プログラムを提供する。
【解決手段】第１空中写真画像データ及び第２空中写真画像データの共通特徴点の座標位置及び外部標定要素から三角測量の原理に基づいて共通特徴点の３次元空間における座標位置を算出し、このときの座標位置が第３空中写真画像データに投影される投影位置を算出し、投影位置を含む探索領域を第３空中写真画像データに設定し、探索領域に対して共通特徴点でパターンマッチングし、マッチング率が閾値以上で最も高いときの座標位置から投影位置までの誤差ベクトルを算出し、誤差ベクトルのうち最も多く頻出する最頻誤差ベクトルを検出し、誤差ベクトルが最頻誤差ベクトルとなる位置の投影位置に最頻誤差ベクトルを加えた位置を共通特徴点に対応する対応点に設定するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンに損傷を与えることなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、半導体基板を測定光学系によって表面観察し、観察結果に基づいて前記半導体基板の欠陥検査を行う基板検査部を備えている。また、前記欠陥検査装置は、前記測定光学系のうち前記表面観察を行う際に前記半導体基板の表面に近接する底部近傍を撮像し、撮像した画像である第１の撮像画像を用いて前記底部近傍の状態検査を行う測定光学系検査部を備えている。前記測定光学系検査部は、前記基板検査部が前記半導体基板の欠陥検査を行っていない間に、前記底部近傍の状態検査を行う。また、前記測定光学系検査部は、前記状態検査の基準となる基準画像と、前記第１の撮像画像と、を比較し、比較結果に基づいて、前記底部近傍の状態検査を行う。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に被検面の形状を計測することが可能な計測装置を提供すること
【解決手段】計測装置は、光コム光源１０１から射出された光束を、被検光束と参照光束に分割するＰＢＳ１５と、前記参照光束と前記被検光束の光路長差を変化させる遅延素子９と、前記被検光束と前記参照光束が干渉して形成する干渉縞を撮像する撮像素子２４と、遅延素子が光路長差を変化させて撮像された干渉縞の信号に基づいて被検面２３の位置を算出する解析器２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ素子の共振端面の角度を容易に且つ精度良く測定することができる方法を提供する。
【解決手段】光導波路の光導波方向と交差する方向に並んだ複数の半導体レーザ素子を含む半導体レーザバー２を、共振端面２ａが所定の基準線２１ｂに沿うようにステージ２１の基準面２１ａ上に固定し、半導体レーザバー２の複数の半導体レーザ素子の共振端面からレーザ光Ｌａを出射させ、レーザ光ＬａのＦＦＰを測定し、ＦＦＰのピーク位置により定まるレーザ光Ｌａの出射方向と、所定の基準線２１ｂ及び基準面２１ａとの相対角度から、半導体レーザ素子の共振端面の角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、誤差の累積を抑制し、目標物になりそうなものがない単調な道路でも適切に真の現在位置を算出できる現在位置算出装置および現在位置算出方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明にかかる現在位置算出装置は、自車１７の現在位置における２次元画像である観測画像が入力される観測画像入力部１と、所定の地点に関連して予め用意された２次元画像である参照画像を管理する、参照画像管理部９と、観測画像と、記憶されている現在位置である仮現在位置に対応する参照画像とを、画像マッチングにより照合する照合部としてのピクセルパターン照合部５と、ピクセルパターン照合部５における照合結果に基づいて、自車１７の真の現在位置を算出する現在位置算出部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】点状対象物の３次元位置決め用の顕微鏡装置と顕微鏡法を提供する。
【解決手段】顕微鏡装置には、点状対象物を、焦点配光４０、４０’の形態で２つの別個の画像空間に結像する２つの結像光学系２６、２６’と、且つそれぞれの画像空間で配置された検出面２７、２７’の検出点にて、分析可能な光点を捕捉する２つの検出ユニット２８、２８’と、２つの検出面２７、２７’の検出点を相互にペアで対応させ、且つ２つの光点を分析することによって点状対象物の横方向ｘ−ｙ位置および軸方向ｚ位置を確認する評価ユニットと、が含まれる。２つの結像光学系には、それぞれの検出ユニットの検出面に垂直な検出軸に対して、それぞれの焦点配光を斜めに向ける光学手段が含まれる。２つの焦点配光の傾斜が相互に反対であることにより、点状対象物のｚ位置の変化に応じて２つの光点が、反対方向にシフトする。 （もっと読む）

【解決手段】ボンディング装置を構成する物品認識装置は、基板のバンプに照明光を照射する第１照明と、該第１照明とは異なる角度から上記バンプに照明光を照射する第２照明と、上記バンプで反射した上記照明光の反射光を撮影する第１撮影手段とを備えている。上記第２照明の輝度を固定したまま、第１照明の輝度を変化させて（Ｓ３）、上記第１撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における第１照明の輝度を記憶する（Ｓ７）。続いて第１照明の輝度を上記記憶した輝度で固定したまま、第２照明の輝度を変化させて（Ｓ９）、上記第１撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における上記一方の照明の輝度を記憶する（Ｓ１３）。
【効果】照明の設定値の設定を容易にかつ安定して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】偏光画像による車両位置検知方法及びシステムを提供する。
【解決手段】かかる方法は、偏光カメラにより路面の偏光画像を取得する段階と、取得された前記偏光画像中の路面及び路肩の違いに基づいて、前記偏光画像中の路肩を算出し、算出された路肩間の部分を路面部分と決定する段階と、前記偏光画像における車両の車輪の画素値と実際の路面の画素値との顕著な差に基づいて、決定された前記路面部分における少なくとも一つ以上の推定車両底部を識別する段階と、識別された前記推定車両底部の各々に対し、前記偏光画像における車両の輪郭の画素値と背景の画素値との差に基づいて、対応する推定車両底部による推定車両位置を取得する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を短時間で測定可能な形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定方法は、ｎ＝１〜Ｎ（Ｎは３以上の整数）とし、参照光の光軸上において異なるＮ個の位置を第１位置〜第Ｎ位置と称するとき、参照面を第ｎ位置に固定し、物体光を被検物の光軸と所定の角度をなす方向から照射して、被検物をその光軸を中心に回転させながら、干渉縞を、被検物上で重複領域を有して隣接し合う複数の領域ごとに取得される複数の第ｎ干渉縞として取得する第ｎ工程を備え、第１工程から第Ｎ工程を行う干渉縞画像取得工程Ｓ１１の後に、複数の領域のそれぞれに対応する干渉縞を用いて位相解析を行い、部分表面形状データを取得する位相解析工程Ｓ１２と、部分表面形状データを重複領域でつなぎ合わせて被検物の輪帯状領域又は全体の表面形状データを取得する統合工程Ｓ１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物が太陽光で照らされた屋外のように、多様性や変化に富んだ環境下において、画像中の対象物を１０画素以下の少ない画素から、誤認することなく検出することができるマーカ、マーカ検出方法および装置を提供する。
【解決手段】対象物１の表面に取り付けたマーカ１０であって、乱反射材からなる内層１２と、内層の外側に取り付けられた偏光フィルムからなる外層１４とを有し、外光２を乱反射し、地表に対し水平、垂直、又は斜めの偏光３に変換して放射する。 （もっと読む）

【課題】３次元辞書データから、対象物に関して測定されない領域に該当するデータを除去することで、高精度・高速な照合・認識を実現する。
【解決手段】概要姿勢の推定を行い（Ｓ３）、３次元辞書データを概要姿勢に応じて姿勢変換して、「概要変換後の３次元辞書データＰ’」を作成する（Ｓ４）。続いて「概要変換後の３次元辞書データＰ’」の点群を、測定器から対象物への距離方向と垂直な仮想平面へ投影する（Ｓ５）。そして、仮想平面を多数の矩形領域に分割し、各矩形領域毎に、その矩形領域に属する（投影された）複数の点のなかから測定器に最も近い点のみを選択し、選択された点のみから構成される３次元辞書データを再構築することにより、３次元辞書データから対象物に関して測定されない領域に該当するデータを除去する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】改良されたレベルセンサアレンジメント及びその動作を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置内の基板上の少なくとも１つの実質的な反射層表面の位置を測定するための方法、並びに、関連付けられたレベルセンサ及びリソグラフィ装置が開示される。該方法は、広帯域光源を使用して少なくとも２つの干渉計測定を実行することを含む。各測定間で、広帯域ソースビームの成分波長及び／又は成分波長全体にわたる強度レベルが変化し、強度レベルのみが変化する場合、強度変化はビームの成分波長の少なくとも一部について異なる。あるいは、成分波長及び／又は成分波長全体にわたる強度レベルが異なる測定データを取得するための単一の測定及び後続の測定の処理を、位置を取得するためにも同様に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】物体表面の反射特性に鏡面反射成分を含むことを必要とせず、物体表面までの距離の計測も必要とせずに面法線を計測する。
【解決手段】面法線計測システム１は、ガイドレールＲｘ，Ｒｙに沿って、互いに直行する平面内を移動して物体ＯＢＪに対する照明方向を変化させる照明装置３０と、物体ＯＢＪを撮影する撮影装置４０と、撮影装置４０によって撮影された画像に基づいて物体ＯＢＪの表面の面法線を計測する面法線計測装置１０とを備える。面法線計測装置１０は、物体ＯＢＪの画像を２値化し、画素ごとに、照明方向と明暗とが対応付けられた陰影ベクトルを作成し、予め形状が既知の参照物体について作成した参照陰影ベクトルと面法線とが対応付けられたデータベースを参照して、物体ＯＢＪの陰影ベクトルと最も類似する参照陰影ベクトルに対応付けられた面法線を、その画素における面法線と推定する。 （もっと読む）

【課題】太陽光などの投光波長以外の光を極限まで制限して、投光波長のみを受光できるようにする。
【解決手段】干渉膜を使った平面板の干渉フィルタを用いて広い視野の検出手段を構成すると、平面板の干渉フィルタへの入射角に応じて透過帯域の移動が起こり、所望の信号強度を得ることが困難となる。この発明は、干渉フィルタの形状を球面状にして全視野の受光光線を干渉フィルタの入射面に対して垂直に入射するようにして、透過帯の移動をなくし、所望の信号強度を得るようにした。また、受光レンズの第一主点と球面状干渉フィルタの球面中心とを一致させて配置することにより、干渉フィルタへ入射する反射光の入射角を０°にして透過帯域が変化しないようにした。 （もっと読む）

【課題】貼合わせウェハ全体について厚さを測定できる装置の提供。
【解決手段】貼合わせウェハ１の厚さ測定光学系及び観察光学系と、測定光学系から出力される信号を用いて貼合わせウェハ１の厚さを算出する信号処理装置とを具え、測定光学系は、第１の波長域の測定用光源３０と、この測定光を投射して光スポットを形成する対物レンズ１７と、その反射光の光検出手段４０とを有し、観察光学系は、前記第１の波長域とは異なる第２の波長域の観察用照明光を放出する照明光源４１と、照明光を投射する対物レンズ１７と、その反射光を受光して２次元画像を撮像する撮像装置４８とを有する。これらで共通の対物レンズ１７と測定光源及び観察光源との間の光路中には、前記測定光学系と観察光学系とを光学的に結合する波長選択性を有するカップリング素子３４を配置する。撮像装置４８は、前記測定光により形成された光スポットの像が重畳された像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】複数人で構成されるグループが移動する経路上に設けられた１個以上の機器を到着に先立って制御することができる機器制御装置を提供する。
【解決手段】注視方向検出部２は、グループ内の各人が注視している方向を検出する。方向関係特定部３は、各人が注視している向きと照明機器が存在する方向との関係を特定する。グループ希望方向推定部４は、グループ内の全員について特定した関係に基づいて、グループ全体として照明機器が存在する方向への移動の希望を推定する。制御部５は、グループ希望方向推定部４による推定結果に基づいて、照明機器１０＿１〜１０＿Ｎを制御する。 （もっと読む）

【課題】周辺の建物の有無やレイアウトの変更等にかかわらず、簡便に詳細な位置情報を取得する。
【解決手段】位置検出装置が、所定の視野角に表示画像を表示する表示装置によって表示される表示画像と、予め設置された表示装置によって表示画像が表示される視野角方向の位置を示す位置情報とを対応付けて記憶し、表示装置によって表示された表示画像が撮像された撮像画像の入力を受け付け、入力された撮像画像に含まれる表示画像に対応付けられた位置情報を読み出す。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラの設置状態を、簡単にかつ精度良く測定することができるカメラ状態測定装置を提供すること。
【解決手段】カメラ状態測定装置１００は、ステレオカメラの設置状態に関し、ステレオカメラの撮影画像から、特徴点を抽出する特徴点検出部１３０と、特徴点検出部１３０で検出された特徴点のうち、基準面上に位置する２点の指定をユーザから受け付ける計測点指定部１５０と、上記２点についての対カメラ距離ｄ_１、ｄ_２を取得する対カメラ距離測定部１８０と、上記２点にいての対カメラ角θ_１、θ_２を取得する対カメラ角測定部１９０と、上記ｄ_１、ｄ_２、θ_１、θ_２に基づいて、ピッチ角θ_０を算出するピッチ角計算部２００と、上記ｄ_１、ｄ_２、θ_１、θ_２、θ_０に基づいて、カメラ高さｈを算出するカメラ高さ計算部２１０とを有する。 （もっと読む）