【課題】高速、かつ少ない振動およびエラーで部品表面の多数の座標ポイント取得できるようにする。
【解決手段】基準表面に対して可動サポートを位置決めするための１つ以上のアクチュエータとを含む測定システムであって、前記可動サポートが、サポートコネクタと、前記可動サポートと取り外し可能に接続された、前記基準表面に位置決めされたワークピースの表面の走査経路にある複数のポイントを測定するための走査プローブと、前記サポートコネクタと相互作用するように配置された、モジュラ回転取り付け具を前記可動サポートに接続させるための第１のコネクタ９０、およびプローブコネクタと相互作用するように配置された、前記走査プローブを前記モジュラ回転取り付け具に接続させるための第２のコネクタ４０を備えるモジュラ回転取り付け具と、前記第２のコネクタを前記第１のコネクタに対して回転させるためのアクチュエータ５８とを有す。 （もっと読む）

【課題】高速で、振動と測定誤差の少ない座標測定システムを提供する。
【解決手段】座標測定システムの可動サポートに着脱可能に接続されるコネクタを備えるアナログ走査プローブ１２０であり、走査プローブは、測定軸６３に従って当該走査プローブに回動可能に接続される針部２８の先端の接触部３０と、前記測定軸６３についての前記接触部３０の傾き角の測定を行う位置エンコーダと、を含み、前記コネクタと前記測定軸６３との間に走査プローブ又はプローブの一部を傾けてプローブの走査を可能とする１つの関節６４が備えられる。 （もっと読む）

【課題】高精度に移動体の位置等を推定、検出することができるシステム等を提供する。
【解決手段】異なる場所にそれぞれ設置されて、移動体により生じる物理量の信号を検出する複数の磁気検出器１と、各磁気検出器１の検出した信号に対応したパラメータの値を最小自乗法により算出し、パラメータの値に基づいて、各磁気検出器１の検出に係る移動体の位置をそれぞれ算出する位置算出器４Ａ及び４Ｂと、位置算出器４Ａ及び４Ｂが算出した位置に基づいて、移動体の位置を推定検出する位置推定検出器１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】３次元座標測定システムのコントローラで使用するプログラムを顧客にネットワークを介して配信する方法を提供する。
【解決手段】顧客から実行可能プログラムの作成要求を受信するステップ１００と、顧客のプログラム実行に係わる経験レベル等の情報を入力するステップとを具備する。作成される実行可能プログラムは３次元座標測定システムで実行される多数の測定ステップをオペレータに示すものである。実行可能プログラムはネットワークを介して顧客に配達される。 （もっと読む）

座標位置測定装置のためのエラー修正方法を開示する。この方法は、（ｉ）各々が第一の物体の表面上のある位置を表す１つまたは複数の第一のデータ値を含む第一のデータセットを取得するステップと、（ｉｉ）各々が第一の物体の表面上のある位置を表す１つまたは複数の第二のデータ値を含む第二のデータセットを取得するステップと、（ｉｉｉ）各々が、第一のデータセットにより説明される表面と第二のデータセットにより説明される表面の間の位置差を表す１つまたは複数のエラー値を含むエラーマップを計算するステップと、を含む。第一の物体の面法線が第一のデータ値の各々によって表される各位置において既知であり、ステップ（ｉｉｉ）は、実質的に既知の面法線の方向の位置差を判断することによって各エラー値を計算するステップを含む。加工または測定作業は、第一の物体または第一の物体と名目上同一の物体について実行され、その表面上の位置がステップ（ｉｉｉ）で計算されたエラーマップを使って修正される。
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測定プローブ（１８）を有する座標位置決め装置を操作する方法が記載される。方法は、一連の公称同一の部品の内の第一の部品（２４）を選択する工程であって、少なくとも、第一の部品（２４）の一つ以上の構造と関連する第一の基準幾何学的特性は知られている工程を含む。また、第一の部品（２４）の一つ以上の構造を測定するために、座標位置決め装置を用い、そこから、第一の基準幾何学的特性に対応する、第一の測定幾何学的特性を決定する工程が実行される。それから、第一の基準幾何学的特性と第一測定幾何学的特性との間の差異を記述する、第一の特性補正値が決定される。座標位置決め装置は、それから、一連の公称同一の部品の内の一つ以上の他の部品の一つ以上の構造を測定するために用いられ、各々の他の部品に対して、第一の基準幾何学的特性に対応する、他の測定幾何学的特性が決定される。それから、第一の特性補正値が、各々の他の測定幾何学的特性に適用される。対応する座標位置決め装置が、また、記載される。
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【課題】３次元座標測定システムのコントローラで使用するプログラムを顧客にネットワークを介して配信する方法を提供する。
【解決手段】顧客から実行可能プログラムの作成要求を受信するステップと、顧客のプログラム実行に係わる経験レベル等の情報を入力するステップとを具備する。作成される実行可能プログラムは３次元座標測定システムで実行される多数の測定ステップをオペレータに示すものである。実行可能プログラムはネットワークを介して顧客に配達される。 （もっと読む）

【課題】３次元座標測定システムのコントローラで使用するプログラムを顧客にネットワークを介して配信する方法を提供する。
【解決手段】顧客から実行可能プログラムの作成要求を受信するステップと、顧客のプログラム実行に係わる経験レベル等の情報を入力するステップとを具備する。作成される実行可能プログラムは３次元座標測定システムで実行される多数の測定ステップをオペレータに示すものである。実行可能プログラムはネットワークを介して顧客に配達される。 （もっと読む）

【課題】位置センサを用いた移動部材の移動情報の検出精度を向上させることができる移動情報検出方法、移動情報検出プログラム、計測装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ステップＳ１１では、レンズをＺ軸方向及びθｘ方向に移動させると共に、複数の位置で位置センサを用いてレンズのＹ軸移動量ｄを検出させ、さらに、Ｙ軸移動量ｄを検出したときのレンズのＺ軸方向に関する位置及び傾斜角を検出させる。そして、ステップＳ１２，１３では、位置センサのスケールの傾き角度θを算出させる。その後、算出した傾き角度θに基づいて、位置センサを用いてレンズのＹ軸移動量ｄが補正される。 （もっと読む）

【課題】定盤の自由な位置に設置することができ、座標測定機の製造コストを低減させることができる基準器の提供。
【解決手段】基準器は、三次元測定機に測定される基準器本体と、基準器本体を支持する台座４とを備える。台座４は、定盤１１の平面１１Ａに当接する当接面４２１を有する円盤状に形成されている。当接面４２１には、断面円環状の凹部４２２が形成されるとともに、凹部４２２には、空気を吸気するための吸気孔４２３が形成されている。また、台座４は、吸気孔４２３に連通する吸気用流路４３を有し、吸気用流路４３を介して吸気孔４２３から空気が吸気されることで定盤１１に対して吸着することができる。 （もっと読む）

反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含み、アームセグメントのそれぞれが、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、アーム部を含む、複数の通信チャネルを有する可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）。可搬型のＡＡＣＭＭは、可搬型のＡＡＣＭＭの第１の端部に装着された測定デバイスと、複数の通信チャネルとをさらに含む。可搬型のＡＡＣＭＭは、トランスデューサからの位置信号を受信するための、および測定デバイスの位置に対応するデータを提供するための電子回路をさらに含む。可搬型のＡＡＣＭＭは、ユーザからの、複数の通信チャネルのうちの選択された１つの通信チャネルを介した通信の要求を受信し、選択された通信チャネルを介して通信するように可搬型のＡＡＣＭＭを構成するために電子回路によって実行可能な論理をさらに含む。
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例示的な実施形態は、可搬型の関節アーム座標測定機であって、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含み、アームセグメントのそれぞれが、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、アーム部と、関節アーム座標測定機の第１の端部に装着された測定デバイスと、トランスデューサからの位置信号を受信するための、および測定デバイスの位置に対応するデータを提供するための電子回路と、第２の端部に結合された基部と、基部に配置された上側取付け部と、取り付け構造に固定され、上側取付け部に繰返し精度良く接続するように構成された下側取付け部と、下側取付け部を識別する識別子情報を電子回路に送信するように構成された電子的識別システムとを含む、関節アーム座標測定機を含む。
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可搬型の関節アーム座標測定機（１００）が、提供される。座標測定機（１００）は、アーム部（１０４）とともに基部（１１６）を含む。プローブ端（４０１）が、基部（１１６）から遠位にある、アーム部（１０４）の端部に結合される。プローブ端（４０１）は、締め具（４３８）および第１のコネクタ（４２８）を有する。デバイス（４００）が、締め具（４３８）によってプローブ端（４０１）に取り外し可能なように結合され、デバイス（４００）は、締め具（４３８）がデバイス（４００）をプローブ端（４０１）に結合するときに第１のコネクタ（４２８）に係合するように構成された第２のコネクタ（４２９）を有する。
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可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、手動で位置付けることが可能な関節アーム部と、第１の端部に装着された測定デバイスと、ＡＡＣＭＭの構造的コンポーネントであって、軸方向を有する、構造的コンポーネントと、構造的コンポーネントに結合された、それぞれが受感軸を有する少なくとも３つの歪みゲージセンサであって、各歪みゲージセンサの受感軸が、軸方向に対してほぼ平行に向きを決められ、各歪みゲージセンサが、軸方向に垂直な横断面によってほぼ横切られ、アナログ歪みゲージ信号を生成し、歪みゲージセンサが、構造的コンポーネントと横断面の両方の上に存在する任意の点の曲げ歪みを判定するのに十分なデータを提供するように配置される、歪みゲージセンサと、位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。
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可搬型の関節アーム座標測定デバイスが、提供される。座標測定デバイスは、基部と、少なくとも１つのアームセグメントを有する関節アーム部とを含む。付勢部材が、基部に第１の端部で結合され、関節アーム部に第２の端部で結合される。付勢部材の第１の端部は、第１の位置と第２の位置の間を動くことができる。アジャスタが、基部と付勢部材の間に結合される。アジャスタは、付勢部材の第１の端部を第１の位置から第２の位置に動かすために結合される。
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可搬型の関節アーム座標測定機が、基部と、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含む、アーム部と、トランスデューサからの位置信号を受信する電子回路と、基部に結合された第１の傾斜計であって、基部の傾斜の角度に応じた第１の電気信号を生成するように構成された、第１の傾斜計と、第１の傾斜計の第１の読み取り値および第１の傾斜計の第２の読み取り値を記録するように構成された電気的システムであって、第１の読み取り値が、基部に加えられた第１の力および取り付け構造に加えられた第３の力のうちの少なくとも１つに応じたものであり、第２の読み取り値が、基部に加えられた第２の力および取り付け構造に加えられた第４の力のうちの少なくとも１つに応じたものである、電気的システムとを含む。
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可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、提供される。ＡＡＣＭＭ（１００）は、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム（１０４）を含む。アーム（１０４）は、複数の接続されたアームセグメント（１０６、１０８）を含み、アームセグメント（１０６、１０８）のそれぞれは、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。測定デバイス（１１８）が、ＡＡＣＭＭ（１００）の第１の端部に装着される。トランスデューサからの位置信号を受信するための、および測定デバイス（１１８）の位置に対応するデータを提供するための電子回路（２１０）が、設けられる。光源（４０２）が、アーム（１０４）に結合され、測定デバイス（１１８）の近くに光を放射するように配置される。
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【課題】設置後の被検査物体の使用状況を考慮して設置スペースに被検査物体が設置可能か否かを判定すること。
【解決手段】入力部１０２は、設置スペースを規定する多面において、被検査物体を構成する多面のうち正面に対応する面を設定し、設置スペースを規定する各面について、被検査物体の操作部及び可動部の設置を許可するか否かを設定し、判定部１０６は、被検査物体における操作部及び可動部の設置状況と、入力部１０２における設定結果とを比較することにより、被検査物体を構成する多面のうち正面を、設置スペースを規定する多面のうち正面として設定された面に向けた場合に、設置スペースに被検査物体が設置可能か否かを判定する。 （もっと読む）

第１の位置から第２の位置に可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）を移動する方法において、ＡＡＣＭＭは、第１の位置で第１の原点および第１の基準系を有し、第２の位置で第２の原点および第２の基準系を有する、方法であって、可搬型のＡＡＣＭＭが第１の位置および第２の位置のそれぞれにあるようにして、重力ベクトルに対して各方向がほぼ直交する２つの直交方向に沿った可搬型のＡＡＣＭＭの傾斜の量を測定するステップと、可搬型のＡＡＣＭＭが第１の位置にあるようにして第１の目標および第２の目標を測定して、第１の基準系においてｘ、ｙ、およびｚ座標の第１の組ならびにｘ、ｙ、およびｚ座標の第２の組を取得するステップと、可搬型のＡＡＣＭＭが第２の位置にあるようにして第１の目標および第２の目標を測定して、第２の基準系においてｘ、ｙ、およびｚ座標の第３の組ならびにｘ、ｙ、およびｚ座標の第４の組を取得するステップと、第１の基準系に対する第２の原点のｘ、ｙ、およびｚ座標を発見するステップであって、第２の原点のｘ、ｙ、およびｚ座標は、ｘ、ｙ、およびｚ座標の第１、第２、第３、および第４の組を使用するが、第１の位置および第２の位置でＡＡＣＭＭによって測定された第３の目標のさらなるｘ、ｙ、およびｚ座標は使用せずに発見される、ステップとを含む方法。
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