【課題】風や反射光などの外乱の影響による誤検出を低減させ正確な変位量を検出することができる、安価で高精度な変位検出警報システムを提供すること。
【解決手段】再帰反射材を用いた１枚のターゲットに対して、異なる方向から複数の変位検出装置によって撮影することで、昼夜問わず外乱による誤検出を低減させることができる。さらに、変位検出装置で撮影した画像データと過去の計測データと気象データを統合することにより、気温の変化によるターゲットもしくは変位検出装置の変形や、両方の変形、降雨や風による変位の誤検出が発生しやすい場合でも、高確率で正しい判定が可能になる。また、各変位検出装置でデータを分散して保存することにより、変位検出装置が最後の１台になっても、計測を継続することが可能である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で参照面と被検面との間の絶対距離を高精度かつ高速に計測可能な計測装置を提供すること
【解決手段】波長走査干渉計は、複数の光源ＩＬ１〜ＩＬ３と、複数の光束を合成するビームスプリッタ１０３ｂと、ビームスプリッタ１０３ｂからの光を参照光束と被検光束に分割し、干渉計ユニット３００によって検出された干渉信号に基づいて参照面と被検面との間の絶対距離を決定する処理部１０７と、を有する。干渉計ユニットは、複数の種類の光束に対応する複数の種類の干渉縞のそれぞれを、合成された干渉信号Ｓ１００として検出する単一の光検出部１０６を有し、処理部は、合成された干渉信号に対してＦＦＴを行って複数の種類の光束のそれぞれについて絶対距離Ｌ_１〜Ｌ_３を取得し、取得した複数の絶対距離を演算して一つの絶対距離Ｌ_４を出力する。 （もっと読む）

【課題】所定の特性を有する微小細粒（タガント）を物品に付与し、更にその分布位置に基づいて高精度に個々の物品を識別することが可能な個体識別装置等を提供する。
【解決手段】個々の物品１の基材１０上に、基材とは異なる光学反射特性を有し、かつ、異色の微細物質１２、並びに特徴的な図案及び形状等を有する微細物質をランダムに配置しておく。また個々の物品をスキャナ等により光学的に読み取り、所定の画像処理を施して微細物質の特徴点及びその特徴点における色情報に関する特徴量を抽出し、基準特徴量データとして記憶部に記憶しておく。識別対象となる物品を上述の読み取りの際と同様の手法で読み取り、同様の画像処理を施して微細物質の対象物特徴量データを抽出する。そして、抽出した対象物特徴量データと記憶されている基準特徴量データとを比較することにより識別対象とする物品と基準物品とが同一個体であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】ブランクマスクの欠陥等に起因する測定値の誤り発生を招くこと無しに、ブランクマスクの所望領域の表面粗さを迅速に測定する。
【解決手段】露光用マスクを作製するためのブランクマスクの表面粗さを測定するマスク表面粗さ測定方法であって、ブランクマスクに測定光を入射させ、該マスクによる暗視野像を取得する光学系を用い、該マスク上の任意領域の暗視野像を取得する第１のステップと、任意領域内の注目位置における暗視野像の像強度が予め定めておいたしきい値未満の場合に、該注目位置の周辺領域の像強度と予め定めておいた関係式とを用いて表面粗さを求める第２のステップと、任意領域の全ての点において第２のステップを繰り返し、得られた表面粗さを平均化する第３のステップと、第３のステップで得られた平均値を、任意領域の表面粗さとして出力する第４のステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を短時間で測定可能な形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定方法は、ｎ＝１〜Ｎ（Ｎは３以上の整数）とし、参照光の光軸上において異なるＮ個の位置を第１位置〜第Ｎ位置と称するとき、参照面を第ｎ位置に固定し、物体光を被検物の光軸と所定の角度をなす方向から照射して、被検物をその光軸を中心に回転させながら、干渉縞を、被検物上で重複領域を有して隣接し合う複数の領域ごとに取得される複数の第ｎ干渉縞として取得する第ｎ工程を備え、第１工程から第Ｎ工程を行う干渉縞画像取得工程Ｓ１１の後に、複数の領域のそれぞれに対応する干渉縞を用いて位相解析を行い、部分表面形状データを取得する位相解析工程Ｓ１２と、部分表面形状データを重複領域でつなぎ合わせて被検物の輪帯状領域又は全体の表面形状データを取得する統合工程Ｓ１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムを提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部（２１ａ〜２１ｃ）と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部（２２ａ、２２ｂ）と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】移動する測定対象物が加速、減速した場合であっても該測定対象物の速度を高精度に測定することが可能な動き検出装置を提供する。
【解決手段】撮像部１１で撮像される画像の各画素に、測定対象物の測定対象物が存在した場合に、投票値を付与する。そして、積算された投票値が増加する場合には、測定対象物は減速しているものと判断し、他方、積算された投票値が減少する場合には、測定対象物は加速しているものと判断する。そして減速している場合には、特徴領域に対応する画素の投票値に、所定の補正値を加算することにより、実際の速度を反映した投票値に補正する。また、減速している場合には、特徴領域に対応する画素の投票値から所定の補正値を減算することにより、実際の速度を反映した投票値に補正する。 （もっと読む）

【課題】シート材の影響を抑制してテストパターンの位置を検出する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】液滴の吐出タイミングを調整する装置１００であって、テストパターンからの反射光を読み出す読み取り手段３０と、均一パターンの印刷データを記憶する印刷データ記憶手段５４と、均一パターンを記録媒体に印刷した後、テストパターンを均一パターン上に印刷するパターン形成手段５２と、読み取り手段を等速で移動させる相対移動手段３１３と、テストパターンが形成された記録媒体に対し読み取り手段が相対移動しながら、テストパターンを光が横断する際に前記受光手段が受光した反射光の第１の検出データを取得する第１の検出データ取得手段６１７と、予め定められた上限値と下限値の間に含まれる第１の検出データにライン位置決定演算を施してテストパターンの位置を検出する位置検出手段６１６、を有する。 （もっと読む）

【課題】片眼でも立体感を得ることができる立体感提示装置を提供する。
【解決手段】間隔をおいて配置された２台のカメラから出力されるステレオ画像データを構成する左右の画像データに基づいて距離画像データを生成する距離画像生成手段53と，生成された距離画像データを用いて，上記の左または右の画像データに，距離に応じた焦点ぼけを与えてぼけ画像データを生成するぼけ画像生成手段55を備える。生成されたぼけ画像データに基づいて対象の焦点ぼけ画像を表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】より短い処理時間で距離情報が得られる画像処理方法を提供すること。
【解決手段】第１の画像と第２の画像を撮影するステップと、加算手段２４１が、第１の画像の第１の合計値、及び、第２の画像の第２の合計値を算出する合計値算出ステップと、シフト手段２４２が記第１の合計値を所定ビット数、右にシフトして第１の近似平均値を算出し、同様に第２の近似平均値を算出する近似平均値算出ステップと、整数倍手段２４３，２４４が、第１の画像と第２の画像の小領域内の各画素データの値を整数倍する整数倍ステップと、相関値算出手段２４９が、該画素データの値を整数倍した値から第１の近似平均値を引いた第１のデータと、画素データを整数倍した値から第２の近似平均値を引いた第２のデータをそれぞれ求め、画素データ毎に前記第１のデータと第２のデータとの差分の二乗和を算出する相関値算出ステップと、を有する画像処理方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光ファイバセンサおよび光ファイバセンシング方法を提供すること。
【解決手段】パルス状のポンプ光を出力する光源と、前記ポンプ光が入力され、該ポンプ光によってブリユアン散乱光を発生するセンサ用光ファイバと、前記センサ用光ファイバから出力された前記ブリユアン散乱光を受光する受光器と、を備え、入力される前記ポンプ光のパルスの長さの１／２をΔｚ(ｍ)、ピーク光強度をＩ_ｐ(ｍＷ)とすると、前記センサ用光ファイバは、長さをｚ（ｍ）、伝送損失をａ（ｄＢ／ｋｍ）、ブリユアン利得係数ｇ_Ｂと有効コア断面積Ａ_ｅｆｆとの比をｇ_Ｂ／Ａ_ｅｆｆ（ｍ^−１Ｗ^−１）とした場合に、所定の式を満たすように長さｚが設定されている。 （もっと読む）

【課題】高価な専用装置を用いることなく、平面上の円形パターンをマルチステップ法により高精度に測定できる円形状測定方法および装置を提供する。
【解決手段】円形パターンを有する被測定物Ｗを載置するテーブル１０、テーブルの回転機構２０、画像プローブ３０、画像プローブを移動させる移動機構４０、制御装置５０を有する円形状測定装置を準備する。画像プローブを円形パターンの円周に沿って移動させながら、円形パターンの円周を３６０°／ｍピッチで測定する工程と、円形パターンの中心を基準に３６０°／ｍだけテーブルを回転させて円形パターンの円周上の同一点を測定する測定動作を、３６０°／ｍずつテーブルを回転させながら合計ｍ回行ってｍ個の測定データを取得する工程と、このｍ個の測定データから円形パターンの形状成分を求める工程を備える。 （もっと読む）

【課題】計測対象面の凹凸に起因する面位置センサの計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される面位置センサを用いて、移動体を高精度に２次元駆動する。
【解決手段】 Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらウエハステージＷＳＴを移動させ、センサ７２ａ〜７２ｄを用いてウエハステージ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。ここで、例えば、２つの面位置センサ７２ａ，７２ｂの計測結果の差より、Ｙスケール３９Ｙ_２のＹ軸方向の傾きが得られる。Ｙスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２の全面について傾きを計測することにより、それらの２次元凹凸データが作成される。この凹凸データを用いてセンサの計測結果を補正し、該補正済みの計測結果を用いることにより、高精度にウエハステージを２次元駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】被検物の裏面からの不要反射光の影響を除去して、被検物の被検面の形状を高精度に計測すること。
【解決手段】記憶制御部１６１は、理想被検面での反射による第１の基準反射光スポットの位置及び光量分布をＨＤＤ１３３に記憶させる。更に、記憶制御部１６１は、理想裏面での反射による第２の基準反射光スポットの位置及び光量分布をＨＤＤ１３３に記憶させる。取得部１６２は、被検面からの第１の反射光スポット及び裏面からの第２の反射光スポットを含む画像データをカメラ１１０から取得する。フィッティング部１６５は、ＨＤＤ１３３に記憶された第１及び第２の基準反射光スポットの光量分布を合成させる。フィッティング部１６５は、その合成光の光量分布が、実際の合成光の光量分布と一致するように、第１及び第２の基準反射光スポットをフィッティングさせる。計算部１６６は、フィッティング結果に基づいて被検面の形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】 計測誤差の校正が可能な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定のパターンを投影する投影部と、パターンが投影された被写体を撮像する撮像部とを有する三次元計測装置は、撮像部によって撮像された画像において、計測空間内の同一平面上に予め設定された複数のパターン検出領域に投影されたパターンの撮像画素面上の位置情報を検出する検出部と、位置情報を用いて、計測時前に予め検出した投影部の投影画素面上のパターンと計測時における投影部の投影画素面上のパターンとの対応関係を算出する対応関係算出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単に精度よく鉄筋の配筋情報を取得する。
【解決手段】携帯端末４は、鉄筋の画像から、背景板Ｂに対して垂直方向の１ピクセルずつの位置に対応する連続的な径長を抽出する（Ｓ１００１）。次に、抽出した鉄筋径分布の全データのうち、上部５％のデータと、下部５％のデータとをノイズとして除去する（Ｓ１００２）。そして、中央部９０％のデータにおける最大値を特定し、最大径ｄ１として取得する（Ｓ１００３）。続いて、鉄筋規格情報４５２を参照し（Ｓ１００４）、最大径ｄ１に対応する鉄筋規格を特定できるか否かを判定する（Ｓ１００５）。鉄筋規格を特定できる場合には（Ｓ１００５のＹＥＳ）、該当した鉄筋規格を取得する（Ｓ１００６）。該当する鉄筋規格を特定できない場合には（Ｓ１００５のＮＯ）、その旨をオペレータに通知することにより、角度を変えて鉄筋を再度撮影し、画像を抽出し（Ｓ１００７）、Ｓ１００１の処理から再試行する。 （もっと読む）

【課題】 三次元位置計測において、投影パターンのパターン形状を適切に設定することを目的とする。
【解決手段】 計測対象に対してパターン光を投影する投影手段と、前記パターン光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影手段と、前記撮影画像と、前記投影手段の位置および姿勢と、前記撮影手段の位置および姿勢とに基づいて、前記計測対象の位置および／または姿勢を計測する計測手段と、前記計測対象の位置および／または姿勢の変動範囲に基づいて、以降に投影される前記パターン光のパターン形状を変更する変更手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳ型イメージセンサ等を用いて、ローリングシャッター方式で撮像されたボール像が歪んでいても、ボールの運動を正確に解析することができるようにする。
【解決手段】撮像装置１００は、ボール像が楕円形に歪んだ状態で含まれるフレームを、内領域Ａ３とその内領域Ａ３と内領域Ａ３の外側の外領域Ａ４とを有する楕円分離度フィルターによってフィルタリング処理することによって、分離度を算出する分離度算出手段７ｇと、内領域Ａ３の中心位置、長径、短径及び傾斜角を変更しながら分離度算出手段７ｇによって算出される分離度が最大となる中心位置、長径、短径及び傾斜角をボール像の中心位置、長径、短径及び傾斜角として推定する推定手段７ｈと、推定手段７ｈによって推定されたボール像の中心位置の差分とフレーム間のフレーム数とフレームレートとから、ボールの速度を算出する速度算出手段７ｐと、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定物との距離に依存することなく、被測定物の膜厚を高い精度を測定することが可能な膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、光源１０と、第１光路と、第１集光レンズと、分光測定部４０と、第２光路と、第２集光レンズと、データ処理部５０を備える膜厚測定装置１００である。光源は、所定の波長範囲をもつ測定光を照射する。第１光路は、光源１０から照射した測定光を被測定物に導く。第１集光レンズは、第１光路から出射する測定光を被測定物に集光する。分光測定部４０は、反射率または透過率の波長分布特性を取得する。第２光路は、被測定物で反射された光または被測定物を透過した光を、分光測定部に導く。第２集光レンズは、第２光路の端部に集光する。データ処理部５０は、分光測定部４０で取得した波長分布特性を解析することで、被測定物の膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】ライン光が撮影手段に向けて正反射されることがなく、撮影が困難になることを防止する。
【解決手段】被検査体１にライン光４を照射して両者を相対移動させながら撮影手段２６で撮影することにより、光切断法によって被検査体１を３次元計測することができる。上記被検査体１は、ワークに予め定められた配列方向Ａに配列して設けられた複数の凹凸状部分３を有しており、この凹凸状部分３は、上記配列方向Ａと直交する方向の直線部分３ａを有している。上記ライン光４の相対移動方向Ｂと、この相対移動方向に対するライン光の角度θとは、該ライン光４が上記直線部分３ａに対して斜めに交差して照射されながら相対移動されるように予め設定されている。 （もっと読む）