【課題】コヒーレント性を有するＸ線を、結晶性のある測定試料に照射することによって得られるスペックル状の回折光を用いて、該測定試料の結晶の不均一構造の分布を、容易に得ることができる方法を提供する。
【解決手段】コヒーレントなＸ線光を２分岐し、一方を、結晶性を有する測定試料に照射して得られたスペックル状の回折光と、他方のＸ線光を単結晶の参照結晶に照射して得られた回折光とを、二次元の検出器上で干渉させてホログラムパターンを取得し、このホログラムパターンに対してフーリエ変換を行って、該測定試料の結晶性の不均一性などの結晶構造に関する空間分布情報を得るようにする。こうすることで、スペックル状の回折光から直接、オーバーサンプリング法を用いた演算処理に比べ、容易に上記情報を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高精度で安定して金属材料の継続使用の可否を評価することが可能な金属材料のクリープ損傷評価方法及びクリープ損傷評価装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試験材料のクリープひずみ量と結晶方位分布との相関を予め求めておき、調査材料の結晶方位分布を測定して、予め求められた相関に当てはめることで調査材料のクリープひずみ量を推定する。推定された調査材料のクリープひずみ量を、試験材料が加速クリープ域に到達するひずみ量と比較することで、調査材料の継続使用の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】 従来の有機物顕在化方法では、被検査物表面の異物を識別するためには、薄膜を堆積させる時間を多く必要とし、異物を識別させるための作業等が煩雑であった。また、被検査物表面の異物を識別する際には、被検査物を不活性ガスが封入された特別な環境下に置く必要があるため、異物の存在を容易に確認することができなかった。
【解決手段】 基板１の表面に金属薄膜１９を成膜し、金属薄膜１９が成膜された基板１表面に光を照射して、光の干渉により生じる、有機物１４が存在している部分と存在していない部分とのコントラスト差を識別する。 （もっと読む）

【課題】基板の検査に際し、被検査部位の種類等に応じた検査ができ、かつ、検査時間を短縮できる、検査方法、検査装置および検査用プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源２からＸ線が出力され、検査対象である基板を透過したＸ線が、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）において、Ｘ線透視画像として撮影される。Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成のための撮影は、トモシンセシスによる再構成データ生成のための撮影と同様に、Ｘ線源２の光軸Ｌを軸とした仮想円３００上の位置３０１〜３０８で行なわれる。そして、Ｘ線ＣＴによる再構成データの生成の際には、位置３０２〜３０８のそれぞれで得られたＸ線透視画像が、位置３０２Ａ〜３０８Ａで撮影されたかのように、仮想円３００上の回転位置に応じて、各Ｘ線透視画像の中心を軸とし、アフィン変換を用いて、各画像が回転するようデータを変換された後、フィルタ処理を施される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線等を利用した断層撮像方法によって明瞭で正確な再構成画像を、簡単な構成により得る。
【解決手段】載置部へ、回転軸Ｒ１を中心線とする所定の頂角θを持つ仮想の円錐（接円錐）５０の母線に板厚方向がほぼ直角に接する状態に被検査体３を載置する。続いて、被検査体３が接する接円錐５０の頂点と点対称である第１仮想円錐５１と、接円錐５０上に載置される被検査体３の、断層画像を得ようとする関心部位の最外部位に外接かつ包含し、接円錐と頂角が同じで同軸上に中心軸を持つ第２仮想外接円錐５２の、２つの仮想円錐面で挟まれる空間内へ、Ｘ線焦点Ｆの位置を移動機構により移動させる。そして、Ｘ線焦点Ｆと二次元検出器２との間に被検査体３を載置して配置され、Ｘ線源から出射されたＸ線により形成される円錐状ビームの底面の中心と当該Ｘ線焦点Ｆを結ぶ線分と直交する回転軸Ｒ１を中心に回転する回転機構を、設定された角度変位で回転させる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造でありながら空間分解能が高いＸ線解析装置を提供する。
【解決手段】測定物である単位セル１８を保持する測定物保持機構２０は、単位セル１８の位置を調整可能な位置決めステージ３０によって位置決めされ、且つ１８０°以上回転可能な回転台座７４を有する回転ステージ６８と、単位セル１８を挟持する第１支持部材８０及び第２支持部材８２と、前記回転台座７４と同期して回転動作することで単位セル１８を第１支持部材８０ごと回転動作させる回転用支持部材７８と、支持軸１００を介して第２支持部材８２に押圧力を付与するエアシリンダ１９０と、支持軸１００を回転自在に支持する軸受１８６と、エアシリンダ１９０が付与する押圧力を測定するロードセル１８８とを有する。この中、軸受１８６、エアシリンダ１９０及びロードセル１８８は回転しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】絶縁性樹脂中に存在する最大長が５０μm以上の金属粉異物を検知・判別することができ、且つインライン化が可能な金属粉異物の検知方法を提供する。
【解決手段】絶縁性樹脂組成物中に異物として存在する金属粉を、少なくとも１台のＸ線管２，３を有するＸ線透視装置を用いて、Ｘ線照射角度を変化させることにより検知した後、画像処理装置８を用いて自動的に該金属粉を画像認識することを特徴とする絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法である。 （もっと読む）

【課題】検査装置で検出された半導体装置の欠陥に関する検査データに基づいて、欠陥の分類精度の向上が可能な観察条件決定支援装置を提供する。
【解決手段】検査装置４で検出された半導体装置の欠陥に関する検査データに基づいて、詳細観察装置５において予め設定した複数の観察条件で同一の欠陥を撮影した複数の欠陥画像を取得する詳細観察条件の詳細観察結果ＤＢ２６と、それぞれの欠陥画像に基づいて、複数の同一の欠陥の分類を行い、分類の結果として観察条件毎に同一の欠陥の属する第１カテゴリを決定する欠陥分類手段１２と、詳細観察装置５のユーザが同一の欠陥の分類を行い決定した第２カテゴリに、第１カテゴリが一致する比率に基づいて、複数の観察条件の中から半導体装置の製造時に使用する詳細観察条件決定・登録手段１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透過画像にモアレ縞が発生する場合において、モアレ縞を消滅させる。
【解決手段】画像処理合成装置１４は、X線源１１と輝度倍増管１２とカメラ１３とから成る構成により得られた、被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。モアレ縞発生の場合には、回転機構制御部１５によって輝度倍増管１２とカメラ１３とを回転軸Ｃ２回りで同期回転させる（所定角度分回転）。そして、再び被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。これをモアレ縞が発生していないＸ線画像が得られるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線回折装置において、Ｘ線調整に要する動作量を減少させ、また、Ｘ線調整に要する調整時間を減少させる。
【解決手段】
水平ゴニオメータを備えθ−θスキャンを行うＸ線回折装置において、Ｘ線源２のＸ線放出方向と直交する方向を回転軸方向としてＸ線源を回転させる回転機構５を備えた構成とし、回転機構５によるＸ線源２の回転によってＸ線調整を行う。回転機構５はＸ線源２を回転させることによってＸ線の照射方向を変更する。Ｘ線の照射方向の変更を回転動作で行うことによって、Ｘ線調整に要する動作量、及びＸ線調整に要する調整時間を減少させる。 （もっと読む）

【課題】低Ｓ／Ｎ比の画像から対象粒子像を高精度かつ短時間で検出し得る画像処理システムを提供する。
【解決手段】画像処理システム１は、全体画像から複数の部分画像を抽出する部分画像抽出部１１と、対象粒子像を模した参照粒子像の画像データが格納されている画像記憶部１６１と、各部分画像について当該各部分画像と参照粒子像との間の類似度分布のピークを検出するピーク検出部１２と、各部分画像内の所定の基準位置からピークの位置に至る位置設定ベクトルを算出するベクトル算出部１３と、位置設定ベクトルにより指定された位置にピークの位置を設定して２次元ピーク分布を生成するピーク分布生成部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】物質の構造因子テンソルの決定に必要なＸ線領域の偏光解析の方法は既に提案されているが、構造因子テンソルの迅速決定および測定感度向上のために、偏光解析結晶を用いる場合には、種々の問題を解決しなければならない。
【解決手段】試料からの散乱Ｘ線強度の入射偏光依存性を測定・解析することで、偏光解析結晶を使用することなく構造因子テンソルを決定する方法。 （もっと読む）

【課題】層界面領域に達する前に、照射面の層界面領域への近接を検出することが可能な電子分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料に電子を励起させる励起線を照射し、試料から放出され、第１の層の構成元素に由来する第１の電子の信号強度を測定し、試料から第１の電子とともに放出され、第２の層の構成元素に由来する第２の電子の信号強度であって、前記第２の層が前記試料の表面を形成しているときに測定される運動エネルギーである第１の運動エネルギー（Ｅｋ（Ｓｉ２ｓ）、Ｅｋ（Ｓｉ２ｐ））よりも低い第２の運動エネルギー（Ｅｋ（１）、Ｅｋ（２）、Ｅｋ（３））を有する第２の電子の信号強度を測定し、第２の電子の信号強度の変化度合いが所定のレベルに達したときは、試料の分析条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】パッケージ材料で封止した部品中の単結晶基板の反りを、部品を破壊することなくパッケージ材料越しに回折Ｘ線を用いて測定する。
【解決手段】Ｘ線検出器１を固定したまま、入射Ｘ線４の波数ベクトル８の方向から測定した試料ステージ６の回転角ωを変化させると、ブラッグ条件が満たされるとき、すなわち試料３０内のＳｉチップの照射領域の表面と入射Ｘ線４の波数ベクトル８とのなす角αがある特定の値をとるとき、Ｘ線の結晶回折が生じＸ線検出器１で回折Ｘ線９が検出される。ここで、試料３０は、プリント基板上にＳｉチップが搭載され、それらがモールドにより封止した構造である。Ｘ線検出器１は、モールド越しに回折Ｘ線９を検出し、ロッキング曲線を取得することができる。このロッキング曲線に基づいて、Ｓｉチップの反り測定ができる。 （もっと読む）

【課題】層数が多くかつ層間のピッチが狭い多層基板であっても、その精細な三次元再構成画像を生成可能な放射線透過画像撮像装置および放射線透過画像撮像方法ならびにそれに用いる基板固定用治具を提供する。
【解決手段】本装置１は、放射線を基板Ｐに照射する放射線発生器１０と、基板を透過した放射線を検出する放射線検出器２０と、回転軸Ａを中心として放射線の光軸Ｒと基板Ｐとを相対回転させる回転機構（ターンテーブル４０）と、基板を回転軸と直交する平面上を移動させるステージ（Ｘ−Ｙステージ３０）と、基板の撮像部位の倍率を調整する拡大倍率可変機構（昇降機構５０）と、基板を保持しかつステージに対して固定するための基板固定用治具６０と、を備え、光軸が回転軸に対して９０度未満の角度で交差するように設定されており、基板固定用治具が、回転軸と平行になるように（または９０度未満の角度で交差するように）基板をステージに固定する。 （もっと読む）

【課題】非破壊で微細構造パターンの側壁形状を測定することにより、所望する寸法パターンの転写結果が得られるかを判定することができるマスク検査方法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭ写真撮影時の電子ビームの電流値と、ＳＥＭ画像のホワイトバンド幅から微細構造パターンの傾斜角度を算出し、ＳＥＭ画像の微分プロファイルから微細構造パターンのボトム部の裾引き度合いを算出する。そして、ＣＤ−ＳＥＭを用いることにより、非破壊でパターンの傾斜角度と裾引き度合いを測定でき、転写シミュレータを利用することで、所望する寸法パターンの転写結果が得られるかを精度良く判定することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折によるタイヤ用繊維コードの結晶構造解析を精度良く且つ迅速に行うことが可能な方法を提供する。
【解決手段】１本又は複数本のフィラメントに下撚りをかけて下撚り糸を形成し、該下撚り糸を複数合わせて上撚りをかけてなるタイヤ用繊維コードを上撚りから下撚りの順で解撚し、解されたフィラメントを真っ直ぐに伸ばし、高輝度Ｘ線回折によって、真っ直ぐに伸ばされたフィラメントの散乱パターンを取得することを特徴とするタイヤ用繊維コードの結晶構造解析方法である。 （もっと読む）

【課題】試料台を回転させることなく、試料の透視データを任意の方向、角度から取得することができ、プリント基板に形成されたスルーホールの内壁に施された導通用メッキ処理の状態等の検査を非破壊で精度良く行うことができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】試料Ｓを載置するＸＹ軸方向に移動可能な試料台１１を上下に挟んで、Ｘ線発生器１２とＸ線検出器１３とが対向配置され、Ｘ線発生器１２から放射され、試料Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器１３にて検出される構成のＸ線検査装置において、試料Ｓの透視ポイントＰを通過する水平軸Ｌ１を回動中心としてＸ線検出器１３を回動させる第１の回動手段１６と、透視ポイントＰを円の中心とし、透視ポイントＰを挟んで水平軸Ｌ１上のある２点を結ぶ線分を直径とする円弧に沿ってＸ線検出器１３を回動させる第２の回動手段１８とを備え、第２の回動手段１８が第１の回動手段１６に組み付けられている。 （もっと読む）

【課題】ＦＰ法で基板上に点在する島状構造物について組成、高さおよび占有率をすべて定量できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】基板１ｂ上に島状構造物１ｃを有する試料１に１次Ｘ線６を照射するＸ線源３と、基板表面１ａへの１次Ｘ線６の照射角度αを調整する照射角度調整手段５と、試料１からの蛍光Ｘ線７強度を測定する検出手段８と、島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率を仮定し、照射角度調整手段５により調整された照射角度αごとに、仮定した島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率に基づいて島状構造物１ｃ中の各元素からの蛍光Ｘ線７の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段８で測定した測定強度とが合致するように、仮定した島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率を逐次近似的に修正計算して、島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率を算出する算出手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線光電子分光装置並びに全反射Ｘ線光電子分光装置に関し、試料表面を極めて平坦にすることにより、高精度の試料分析ができるようにしたＸ線光電子分光装置，全反射Ｘ線光電子分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料表面上を帯電液滴エッチング法を用いてエッチングするエッチング手段と、エッチングした試料表面に全反射条件を満たす全反射臨界角以下の角度でＸ線を照射するＸ線照射手段と、Ｘ線を照射した試料表面から放出される光電子を解析することにより試料の表面近傍の深さ方向分析を行なう解析手段と、を含んで構成される。 （もっと読む）