【課題】試料に対するＸ線の入射角度θが変更されたとき、入射Ｘ線の幅の変化に合わせて試料のＸ線入射面とＸ線遮蔽部材との間の隙間を調整できるようにする。
【解決手段】試料ＳのＸ線入射面Ｓｏと対向する位置にＸ線遮蔽部材２０を設け、当該Ｘ線遮蔽部材２０と試料ＳのＸ線入射面Ｓｏとの間に、Ｘ線源１から放射され試料ＳのＸ線入射面Ｓｏに照射される入射Ｘ線が通過できる隙間を形成する。さらに、Ｘ線遮蔽部材２０を移動させる隙間調整機構２１を設け、ゴニオメータによる試料ＳへのＸ線入射角度の変更に対応して、Ｘ線遮蔽部材２０を移動させ、当該Ｘ線遮蔽部材２０と試料ＳのＸ線入射面との間に形成される隙間の広さを調整できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ 線分析装置において高精度な分析結果を得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板を酸蒸気に暴露する工程と、酸蒸気に暴露された前記半導体基板の表面の不純物を酸溶液で走査回収する工程と、前記走査回収した酸溶液を前記半導体基板上で濃縮乾燥させ濃縮乾燥物に変える工程と、前記濃縮乾燥物を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第一の測定値を得る工程と、前記半導体基板を酸蒸気に暴露する工程の後に、前記半導体基板上で前記濃縮乾燥物の位置とは異なる位置を全反射蛍光Ｘ線分析で測定し第二の測定値を得る工程と、前記第二の測定値を用いて前記第一の測定値の精度の確認を行う工程とにより半導体基板の分析を行う方法。 （もっと読む）

【課題】連続的に流れてくるシート等の被検査物の内部検査を行うことができ、しかも、搬送中にシートが上下しても、あるいはＸ線透過方向への厚みが大きな被検査物でも、解像度が低下することがなく、高い感度でのＸ線検出が可能で、更には装置の取扱いが容易で安定した運用を実現できるＸ線ラインセンサを提供する。
【解決手段】Ｘ線の入射により蛍光を発生する材料からなる光変換部材２と、各一端部がそれぞれ光変換部材２に臨むように直線状に配列され、他端部は２次元状に束ねられた光ファイバ束３と、その光ファイバ束の他端部からの出射光を増強する光増強手段４と、その光増強手段４からの出射光を撮像する撮像手段６を備えた構成とすることで、単純に１ライン状に光ファイバを並べても光増強手段４の作用によって十分な光量を得ることを可能とし、撮像感度を高いものとする。 （もっと読む）

【課題】車両を持ち上げた際に枠体構造物が浮き上がることを防止し、かつ、安定的な走行を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】車両１００が内部を通過できる金属製の枠体構造物２と、枠体構造物２に軸支されて地面に敷設される２本の軌条上を走行するための車輪１００ａと、車輪１００ａに回転駆動力を付与する走行モータ２２と、枠体構造物２において、互いに対向して装着された一対の昇降部材７と、昇降部材７にそれぞれ設置されており、互いに対向する側に張り出す車両把持部材５とを備え、車両把持部材５で車両１００の車輪３を保持しつつ昇降部材７を上昇させて車両１００の車輪１００ａを持ち上げた状態で車両１００を搬送する搬送装置１であって、枠体構造物２に軸支されて車輪１００ａに従動する補助輪６と、枠体構造物２における補助輪６を軸支する部分の上部において、昇降部材７の上下動を行う昇降用アクチュエータ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】微粒子を三次元配向させる際の配向精度を高めることができる微粒子配向装置及び微粒子配向方法を提供する。
【解決手段】微粒子配向装置１は、磁場発生部１２と、微粒子を懸濁させた試料容器２を、回転磁場を形成するのに必要な速度で前記磁場発生部１２に対して相対回転させる駆動部１３と、前記試料容器２が１８０度回転するたびに、静磁場を形成するのに必要な所定時間ｔ_ｓの間、前記相対回転を一時的に略停止させるように前記駆動部１３を駆動制御する制御部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】シースの除去を伴う超電導フィラメントの検査を迅速かつ精度よく行うことができる超電導線材の検査方法を提供する。
【解決手段】超電導線材５０は、超電導フィラメント１０と、銀または銀合金から作られ超電導フィラメント１０を被覆するシース２０とを有する。硝酸を含有する第１のエッチング液により、シース２０が厚さ方向に途中まで除去される。アンモニアおよび過酸化水素を含有する第２のエッチング液により、厚さ方向に途中まで除去されたシース２０を除去することで、超電導フィラメント１０が露出させられる。露出させられた超電導フィラメント１０が検査される。 （もっと読む）

【課題】位相イメージングにより被検体の位相像を取得するに当たり、被検体における吸収情報に対する位相情報の割合が最大限取得可能となるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線撮像装置であって、Ｘ線源と、
前記Ｘ線源から照射された発散Ｘ線を複数のＸ線に分割するための複数の開口を具備する、前記Ｘ線源と被検体との間に配置された分割素子と、
前記被検体を透過し屈折した前記発散Ｘ線によるＸ線ビームを検出するため、該Ｘ線ビームの照射方向の被検体よりも下流に配置された検出器と、
前記検出器により検出されたＸ線ビームの強度変化の情報を演算処理する演算処理手段と、を備え、
前記Ｘ線源と前記分割素子の距離をＬ１、前記分割素子と前記検出器の距離をＬ２とするとき、Ｌ２／Ｌ１の値が１．０より大きく２．４未満の範囲となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】センサーパネルとシンチレータ層の周囲の筐体の端部からセンサーの光電変換素子端までの距離が短い放射線検出装置を提供する。
【解決手段】光電変換素子を含むセンサーパネル１０１およびセンサーパネル１０１上のシンチレータ層１０３の側面を、放射線検出装置の筐体１０６内に設けられた封止部１０５に封止樹脂２０３を介して接続することで、光電変換素子と筐体１０６外側との距離を短くすることができ、かつ、シンチレータ層１０３側面における耐湿性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線反射率法および中性子反射率法において、均一ではない、面内の場所ごとに異なる構造を持つ薄膜・多層膜について、表面や界面、特定深さ位置における２次元の電子密度分布および核散乱長密度分布を画像化する方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明では、微小ビームを作製してＸＹスキャンを行う方法によらず、通常のＸ線反射率法および中性子反射率法において用いられるものと同じサイズのビームを用い、数学的な画像再構成のアルゴリズムによって、表面や界面、特定深さ位置における２次元の電子密度分布および核散乱長密度分布の画像が得られる装置を開発した。 （もっと読む）

【課題】ピッチズレが抑制された狭ピッチで高アスペクト比な微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンをエッチングして形成された凸部の少なくとも頂上部に第１の絶縁層が設けられ、基板凹部に、下記の化学式（１）および化学式（２）（Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３は、アルキル基）で表される基を含むオルガノポリシロキサンを有する第２の絶縁層を形成して凹部の底部に金属を有するシード層を形成し、前記凹部に電気めっきにより金属を充填してめっき層を形成する微細構造体の製造方法。
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【課題】粗大粒を有した材料の内部応力を短時間かつ高精度に測定可能な方法を提供する。
【解決手段】本発明の内部応力の測定方法は、被測定物に放射光Ｘ線を照射する照射工程（Ｓ１）と、被測定物から透過したＸ線回折のゲージ体積を２次元スリットにより制限する制限工程（Ｓ２）と、制限されたゲージ体積中の回折スポットを２次元Ｘ線検出器により検出する検出工程（Ｓ３）と、被測定物を移動させて照射工程から検出工程までを繰り返す工程（Ｓ４）と、検出された回折スポットに基づいてゲージ体積中心に相当する位置の回折角を決定する解析工程（Ｓ５）と、を備える。解析工程では、回折スポットの位置と回折強度とを関係を放物線近似し、かつ、放物線の頂点に対応する位置の回折角の値をゲージ体積中心に相当する位置の回折角に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】第１の格子と第２の格子の２つの格子を平行に配列し、この格子を用いて位相コントラスト画像を取得する放射線画像撮影装置において、２次元位相情報を有する高画質な位相コントラスト画像を取得する。
【解決手段】第１の格子および第２の格子のいずれか一方の格子を、位相コントラスト画像を構成する１つの画素に対応する所定の範囲内に複数の単位格子ＵＧ１，ＵＧ２が配列されたものとするとともに、その各単位格子ＵＧ１，ＵＧ２を構成する単位格子部材２２が互いに異なる方向に延びるものとし、その所定の範囲内の複数の単位格子ＵＧ１，ＵＧ２に対応する画素部によって検出された複数の検出信号に基づいて、位相コントラスト画像の１つの画素の画素信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】加速器施設を用いることなく材料内部の非破壊成分分析を行うことを可能とする、非破壊成分分析装置を提供する。
【解決手段】宇宙線ミュー粒子Ｍが入射して停止したことを検出するための入射検出手段１と停止検出手段２と、特性Ｘ線Ｘのエネルギーを測定するＸ線エネルギー測定手段３とを備えた。入射検出手段１と停止検出手段２により宇宙線ミュー粒子Ｍが試料Ｓの内部に入射して停止したことを検出し、Ｘ線エネルギー測定手段３により試料Ｓの内部から出てくる特性Ｘ線Ｘのエネルギーを測定することにより、加速器施設を用いることなく、宇宙線ミュー粒子を用いて材料内部の非破壊成分分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】製品基板毎に態様の異なる被爆量を好適に管理すること。
【解決手段】電子部品が実装された基板の撮像要部をＸ線で撮像するＸ線撮像装置に用いられるＸ線被爆量管理システムにおいて、前記基板Ｗを製品毎に特定する基板特定手段と、特定された製品基板に係る累積被爆量Ｈを演算する累積被爆量積算手段とを備えている。Ｘ線撮像を実施する際の累積被爆量Ｈが個々の製品基板毎に演算されるので、例えば、再検査や、抜き打ち検査が生じて、被爆量が製品基板毎に異なるような事態が生じても、各製品基板が上限値を超えて被爆しないように管理することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１回のＸ線の照射で測定試料ＳＭのより広い面積を分析し得るＸ線分析装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、電子ビームＥＢを生成する電子ビーム生成部１と、電子ビーム生成部１によって生成された電子ビームＥＢの進行方向に沿って配置された複数の４重極レンズ２と、複数の４重極レンズ２を通過して射出された電子ビームＥＢと衝突することによってＸ線を生成するＸ線ターゲット３と、Ｘ線ターゲット３によって生成されたＸ線から所定のエネルギーを持つＸ線を抽出して測定試料ＳＭに照射するＸ線分光結晶４と、Ｘ線分光結晶４によって抽出され測定試料ＳＭを透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出部５とを備え、複数の４重極レンズ２は、電子ビームＥＢを互いに同じ第１方向に発散するとともに互いに同じ第２方向に収束する。 （もっと読む）

【課題】衝撃ノイズによる誤動作を防止しつつ、Ｘ線の照射開始を自己検出する。
【解決手段】画素３７を制御するための走査線４７が行毎に、信号電荷を読み出すための信号線４８が列毎に配設された撮像領域５１を有するＦＰＤ２５と、蓄積動作と読み出し動作とを行わせるゲートドライバ５２と、Ｘ線の照射開始を検出する制御部５４と、制御部５４がＸ線の照射開始を検出したときに、蓄積動作が開始するようにゲートドライバ５２を制御する制御部５４と、画素３７から選択された検出画素６１を有し、制御部５４は、検出画素６１が接続された信号線４８から少なくとも２回連続して第１の電圧信号Ｖｏｕｔ１及び第２の電圧信号Ｖｏｕｔ２を取得し、これらの差に基づいて、照射開始の検出を検出する。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に試料の薄片部を形成することができる加工方法を提供する。
【解決手段】本実施形態の加工方法は、平坦化工程（ステップＳ１）および薄片部形成工程（ステップＳ２）を順に行うことで、試料１Ｂの薄片部１３を形成することができる。薄片部形成工程（ステップＳ２）では、試料の平坦面１１の下部に対して、集束イオンビーム装置から出力された集束イオンビームが平坦面１１に平行な方向に照射される。集束イオンビームの照射により試料がスパッタエッチングされて、平坦面１１に対向する対向面１２が形成される。これにより、平坦面１１と対向面１２とに挟まれた薄片部１３を有する試料１Ｂが作成される。 （もっと読む）

【課題】管端溶接部における亀裂状欠陥を非破壊検査で検出するための非破壊検査用標準供試体を提供する。
【解決手段】管端溶接部における亀裂状欠陥を非破壊検査で検出するための非破壊検査用標準供試体１０であって、炭素鋼で形成され、貫通孔１５を有する供試体本体１２と、貫通孔１５に挿入され、ＣｒーＭｏ鋼で形成された管体１４とを備え、管体１４の外周面と、供試体本体１２における貫通孔１５の内周面との間に隙間１７が設けられ、管体１４の長手方向における一端側の外周面と、供試体本体１２の貫通孔の長手方向における一端側の内周面との間を全周に亘って溶接した溶接部１８を有し、溶接部１８は、隙間１７に重量比で５０％ＮａＮＯ_３と５０％ＫＮＯ_３とを混合した腐食液を注入し、応力腐食割れにより導入された亀裂状欠陥を有している。 （もっと読む）

【課題】非破壊かつオンラインで金属層の結晶粒径及び粒径分布を評価する方法を実現する。
【解決手段】結晶組織を有し特定の面方位においてＸ線に対して回折ピークを持つ金属層にＸ線を照射して得られる回折ピークを入手するステップＡ、回折ピークに基づいて面積平均コラム長及び体積平均コラム長を求めるステップＢ、面積平均コラム長及び体積平均コラム長から結晶粒径の対数正規分布を求めるステップＣを具備する。 （もっと読む）

【課題】Ａ／Ｄ変換後の画像補正を複雑にすることなく、適切な濃度階調が描出された高画質なＸ線画像を得る。
【解決手段】放射線の照射終了後、ＦＰＤの撮像領域における一次元の入射線量の分布である線量プロファイルを測定する。線量プロファイルの最大値と最小値の差Δｄであるコントラストに基づいて、信号電荷を読み出す際のゲインの値を決定する。ゲインは、コントラストが大きい場合には小さい値に、コントラストが小さい場合には大きい値に決定される。コントラストが小さい場合にゲインを大きくすることで、Ａ／Ｄ変換器のダイナミックレンジを有効利用できる。 （もっと読む）