【課題】測定対象物の位置を高精度に測定する測定装置を低コストで提供する。
【解決手段】変調部によって第１周波数で変調された基準光からデジタル基準信号を取得し、前記第１周波数で変調された光が照射された測定対象物から反射された測定光からデジタル測定信号を取得し、前記デジタル基準信号と前記デジタル測定信号とを処理して前記測定対象物の位置を測定する装置は、前記デジタル測定信号に前記デジタル基準信号と同期したサイン信号又はコサイン信号を乗算して、第２周波数および高調波の成分を有する信号をそれぞれ出力する第１および第２同期検波部と、前記第１又は第２同期検波部から出力された信号をデシメーション周波数でフィルタリングして前記高調波の成分を減衰させる第１および第２デシメーションフィルタと、前記第１および第２デシメーションフィルタから出力された信号に基づいて前記測定対象物の位置を演算する演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】変位計と測定対象物との間の相対移動に起因する誤差を適切に補正すること。
【解決手段】測定対象物の一次元形状を測定する変位計と測定対象物との間の相対位置をずらしながら測定対象物の平面度を測定する平面度測定装置は、第１方向の第１測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第１測定と、第１測定ラインと第１交差点Ｐ２で交差する第２方向の第２測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第２測定と、第２測定ラインおよび第１測定ラインとそれぞれ第２交差点Ｐ３および第３交差点Ｐ１で交差する第３方向の第３測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第３測定と、第１測定による第１の一次元形状を示す第１の測定値列ＤＬ１、第２測定による第２の一次元形状を示す第２の測定値列ＤＬ２、および第３測定による第３の一次元形状を示す第３の測定値列ＤＬ３を第１交差点Ｐ２乃至第３交差点Ｐ１においてそれぞれ一致させるように第１の測定値列ＤＬ１乃至第３の測定値列ＤＬ３を補正する補正処理と、を行う。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定機の測定視野以上の測定領域の測定をするに際して、複数の測定結果の繋ぎ合せを簡易に行うことを可能とし、オーバーラップ領域を低減して全体の測定時間を削減し、さらに一定の累積誤差の発生を低減することが可能な表面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】面測定データの繋ぎ合せ時に回転方向の補正を行わず、面測定データの平行移動のみを行い面測定データを合成して合成面測定データを取得するようにする。 （もっと読む）

【課題】試料に形成されたパターンに起因する高さ測定誤差を低減して、描画精度の向上を図ることのできる高さ測定方法および荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、高さ測定方法は、高さの基準となる範囲を決定する工程と、ＰＳＤを含むアナログ信号処理回路上でのオフセット値を求める工程と、ＰＳＤの出力値からオフセット値を差し引いた値を用いて試料の高さの測定データを求める工程と、試料の高さの測定データの内で基準となる範囲に含まれない値を除き、残った値を用いてフィッティングを行い、試料の高さデータを作成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】シェーディングの状態や、その雑音成分が変化しても、リアルタイムにシェーディング補正が可能な表面検査装置のシェーディング補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め記憶された前回走査時までの走査検出信号で生成した第１のシェーディング補正信号ｓ８を元にして閾値信号ｓ３、ｓ４を生成し、今回の走査時の走査検出信号ｓ１に含まれる欠陥部に対応する位置の信号値を第１のシェーディング補正信号ｓ８で置換してアルタイムに補正走査信号ｓ６を求め、今回の走査時の走査検出信号を正規化するようにしたことを特徴とする表面検査装置のシェーディング補正方法。 （もっと読む）

【課題】大がかりな装置構成とすることなく、自宅等で簡単に顔のたるみや体型等をセルフチェックすることが可能な起伏観察装置を提供する。
【解決手段】起伏観察装置である起伏観察機能付きカメラ２００は、投影用パターンデータを記憶するパターンデータ記憶部９０と、投影用パターンデータを用いて観察対象物にパターン画像を投影する画像投影部２０と、観察対象物を撮像する撮像部３０と、投影用パターンデータと撮像部３０により撮像された撮像データとを重ね合わせることにより、観察対象物の起伏状態を強調した画像を生成する画像処理部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】回転工具の形状と性状を同時に測定する方法を提供する。
【解決手段】画像記憶部１０７は、回転する物体を撮影した画像を記憶する。画像処理部１０８は、一の撮影した画像の輝度値と他の撮影した画像の輝度値を画素毎に比較して輝度値画像を生成する。また、画像処理部１０８は、基準となる形状を示す基準画像の輝度値と輝度値画像の輝度値との差分に基づいて差分画像を生成する。性状算出部１１０は、差分画像に基づいて物体の性状を示す性状変数を算出する。 （もっと読む）

【課題】 重量測定方式と非接触測定方式との両方の要素を備えることによって、被輸送物の輸送量を求めるというコンベヤスケール本来の機能を確実に保証しつつ、特に重量測定方式の要素に故障等の異常が発生したときに、これを簡単な構成で検知する。
【解決手段】 本発明のコンベヤスケール１０は、計量ローラ１８と２台のロードセル２２および２４とを含む重量測定系と、７個の非接触型距離センサ３０〜４２を含む非接触型測定系と、を備えている。重量測定系が正常なときは、当該重量測定系によって求められた被輸送物１００の精確な輸送量が制御装置５０のディスプレイに表示される。重量測定系に異常が発生したときは、非接触型測定系によって求められた副次的に精確な輸送量が表示される。なお、重量測定系が正常であるか否かは、重量測定系によって求められた輸送量と非接触型測定系によって求められた輸送量との比較に基づいて、判定される。 （もっと読む）

【課題】カメラの取り付け位置や取り付け姿勢の情報を迅速かつ精度良く得ることを課題とする。
【解決手段】設定部２３２は、４個のマーカーが映し出された画像平面上の４個に対応するカメラ座標系における仮想的な４つの対応点の中から基準マーカーとする点Ｍを選択する。そして、設定部２３２は、基準点Ｍまでの距離Ｌ_０に所定の値を設定する。作成部２３３は、基準点Ｍ以外の点、つまり基準マーカー以外のマーカーに対応する点１〜点３までの各距離Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３を表す数式を作成する。導出部２３４は、設定部２３２により設定された基準マーカーで採用する全ての符号パターンを導出する。棄却部２３５は、導出部２３４により導出された符号パターンの中から、距離Ｌ_１、Ｌ_２、Ｌ_３の値の少なくとも１つが相応しい値となり得えない符号パターンを棄却する。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の広範囲にわたる画像を取得できる撮像装置を提供する。
【解決手段】可視光線を検出して画像を取得する撮像素子と、測定対象物の被照射領域に可視光線を照射し測定対象物における被照射領域の隣接部分に対して被照射領域が反射する可視光線の色彩を画像により識別可能に異ならせる発光部、および被照射領域からの可視光線を検出する受信部を有し被照射領域における発光部からの距離を測定する測定部と、画像の所定範囲を抽出画像としたとき、２つの抽出画像Ｐ１、Ｐ２であって、一方の抽出画像中に発光部により可視光線を照射されている被照射領域Ｗ１の像が含まれているとともに、他方の抽出画像中における被照射領域に対応する対応領域Ｗ３が発光部により可視光線を照射されていないものを測定対象物Ｗが連続するようにつなぎ合わせて結合画像Ｑ１を作成する画像結合部とを備え、画像結合部は他方の抽出画像中の対応領域の像を用いる。 （もっと読む）

【課題】レール分岐部分において、作業者の勘に頼らなくても高い精度でトングレールの先端を含めたこれの基本レールに対する接触状態でのレール頭面形状を効率的かつ連続的に測定できるトングレール接触状態測定装置およびトングレール摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】この発明は、ブリッジ部材の端部を第２のレールにクランプ固定するクランプ部材を設けることで第１のレールと第２のレールとの間のブリッジ構造で直線移動機構を第２のレールに支持しかつ第１のレールに対して固定状態で支持することができる。これによって、直線移動機構の移動台を移動させる二次元変位センサによって第１のレールとこれに接触するトングレールとの頭面形状についての測定信号をレール長さ方向に連続的に得ることができる。この測定信号によってトングレール摩耗量測定をも測定することができる。 （もっと読む）

【課題】コストを増加させずに処理の高速化と解像度の変更が可能な光電変換素子と、それを用いた欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】複数のセンサ画素を有する光電変換素子１において、マルチプレクサ５と、複数の水平転送レジスタ３ａ〜３ｄとを有する。センサ画素は、水平転送レジスタ３ａ〜３ｄのそれぞれに対応するように、複数のブロック２ａ〜２ｄに分割される。複数のブロック２ａ〜２ｄの電荷が、対応するそれぞれの水平転送レジスタ３ａ〜３ｄを介してマルチプレクサ５に読み出され、マルチプレクサ５を介して出力されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法を提供する。
【解決手段】２つの撮像装置のそれぞれについて、撮像装置の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、撮像装置の傾斜を調整する傾斜調整工程と、撮像装置の位置を検出する位置検出工程と、撮像装置の位置を調整する位置調整工程と、を有し、傾斜検出工程は、均等間隔で設けられたパターンを、撮像装置の焦点位置を順次変化させて撮像し、撮像画像におけるパターン位置を検出してパターン領域を設定し、パターン領域における各画素の輝度値を検出し、検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出し、各パターン領域における輝度変化量の積算値を算出し、積算値が最大となる撮像画像に対応した焦点一致位置を検出し、焦点一致位置に基づいて、撮像装置の傾斜状態を検出することを特徴とする調整方法。 （もっと読む）

【課題】特定のランドマークを設置しないでも、精度良く撮像装置の姿勢パラメータを取得可能な姿勢キャリブレーションを実現する。
【解決手段】撮像部により撮像された画像に含まれる物体を検出し、検出された少なくとも２つの物体について、それぞれ撮像された画像における正立状態からの回転角度を算出し、算出された前記少なくとも２つの物体の回転角度から撮像装置の設置角度に関する姿勢パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物の撮影画像から抽出される形状に基づいて、対象物の撮影画像と当該対象物の設計情報とを位置合わせする位置合わせ装置、位置合わせシステム及び位置合わせプログラムを提供する。
【解決手段】位置合わせ装置１は、対象物３を撮影した撮影画像情報１１１から当該対象物３に設けられた孔を選択する特徴点選択受付手段１０１と、特徴点選択受付手段１０１が選択を受け付けた孔の特徴点を抽出する特徴点抽出手段１０２と、対象物３の見本となる対象物三次元情報１１３から特徴点に対応する対応点を選択する対応点選択手段１０３と、対応点を座標変換し、撮影画像の視点と特徴点とを通る直線と、対応点との距離を最小にして、対象物３の撮影画像情報１１１と対象物３の見本となる対象物三次元情報１１３とを位置合わせする位置合わせ手段１０４とを有する。 （もっと読む）

【課題】空間符号化法における物体の三次元形状の計測を高速に且つ高精度に行う。
【解決手段】それぞれのエッジの位置が相互に重ならない複数の周波数のスリット光パターンを被写体に投影したときのそれぞれの撮像画像から、スリット光パターンのエッジの部分を特定する。そして、２以上のスリット光パターンの撮像画像において、エッジの部分が重なる場合に、そのエッジに対応する位置の距離算出値の信頼度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】測定領域においてハレーションがある場合でもハレーションによる悪影響を軽減して測定領域の高さを計測できる高さ計測装置及び、高さ計測方法を提供する。
【解決手段】高さ計測装置は、高さ方向に撮像位置を変えて画像データを撮像する画像取り込み部と、前記画像データ中の測定領域における高さごとのフォーカス評価値を計測する測定領域フォーカス評価値計測部と、前記画像データ中の前記測定領域の近傍領域における高さごとのフォーカス評価値を計測する近傍領域フォーカス評価値計測部と、前記近傍領域における高さごとのフォーカス評価値と、前記測定領域における高さごとのフォーカス評価値とを基に、前記測定領域における高さを計測する測定領域高さ計測部とを有する。 （もっと読む）

【課題】トロリ線の連続したエッジ検出を行うことができるトロリ線検査装置を提供する。
【解決手段】トロリ線検査装置において、トロリ線４を照らす照明３と、前記照明３の両脇に１台ずつ設置してトロリ線４を撮影する左カメラ１０及び右カメラ１１と、前記左カメラ１０及び右カメラ１１により撮影した画像中の前記トロリ線４の軌跡の下側のエッジを検出して前記トロリ線４の高さと偏位を測定する画像録画及び画像処理部２とを備えた。 （もっと読む）