【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転駆動される被測定物１の回転軸１ａにロータリエンコーダ２の回転軸３を取り付けるとともに、被測定物１の回転軸１ａとロータリエンコーダ２の回転軸３との偏心を許容するように、ロータリエンコーダ２の回転軸３に直交する面内におけるエンコーダ本体２ａの変位を一定の遊び範囲内に規制し、ロータリエンコーダ２のエンコーダ読取ヘッドの読み取ったコードに基づいてロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度を測定するとともに、非接触角度検出手段２０によりロータリエンコーダ２の回転軸３の回転角度測定開始時点からのエンコーダ本体２ａの変化した角度を検出し、ロータリエンコーダ２を用いて測定された回転角度を非接触角度検出手段２０で検出されたエンコーダ本体２ａの変化した角度に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いて、μメートルオーダの高精度で測定対象物の位置を決定し、さらに測定対象物の振動周波数をｋＨｚオーダの高速で検出でき、かつナノメートルオーダの振動変位量を測定できる振動測定装置及び振動測定方法を提供する。
【解決手段】白色光を参照光と測定光に分割する光カプラと、参照光の進行方向を変える光学素子、参照光の進行方向を反転する反射素子、光学素子を往復移動させる直動ステージ及び光学素子の位置を取得するスケールヘッドからなる参照光路長スキャナ部と、測定光を発散又は収束させる集光レンズと集光レンズを移動させるレンズ移動機構からなるセンサ部と、反射して返った参照光と測定光を合成して干渉信号を出力する光検出器と、所定時間取得した干渉信号の強度を高速フーリエ変換処理で解析して、測定対象物の振動周波数及び振動変位量を求める処理装置とからなる振動測定装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】 移動体を有するシステムにおいて、移動体の揺れによる影響を受けずに正確な走行位置判定を可能とすること。
【解決手段】 一実施形態における位置判定システムは、走行路と、この走行路を走行する移動体と、複数の位置ブロック３１と、ブロック検出手段と、位置判定手段と、を備える。位置ブロック３１は、走行路の複数の領域において、移動体の走行方向に沿って各領域で予め定められた数だけ配置される。ブロック検出手段は、移動体に設けられ、移動体の走行時に位置ブロック３１を検出する。位置判定手段は、各領域を移動体が通過する際にブロック検出手段が検出した位置ブロック３１の数に基づいて移動体の位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３７で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からガラス管Ｇに対して、サーボ用レーザ光を測定用レーザ光の光軸と測定用レーザ光の反射光の光軸との中心線の方向であるＺ軸方向に照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからの反射光を受光し、Ｙ軸方向サーボ回路１２０が、圧電アクチュエータ２５を駆動することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するように光ヘッド１００をＹ軸方向にサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】水圧試験機の一連の試験工程の中に検尺機能を付加することにより、次工程条件の最適化に反映させることを可能にする。
【解決手段】水圧試験時の両ヘッド部１，２の移動距離をパルスジェネレータ方式で計測可能とし、各ヘッド部に前記鋼管の管端位置を検出するためのレーザ式位置センサ４_１，４_２を設置し、鋼管３のセット前に各ヘッド部を移動させてそのレーザ式位置センサのレーザ光路を所定の原点に一致させ、その時点から、水圧試験を経て各ヘッド部を鋼管から離間させる際に各レーザ式位置センサが鋼管の管端位置を検出した時点まで、各ヘッド部の移動距離を計測し、この計測結果を用いて鋼管の管長を算出する。 （もっと読む）

【課題】特定のランドマークを設置しないでも、精度良く撮像装置の姿勢パラメータを取得可能な姿勢キャリブレーションを実現する。
【解決手段】撮像部により撮像された画像に含まれる物体を検出し、検出された少なくとも２つの物体について、それぞれ撮像された画像における正立状態からの回転角度を算出し、算出された前記少なくとも２つの物体の回転角度から撮像装置の設置角度に関する姿勢パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】コストを低減しつつ部品の長さを検知することができる部品長さ検知機構および部品供給装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、１組の発光手段３４と受光手段３６とからなる光センサ２８と、ネジ３２を移動させるための供給テーブル２２、テーブル台２４、アクチュエータ２６と、を有し、発光手段３４が発する光の照射方向とネジ３２の移動方向とが鋭角に交わり、ネジ３２が移動する経路における上流側検査位置４４と上流側検査位置４４よりも発光手段３４から遠い位置にある下流側検査位置４６の少なくとも２箇所にて光センサ２８がネジ３２を検知した回数をもとにネジ３２の長さを検知すること、を特徴とする部品長さ検知機構１０である。 （もっと読む）

【課題】保護テープが貼着された被加工物の厚みを正確に検出し、被加工面に傷を付けることがない厚み検出装置および厚み検出装置を装備した研削機を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持され加工され厚みが減少する被加工物の厚みを検出する厚み検出装置であって、被加工物の上面および下面で反射する反射光を受光したイメージセンサーの検出信号に基づき分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づき波形解析を実行し、被加工物の上面および下面で反射した反射光間の光路長差に基づき被加工物の厚みを求める第１の演算手段と、イメージセンサーの検出信号に基づき特定波長を通過する分光干渉波形の数をカウントする第２の演算手段とを備え、被加工物の厚みが所定の厚みに達するまでは第１の演算手段により被加工物の厚みを求め、被加工物の厚みが所定の厚みに達したならば第２の演算手段により被加工物の厚み減少量を求める。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の像面位置を精度高く計測すること。
【解決手段】基板の露光量をラインパターンのレジスト像が解像する露光量以上になる大きさ、換言すれば、ラインパターンのレジスト像のコントラスト値が所定値以上になる大きさに制御する。また、フォーカス位置を変化させた際にパターン倒れが発生しない大きさ以上の線幅を有するラインパターンを使用してベストフォーカス位置を算出する。これにより、デフォーカスによってパターン倒れが発生することを抑制しつつ、算出されるベストフォーカス位置の露光量依存性を無視することができるので、投影光学系の像面位置を精度高く計測することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元画像モデルの構築に必要な画像データを効率よく取得する。
【解決手段】着目画像に現れておりかつ他の画像に現れていないオクルージョン領域が求められる。ディジタル・スチル・カメラ１による撮像によって得られる動画Ｓ４中に，上記着目画像のオクルージョン領域と対応する画像領域が現れていると，そのオクルージョン対応領域ＲＯＣ42が動画Ｓ４中に表示される。３次元画像モデルの構築に不足している画像を動画を通して観察（視認）することができる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線が照射される位置の安定性を容易に評価することができる変位検出回路を提供する。
【解決手段】ヘテロダイン干渉計と、該ヘテロダイン干渉計の基準信号と測定信号のそれぞれの光ビート回数をカウントするデジタルカウンタと、前記基準信号と前記測定信号との差分をとる減算器と、前記基準信号の波形の位相をシフトさせる位相シフト回路と、該位相シフト回路で位相シフトされた位相シフト信号の波形から特定の１つの信号波形を選択するスイッチ回路と、前記基準信号と前記測定信号との位相差を検出するゲートと、該ゲートの出力からヘテロダイン周波数の信号を取り除くローパスフィルタと、を構成とする。 （もっと読む）

【課題】３次元シーンでの任意の自由形状３次元物体を効率的に認識し、また３次元位置姿勢の抽出を可能とする。
【解決手段】３次元シーンデータにおける３次元物体の実体を認識するための方法は、前記実体の３次元位置姿勢を決定するために、（ａ）３次元シーンデータを準備するステップと、（ｂ）３次元シーンデータから少なくとも１つの参照点を選択するステップと、（ｃ）選択した各参照点に対して、参照点は３次元物体の一部であるという仮定に基づいて３次元物体の対象位置姿勢を計算するステップと、（ｄ）前記位置姿勢候補をフィルタ処理して一群の位置姿勢を計算するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】安定的なフィードバック制御が可能な変位センサを提供する。
【解決手段】制御部は、複数の画素の第２の方向Ｙに沿った複数の走査線Ｔ毎に受光信号を読み取り、該受光信号に基づいて得られる受光波形のピークに基づく光量レベル（ピーク値又は飽和画素の個数）を走査線Ｔ毎に検出し、複数設定された光量レベルの所定の範囲毎の走査線Ｔの個数をカウントし、その個数が最も多い光量レベルの範囲に基づいてフィードバック制御を行う。 （もっと読む）

【課題】アイセーフ波長のレーザ光を用いて低コストかつ高精度に距離を測定する。
【解決手段】レーザ光源２４からのアイセーフ波長のレーザ光は、ポリゴンミラー２１により走査されつつ測定対象に照射される。測定対象からの光はＧＬＶ３２へと導かれ、ＧＬＶ３２からの回折光が光検出器３５にて受光される。光検出器３５は単一のフォトダイオードを備える。ＧＬＶ３２からは可干渉性の強い光のみが光検出器３５へと導かれるため、レーザ光に由来する光のみが光検出器３５にて検出される。ＧＬＶ３２において回折光を出射する領域を移動することにより、レーザ光に由来する光の入射位置が求められる。これにより、背景光の影響を受けることなく精度よく距離を測定することができる。また、単一のフォトダイオードを用いることにより、アイセーフ波長の光を低コストにて検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
物体の位置及び姿勢の計測に際して、各エッジに信頼度を付与したモデルを用いて位置姿勢算出処理に対する各エッジの寄与度を変更するようにした技術を提供する。
【解決手段】
３次元計測装置は、３次元幾何モデルを用いて計測対象物体を複数の異なる視点から観測した複数の視点画像を生成し、当該複数の視点画像各々から計測対象物体のエッジを第２のエッジとして検出し、３次元幾何モデルにおける第１のエッジ各々に対して第２のエッジを対応付けた結果に基づいて第１のエッジ各々の信頼度を算出し、当該信頼度を３次元幾何モデルに付与した信頼度付きモデルを生成する。 （もっと読む）

【課題】設定された精度の検査結果を得るのに要する時間の点で有利な検査装置を提供する。
【解決手段】異物または欠陥としての不具合に関して物体を検査する検査装置は、光を照射された物体からの光を検出し、当該光の強度が閾値を超えた前記物体上の位置を示す信号を出力する検出部と、前記物体上の位置に異物または欠陥としての不具合が存在することを示す情報を出力する制御部と、前記物体上の位置に前記不具合が存在する確率を示す情報を記憶する記憶部と、前記不具合の検査漏れの数に対する上限値を示す情報を入力する操作部と、を備える。前記制御部は、前記検出部に既定回数（少なくとも１回）前記検出を行わせ、推定された総数と前記記憶部に記憶された情報が示す前記確率とに基づいて、決定された全回数から前記既定回数を減じた残り回数の前記検出を前記検出部に行わせる。 （もっと読む）

【課題】ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置及び方法の提供。
【解決手段】位置を取得する装置は、共焦点ファブリペロー干渉計２００を有する。 （もっと読む）

【課題】 端子取付部の画像を撮影して端子圧着不良の検出を行うに当たって、画像の位置調整の処理を簡単化する。
【解決手段】 端子付き電線４を移動させたまま端子部の画像データをカメラ２で撮影し、取得した画像データについて、所定の枠内において、電線を横切る方向に、複数回平行に走査して各ライン毎に輝度の重心点を求め、各重心点に基づいて第１の座標軸を決定する。また、前記画像データ全体について、電線を横切る方向に、複数回平行に走査してライン毎に、隣接する画素間の輝度の差を積算して、積算値の変化パターンを生成し、該変化パターンを前記第１の座標軸方向に移動させながら、基準パターンと比較し、最も一致する位置に基づいて、前記第１の座標軸と直交する第２の座標軸を決定する。そして、両座標軸を基準として前記画像データの位置を調整し、端子圧着状態の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】透明平板の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透明平板１１４を含む領域を、該透明平板１１４の平面部法線方向に対して所定の角度から撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、載置台１１３と、載置台１３の下側に設置された反射面１１１と、透明平板１１４の平面部法線に対して、カメラ１２と対向するように配置され、透明平板１１４の平面部からの正反射光がカメラ１２に入射しないように遮光する遮光板１０２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明平板１１４を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】誤測定しやすい測定領域が存在する測定対象物であっても、物体形状評価が適正に行われる物体形状評価装置を提供することである。
【解決手段】物体形状評価装置は、対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段５０と、位置合わせ処理後の前記測定点データと前記基準点データとに基づいて前記測定対象物の形状を評価する形状評価手段６とを備えている。位置合わせ処理手段５０は、測定点データから測定対象物のエッジに対応するエッジ点を検出するエッジ検出部によって生成されたエッジ点群と、エッジ基準点群とを位置合わせするエッジ位置合わせを行い、当該エッジ位置合わせによって得られたエッジ合同変換パラメータを用いて測定点データ全体の測定点が基準点に向かう位置合わせを行う。 （もっと読む）