【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダにおいて、スケールと受光部とが周期パターンの周期方向に直交する方向に相対変位しても、良好な精度で位置検出を行えるようにする。
【解決手段】エンコーダは、光を反射または透過する光学部が第１の方向に第１の周期で形成された周期パターンを有するスケール２と、該スケールとの第１の方向での相対移動が可能であり、光源１から射出されて光学部を介した検出光を光電変換して第１の周期に応じた変化周期を有する信号を出力する受光部３とを有する。光学部は、第２の方向にて隣り合う複数の部分ｅ〜ｈが互いに第１の方向にシフトしたパターン形状を、第２の方向に第２の周期ｔで有する。光源の第２の方向での幅ｗが、ｗ＝（ａ＋ｂ）／ｂ・ｎｔなる条件を満足する。ｎは自然数であり、光源から周期パターンまでの距離と周期パターンから受光部までの距離との比をａ：ｂとする。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】回折格子を用いて相対移動量を計測する際に、格子パターン面の法線方向の絶対位置を検出する。
【解決手段】原点検出装置１１Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする反射型の回折格子１２Ｘと、第１計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに第１の入射角で入射させ、回折光と第１参照光ＭＲ１との第１干渉光を検出する第１干渉ヘッド１４Ｘと、第３計測光ＭＸ３を回折格子１２Ｘにその第１の入射角と異なる第２の入射角で入射させ、回折光と第３参照光ＭＲ３との第３干渉光を検出する第２干渉ヘッド１５Ｘと、その第１、第３干渉光の検出信号からＺ方向の相対位置を求める第３演算部４１Ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価に光学系の歪みをキャンセルしてスケールの位置情報の検出精度を向上させる。
【解決手段】光電式エンコーダは、発光素子１１と、スケール１２と、レンズ１３と、ＰＤＡ１４と、信号処理演算回路２０とを備える。信号処理演算回路２０は、歪みテーブル２１と、歪み補償回路２２と、信号解析回路２３とを備える。歪みテーブル２１は、例えば予めレンズ１３等の光学系の設計値から歪みシミュレーションによって得られた歪み情報Δｅ_ｉに基づき算出されている。歪み補償回路２２は、歪みテーブル２１を参照すると共に、ＰＤＡ１４の各ＰＤ４１の位置情報に基づいて、各ＰＤ４１の位置ｘ_ｉを仮想的にｘ_ｉ−Δｅ_ｉの位置に配置変更して光学系の歪みを除去し、ＰＤＡ１４からの明暗信号を補正する。位置解析回路２３は、この補正された明暗信号に基づいて、スケール１２の位置を解析する。 （もっと読む）

【課題】相対移動する摩耗側部品と対向側部品を配線等で接続したり、摩耗側部品に電子回路を設置したりすることなく、対向側部品に設置された制御装置により摩耗側部品の摩耗状態を適切に検知する。
【解決手段】本発明の摩耗検知装置は、摩耗側部品２に設けられ、一端部５１および他端部５２が対向側部品３に向けて配置される光ファイバ５を備え、摩耗側部品２の摺動面２１に沿って配置された先端部４１に光ファイバ５の被摩耗部５４が配置された摩耗ゲージ４と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に光ファイバ５の一端部５１と対向可能な位置に設けられた発光素子７と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に光ファイバ５の他端部５２と対向可能な位置に設けられた受光素子８と、対向側部品３に設けられ、受光素子８による受光状態に基づいて摩耗ゲージ４の摩耗状態を検知する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】原点検出精度を向上させた信頼性の高いエンコーダシステムを提供する。
【解決手段】エンコーダシステム１００は、複数のマークを備えた担持体１１と、担持体１１の移動方向に第１の距離だけ互いにずらして設けられ、複数のマークを読み取り可能なセンサ１２、１３と、センサ１２、１３の検出信号を演算処理する演算処理部１４とを有し、演算処理部１４は、担持体１１がセンサ１２、１３に対して相対移動している際に、複数のマークのうち一つのマークが第１の距離だけ移動するのに要する第１の時間、および、複数のマークのうち隣接する二つのマークがセンサ１２またはセンサ１３による検出位置を通過するのに要する第２の時間を演算し、第１の時間および第２の時間から算出された第１の指標が原点位置を特徴付ける第２の指標に相当する場合、第１の指標の算出に用いられたマークパターンを原点マークパターンであると判定する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】複合構造物の健全性を監視するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】複合構造物１０は、複合材料及び複合材料内に配置された光ファイバー１６を含む。光ファイバー１６は、光ファイバー１６の非線形光学特性を高める複数の量子ドット１８を含む。量子ドット１８はコア内、金属被覆内、及び／又は光ファイバー１６の表面上に配置することができる。光ファイバー１６は、信号の伝播を支援し、複合材料内の欠陥を検出するように構成されている。量子ドット１８は、複合材料内の欠陥に応じて、二次効果などの非線形効果を引き起こす。量子ドット１８によってもたらされる非線形効果を含む信号の検出及び解析に基づいて、複合材料内の欠陥が検出されうる。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターンから、簡単な処理回路を用いて高速でアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号を分離する。
【解決手段】アブソリュートパターン１２Ａとインクリメンタルパターン１２Ｂを統合したＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃを有する絶対測長型エンコーダにおいて、前記アブソリュートパターン１２Ａ由来の明暗信号と前記インクリメンタルパターン１２Ｂ由来の明暗信号とに振幅差が生じるように設計された撮像光学系（レンズ１４）と、前記ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃからの受光信号を、前記振幅差を利用してアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号に分離する信号処理系（比較器２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】迷光／ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源２０８に対して光検出器２１２を上方に配置し、光源２０８と光検出器２１２との相対的な高さの差により、反射迷光２３２の影響を阻止し、光学エンコーダ２０４が、光源２０８と光検出器２１２との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器２１２におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光学式エンコーダの原点信号検出を行うこと。
【解決手段】光源1と、配列方向に相対移動が可能なインクリメンタル信号生成用パターン5を有するメインスケール4と、光源1で照明されたメインスケール4を透過、または、反射した光束を受光し、インデックススケールを兼ねる複数のフォトダイオードから成る第1のフォトダイオードアレイと、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される第2のフォトダイオードアレイを有するインクリメンタル信号検出部2と、第2のフォトダイオードアレイからの出力信号を処理するインクリメンタル信号処理部3を有し、メインスケール4が、複数のインクリメンタル信号生成用パターン5と同一ピッチの原点信号生成用パターン9を有し、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される原点信号検出部10からの出力信号を処理する原点信号処理部11を有する。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】高分解能を有するアブソリュートエンコーダに有用なスケールを提供する。
【解決手段】 アブソリュートエンコーダのスケールには、少なくとも１つの方向に沿って所定のピッチで複数のマークが配列されている。前記スケールは、前記少なくとも１つの方向に沿って前記所定のピッチで配置された光反射性または光透過性を有する複数のマークを含む基材を有する。前記複数のマークのうちの一部のマークには、光を減衰させる膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】光学系の高さを低くするとともに、回折格子からの０次光の影響を低減して計測精度を向上する。
【解決手段】Ｘ軸のエンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする回折格子１２Ｘと、可干渉性のある計測光ＭＸ１及び参照光ＲＸ１を供給するレーザ光源１６と、第２部材７に設けられ、計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに向けてリトロー角から所定角度ずれた角度で反射する傾斜ミラー３２ＸＡと、回折格子１２Ｘからの回折光と参照光ＲＸ１との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、光電センサ４０ＸＡの検出信号を用いて第１部材６に対する第２部材７のＸ方向の相対移動量を求める計測演算部４２Ｘと、を備える。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）