【課題】光源によらない一定の色に補正できる画像色彩補正装置を提供する。
【解決手段】本発明における画像色彩補正装置１は、測定対象物２と複数のカラーコード付き標識ＣＴを同時に又は別時に異なる複数方向から撮影する撮影部３と、撮影部３により撮影されたカラーコード付き標識ＣＴの撮影画像から、位置検出用パターンＰ１の位置を求める位置検出部５１と、撮影画像から基準色パターンＰ２を抽出する基準色パターン抽出部５２と、撮影画像からカラーコードパターンＰ３を抽出するカラーコードパターン抽出部５３と、基準色パターン抽出部で抽出された基準色パターンのうち、少なくとも光源色補正に用いる色彩を用いて、撮影画像の光源色補正を行う色補正部７１とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】 透光性板状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス板Ｇの表面及び裏面で反射させて、反射光をラインセンサ５５に導いてガラス板Ｇの厚さを測定する。測定用レーザ光は、Ｙ軸線回りに回転可能なガルバノミラー４５及びＸ軸線周りに回転可能なガルバノミラー５１を介してガラス板Ｇに照射される。サーボ用レーザ光も、ガルバノミラー４５，５１を介してガラス板Ｇに照射され、反射光はガルバノミラー４５，５１を介して４分割フォトディテクタ６６に導かれる。４分割フォトディテクタ６６により、ガラス板Ｇの表面のＸ軸及びＹ軸線回りの傾きが検出され、この傾きに応じてガルバノミラー４５，５１を駆動するサーボ制御により、測定用レーザ光をガラス板Ｇに対して常に一定方向から入射させる。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置自体の振動や蛇行の影響を受けずに測定対象の形状を正確に測定すること。
【解決手段】高さ方向に関する測定対象の形状を左右同時に測定する測定ステップ（ＳＴＰ１）と、測定対象の右側及び左側の面全体を走査する走査ステップ（ＳＴＰ２）と、測定対象の右側測定データと左側測定データとから、それぞれ独立に短周期成分を除去する振動除去ステップ（ＳＴＰ３）と、短周期成分を除去した右側測定データと左側測定データとの両方を用いて長周期成分を除去する蛇行除去ステップ（ＳＴＰ４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状測定において、対象構造が計測可能か、又はどの程度の誤差が生じるかを分光反射率測定により事前に知る。
【解決手段】繰り返しパターンを分光検出して分光反射率を求めるとともに検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量を求め、分光反射率の情報及び検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量の情報と、繰り返しパターンの屈折率と消衰係数とを含む光学的材質の情報及び繰り返しパターンの形状の情報とを用いて繰り返しパターンの形状を算出して所定の精度で繰り返しパターンを計測することが可能かを評価し、評価した結果所定の精度で計測可能と判定した場合に繰り返しパターンと同一のパターンが形成された基板を順次分光検出してパターンの形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置を安価に提供する。
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像するローリングシャッター式の撮像装置と、撮像装置の合焦位置を制御して合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、撮像装置から取得した画像情報から画像情報のコントラスト情報を算出する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、取得した画像を複数の領域に分割し、各領域の、画像内における位置とコントラスト情報とに基づいて画像情報のコントラスト情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状を正確に測定して高い精度で描画することのできる荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】高さ測定部４０において、光源４１から照射される光Ｌｉをマスク２上で投光レンズ４２によって収束させた後、マスク２上で反射した光Ｌｒを受光レンズ４３を介して受光素子４４に入射させる。受光素子４４で光の位置が検出されると、信号処理部６０を経て、高さデータ処理部７０で高さデータＨｒが作成される。光Ｌｒの光量が閾値以上であれば、高さデータＨｒを偏向制御部３０へ送る。一方、光Ｌｒの光量が閾値より小さい場合には、描画前に取得した高さデータマップＨｍから、対応する座標の高さデータを偏向制御部３０へ送る。偏向制御部３０は、高さデータ処理部７０から送られた高さデータに基づいて、電子ビーム光学系１０の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】缶の巻締め部の巻締め厚さを全周にわたって精度よく計測できる金属缶端巻締め外観検査方法を提供する。
【解決手段】外観検査装置を用いた金属缶端巻締め外観検査方法は、巻締め部上方に配設したリング照明装置２からの照明光により巻締め上端両側の反射映像をリング照明装置２の中心と同軸上に配設したカメラ４で撮像し、入力映像をディジタル多階調画像に変換し、巻締め上端両側の二重のリング状画像を得、リング状画像の中心から放射状に二重のリング外側端とリング内側端とのリング幅を適宜な間隔で全周計測し、各リング幅寸法があらかじめ設定した上下限の閾値範囲外のとき、金属缶が不良品であると判別する。 （もっと読む）

【課題】広い検出エリアにおいて検出精度の均一化ができる光学式検出装置、電子機器及び投射型表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、照射光ＬＴを出射する照射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴに存在する対象物ＯＢにより照射光ＬＴが反射することによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置検出情報を検出する検出部１１０とを含む。照射部ＥＵは、検出エリアＲＤＥＴが設定される対象面ＳＯＢに対して斜め方向となる第１の面ＳＦ１と、対象面ＳＯＢに対して斜め方向となり、且つ、第１の面ＳＦ１よりも対象面ＳＯＢとの成す角が大きい第２の面ＳＦ２とにより規定される照射範囲に、第１の面ＳＦ１に沿う方向において第１の強度であり、第２の面ＳＦ２に沿う方向において第１の強度よりも強度が低い第２の強度である照射光ＬＴを出射する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、画像を用いた測定において、１枚の画像に納まりきらない程の高い倍率で画像を取得する際にも、容易な操作で画像を取得でき、かつ、寸法を算出する際に、１枚の画像に納まりきらない程の高い倍率で撮影した画像を用いることで、１枚の画像に納まりきる画像から寸法を算出するよりも高い精度で寸法を算出可能な装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ワイドカメラの画像からワークの輪郭を抽出し、抽出された輪郭情報に基づき、駆動機構の走査軌跡および、複数のカメラの撮像倍率を決定し、決定された走査軌跡を走査中に、複数のカメラから複数枚の画像を取得し、複数枚の画像を合成して、高倍率の画像を生成し、生成された高倍率画像から高精度に輪郭の寸法を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 撮像装置のレンズ及び撮像素子を対象面と平行な方向に沿う方向に配置するこ
とで、撮像画像における歪みを抑止し、位置検出の精度を向上させる位置検出システム、
表示システム及び情報処理システムを提供すること。
【解決手段】 位置検出システム４００は、撮像画像を撮像する撮像部５００と、撮像部
５００からの撮像画像に基づいて、対象面２０に設定された検出エリアでの対象物ＯＢの
座標情報を求める座標演算部４３０と、を含み、撮像部５００は、レンズ部ＬＥを有する
光学系と、撮像素子ＩＭとを含み、撮像部５００から対象面２０の中央部へと向かう方向
である第１の方向と、対象面２０のなす角度α１とし、レンズ部ＬＥの光軸方向である第
２の方向と対象面２０のなす角度をα２とした場合に、角度α１及び角度α２は、α１＜
α２を満たす。 （もっと読む）

【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【課題】距離画像データ等の３次元データと２次元画像データとの対応付け、距離画像データと２次元画像データを相補的に用いることにより柔軟で信頼性の高い認識結果が得られる、３次元データと２次元画像データの統合方法およびそれを用いた頑健な監視・見守りシステムを提供する。
【解決手段】システムは、２次元データを取得する２次元データ取得ステップと、３次元データを取得する３次元データ取得ステップと、上記２次元データと前記３次元データの位置を対応付ける対応付けステップと、上記対応付けステップで対応付けた結果に基づいて上記３次元データを２次元データ上に重畳する重畳ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易的な構成で画像プローブの校正を高精度に行いながら画像プローブによる被測定物の対象拡大と画像プローブの使い勝手の向上が可能となる。
【解決手段】撮像方向（光軸Ｄの方向）を垂直方向に保持し画像プローブデータを取得する工程（ステップＳ２）と、撮像方向を所望角度に傾斜させ傾斜角度データを取得する工程（ステップＳ８）と、プローブ交換工程（ステップＳ１０）と、撮像方向を垂直方向に保持した際の初期角度でタッチプローブ１１８を保持しタッチプローブデータを取得する工程（ステップＳ１２）及び位置関係データを取得する工程（ステップＳ１６）と、傾斜角度データでタッチプローブ１１８を傾斜させ傾斜タッチプローブデータを取得する工程（ステップＳ２０）と、画像プローブデータ等に基づいて、所望角度への傾斜後の画像プローブ１１６の焦点位置及び光軸Ｄ周りの回転角を校正する工程（ステップＳ２２）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】円形ワーク等を含む種々のワークの形状を短時間で簡易かつ正確に測定できるワーク寸法測定装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを挟んで両側に位置させられ、ワークＷに向けて一定長の線状レーザ光Ｌを照射する一対のレーザ変位計４Ａ，４Ｂと、これらレーザ変位計４Ａ，４Ｂを互いに対向する方向で離間ないし接近方向へ移動させるスライダ機構２Ａ，２Ｂと、ワークＷに照射された線状レーザ光ＬがワークＷの表面に線像を生じさせた際の移動距離に基づいてワークＷの外形寸法を算出するパソコン６とを備える。ワークＷは円形であり、その外周面に生じる線像は頂点を有する円弧状をなし、パソコン６は上記移動距離と頂点の位置に基づいてワークＷの外径を算出する。 （もっと読む）

【課題】三次元画像表示された対象物の視認性が向上する三次元データ処理技術を提供する。
【解決手段】三次元データ処理装置２０は、対象物の表面に走査されたレーザの反射光を受光しその反射点の位置データの集合である点群データを生成する点群生成部２１と、前記点群データ３１の位置データにおけるピクセルの法線を導出する法線導出部２２と、法線４３に基づいてピクセルの輝度を演算する輝度演算部２３と、ピクセルの前記位置データ及び前記輝度に基づいて対象物３０の三次元画像を構成する３Ｄ画像構成部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】ライン状（線状）の撮像領域を用いて移動する計測対象物の撮像を行う際にも、高輝度な照明光を用いることなく明るい画像を取得することが可能な三次元形状計測装置を提供する。
【解決手段】この表面実装機１００は、各々がＸ１方向に並べられるとともにＸ１方向と直交するＹ２方向にライン状に延びるライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを含み、部品１２０を撮像する二次元イメージセンサ６３と、二次元イメージセンサ６３に対してＸ１方向に相対的に移動する部品１２０に向けて正弦波状の光強度分布を有するパターン光Ｇを投影する照明部６１と、二次元イメージセンサ６３が、ライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを用いて部品１２０の領域Ｐ１を順次撮像する場合に、領域Ｐ１の画像信号を、投影されたパターン光Ｇが有する周期Ｌの２分の１の積分範囲ｄで積算する制御を行う撮像制御部７３とを備える。 （もっと読む）

【課題】１つのカメラの視野に入らない計測対象物の裏側の形状まで精度良く計測する装置および方法を提供する。
【解決手段】計測対象物に格子模様を投影する格子模様投影部と、計測対象物の周囲に配置された少なくとも１つの鏡と、計測対象物および鏡に映る計測対象物の鏡像の画像を撮影する少なくとも１つの撮影部と、計測対象物の画像と鏡像の画像の各々に対して位相解析処理を施して計測対象物の形状を算出するとともに撮影された前記計測対象物の画像と前記鏡像の画像とを合成する解析処理部とを備え、撮影部の各々は、計測対象物の少なくとも一部の領域と該少なくとも一部の領域の鏡像とを同時に撮影可能に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動体の絶対位置を高い精度で求めること。
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体２に形成された２つの減圧空間部３，２３に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る２つの干渉計６，２５と、２つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、２つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ４及び真空排気流路５，２４と、２つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する２つの位相検出器１７，３５と、２つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器１９と、位相比較器１９における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器２１と、原点信号発生器２１で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器２２，３７とを備えている。 （もっと読む）