【課題】安定した３次元認識画像を形成して正しい部品認識結果を得ることができる画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置を提供する。
【解決手段】３次元部品７を対象とする３次元画像形成において、走査光の計測対象面からの反射光の受光位置を検出する位置検出部を、受光面の計測対象面に対する傾斜角度が相異なる第１ＰＳＤ２５Ａ、第２ＰＳＤ２５Ｂを有する構成とし、第１ＰＳＤ２５Ａ、第２ＰＳＤ２５Ｂがそれぞれ受光した光量のうち大きい方の光量が所定の範囲を超えたとデータ処理部１５ａの受光量判定部によって判定されたならば、当該走査部位についての受光位置検出結果として小さい方の光量に基づく受光位置検出結果を採用して３次元認識画像を形成する。これにより、受光した光量が過大である場合に生じるノイズを排除することができ、安定した３次元認識画像を形成して正しい部品認識結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】単純な形状に限らず認識対象物を的確に抽出する。
【解決手段】形状認識装置１２０は、軸を有する３次元モデル１２２を示す３次元モデル情報を保持するモデル保持部２１０と、認識対象物１１２の３次元形状を示す認識対象情報を取得する認識対象情報取得部２３０と、認識対象情報と３次元モデル情報とに基づいて、認識対象物または３次元モデルを対称的に配置した２つの姿勢候補を示す姿勢候補情報を生成する姿勢候補情報生成部２３４と、認識対象物の姿勢候補情報と３次元モデル情報とに基づいて、または、認識対象情報と３次元モデルの姿勢候補情報とに基づいて認識対象物の位置および姿勢を特定する認識対象物特定部２３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段と、画像計測演算手段が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物を変更する際の洗浄を、従来装置に比べてより簡単に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する撮像装置５０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。整列供給装置、搬送装置及び選別装置は、閉塞空間たる搬送空間内に配設される一方、撮像装置及び画像処理装置は搬送空間の外側に配設される。撮像領域と対峙する仕切板７に、透明な部材から構成される窓部６５を設け、撮像装置５０は窓部６５を通して被検査物Ｋの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を低減しつつ、レシピに登録された座標と実際の座標とのずれを自動的に補正する。
【解決手段】基板Ｗにおけるモデルの検査・測定座標を記憶したレシピに基づいて搬送ステージ１３上に載置された基板Ｗにおけるモデルを検査・測定する基板検査・測定装置１０は、搬送ステージ１３上に載置された基板Ｗにおけるモデルの実座標を特定し、特定した実座標をレシピに登録する（ステップＳ１１４、Ｓ４１５）。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面に存在するソーマークなどの線状の凹凸について、短時間かつ容易に検査が可能であり、検査に対する振動の影響を低減できる技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面の全域に光源装置２によって斜め方向から光を照射し、ＣＣＤカメラ４で半導体ウェハＷ全体を撮影する。これにより、半導体ウェハＷの各ポイントからの前記照射光の反射光または散乱光の強度を検出する。取得された光の２次元的な強度分布に基づいて、半導体ウェハＷの表面に生成されたソーマークなどの凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】画像認識に適した検査用の画像に用いる撮像画像を決定するための作業を簡素化するとともに決定基準を標準化することが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１００（検査装置）は、複数の照射角度で照明光を照射可能な照明部４１と、検査対象部位Ｐおよび非検査対象部位Ｑを複数の照射角度の照明光を用いてそれぞれ撮像する撮像部４２と、複数の照射角度の照明光を用いてそれぞれ撮像された複数の撮像画像中の検査対象部位Ｐにおける光の強度と、複数の撮像画像中の非検査対象部位Ｑにおける光の強度とに基づいて、検査用画像に用いる撮像画像を決定する演算処理部５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】自動的に、素早く、信頼性良く、高い精度で物体の表面を光学検査するための装置および方法を提案する。
【解決手段】物体（５６）の表面（５８）を光学検査するための装置（１０）は、空間的な第１周期を有する空間的な第１強度分布（３１）を形成する、多数の明るい領域および暗い領域（２９，３０）を有するパターン（２８）と、第１強度分布が表面にあたるように、表面を有する物体をパターンに対して位置決めする収容部（５４）と、表面（５８）に対して所定の変位距離だけ第１強度分布を変位し、表面が、変位距離に沿って第１強度分布に対して異なる多数の位置をとるようにする制御ユニット（２０）と、表面を第１強度分布と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影する撮像ユニット（５０）と、画像に関係して表面特性を決定する評価ユニット（４６）とを有する。測定装置（４８）は、物体に対して第１強度分布の現在位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】表裏のいずれか一方の面の周縁部が曲面となっているワークについて、確実な表裏の判別が可能なワークの表裏判別装置及びワークの表裏判別方法を提供する。
【解決手段】ワークの上面、または、下面の少なくとも一方の面を照明する照明手段と、ワークの照明手段により照明される側の面を撮影する撮像手段と、撮像手段により撮影された画像におけるワークの輪郭形状を検出する判別手段とを備え、判別手段は、撮像手段により撮影された画像におけるワークの輪郭形状と、予め記憶された輪郭形状とを比較することにより、ワークの表裏いずれの面が上面となっているかを判別する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）

【課題】画像読取りのための所要時間の短縮を可能とし、部品搭載動作のタクトタイムを改善することができる電子部品実装装置および電子部品実装装置における画像読取り方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板搬送機構２を挟んだ両側に部品搭載機構が配置された構成の電子部品実装装置において、搭載ヘッド１４Ａ，１４Ｂに保持された電子部品の画像を下方から読み取る第１の画像読取り部６Ａ、第２の画像読取り部６Ｂの構成を、当該画像読取り部に対応する搭載ヘッドを基板搬送方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交するＹ方向へそれぞれ移動させて画像の読み取りを行う第１方向走査動作、第２方向走査動作のいずれによっても画像の読み取りが可能な構成とする。これにより、部品搭載動作において第１方向走査動作、第２方向走査動作のいずれかタクトタイムロスのない方を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板上のレジスト膜に形成された複数の回路パターン毎の寸法を測定し、直後に測定情報に基づいて紫外光を照射して各回路パターン毎の補正を行うようにした回路パターンの補正方法及びその装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷ表面のレジスト膜に形成される複数のチップＣＰ（回路パターン）の寸法を目標寸法に補正する回路パターンの補正方法において、ウエハに形成された各回路パターン間のピッチと同寸法に回路パターンの測定手段７０と紫外線照射手段７１との位置を調整し、測定手段によって各回路パターンの寸法を順次測定し、測定手段によって測定された情報に基づいて各回路パターンの補正量を演算して目標寸法に達する紫外線の照射量を決定し、紫外線照射手段によって各回路パターンに順次、上記決定された照射量の紫外線を照射する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の搬送と検査を１工程内で行うことを可能にして、検査速度の高速化を可能とした外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】 外観検査方法は、被検査物を円軌道に沿って移動させ、円軌道上の定位置にレーザ光を照射することで移動中の被検査物の両端面にレーザ光を当て、各端面からの反射光を検出する。得られた各端面の変位値を予め設定した基準値と比較して所定の公差内にあるか判定し、被検査物の長さ寸法、端面の表面粗さ及び端面形状の一つ又はそれらの組み合わせを検査する。移動手段８は被検査物を円軌道に沿って移動させる。変位計１０は移動中の被検査物の両端面にそれぞれレーザ光を照射してその反射光を検出する。検査手段としての操作制御部１２は各端面の変位が公差内にあるか判定する。 （もっと読む）

【課題】ビレットに上下方向の微小振動が伝播する状態でも、ビレットが所定の品質基準を満たしているか否かを判断することができるビレットの寸法測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のビレットの寸法測定方法は、ビレット１に上下方向の微小振動が伝播する状態において、ビレット１を搬送しつつ、ビレット１の幅又は直径Ｗ、及び前記ビレット１の長さＬを、それぞれ測定する方法である。さらに、ビレット１を搬送しつつ、ビレット１の長さＬを複数回測定し、そのビレット１の長さＬの測定値の中から最小の測定値を抽出する方法である。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像手段による簡易な装置構成によって、デバイスの外観検査項目を網羅的に実施可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】撮像手段であるカメラ２と、照明手段３と、４つのミラー４とからなる。カメラ２は、ターンテーブルに設けられた吸着ノズルＮの垂直方向（Ｚ軸方向）に光軸を持つように、デバイスの底面に対向する位置に設けられている。ミラー４は、図２（ｂ）に示すように、搬送されてくるデバイスＤの停止位置において、そのデバイスの周囲を囲むように四方に設けられている。すなわち、デバイスＤのリードが設けられた２面に対して平行に２つのミラー４ａ及び４ｂを設け、さらに、リードが設けられていない２面に対して平行に２つのミラー４ｃ及び４ｄを設けている。 （もっと読む）

【課題】砕け易い錠剤を用いた場合であっても、錠剤を破損させることなく、高速で錠剤を計数することができ、しかも、大量の錠剤におけるそれぞれの錠剤の形状及び組成の検査を行うことができる、錠剤の形状及び組成の連続検査装置を提供する。
【解決手段】斜めに傾けた回転円盤(2) の最下端部位に錠剤供給部(6) を配設し、回転円盤(2) の下降回転側に、一度に大量の錠剤を排出できる錠剤排出部(9) を 配設する。錠剤供給部(6) と錠剤排出部(9) との間に、検査ステージ(7) を配設する。回転円盤(2) の径方向に複数配設して形成した錠剤保持孔(4a)を、回転円盤(2) の外周縁側に沿って複数配設する。そして錠剤保持孔(4a)を、回転円盤(2) の周方向において等間隔に配した複数のブロック(B) 単位に区分けし、各ブロック単位内には同じ個数の錠剤保持孔(4a)を配設する。
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【課題】 光沢のある金属製の棒状ワークの外観検査を高速で正確に検査する。
【解決手段】 第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２による搬送過程において金属製の棒状ワークＣに照明を照射する照明手段Ｒｅと、上記棒状ワークを撮影する撮像手段Ｓ１〜Ｓ６とを備え、第１の回転インデクサＩＤ１の外周に形成された外周溝ｖ１に上記棒状ワークＣの外周表面の半分を露出させる状態で収納し、第２の回転インデクサＩｄ２の外周に形成された外周溝Ｖ２に棒状ワークＣの残りの外周表面を露出させる状態で収納し、上記照明手段Ｒｅを上記棒状ワークの露出表面を囲むように複数の光源が配される円弧型の照明手段Ｒｅとして配し、この円弧型の照明手段Ｒｅによる照明を介して上記外周溝ｖ１（ｖ２）に収納された上記棒状ワークＣを撮像手段Ｓ１〜Ｓ６により撮像する。 （もっと読む）

【課題】パレットの平板の被検査部の外観態様によらず、その破損の有無を検知することができるようにする。
【解決手段】パレット検査装置２００は、検査対象であるパレット１０を支持するパレット支持部２２１，２２２と、パレット支持部２２１，２２２に支持されたパレット１０の平板１１の被検査部に対し、その幅方向両側の斜め方向から検査光を照射するように設けられた一対の光源２２８と、一対の光源２２８から検査光が照射された平板１１の被検査部の画像を取得する画像取得部２２９と、を備える。一対の光源２２８は、画像取得部２２９で外観態様が消去された平板１１の被検査部の画像が取得される検査光を出射するように構成されている。 （もっと読む）

【解決手段】 撮影手段５により容器１を撮影する際に、該容器１を保持する保持手段４は、第１の色からなる第１領域の形成された第１部材１２と、第２の色からなる第２領域の形成された第２部材１３と、揺動可能に設けられるとともに、第１面１４ａが第１の色に、第２面１４ｂが第２の色に塗装されたプレート部材１４とを備えている。
保持する容器の色に応じて上記プレート部材１４を回転させ、例えば第１部材１２とプレート部材１４の第１面１４ａとを相互に対向させると、第２部材１３およびプレート部材１４の第２面１４ｂの第２の色が容器の載置面として現れ、容器１とともに撮影手段５に撮影されるようになっている（図３（ａ））。
【効果】 撮影手段により、撮影する物品の色にかかわらず物品を確実に認識することが可能となる。 （もっと読む）