【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】歯車機構を備えた位置検出装置と光学式エンコーダ装置とを備えたエンコーダを提供する。
【解決手段】ハウジング３が第１の収納部１１と第２の収納部１３との間に軸受けホルダ９を備えている。軸受けホルダ９は、歯車機構２１と光学式エンコーダ装置７とを隔離する隔壁部を構成する。歯車機構２１と光学式エンコーダ装置７とを隔離すると、歯車機構２１から発生する磨耗粉やグリスが飛散して、光学式エンコーダ装置７の構成部品に付着することを確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】スケール基板上に形成された目盛部が、その上面側を保護するスケールカバーで保護されたスケールの目盛保護構造において、目盛部が水分等の目盛劣化成分により経時的に劣化することを抑制する。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたスケールカバー１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記スケール基板と前記スケールカバーの間の前記目盛部の側方全周囲を、目盛劣化成分の浸透を阻害するガラス粉末（粉末材料）３２が混合された接着剤で封止し、周囲接着層３０を形成した。 （もっと読む）

【課題】カバーガラスを目盛部に接着する接着剤の厚さむらに起因するエンコーダの出力変動を防止できるようにする。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたカバーガラス１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記カバーガラスが、前記目盛部の周囲に配設された高さ規定部３０を介して、前記スケール基板上に支持され、前記高さ規定部が、前記カバーガラスの下面に、前記目盛部の周囲に対応するパターンに予め形成され、且つ、その下端が前記スケール基板の上面に当接され、更に、前記スケール基板と前記カバーガラスとが、前記高さ規定部の周囲に配置した接着剤で接合されている。 （もっと読む）

【課題】回転数制御の精度の低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部を有する第１軸部と第２軸部とがユニバーサルジョイントで互いに接続された第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】紫外光より長波長の光を照射した場合にも、結露制御機能部材あるいはクリーニング機能部材として機能させる信頼性保持機能部材を提供する。
【解決手段】ＰＤ１３およびＶＣＳＥＬ１２のうちの少なくとも一方の機能を含む光機能素子を内部に収納すると共に、外部と光機能素子（ＰＤ１３、ＶＣＳＥＬ１２）との間で光を透過可能とするための光透過構造（ガラス部材１４）を有するセラミックパッケージ１１と、このパッケージの光透過構造の表面に薄膜状に形成され、可視光の波長以上の波長を吸収する材料からなる、結露防止機能部材および清浄化機能部材の少なくともいずれか一方の機能を含む透過性の信頼性保持機能部材１５を有し、この信頼性保持機能部材１５は、ＴｉＯ２にＣｕもしくはＦｅのいずれかを担持してもの、あるいは、Ｎ２ドープを行ったＴｉＯ２、あるいは、Ｗ０３にＣｕもしくはＰｄのいずれかを担持してもの、を構成成分として有する。 （もっと読む）

【課題】格子プレートの位置測定システムに干渉する汚染物により誤った測定が行われる可能性が低減された液浸リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、バリア１００が使用され、汚染物（例えば、液滴及び／又は微粒子）は格子５０又はセンサ２０に接触することが防止される。バリア１００に付着するいかなる汚染物も放射源からの放射ビームが格子５０上で合焦する焦点面から十分に遠いように配置されているので、汚染物は測定に干渉しない。ある実施形態では、表面弾性波を用いて格子５０又はセンサ２０の表面から汚染物が除去される。 （もっと読む）

【課題】検出精度の低下を防ぐことができる光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板と、当該基板の表面に形成され、光を反射する第一金属からなる光反射層と、当該光反射層の表面のうち所定領域を空けて形成され、光を吸収すると共に第一金属よりも標準電極電位の低い第二金属からなる光吸収層とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造物にひび割れが発生した場合に、そのひび割れの発生を、光ファイバを使用した簡易な構成でより確実に確認することができるひび割れ検知センサを提供する。
【解決手段】可視光が導入される光ファイバ２であり、その全長内の一部の区間部分２axが、検知対象部Ｗに発生するひび割れに応じて破断するように検知対象部Ｗに固定される光ファイバ２と、区間部分２axを被覆するように光ファイバ２に装着されており、区間部分２axが破断した状態で光ファイバ２に可視光を導入した時に区間部分２axの破断箇所から漏出する可視光を透過させつつ散乱させる可視光散乱機能と区間部分２axの防水を司る防水機能とを有する被覆部材３とを備える。 （もっと読む）

本発明は、土木構造物のための可撓性ストリップ（１）に関し、この可撓性ストリップは、縦軸に沿って縦方向に延びることができ、構造物が変形および／または温度に関して位置を特定し測定値を得ることを可能にする少なくとも１つの光ファイバ（２０）を備え、前記光ファイバ（２０）が、実質的に縦軸に沿って配置されるとともに、実質的に縦軸に沿って少なくとも部分的に強化された連続強化繊維（３０）の熱可塑性ポリマーマトリックスによって取り囲まれ、実質的に縦軸に沿って延びる連続強化繊維の質量ＷＣＦが、光ファイバの質量ＷＯＦの１０倍以上である。本発明はまた、計測デバイスおよび関連する方法に関する。
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【課題】箱体で一体化されていて高温環境での使用にも適う光ファイバセンサを実現。
【解決手段】 箱体１１と、一対のファイバ保持具２０，３０と、両保持具間に張られた部分が内部空間１２に収容されその張設部分にＦＢＧ８ａが形成されている光ファイバ８とを備え、ファイバ保持具２０，３０が離接方向への相対移動を許容する形で箱体１１に装着されており、巻付部材からなるファイバ係止部２１，３１と被測定物に対する取付部２６，３６との間の中継部２３〜２５，３３〜３５に断熱材が組み込まれており、箱体１１には冷却手段１５が付設されている。中継部２３〜２５が上層断熱板２３と中層連結板２４と下層断熱板２５とを具備し、ファイバ係止部２１と中層連結板２４とが上層断熱板２３を挟んで断熱性締結具２８にて連結され、中層連結板２４と取付部２６とが下層断熱板２５を挟んで耐熱性締結具２７にて連結される。ファイバ保持具３０も同様である。 （もっと読む）

【課題】受発光動作の信頼性を確保することができる受発光センサ、エンコーダ及び受発光センサの製造方法を提供すること。
【解決手段】光を発光する発光部及び前記光を受光する受光部を有する受発光部と、前記光を透過させて、前記発光部と前記受光部とを含む領域を保護する保護層とを備える。 （もっと読む）

【課題】 過酷な環境下で長期に亘り安定的に圧力を計測可能で、特に、非直線性、ヒステリシスを大幅に改善でき、薄形且つ小形化が可能で、偏荷重に対しても出力に影響を受けにくい圧力変換器を提供する。
【解決手段】 シール材押さえ板４が圧力を受けると、これと一体化された受圧板２が微小変位し、受圧板２に設けられた力伝達部材が、起歪体６の起歪ビーム６ｉの中心部を押下して撓ませる。この撓み量は、起歪ビーム６ｉの凹溝に接着されたひずみ検出用ＦＢＧ７ａを同様に撓ませる。その結果、ひずみ検出用ＦＢＧ７ａのブラッグ反射光の波長がシフトするので、そのシフト量を計測することで印加圧力を測定することができる。起歪体６の起歪ビーム６ｉの直下には一対の取付部６ｃと６ｄ間を連結する底辺部６ｋが設けられているため、底辺部６ｋと台座部１ｃとの間の傾きやすべりがなく、ヒステリシスや非直線性が大幅に改善される。 （もっと読む）

【課題】電子制御部における負担が少なく、光源の発熱を抑えることが可能な測長器を提供する。
【解決手段】本願の測定器は、液晶窓が１列に配列された第１の画素列と、第１の画素列に対し液晶窓が千鳥状にずれて１列に配列された第２の画素列とを含む液晶スケール７と、液晶スケール７に密着して配置されたＥＬ光源アレイ８と、ＥＬ光源アレイ８の発光を制御するＥＬ光源制御回路１７と、移動ステージとともに移動し、第１および第２の画素列の液晶窓を通過した光束を第１の電気信号Ａａおよび第２の電気信号Ｂａにそれぞれ変換する受光部５，６と、第１の電気信号Ａａのピーク信号Ａｐおよびエッジ信号Ａｅならびに第２の電気信号Ｂａのピーク信号Ｂｐに基づいて、被測定物の移動距離および移動方向を演算する演算処理回路３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダの静電気による破壊を防止し、製造上及び装置への取付け時の歩留まりを向上させることができる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】光学式エンコーダは、１つ以上の光源４と１つ以上の光検出器５を有したセンサヘッド１と、センサヘッド１と相対的に変化するスケール２とから構成され、光源４から出射した光をスケール２を介して光検出器５で受光してセンサヘッド１から変位信号を出力する光学式エンコーダであって、センサヘッド１は、電極31,312,313,314が形成され、かつ光源４及び光検出器５が所定位置に配置された配線基板３と、配線基板３上、光源４上、光検出器５上を覆った樹脂６とを有し、樹脂６の表面には導電部材７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】正確な圧力値を測定でき、かつ低コストに製造が可能な光ファイバセンサユニットを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサユニット１０は、互いに並列して配置した２本の光ファイバセンサケーブル１１，１１どうしを、所定の間隔を開けて接続部１２によって接続（連結）してなる。コア２１の外周面２１ａは、中間層（スキン層）２４によって被覆されている。この中間層（スキン層）２４は、保護層２６との間で圧力測定用光ファイバ２５を保持する。中間層２４の外周面２４ａには、圧力測定用光ファイバ２５が螺旋状に巻回される。 （もっと読む）

【課題】簡単に構成できて小型化し易いエンコーダを提供する。
【解決手段】検出用パターンを有して、ベース機器１１の回転部１３に取付けられた回転符号部２１と、検出用パターンを検出可能な検出部２５とを備えたエンコーダ１０であり、回転符号部２１と検出部２５とを覆うと共に、ベース機器１１の非回転部１５に固定可能な外装カバー２３を備え、検出部２５が検出した信号を処理する回路を備えた基板２７ａ、２７ｂが外装カバー２３に直接的又は間接的に固定され、この基板２７ａ、２７ｂに検出部２５が固定されている。 （もっと読む）

【課題】 リング体の変位量に対するＦＢＧへのひずみ発生量の大きさを増大させることにより、また、光ファイバとリング体との接触長を少なくして光ファイバの材料に起因する変位量の減少を抑止することにより、ひずみ量測定の誤差要因を排除でき、さらに、リング体を金属材料で形成する場合における外径の大径化を回避できる光ひずみゲージを提供すること。
【解決手段】 光ひずみゲージは、光ファイバブラッグ回折格子２が形成された光ファイバ１と、円形領域４を取り囲むように形成されたリング体３とを有し、光ファイバ１は円形領域１を直線的に通過して配置されると共にリング体３との交差位置でリング体３に固定保持されて構成されている。 （もっと読む）