【課題】入力画像の対象物対応領域がテンプレート画像の対象物領域と比べて変形している場合や、入力画像にノイズが重畳している場合でも、対象物を正しく検出することができる（検出したかどうかの判断が可能となる）一致度を計算する。
【解決手段】入力画像と、対象物のテンプレート画像とを対比し、入力画像とテンプレート画像との一致度を計算する一致度計算装置であって、入力画像を、テンプレート対象物領域と整合するように変形する変形手段と、変形後の入力画像とテンプレート画像との一致度を計算する手段とを備え、前記変形手段は、入力画像の対象物対応領域において、テンプレート対象物領域の形状に合わせて非背景領域を整形する手段と、入力画像の対象物非対応領域において、テンプレート対象物対応領域に接する非背景領域を、前記一致度に影響を与えないように設定する処理手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の波長の光源による干渉像の位相の組み合わせ計測を、平面画像一枚のみの撮像で解析可能とする。
【解決手段】観測光と参照光を含む複数の波長の光を発生する光発生手段と、該光を干渉可能な状態で撮像手段に導く光学系と、計測面の２次元干渉画像を撮像する撮像手段と、上記計測対象物の計測面の高さ毎の各波長光の位相の理論的組み合わせに基いて上記対象物の計測面の微小高さを求める画像解析手段とを備えるとともに、上記撮像手段を計測面に対して相対的に所定の傾斜角を持たせて設置することにより、干渉縞を生じさせ、該干渉縞の濃淡の変化パターンを観測することにより、上記計測対象物の計測面の微小高さを計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】視差に基づいて距離画像を生成する際に、視差を精度良く算出できるようにする。
【解決手段】ステレオマッチング部３０が、基準画像Ｇ１上の各画素に対応する対応点を参照画像Ｇ２において探索する。距離画像生成部３１が対応点に基づいて距離画像を生成する。１つの対象画素に対して複数の対応点が探索された場合、対応点決定部３２が、対象画素の周囲にある複数画素の距離値に基づいて、対象画素およびその周囲における被写体形状を算出し、対象画素と複数の対応点のそれぞれとに基づいて、対象画素における距離情報である対象距離情報を複数の対応点毎に算出し、被写体形状との差異が最も小さい対象距離情報を算出した対応点を有効な対応点に決定する。 （もっと読む）

【課題】 道路に存在する柱等に取り付けられたステレオカメラから得られる画像に対して相関演算を用いて視差画像を求めることにより歩行者や自転車等の対象物の３次元座標を計算して高さの情報から対象物を検出する方法で、照明や天候の変化の影響がある場合にもロバストに対象物を検出すること、および、対象物の位置や速度等の運動情報を精度良く検出すること。
【解決手段】 ステレオカメラの配置や対象物の位置や高さに応じて設定する処理領域を、取得した画像に対して複数設定する。設定された処理領域毎に平面投影ステレオ法の原理を用いた手法を適用し、歩行者や自転車等の対象物を検出する。処理領域毎の対象物検出結果を統合し、画像全体の対象物を検出する。検出された対象物を時系列に追跡し、位置や速度等の運動情報を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングからの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた基板１からの反射光を受光して可視光画像を生成する。コーティング検査装置１０は、可視光画像に基づいて基板１の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板１のコーティングを検査する。特定された基板１の位置を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】３次元データのファイルから簡易に所望とする距離範囲の３次元形状を再生できるようにする。
【解決手段】３次元データ生成部３１が、撮像部２１Ａ，２１Ｂが被写体を撮像することにより取得した画像データから、被写体の３次元形状を表す複数の距離データからなる３次元データを生成する。データ変換部２４Ａが、距離データを距離順に並べ替えて変換済み３次元データを生成する。ファイル生成部２４が、変換済み３次元データを所定距離間隔により分割した場合の境界における距離データを特定し、特定された距離データのファイル内における格納場所を表す格納場所情報および変換済み３次元データが格納された３次元データファイルを生成する。 （もっと読む）

【課題】中空糸膜モジュールの欠陥検査方法では、検査精度を高めるためには、画像の分解能をあげなければならない。しかし、画像の分解能を上げると、画像データ量が増える。すると画像撮影のために時間がかかり、検査時間が増大するという課題があった。
【解決手段】比較的低い分解能で中空糸膜モジュールの端面の映像を撮り、画像補間によって情報量を増やす。その上で２値化した画像データを用いて欠陥検査を行う。このようにすることで、撮影時間を短くすることができ、またデータ補間と２値化によって、誤検出や過検出といったことのない精度よい欠陥検出をすることができる。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置１０は、生成した画像のうち少なくとも１つに基づいて基板１のコーティングを検査する。コーティング検査装置１０は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】大がかりな構成を必要とせず、間違いの少ない自動化された部品検査を可能とする欠品検査方法および装置を提供する。
【解決手段】物品５３が封入された封入体５２が所定の収容体５１に入っているか否かを検査する欠品検査方法である。そして、封入体５２には少なくとも２つの領域に互いに異なる角度方向に伸びる縦縞模様をそれぞれ付すとともに、収容体５１には一方向に伸びる縦縞模様を付しておき、搬入された前記収容体を撮像し、撮像データから撮像画像中のモアレ縞の有無を分析し、この分析結果に基づいて収容体５１に封入体５２が入っているか否か判別を行う。 （もっと読む）

【課題】静電霧化装置において適正量の帯電微粒子水が発生するか否かの検査の自動化を可能にする。
【解決手段】静電霧化装置は、霧化電極と冷却手段とを備える。霧化電極は、冷却手段に結合された軸部と、軸部軸部よりも大径のヘッド部とを一体に備える。冷却された霧化電極を撮像装置１で撮像して得た濃淡画像を画像処理装置２０に入力する。画像処理装置２０は、ヘッド部の輪郭線上の画素数を求める輪郭線長検出部２６と、ヘッド部の輪郭線内の画素数を求める面積検出部２７と、軸部において方向値を持つ画素数を計数する水付着量検出部２８とを備える。判定部２９は、輪郭線長検出部２６と面積検出部２７と水付着量検出部２８とで求めたいずれかの画素数が、それぞれ対して規定した閾値を超えていると霧化電極に水が付着した良品と判定する。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンの欠陥を検出する際に被検査画像を２値化して検査用の処理済画像を生成するための閾値を高精度に求める。
【解決手段】欠陥検出装置では、撮像部により基板の被検査画像が取得され、被検査画像にエッジ抽出フィルタを適用した上で２値化することによりエッジが抽出される。そして、被検査画像からエッジが除去されたエッジ除去済画像の濃度ヒストグラムに基づいて、被検査画像を２値化して検査用の処理済画像を生成するための検査用閾値が求められる。濃度ヒストグラムでは、エッジが除去されることにより、配線パターンに対応する濃度分布と基板本体に対応する濃度分布との間の濃度帯において画素の頻度が０となり、２つの濃度分布が明確に分離される。このため、基板本体に対応する濃度分布の最大濃度を検査用閾値とすることにより検査用閾値を高精度に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】 エッジ強調処理が施された画像データからサブピクセル精度で特徴位置を検出する。
【解決手段】 連続的に撮像した各フレーム中、フレーム番号ｎの画像データに対して、フレーム番号（ｎ−１）に対応するテンプレートを適用し、フレーム番号ｎのフレーム暫定特徴点位置を検出する。この撮像対象は、長方形の４個の各頂点に特徴位置を有する図形が描写されたプレートである。つぎに、フレーム暫定特徴点位置に基づいて、フレーム番号ｎの画像上の特徴位置に対応するテンプレートを生成する。その後にフレーム番号ｎの画像データにフレーム番号ｎに対応するテンプレートを適用して、フレーム番号ｎのフレーム特徴点位置を検出する。 （もっと読む）

方法は、試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と、試験対象物の位置に対して得られた走査干渉法信号とを比較することを有する。各モデル信号に対して、比較することは、走査干渉法信号とモデル信号の間の相関関数を算出し、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットを特定すること、および、特定した表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さに対する、走査干渉法信号とモデル信号の間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することを有する。本方法は、異なるモデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定することをさらに有する。
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【課題】高精度なバリまたは欠損の自動認識を可能にする。
【解決手段】ワークに対する複数の計測位置からワークを計測することで計測データを取得し、この計測データをコンピュータに入力するデータ入力ステップＳ１と、計測データに基づいて、ワークの存在する空間領域を、境界表面が互いに直交する直方体からなる複数のボクセルに分割し、各ボクセル位置を記憶する環境モデルを構築する環境モデル構築ステップＳ３と、計測データはワーク表面における複数の被計測点の座標値を含むとして、これら各座標値に対応するボクセルの内部に代表点とその誤差分布を設定し記憶するマッチングステップＳ４と、ワークの３Ｄ−ＣＡＤモデルを読込んでワークの形状モデルを得るワークモデル取得ステップＳ９と、ボクセル位置、代表点、誤差分布で表現される照合用３次元形状と、ワークの形状モデルとを照合して両者の形状差異を評価する照合ステップＳ１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】立体形状を簡易に計測できる立体形状計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置５００は、六方状の格子を傾けることにより構成された格子５５０と、プロセッサ６１０と、画像センサ６２０と、光源６４０とを備える。プロセッサ６１０は、画像センサ６２０から送られるデータに基づいて被写体の画像を認識し、被写体の表面に形成された格子縞の座標値を算出し、六方格子を構成する３つの格子縞に対して合致法を適用することによりそれぞれの格子縞に対応する縞次数を探索し、探索結果に基づいて被写体のＺ軸方向の値（すなわち高さ）を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象からの戻り光の減衰やＳ／Ｎ比の低下を防止することができる光ロータリアダプタ、およびこれを用い、効率よくかつ簡単に分解能の高い断層画像を生成することができる光断層画像化装置を提供する。
【解決手段】固定スリーブと、これに支持され、その一方に傾斜端面を持つ固定側光ファイバと、この傾斜端面と所定間隔離間して配置される固定側コリメータレンズと、固定スリーブに対して回転自在に支持される取付筒と、固定側コリメータレンズに対向して配置され、傾斜端面を持つ回転側光ファイバと、固定側コリメータレンズと回転側光ファイバとの間に、回転側光ファイバの傾斜端面と所定間隔離間して配置される回転側コリメータレンズと、取付筒を回転駆動する回転駆動源とを有し、固定側光ファイバおよび回転側光ファイバの中心軸を、取付筒の回転中心軸に対して、オフセットまたは傾斜させた光ロータリアダプタにより、また、この光ロータリアダプを用いる光断層画像化装置により、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線露光用マスクのメンブレンに形成された貫通パターンのテーパ形状を非破壊的に検査する。
【解決手段】メンブレン１０の裏面１０ｂ側から赤外光１７を透過照射し、表面１０ａ側で赤外カメラ５により透過光による画１４Ａ像を得る。メンブレン１０は、赤外光に透過性を有するシリコン薄膜等で構成されるため画像１４Ａには貫通テーパ４Ａの表側開口の輪郭の像１５Ａと裏側開口の輪郭の像１６Ａとが含まれる。貫通テーパ４Ａが、粒子線入射側開口が射出側開口に比べて広くなった逆テーパであるかその逆の順テーパであるかにより、画像１４Ａのコントラスト波形１８Ａのパターンが異なるため、テーパ形状の非破壊的検査ができる。また、コントラスト波形１８Ａのピーク間の幅からテーパの角度を求めることもできる。 （もっと読む）

【課題】検査装置に習熟していない利用者でも容易に検査装置の検査精度と検査動作についての必要十分な診断が可能な診断装置を提供する。
【解決手段】被検査製品７を撮影した検査画像を生成する光学系２、３、５と、検査画像から所定の特性を計測して検査用計測値を取得する画像計測部１４と、検査用計測値を判定閾値と比較して検査用判定結果を取得する検査結果判定部１７と、検査用判定結果に応じて被検査製品７を排出する排出装置６とを有する検査装置１の診断を行う診断装置１０において、診断時に光学系２、３、５と排出装置６を用いることなく画像計測部１４と検査結果判定部１７を稼動させて画像計測部１４と検査結果判定部１７の診断を行う検査精度診断部１０ａと、診断時に画像計測部１４と検査結果判定部１７を用いることなく排出装置６を稼動させて排出装置６の診断を行う検査動作診断部１０ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクやウエハ上に形成されたパターンを、設計データとの比較により、回路パターンの欠陥を精度良く、かつ高速に検出する手段の提供。
【解決手段】半導体パターンを撮影した画像からパターンの輪郭データ０１０７を抽出する手段と、前記半導体の設計データ０１０２から、パターンの方向に関するデータを生成する手段と、前記輪郭データからパターンの方向のデータを求め、前記輪郭データのパターン位置に対応する前記設計データから生成したパターンの方向に関するデータとの比較により、パターンの欠陥を検出する手段を備えた評価方法、及び検査システムを構築する。 （もっと読む）

【課題】疑似マッチングを無くしてマッチング精度を向上させ且つテンプレートマッチング処理時間の短縮を図ることが可能な、位置検出装置を提供すること。
【解決手段】検索対象画像中のテンプレートと合致するマークパターンの位置を検出する装置であって、前記検索対象画像に、該画像を構成する画素中、隣接する画素との間で変化する部位を抽出する、画像処理を施す検索対象画像処理部２０と、前記画像処理が施された前記検索対象画像中の、前記テンプレートのテンプレート画像と合致する前記マークパターンの位置を検出する検出部（テンプレートマッチング処理部４０）と、を備える。 （もっと読む）