【課題】蛍光Ｘ線装置の操作条件変動の影響を回避し、オンラインでの単一相溶液の分析に適用することができ、装置ドリフトによる測定誤差を最小にし、分析すべき溶液中の媒体変動又はガス相の存在についての検出を可能にした分析装置。
【解決手段】励起Ｘ線により溶液を励起し、励起した溶液から放出された分光Ｘ線を分析するための励起及び分析手段（１２、１４）、励起及び分光Ｘ線及び基準Ｘ線に対し透明な領域（１８）を有する溶液受容手段（４、８、１０）、及び溶液に対し外部にある基準素子で、受容手段と一体になっており、前記領域とこの素子との間に前記溶液が存在するような仕方で前記領域に相対して配置され、励起放射線を受けた時、分光Ｘ線とは異なった基準Ｘ線を放出することができ、基準Ｘ線及び分光Ｘ線を分析して前記溶液の分析中に起き易い測定ドリフトを補正することを可能にする、基準素子（６）、を備えた分析装置。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、大気圧で分析すべき試料が真空で分析されるのを防止できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 真空と大気圧に雰囲気が切り替えられる分析チャンバ11内で、試料ホルダ8 に収納された試料3 に１次Ｘ線2 の照射などを行う分析装置本体10と、複数の試料ホルダ8 が載置される試料テーブル21を有し、分析装置本体10に対して試料ホルダ8 の搬出入を行う試料交換機20と、試料テーブル21における試料ホルダ8 の載置場所21a ごとに、試料3 に適用される雰囲気などの分析条件が設定される分析条件設定手段33と、その分析条件に従い分析装置本体10および試料交換機20の動作を制御する制御手段34とを備える。試料テーブル21における試料ホルダ8 の各載置場所21a に、分析チャンバ11内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段31または試料テーブル21自体に表示される。 （もっと読む）

【課題】 軽元素の分析においてＳＮ比が十分に向上した蛍光Ｘ線分析方法および装置を提供する。
【解決手段】 試料１に１次Ｘ線２を照射するＸ線源３と、試料１から発生する２次Ｘ線の通路４に配置され、分析対象の軽元素と同一の軽元素を含む分光素子７と、この分光素子７によって回折された２次Ｘ線４Ｄが入射される検出器１０とを備え、試料１から発生する２次Ｘ線の通路４における試料１と分光素子７との間に、分析対象の蛍光Ｘ線よりも短い波長のＸ線を除去する全反射ミラー５０からなるフィルタ素子５が配置されている。 （もっと読む）

本発明は、コンテナーを、特にコンテナーブリッジを用いて荷積みに降ろしされるコンテナーを、無接触に荷役管理し搬送するための移動式多機能型プラットホームに関し、コンテナー（６）を移し替えするためのクレーン装置と、コンテナー（６）のためのプラットホーム（７，３５）と、透視装置（１２，１４，１５）と、シールド（１６，３３）と、プラットホーム（７，３５）の移動手段（９）とを備えている。
本発明は、コンテナー（６）の荷役管理を無接触に行い、コンテナーブリッジ（３）に透視装置を追装備できないような場所であればどこにおいても適用可能である。
（もっと読む）

【課題】 エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる３次元構造物分析システムを提供する。
【解決手段】 試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を３次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより３次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、前記電子が照射された試料からのＸ線を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える３次元構造物分析システムである。Ｘ線検出器は、エネルギー分散型の超伝導Ｘ線検出器からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２方位のみの測定で結晶格子面傾斜角を精度よく測定することを目的とする。
【解決手段】ペンシル状Ｘ線ビームを含む面であるδ回転面に沿って回折点を通るδ回転軸と直交し、被検体である結晶の被検査面に略垂直なｚ軸と略同軸に設定されたφ回転軸回りにＸ線源、Ｘ線検出器及びδ駆動部を一体でφ回転させてδ回転面を所定角度に設定し該所定角度でδ回転を行ったときのＸ線検出器のピーク出力を与えるδ回転量の読み値から結晶の格子面法線の前記φ回転軸に対する傾斜角を計算するデータ処理部と、試験用結晶片をλ回転可能に保持しそのλ回転軸が上記ｚ軸と平行になるよう試験用結晶片３１をｚ駆動部９に取付ける治具３３とを有し、上記データ処理部は上記λ回転の１８０度異なる２つの位置に対する上記試験用結晶片３１の上記傾斜角のそれぞれの計算値から上記ｚ軸の上記φ軸に対する設定誤差を計算する。 （もっと読む）

【課題】金属帯上に塗布されるワックスの付着量を短時間で正確に測定することを可能としたワックス付着量測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のワックス付着量測定方法は、ワックスが付着された金属帯を、500〜950℃の温度で熱処理し、該熱処理前後の金属帯上の炭素量の差からワックスの付着量を求めることを特徴とする。さらに、蛍光Ｘ線分析法を用いて、熱処理前後の金属帯上の炭素量の差を求めることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】未知の被検体に対しても、管電圧と管電流を容易に設定できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１１と、このＸ線管１１の管電圧と管電流とを制御するＸ線制御部１５と、被検体２１を透過したＸ線２２を検出するＸ線検出器１２とを有するＸ線検査装置１において、Ｘ線検出器１２で検出した被検体の透過画像からこの透過画像のコントラストとノイズとの比であるコントラスト対ノイズ比を算出し、このコントラスト対ノイズ比に基づいてＸ線管１１の管電圧及び管電流の最適な値を求めてＸ線制御部１５に出力する自動管電圧管電流設定部１３ｂとを有する。 （もっと読む）

この単色Ｘ線源は、ある元素を有する放出原子を含む材料からなるターゲットを特に含み、前記原子は、電子線照射によって必須的に前記原子のＫ層に位置する電子が励起される。前記材料は、通常固体状態であり、前記放出原子に束縛される、１つまたは複数の元素を表す構造化原子を用いて結合され、前記構造化原子は、前記放出原子によって放出される前記Ｘ線において２．３μｍ^−１以下の吸収係数を有する。前記構造化原子の原子番号は、前記放出原子の原子番号より小さい。
（もっと読む）

【課題】 蓄積した検査データを識別子情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線検査方法、システムおよび装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいてその被検査物の状態を判定するとともにＸ線画像を作成するＸ線検査方法であって、外観識別可能でＸ線画像上に識別可能に写し出される識別子情報を各被検査物Ｗに付加する識別情報付加工程と、識別子情報が付加された各被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物の各部Ｘ線透過量を検出する検出工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物Ｗ中における異物の有無を判定する状態判定工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて識別子情報の表示内容を含むＸ線画像を生成するＸ線画像生成工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】誰でも容易、且つ確実にしかも微小試料を損傷することなく捕集し、そのまま試料を効率よく冷凍でき、Ｘ線構造解析などに悪影響を及ぼすことがない、構造が簡単な捕集具を提供すること。
【解決手段】グリップの先端部にループを設けた微小試料捕集具であって、ループ内に、エレクトロンスピニング法により、１００〜２００ｎｍの微細径の合成繊維からなる網状物を形成した微小試料捕集具、その製造方法および該微小試料捕集具を用いた微小結晶構造解析方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置における管電圧と管電流の設定を容易にする。
【解決手段】管電圧Ｖと管電流Ｉが印加されてＸ線を発生するＸ線管１と、被検体６を透過したＸ線を撮像する撮像手段３と、撮像手段３で得られた撮像画像を表示する画像表示手段１５とを有するＸ線検査装置において、撮像画像３と相関関係のある明るさ情報Ｌを管電圧Ｖと管電流Ｉに対応させて表示する明るさ表示手段１５と、明るさ表示手段１５により表示された所望の明るさ情報Ｌを選択することにより、その明るさ情報Ｌに対応した管電圧Ｖと管電流Ｉを指令する指令手段１８と、指令手段１８により指令された管電圧Ｖ０と管電流Ｉ０をＸ線管１に印加する印加手段２とを備える。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルＸ線検出器の欠陥画像を正しく補正し、欠陥のない画像として表示する。
【解決手段】 フラットパネルＸ線検出器では線状につながった線欠陥が生じる場合があり、さらにその線欠陥に隣接するラインに一目では欠陥とわかりづらい不確かな欠陥ラインが存在する場合がある。その不確かな欠陥ラインを欠陥かどうか判定するために、不確かな欠陥ラインの平均輝度と、隣接する複数の正常画素からなるラインの平均輝度とを比較して欠陥かどうかを判定する。 （もっと読む）

【課題】 個々の被検査物の検査データを確実に識別可能に記憶保存し、確実に抽出することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送方向に所定間隔に配された複数の搬送領域にそれぞれ、視覚により識別可能でかつ他領域とでは表示内容が異なる搬送位置識別表示部１１ｂを設ける一方、被検査物Ｗの検査毎に被検査物Ｗの目視可能な固有識別情報およびその近傍の搬送位置識別表示部１１ｂを含む被検査物Ｗ毎の外観可視画像Ｐａを撮像するＣＣＤカメラ１６と、検査毎に、Ｘ線画像Ｐｘを搬送位置識別表示部１１ｂの表示内容を含む画像として作成するＸ線画像作成手段２６と、外観可視画像Ｐａを検査時刻情報に対応するファイル名の画像ファイルとして出力する第１の画像出力手段３１と、Ｘ線画像を検査時刻情報に対応するファイル名の画像ファイルとして出力する第２の画像出力手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ治具の観察面のピンホールから光を出すことにより，ピンホールの観察を容易にする。
【解決手段】位置合わせ治具１０は，複数の回転軸（ω軸５２とφ軸５４）を有する試料回転装置に着脱可能に取り付けることができる。この位置合わせ治具１０は，ω軸５２とφ軸５４の交点と観察装置の視野の基準点とを位置合わせするのに用いる。位置合わせ治具１０は本体１２と装着部１８と観察面１１を備えている。観察面１１にはピンホール２４が形成されている。本体１２に取り付けた光源３６からの光は，反射ミラー４０で反射してから，ピンホール２４を通って観察面１１の外部に出て行く。 （もっと読む）

簡易な構成で２以上の異なる視点からの透過撮影画像を得ることの可能な透過撮影装置を提供することを目的とする。 ターゲット２ａから放射線を照射する線源装置２と放射線検出体とを設け、これらターゲット２及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テーブルを設ける。放射線検出体の検出面の中心部Ｐがこの中心部Ｐとターゲット２ａとを結ぶ基準軸Ｌ１，Ｌ２にほぼ直交するように放射線検出体及びターゲット２ａを配置する。放射線検出体が一対の第一、第二放射線検出体３，４よりなり、第一放射線検出体３はターゲット２ａに対して駆動機構により遠近移動可能で且つ第二放射線検出体４よりもターゲット２ａから離隔配置可能とする。線源装置２のターゲット２ａが陰極２ｂに傾斜状に対向し、陰極２ｂを第二放射線検出体４側に配向するように線源装置２と第一、第二放射線検出体３，４を配置する。
（もっと読む）

【課題】 試料からのＸ線を効率的に超伝導Ｘ線検器に入射でき、かつ光軸や焦点調整が容易に実施できる超伝導Ｘ線検出装置を提供する。
【解決手段】 冷凍手段となる希釈冷凍機２と、冷却される冷却ヘッド５と、冷却ヘッド５に固定された超伝導Ｘ線検出器１とからなる超伝導Ｘ線検出装置において、超伝導Ｘ線検出器１の近傍に設けられたＸ線入射部の４Ｋ輻射熱シールド６の内壁にＸ線集光手段としてポリキャピラリー１２を接合する構造にした。 （もっと読む）

より簡易な装置構成で、透過画像を自由な拡大率で表示させることができ、しかも操作性に優れた透過撮影装置を提供することを目的とする。 線源３ａ及び放射線検出体を設け、これら線源３ａ及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テーブル４を設け、透過撮影した画像を表示装置に表示可能とする。線源３ａ及び放射線検出体と試料テーブル４との間の相対座標を変更可能なテーブル駆動機構６を設ける。放射線検出体にはフラットパネルＸ線検出器５を使用し、撮影した単位画像を複数個合成して合成画像を表示すると共に座標データを付与する。合成画像上又はその一部をなす画像上に位置及び範囲の変更可能な撮影選択枠を表示し、座標データと撮影選択枠との比較により相対座標を求める。この相対座標に基づいてテーブル駆動装置６を制御することにより試料テーブル４の相対座標を変更し、撮影選択枠内の選択画像を拡大表示させる。
（もっと読む）

【課題】高精度かつ高速な半田ボール接合不良検査方法を提供する。
【解決手段】ＢＧＡパッケージとプリント基板１０３との接合部の外観検査時に、当該プリント基板に塗布されるクリーム半田部に対して該ＢＧＡパッケージの半田ボール１０４により接合する際のプリント基板１０３との接合部分のＸ線検査方法において、３次元画像データを再構成して生成された３次元画像データよりＸ線透過率を利用して半田ボール部位の画像データを抽出し、その抽出した半田ボール部位における画像データの特徴量を抽出し、当該抽出した特徴量により半田ボール１０４とプリント基板１０３の接合状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置で行う検査の精度・分解能を高く保ちながら検査時間を短縮する。
【解決手段】被検査物５の３次元画像データをモニタ画面３２ａに被検査物５の仮想３次元画像を表示するデータ読込みステップを有する。モニタ画面３２ａに指示用ポインタを表示するポインタ表示ステップを有する。仮想３次元画像上の検査位置に基づいて目標検査位置データを生成する位置データ生成ステップを有する。前記検査位置に対して指定した検査方向に基づいて目標検査方向データを生成する検査方向データ生成ステップを有する。前記検査位置に対して指定した検査時の分解能から分解能データを生成する分解能データ生成ステップを有する。前記位置データ生成ステップで指定可能な検査範囲を被検査物５の内部を含む全体とした。 （もっと読む）