【課題】容器蓋のブリッジの破断時における容器蓋の回転角を検出する容器蓋のブリッジ切れ角度測定装置を提供すること。
【解決手段】容器蓋２を打栓した容器本体２３を所定位置に設置する容器クランパ３２と、容器蓋２を回転可能に把持する蓋チャック３７と、容器蓋２の周方向破断ライン７に光を照射して反射した反射光を受光する光センサー３３と、光センサー３３を周方向破断ライン７の外周部に沿って回転させるセンサー支持装置と、光センサー３３が検出した反射光の変位によってブリッジの破断の有無を判断する破断検出部４７と、破断検出部４７がブリッジの少なくとも１つの破断を検出した時の容器蓋２の回転角を検出する破断角検出部５１とを備えている。これらの構成物によって、容器蓋２を開栓したときのブリッジの破断角を測定できる。 （もっと読む）

【課題】様々な形状のものに対応可能で、かつノイズの影響を極力排除することが可能で、精度の高い輪郭線抽出が可能な輪郭線抽出装置およびその方法、並びに画像検査装置を提供する。
【解決手段】輪郭線抽出装置３０は、画像を２値化する２値化回路３１と、２値化画像から輪郭線を検出するエッジ検出機能と、輪郭線検出関数のパラメータを変更可能してエッジを検出する可変エッジ検出機能を有するエッジ検出処理部３２と、輪郭線検出関数の固定または可変のパラメータをエッジ検出処理部に供給するパラメータ選択部３３と、分割された領域毎に輪郭線を分割して画素数をカウントするカウント部３４と、輪郭線を領域毎にカウントした結果で領域別のエッジ検出精度を評価する評価部３５を有する。 （もっと読む）

【課題】線状動力伝達部材を使用して駆動される変位機構の変位を検出する小型化に適した光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダーワイヤー２５０を使用して駆動される屈曲変位機構２４０が挿入部の屈曲部内に配置されている。エンコーダーワイヤー２５０はエンコーダーリンク部２３０のガイド穴を通って移動可能に保持されている。ガイド穴の内面には明暗パターンが形成されている。エンコーダーワイヤー２５０と共に移動する光ファイバー１３０を介して、検出部１１０内の光源から発せられた光が明暗パターンに照射され、明暗パターンで反射された光が検出部１１０内の光電変換系に伝送される。信号処理部１６０は、光電変換系から出力される電気信号からエンコーダーワイヤー２５０の移動量を検出することにより屈曲変位機構２４０の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに、整列トレイ上の予め決められた位置に支持された部品を確実に把持させ取り出させることができる部品取出方法および部品取出装置を提供する。
【解決手段】制御部４０が高精度に計測が可能な位置にカメラとともにロボットハンド２２を移動させてカメラ３０にＬＥＤ基板１２０の撮影を行なわせ、位置・姿勢認識部５０に撮影画像に基づいて整列トレイ１１の位置・姿勢および整列トレイ１１に支持されている各部品１３の位置を算出させる。ＬＥＤ基板には３つのＬＥＤを同一平面上に設けるとともにその平面から垂直方向に離れた位置にもう１つ、精度を向上させるためのＬＥＤを設けておく。制御部４０は位置・認識処理部５０に算出させた位置にロボットハンド２２を正対させて部品１３を把持させ取り出させる。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動量の検出精度を向上できる移動量検出装置を提供する。
【解決手段】移動体（２１０）を移動させるアクチュエータ（１１４）が駆動されるのに伴いパルス信号を出力するパルス信号出力部（１３０）と、前記移動体の加速度を検出する加速度検出部（２２０）と、前記加速度検出部により、前記移動体が移動を開始したことを示す加速度が検出されてから、前記パルス信号出力部が出力した前記パルス信号をカウントして前記移動体の移動量を算出する移動量算出部（１１２）と、を備える移動量検出装置（１００）。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】３次元表面プロファイル測定のための小視野を有する光学式ゲージ（１０）は、光源（２２）と、照射光路に沿って光を誘導する照射光学系（２８、３０、４２）とを有するプロジェクタ（２０）を含む。光学格子装置（３４）は、照射光路に配置され、構造化光パターン（４６）を照射するために照射光の分布を変更する。移相装置（４７）は、前記被測定表面（８０）上の所望の位相ずれを伴う少なくとも３つの位置へ構造化光パターンを移動する。ビューア（５０）は、照射光路と平行ではない観察光路を有する観察光学系と、前記表面からの構造化光パターンの拡散反射の画像を感知する光感知アレイ（５８）と、画像を記録するカメラ（５７）とを含む。光学式ゲージは、カメラと通信するデータ入力部と、画像から得られる表面輪郭情報に基づいてプロファイリング対象表面をモデル化するプロセッサとを具備するコンピュータ（６１）をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】種々の状況でピークレベルを適正に調整することが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】第１の制御モードでは、光の走査の各往路および各復路において、ピークレベルが不適正になる毎にカウンタの値がインクリメントされる。すなわち、光の走査の往路および復路毎に、ピークレベルが不適正になる回数が記憶される。そして、１つの往路または復路においてピークレベルが不適正になる回数が一定回数以上になると、第２の制御モードに切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】液浸型露光装置においてウエハ上に形成された計測用マークを検出する。
【解決手段】マークが形成されたウエハの表面に撥液膜を形成し（ステップ６００）、該撥液膜を介してマークが形成されたウエハ上の領域に光を照射し、該光の物体からの戻り光を受光して前記領域を撮像し（ステップ６０８）、該撮像結果からマークの形成状態を検出する（ステップ６１０）。このため、検出に際して液体の付着が問題とならず、常時液浸タイプの露光装置においても、結像式アライメントセンサ等を用いてマークの形成状態の高精度な検出を、支障なく行うことが可能となる。さらに、撥液膜の膜厚等に応じて検出光の波長帯域を決定し（ステップ６０２）、その波長の検出光を用いて前記領域を撮像することにより、撥液膜による薄膜干渉の影響を受けることなく、マークの形成状態を正確に検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】計測結果の欠損領域を低減しつつ正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】ＦＢ制御部７は、最初の走査の最初の計測点の処理を開始する（ステップＳ１）。次に、ＦＢ制御部７は、現在の計測点の制御モードが計測モードに設定されているか否かを判定する（ステップＳ２）。次の計測点の制御モードが計測モードに設定されている場合、ＦＢ制御部７は、その計測点において検出処理を行う（ステップＳ３）。次の計測点の制御モードが計測モードに設定されていない場合、すなわち探査モードに設定されている場合、ＦＢ制御部７は、その計測点において探査処理を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体を撮像して得られる画像データに対して予め定められたパラメータの組を用いた処理を行うことで処理結果を得る処理装置に設定されるパラメータをより迅速かつ容易に決定できるパラメータ決定支援装置およびパラメータ決定支援プログラムを提供する。
【解決手段】試行された複数のパラメータ候補の各々について、その判定結果および統計的出力が一覧表示されることで、ユーザは、最適なパラメータセットを容易に選択することができる。たとえば、誤検出数がゼロである試行番号「２」，「４」，「５」が安定した処理を行なうことのできるといえ、その中でも、試行番号「２」が最も処理時間が短くて済むので、総合的には、試行番号「２」のパラメータセットが最適であると言える。 （もっと読む）

【課題】柄が装飾された表面に生じた凹凸欠陥を検出可能な樹脂成形品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】一定の指向性を有する光源２１と反射光を撮影するカメラ３１を備える。光源は出射光軸２２方向に主出射光を出射するとともに出射光軸を中心軸として一定の広がり角を有する放射角光を出射するものであり、光源２１と被検査物４１間の光路に遮蔽板２５を配置して光源からの主出射光を遮蔽することにより、被検査物の表面上に放射角光照明領域４６を作り出す。放射角光照明領域４６をカメラ３１で撮影して撮影像を得て、撮影像から凹凸欠陥を検査する外観検査装置である。 （もっと読む）

バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有するシガレット紙を検査するためのシステム。システムは、シガレット紙の特性を表す電気信号を形成する短波赤外線カメラ（２２４）と、電気信号を解析して解析結果を提供するプロセッサとを含み、プロセッサは、各連続ピクセルが非バンド付き領域又はバンド付き領域に対応するか否かを判断するためにピクセルを連続的に調べるための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上の隣接するバンド付き領域間の間隔を計算するための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上のバンド付き領域の幅を計算するための論理とを含む。バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有する紙を検査するためのオンライン方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】高い感度を有し、相対的に濃縮された懸濁液に応答する単独粒子光センサ。
【解決手段】光学感知ゾーンを不均一に照明するために、相対的に幅の狭い光ビームを使用する。センサが流路を通って流れる粒子の総数のうちのごく一部に応答するように、ゾーンは流路より小さくなっており、どの関連粒径の粒子についても、統計的に意味ある数の粒子を検出する。異なる強さで照明されるゾーンの様々に異なる部分を様々に異なる粒子の軌跡が通過して流れるため、結果をデコンボリュートすることが必要である。修正行列反転と、逐次減算という２つのデコンボリューション方法が使用される。２つの方法は、共に、実験に基づいて測定されるか又は理論モデルから計算される少数の基本ベクトルを使用し、残る基本ベクトルはそれらの少数の基本ベクトルから取り出されるセンサは、濁りに関して補償される。 （もっと読む）

【課題】可変コンデンサの動作制御の基準となる前記コンデンサのシャフト回転の原点を正確に且つコンデンサにストレスを与えることなく検出する。
【解決手段】可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置まで前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出する。前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】キャリアおよびキャリアに収容された半導体ウエハの姿勢を精度良く測定することのできる形状測定機を提供する。
【解決手段】測定対象であるキャリア１８を支持するステージ１２，２０と、測定対象の形状を測定する測定部１０とを有する。ステージ１２，２０は、キネマティックカップリングによって測定対象を支持するために、キネマティックカップリングピン２０ａ，２０ｂ，２０ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ迅速に精度よく無端ベルトの全長を測定できるコンベヤベルト全長測定装置を提供すること。
【解決手段】ベルトコンベヤ５を構成する無端ベルト６に一定の測定間隔Ｌで設置する第１反射部材１２及び第２反射部材１３と、無端ベルト６に設置された反射部材１２，１３に向けて所定の光を出射するＬＥＤ１５ａと反射部材１２，１３からの反射光を受光するフォトトランジスタ１５ｂとからなるセンサ部１５と、無端ベルト６が起動されているときに、センサ部１５からの出力信号に基づいて反射部材１２，１３が一定距離を通過するのに要する通過時間を計測する計測制御部２０と、計測制御部２０によって計測された結果を表示すると共に必要な情報を表示する表示部２１と、計測制御部２０に所定の信号を入力する入力部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 １つの画像から各スリット光と照射角度とを特定できる顔向き検出装置を提供する。
【解決手段】 顔向き検出装置１は、運転者の顔位置に、隣接するスリット光に対する太さの比率を他のスリット光と異ならせた基準スリットを含む複数のスリット光を照射する複数スリット光源２と、運転者の顔位置を撮像するカメラ３と、撮像したスリット光画像から基準スリット光を抽出し、基準スリット光を基準として各スリット光が複数スリット光源２からどの角度で照射されたスリット光であるのかを特定し、光切断法により運転者の顔の向きを判定する制御部４と、を備えた。 （もっと読む）

本発明は、葉片の成長を測定するための方法および装置に関する。この方法は、ａ）撮影システムを較正するステップと、ｂ）１枚の葉片の少なくとも２枚の画像を撮像するステップと、ｃ）画像データを処理するステップであって、ｉ）しきい値セグメント化によって葉片をセグメント化することと、ｉｉ）複数回の形態学的侵食を行うことと、ｉｉｉ）保管容器の縁部を除去するためにエッジ補正することとを含むステップと、ｄ）３Ｄ再構成：ステレオアルゴリズムによって視差マップを生成し、事前に特定された較正パラメータに基づいて、視差マップから３Ｄ表面モデルを計算するステップと、ｅ）事前に取得された表面モデルを平滑化するステップと、ｆ）面積値の時系列から成長率を算出するステップとによって特徴付けられる。この装置は、少なくとも１台のカメラと、照明ユニットと、カメラおよび（赤外線）照明用のＸ／Ｙ平面でのスライドテーブルと、葉片用の保管容器と、電子的解析および制御ユニットとを備える。
（もっと読む）

【課題】 光切断法により対象物体の３次元情報を計測する作業システムにおいて、高い計測精度を実現する。
【解決手段】 ロボットアーム１１１と、前記ロボットアーム１１１先端部に配置されたハンド位置検出部１１４と、スリット光を照射するスリットレーザ投光器１１３と、ロボットアーム１１１とは独立した位置に固定され、対象物体１６０を撮像するカメラ１２０と、カメラ１２０による撮像により得られた対象物体１６０の画像データに含まれるハンド位置検出部１１４上に形成された光切断線に基づいて、スリット光の光切断面を算出し、該算出した光切断面と対象物体１６０上に形成された光切断線とに基づいて、対象物体１６０の位置及び姿勢を算出する計算機１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。変位検出装置６は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段６１と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段６２と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡５の変位を算出する変位算出手段６５とを備える。 （もっと読む）