【課題】距離の測定精度を向上させる。
【解決手段】距離計は、半導体レーザ１に発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間とを交互に繰り返させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７とを有する。計数装置７は、計数期間中の干渉波形の周期を測定し、測定結果から計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成し、度数分布の周波数成分を解析し、周波数解析結果から干渉波形の周期の分布の代表値を求め、度数分布から、代表値の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて計数結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの検査工程を効率化することのできる半導体ウェハの表面検査装置を提供すること。
【解決手段】光照射手段２、受光手段、光電変換手段６、信号増幅手段２６、計測手段２２、及び計数手段２３を備えた半導体ウェハの表面検査装置は、信号増幅手段２６による増幅倍率を固定したときに、予め標本測定により算出された半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさに応じて設定された信頼区間幅が格納された信頼区間幅格納手段２５と、信号増幅手段２６による増幅倍率を固定して、異物又は欠陥の大きさに応じた信頼区間幅に基づいて、計測手段２２により計測された半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさを算出し、該半導体ウェハ表面の異物又は欠陥の大きさに応じた計数値から、半導体ウェハ表面の良否判定を行う良否判定手段２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、寸法精度の厳しい品種の平版印刷版においても十分な検査精度の得られるシート傾斜角測定方法、シート検査方法、シート検査装置、の提供を目的とする。
【解決手段】平版印刷版Ｐの搬送面に向かって投光する投光部２Ａ、４Ａと、投光部２Ａ，４Ａからの光を受光する受光部２Ｂ、４Ｂとを有する投受光部２，４を、平版印刷版Ｐの搬送方向に対して直交する方向に沿って１対配設し、投受光部２，４の夫々において、平版印刷版Ｐが投光部２Ａ、４Ａからの光を遮断する遮光タイミングを測定し、一対の投受光部２、４のうちの一の投受光部と他の投受光部とにおける遮光タイミング差と、前記平版印刷版Ｐの搬送速度Ｖと、一の投受光部と他の投受光部との距離Ｄ１とに基いて平版印刷版Ｐの前縁ｐ１の搬送方向に直交する方向に対する傾斜角θ１を求めるシート傾斜角測定方法。 （もっと読む）

【課題】像保持体における保護層の状態をより適切に把握可能な画像形成装置を提供する。
【解決手段】照射ユニットにより反射光強度の測定が行われる（ステップ１０１）。次いで、ピーク有無判断部は、反射光強度にピークが存在するか否かを判断する（ステップ１０２）。その後、膜厚算出部は、ＯＣ層の膜厚を算出する（ステップ１０３）。次いで、判断部は、ステップ１０３にて算出されたＯＣ層の膜厚が、所定の閾値よりも小さいか否かを判断する（ステップ１０４）。判断部は、膜厚が所定の閾値よりも小さいと判断した場合には、制御部に対して、膜厚が所定の閾値よりも小さい旨の判断結果を出力する（ステップ１０５）。そして、制御部は、外部表示部に画像形成ユニットの交換を要求する旨を表示し（ステップ１０６）、画像形成装置における各部（各装置）の動作を停止させる（ステップ１０７）。 （もっと読む）

【課題】水面に現れた気泡から大気に放出される気体の体積を長期間に亘り連続的に計測することができるバブルカウントシステムを提供する。
【解決手段】水面を撮像した画像データ３０と気泡パターン４０との照合を行い、その照合結果に基づいて画像データの気泡候補部３１を特定し、ハフ変換により気泡候補部３１から白色部３２を検出し、時刻Ｔ_１における第１気泡候補部３１−１の大きさが、時刻Ｔ_２における第２気泡候補部３１−２の大きさと同一サイズであり、且つ第１気泡候補部３１−１の位置と第１気泡候補部３１−２の位置との差が一定範囲内であることを条件として、第１気泡候補部３１−１を気泡部として検出し、当該気泡部の画素数に基づいて前記水面に現れた気泡の直径を算出し、この直径に基づいて当該気泡に含有される気体の体積を算出する。 （もっと読む）

【課題】安価で、且つ小型化が可能で、検出精度を向上させた、位置検出装置を提供すること。
【解決手段】位置検出装置は、互いに対向して配置された光学的位置検出素子と位置情報部とから構成される。位置情報部は、可動部が所定の方向へ移動するときに、高光効率部と低光効率部とが交互に繰り返される二値パターンを持つ。位置検出装置は、光学的位置検出素子から得られるパルス信号をカウントすることで、可動部の粗位置を検出する粗位置検出部と、この粗位置検出部で粗位置検出が行われた地点から電気機械変換素子に印加した駆動パルスのパルス数をカウントすることで、可動部の詳細位置を検出する詳細位置検出部と、粗位置を表す粗位置情報と詳細位置を表す詳細位置情報とを合算して、可動部の現在位置を求める合算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、歪や温度変化を光ファイバの軸方向にわたる分布状態として実用的で高精度にかつ長距離測定できる光ファイバを用いた歪・温度の分布測定方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、光周波数を変えながら光パルスをセンシング用光ファイバに入射させると共に前記センシング用光ファイバから戻ってきたレイリー散乱光を受光し、受光したレイリー散乱光の相関ピーク周波数と、光ファイバの歪変化量・温度変化量・光周波数変化量との関係を用いて光ファイバの軸方向の歪変化や温度変化を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】原盤カッティング機への設置が容易で、且つ光ディスク原盤の凹凸パターンに生じたディフェクトの位置及び大きさを情報量の少ないデータで取得、格納、及び処理することが可能な原盤ディフェクト測定装置、及び原盤ディフェクト測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、原盤カッティング機１０で用いられているフォーカスエラー信号及びインデックス信号を利用してディフェクトの検出を行うため、大幅な改造を行わずとも原盤ディフェクト測定装置５０を原盤カッティング機１０に容易に設置することができる。また、ディフェクトデータは信号のカウント値であるため情報量が少なく、短時間に多数のディフェクトが検出されても、ディフェクトデータの導出や伝送に不具合が生じることがない。 （もっと読む）

【課題】測定範囲外で測定に必要な主走査の位置の変更に係る時間を短縮する。
【解決手段】走査制御部２５ａは、主走査機構１１を駆動させて測定範囲を距離Ｌの間隔を置いてＮ回、前記第１方向に平行な主走査をさせるとともに、測定範囲外で主走査機構による主走査の延長線上における延長副走査と、副走査機構３による第１方向と直交する第２の方向への副走査とを、ほぼ同時に実行させて距離Ｌの間隔をＮ−１回に亘って主走査位置を変更させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】被検体の３次元形状を正確に計測することで、被検体上の傷の大きさおよび位置を高精度に検出できる蛍光探傷方法と装置を提供する。
【解決手段】蛍光剤又は蛍光磁粉を表面に浸透又は吸着させた被検体１を所定の検査位置に配置する配置ステップＳ１と、暗室内で、蛍光剤又は蛍光磁粉を蛍光発光させるための蛍光探傷用の電磁波を、検査位置の被検体１に照射して被検体１を撮影し、蛍光静止画像５を取得する蛍光静止画像撮影ステップＳ２と、検査位置の被検体を３次元位置計測し、被検体表面の３次元座標点群８を取得する３次元位置計測ステップＳ３と、（Ａ）蛍光静止画像３を画像処理して、蛍光部分に相当する蛍光部画像を抽出すると共に、（Ｂ）３次元座標点群８をデータ処理して、３次元形状情報を作成し、（Ｃ）蛍光部画像と３次元形状情報とを関連付けた蛍光探傷用データを得るデータ処理ステップＳ４、Ｓ７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】長尺の条材を高精度でかつ短時間で測定する方法と、この測定する方法を用いて効率よく定尺長さに切断する方法との提供である。
【解決手段】ビレット２８を搬送装置１０により搬送しつつ、第一センサー１８と第二センサー２０とで搬送方向先端と後方とを検索する。第一センサー１８がビレット２８の先端を検出してから第二センサー２０がビレット２８を検出しなくなるまでのパルス数を測定する。搬送装置の１パルス当たりの搬送距離Ｐとパルス数とを乗算して通過長さＬ２を算出する。第一センサー１８と第二センサー２０とにより定まる間隔長さＬ１にこの通過長さＬ２を加算して、ビレット２８の長さを算出する。このビレット２８は、この長さ情報を基に切断装置１２で定尺に切断される。第二センサーを複数にしてビレット２８の後方を検索してビレット２８の長さを算出してもよい。 （もっと読む）

【課題】変位計測システムにおいて、原点復帰を要せずに、絶対的変位量をさらに高精度で計測することである。
【解決手段】変位計測システム１０においては、発光素子１２−（距離Ｄの空間）−被測定対象である測定アーム８−（距離Ｄの空間）−受光素子１６−増幅器３２−位相シフト回路３４−発光素子１２の閉ループが構成される。位相シフト回路３４から出力される閉ループの共振周波数は周波数偏差算出部３８に入力される。周波数偏差算出部３８は、不揮発性メモリに記憶された原点用基準周波数３６を用いて、位相シフト回路３４から入力された周波数と原点用基準周波数３６との間の周波数偏差を算出し、変位出力部４０に入力し、変位出力部４０は予め求めておいた相関関係に基づき周波数偏差を変位量に変換する。 （もっと読む）

【課題】簡単な演算で記録材の種類が判別できる、記録材の種類判別装置，方法を提供し、また、この装置，方法を用いて、記録材の種類に依存しない安定した画質を得ることができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】記録材の表面画像を読み取る読取り手段の読取り結果から、第一の演算手段で記録材表面の凹凸の深さを演算して演算結果をレジスタＡに入れ、第二の演算手段で記録材表面の凹凸間隔を演算して演算結果をレジスタＢに入れる。このレジスタＡ，Ｂの数値にもとづいて、図示のように、グロス紙８０１，普通紙８０２，ラフ紙８０３，ＯＨＴ８０４といった記録材の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】簡単な演算で記録材の種類が判別できる、記録材の種類判別装置，方法を提供し、また、この装置，方法を用いて、記録材の種類に依存しない安定した画質を得ることができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】記録材の表面画像を読み取る読取り手段の読取り結果から、第一の演算手段で記録材表面の凹凸の深さを演算して演算結果をレジスタＡに入れ、第二の演算手段で記録材表面の凹凸間隔を演算して演算結果をレジスタＢに入れる。このレジスタＡ，Ｂの数値にもとづいて、図示のように、グロス紙８０１，普通紙８０２，ラフ紙８０３，ＯＨＴ８０４といった記録材の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】 頭部装着型表示装置付ヘルメット等の対象物に取り付けられた３個以上のＬＥＤ等の光学マーカーのそれぞれの現在位置を識別する際に、各光学マーカーを確実に識別することができるモーショントラッカ装置を提供する。
【解決手段】 ３個以上の同一の光学マーカー７と、カメラ装置２と、光学マーカー位置情報算出部２４と、カメラ装置２に対する対象物１０の現在位置及び現在角度を含む相対情報を算出する相対情報算出部２２とを備えるモーショントラッカ装置１であって、対象物１０に作用する対象物角速度を検出する対象物角速度検出センサ４と、対象物角速度に基づいて、対象物１０の角度移動量を算出する角度移動量算出部２３と、光学マーカー位置情報及び角度移動量に基づいて、光学マーカー７の予想移動位置を推定する光学マーカー推定部２６とを備え、光学マーカー位置情報算出部２４は、光学マーカー７の予想移動位置に基づいて、３個以上の光学マーカー７をそれぞれ識別することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機械的走査機構を使用しない、高速、高分解能、かつ高耐久性の光学式測定装置を提供する。
【解決手段】発光素子１から出射され、偏向素子２により偏向されたビームＢ１を基にした平行ビームＢ２で測定対象物Ｗが位置する走査領域を繰り返し走査する投光手段３と、走査領域を通過したビームＢ２を受光して走査信号Ｓ１を出力する受光手段３２と、走査信号を処理して測定値を得る制御手段３３とを備える。偏向素子２は、電圧の印加によってビームの偏向角を決定する光学的特性が変化する。制御手段３３は、偏向素子２に電圧を印加して、偏向素子２の光学的特性を制御する。 （もっと読む）

【課題】温度などの外部環境の測定を行わずに、簡略な構成で、追尾式レーザ干渉計の測定光の波長を推定可能とする。
【解決手段】本体１０内の基準点１２と再帰的反射体３２との距離の増減に応じてカウント値を出力する追尾式レーザ干渉計において、前記再帰的反射体３２を、変位の方向に沿って設けられたスケール５０で変位が読み取り可能な１軸以上の変位方向を有する座標測定装置４０上のヘッド５２に設け、該ヘッド５２を複数位置に変位させて該スケール５０による測定位置と前記基準点１２と再帰的反射体３２との距離に応じたカウント値とを出力し、該測定位置とカウント値と前記基準点１２と測定光の波長、および、再帰的反射体３２の初期位置から基準点１２までの距離である初期オフセット距離とによって定まる関係式に複数位置における測定位置とカウント値とを代入して連立させ、該連立された関係式である連立方程式を解くことにより波長を推定する。 （もっと読む）

【課題】 位相シフト法により測定対象物の３次元形状を測定する場合において、測定対象物の反射率が場所によって異なっても精度よく形状測定を行うこと。
【解決手段】 ３次元形状測定装置１は、複数の強度の光を測定対象物ＯＢに照射してそれぞれの強度の光ごとに測定対象物ＯＢ上に縞模様を形成し、形成された縞模様から複数の強度の光で照射した各々の場合ごとに位相値および評価データを算出する。評価データを評価することによって、各々の強度の照射光で照射された場合について算出された位相値の中から、その照射光の照射位置における反射率に最も見合った強度の照射光で照射された場合に算出された位相値を選択する。このように選択した位相値を用いて測定対象物の３次元形状を測定することにより、測定対象物ＯＢの反射率の変化による３次元形状データの測定精度の悪化を防止あるいは抑制することができる。 （もっと読む）

機械工具用の工具設定または工具分析装置は、光ビーム（２０）を生成するための光源（１２）を備える。光受信器（３４）は、光ビームを受けて、受光量を示す信号を生成する。これは、ビームが少なくとも部分的に遮断されるときに、トリガ信号を機械コントローラ（６２）に対して生成するために主分析回路（３５）によって分析される。フェールセーフ動作を実現するために、主回路（３５）が工具を認識しないことがあれば、遅延の後にバックアップトリガ信号が遅延回路（６６）によって生成される。１つの好ましい形態では、機械コントローラがブラインドウィンドウの弊害を受けて、初期トリガ信号を見逃すことがあっても、バックアップトリガ信号が発振して、フェールセーフ動作を保証できる反復エッジを供給することができる。
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