【課題】試料面における応力の分布を、測定位置を限定することなく短時間で測定できるようにする。
【解決手段】本発明の試料分析装置１によれば、Ｘ線照射部１０が試料１２に対して平行Ｘ線束を照射する。そして、透過Ｘ線検出部１４は、試料１２を透過した透過Ｘ線を検出する。また、回折Ｘ線検出部１５は、試料１２で回折された回折Ｘ線を検出する。演算部１６は、透過Ｘ線検出部１４の検出結果から、試料１２における回折位置を特定すると共に、回折Ｘ線検出部１５の検出結果に基づいて、回折Ｘ線の回折角を判定する。さらに、演算部１６は、回折角から応力を計算し、計算した応力を特定した回折位置の応力と判定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作によって被検査物に対するＸ線の照射角度を変更して容易にその照射角度を最適化し、さらに、装置サイズをコンパクトに維持する。
【解決手段】搬送面上の被検査物Ｗを所定の搬送方向Ｙに搬送する搬送手段５と、搬送面上を搬送される被検査物Ｗに向けてＸ線を照射するＸ線発生器１８と、搬送面を挟んでＸ線発生器１８と対向配置され、被検査物Ｗを透過してくるＸ線をＸ線検出面に受けるＸ線検出器１９と、を備えるＸ線異物検出装置１において、搬送手段５が、搬送面を形成する搬送コンベア６を備えるとともに搬送面のＸ線検出面に対する角度が変更自在となるように傾斜可能に設けられ、且つ傾斜時に被検査物Ｗの側面を支持しながら被検査物Ｗの搬送をガイドするガイドコンベア１２を備える。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に形成されたスルーホールの内壁に施された導通用メッキ処理の
状態の検査を非破壊で行うことができ、大型のプリント基板の検査についても精度良く行
うことができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】試料Ｓを載置するＸＹ軸方向に移動可能な試料台１１を上下に挟んで、Ｘ
線焦点１２ａを含んで構成されたＸ線発生器１２とＸ線検出器１３とが対向して配置され
、Ｘ線焦点１２ａから放射され、試料Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器１３にて検出される
ように構成されたＸ線検査装置において、Ｘ線焦点１２ａが、試料台１１の載置面と直交
する軸Ｌ２を中心に回転するように、Ｘ線発生器１２を回転させる回転機構１６と、軸Ｌ
２を中心にＸ線検出器１３を回転させる回転機構１８とを備えると共に、Ｘ線発生器１２
の回転とＸ線検出器１３の回転とを同期させる。
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【課題】 冷却部材を透過するＸ線の透過距離の差により生じる，Ｘ線画像の明暗のコントラストを小さくし，ボイドの有無を識別できるようにしたボイド検査方法を提供すること。
【解決手段】 冷却部材５０に半導体素子６０を半田接合した検査対象物を検査するときに，検査対象物の板面に垂直な方向１２とＸ線１０の照射方向１１とが撮像角θをなすように傾斜させて，検査対象物にＸ線１０を入射する。これにより，冷却部材５０のリブ部におけるＸ線１０の透過距離が短くなる。このため，半田接合部７０におけるボイド８０の有無が判別できる。 （もっと読む）

【課題】 従来のナライザによるけられ（遮蔽）を解消し、分解能に優れたデバイシェラー光学系を備えたＸ線回折測定装置とそのための方法を提供する。
【解決手段】 被測定試料Ｓに照射する特性Ｘ線を発生するＸ線源１０と；試料を中心に取り囲んで配置されたＸ線フィルム３０と；試料とＸ線フィルムとの間に配置され、試料からの散乱Ｘ線を、当該試料を中心に所定の角度で集めてＸ線フィルムの所定の位置に照射する放物面を有する人工多層膜からなるミラー１００を備えたデバイシェラー光学系を備えたＸ線回折測定装置により、散乱Ｘ線を、当該試料を中心に所定の角度で集め、当該試料を中心に取り囲んで配置されたＸ線フィルム上にデバイ環を得る。 （もっと読む）

対象物の放射線画像データを記録する装置は、放射線を放出する放射線源装置（３）と、放出される放射線の放射線経路に配置され、放射線画像データの記録中に対象物を収容するために設けられる対象物ホルダ（５）と、対象物と相互作用した放射線を検出する検出器装置（６）と、放射線源装置および検出器装置が固定される支持構造（２）と、検出器装置が対象物と相互作用した放射線を検出する間に、支持構造または対象物ホルダのいずれか一つを他方の支持構造または対象物ホルダのいずれかに対して円錐振り子運動させるために設けられる走査デバイスとを備える。
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【課題】ハーフスキャンやヘリカルスキャンで得られる被検体からの透過データを用いて、短い計算時間で真の回転中心を求めることにある。
【解決手段】放射線源１と、被検体４を通して放射線ビームを検出する放射線検出器３と、この放射線ビームに対して被検体を相対回転させる回転手段５，１３と、１回転に満たない被検体の相対回転の間に得られる被検体の多数の透過データの集まりのサイノグラム上で回転の方向に連なる多数点での透過データの加算値と、仮想回転中心の設定により決まる前記多数点とそれぞれ逆向きの放射線経路をなす多数点での透過データの加算値との相関を仮想回転中心を変えながら求め、当該相関が最良となる仮想回転中心を回転中心とする回転中心求出部２０Ｂと、放射線検出器３で検出される多数の透過データから被検体の断層像を得る再構成部２０Ｃとを備えたコンピュータ断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮像方法による正確な再構成画像を、簡単な構成により得る。
【解決手段】複数の被検査体３の投影データよりその被検査体３の内部構造データを再構成するＸ線断層撮像装置であって、Ｘ線源１と、被検査体３の透過Ｘ線を撮像する二次元検出手段４と、Ｘ線源１のＸ線焦点１ａと二次元検出手段４との間に配置され、被検査体３を載置してＸ線源１から出射されたＸ線により形成される円錐の底面の中心とＸ線焦点を結ぶ線分とほぼ平行な回転軸Ｒ２を中心に、設定された角度変位で回転する回転機構と、回転軸Ｒ２に対し、被検査体３をその回転軸Ｒ２を中心線とする所定角度の頂角を持つ仮想円錐の円錐面１０に接した状態に把持する把持手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 同じ貨物を異なる撮像モードにより走査可能な装置を提供する。
【解決手段】 航空貨物コンテナ内の密輸品を調査する装置を開示する。装置は放射線源設置構造体及び検出器設置構造体を備え、それぞれ少なくとも１つの支柱アセンブリから構成される。放射線源及び検出器はそれぞれ支柱アセンブリ上に取り付けられ、支柱アセンブリに沿って同期して昇降可能である。支柱アセンブリは放射線源及び検出器を安定して取り付けることに使用される。ターンテーブル及び走査システムの異なる移動モードを組み合わせることにより、様々な走査モードにより対象物を走査することができる。 （もっと読む）

【課題】分解能の向上、又は分解能が従来と同じであれば測定時間の短時間化を図ることができる散乱イオン分析装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、引出開口２１が設けられた引出部材２０と、散乱イオンの進行方向を偏向面Ｓに沿って偏向させる磁場形成手段３０と、散乱イオンの位置を検出するイオン検出器４０と、引出部材２０と磁場形成手段３０との中間位置に設けられ、偏向面Ｓにおいて、引出開口２１の開口中心と試料Ｔにおけるイオンビームの照射位置とを結ぶ線Ｃに直交する方向に沿って引出開口２１を通過した散乱イオンを発散又は集束させる磁気レンズ５０とを備え、磁気レンズ５０は、磁場形成手段３０を通過した散乱イオンのうち試料Ｔの同じ深さで散乱した散乱イオンがイオン検出器４０で集束するように、引出開口２１を通過した散乱イオンを発散又は集束させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 金属材料の結晶方位の測定誤差を低減し、塑性ひずみにより発生する結晶方位差の局所分布をより明確に同定できるようにする。
【課題解決の手段】 電子後方散乱回折を用いて金属材料の表面観察を行い、当該表面観察により得られた結晶方位の分布から結晶方位差の局所分布を測定する方法に於いて、先ず、金属材料表面の測定領域全体をＲＡ×ＲＡ個のピクセルで構成される複数の格子状のサブ領域に分割して各ピクセルで電子後方散乱回折により結晶方位を測定すると共に、サブ領域毎に結晶方位測定値の平均値を算出し、次に、サブ領域毎に算出される平均化された結晶方位から局所方位差を算出する。 （もっと読む）

【課題】ＧａＮ系試料に対してＸ線回折測定をすることにより、同材料系で重要となるtwist 分布の存在を判定する。
【解決手段】ＧａＮ系試料に対してＸ線回折測定をし、選択した複数の異なる反射指数hklごとのhklプロファイルを求める。選択した反射指数hklで特定される反射指数hkl面と試料の表面とでなす角度を面角度θｃとし、各hklプロファイルの
横軸であるスキャン角度Δθをsinθｃで割って、hklプロファイルの横軸をΔθ／sinθｃに規格化しなおして、複数の選択した反射指数hklごとの再規格化したhklプロファイルを求める。複数の再規格化したhklプロファイルを、それぞれのピーク頂点をそろえる状態にして重ね、このようにして重ねた複数の再規格化したhklプロファイルのピーク拡がり形状が一致する場合には、hklプロファイルのピーク拡がり形状は、結晶のモザイク性により生じる局所的なtwist 分布に起因して生じるピーク拡がり形状であると判定する。 （もっと読む）

【課題】放射線源と検出器が取り付けられたＣ型アームの回転角度に応じて生ずる透過像の位置ずれを補正して、分解能の高い検査画像を得る。
【解決手段】 放射線源１０１と検出器１０２との間に位置させて、校正ファントム１０４を支持構造部材１０３に着脱可能に取り付け、支持構造部材の予め設定された基準回転角度において検出器により取得された透過像を基準に、異なる回転角度における透過像の位置変化を求めて回転角度と透過像の位置ずれデータをデータベース１１５ａに格納しておき、被検体の検査実行時に、画像処理手段１１５はデータベースに格納された位置ずれデータに基づいて被検体の透過データを補正して検査画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部に連通した空間内にある検査対象物を、その狭隘部の幅よりも広い範囲で撮像することができる放射線センサ及びその放射線センサを用いた非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に、検査対象物１００を挟んで検査対象物に向けて放射線を照射する放射線照射手段（Ｘ線照射手段１０）の反対側に配置され、検査対象物を透過した放射線を受けることにより検査対象物を撮像する放射線センサ（Ｘ線センサ２０）であって、放射線を検出する放射線検出器が長手方向に沿って列状に配置された棒状の放射線検出部（Ｘ線検出部２１）と、放射線検出器を支持して空間内に放射線検出部を支持するための棒状の支持部材と、放射線検出部と支持部材との間に設けられて支持部材に対する放射線検出部の角度を変更することができる接続部１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】減衰特性が未知の物質であっても、短時間にその材質を識別することができ、かつ予めＸ線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを求める必要がない高速材質識別検査装置および方法を提供する。
【解決手段】被検査物５に２以上の異なる方向から複数の強度の入射Ｘ線７を照射するＸ線照射装置１４と、被検査物を透過した透過Ｘ線８の強度と複数のＸ線透過画像から被検査物の厚さｘを検出するＸ線検出装置１６と、複数の強度、透過Ｘ線の強度、および厚さから被検査物の原子番号Ｚと電子密度ρを算出し、これから被検査物の材質を識別する演算装置１８とを備える。比例定数Ａ，Ｂに少なくとも一方を、原子番号が４から３０の物質においてＸ線の減弱係数の線形性を利用して近似的に解く。 （もっと読む）

【課題】試料のセット時に生じる試料表面の傾斜を補正する方法を提供すること。
【解決手段】斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、試料ステージに載置された試料に電子線を照射し、試料内部から発せられる特性Ｘ線が試料表面での全反射現象により検出されない角度以下に試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定することにより試料の表層から発せられる特性Ｘ線のみをＸ線検出器で選択的に検出する斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法において、所定の基準面に対する試料表面の傾斜角度を求める工程と、求められた傾斜角度が相殺されるように試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】数〜数十原子層の膜厚からなる絶縁体層の膜厚に関して汎用性を損なうことなく測定精度を向上させた膜厚測定方法、及びその膜厚測定方法を用いて絶縁障壁層の膜厚を制御する磁気デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】測定対象層１１と、測定対象層１１と異なる電子密度を有するスペーサ層１２とが基板Ｓの上に交互に積層された測定試料１０に対してＸ線を照射して小角度のスキャンを行うことにより測定試料１０のＸ線回折スペクトルを測定する。そして、Ｘ線の波長をλ、Ｘ線回折スペクトルに基づくｎ次の回折角をθ_ｎ、Ｘ線回折スペクトルに基づくｍ次の回折角をθ_ｍ、スペーサ層１２の膜厚をスペーサ膜厚Ｔ_ｒとするとき、測定対象層１１の対象膜厚Ｔ_ｐを式（１）に基づいて測定する。 （もっと読む）

【課題】両眼立体視・マルチエネルギー透過画像を用いて材料を識別する方法を提供する。
【解決手段】両眼立体視・マルチエネルギー透過画像を用いて、放射線方向に重なっている物体に対して、その中で放射線吸収の主要成分である障害物を剥離し、本来放射線吸収の副次成分であるため明らかでなかった物体を明らかになるようにし、その材料属性（例えば有機物、混合物、金属等）が識別できる。本発明の方法によれば、放射線方向における非主要成分に対して材料識別ができ、これはコンテナに遮られている爆発物、麻薬等その他の有害物を自動識別することの基礎となる。 （もっと読む）

【課題】投影画像の合成処理が容易であり且つ鮮明な画像を得ることができるトモシンセシス画像取得方法を提供する。
【解決手段】本発明のトモシンセシス画像取得方法は、Ｘ線発生源２より発生されたＸ線を、モノクロメータ３ａ及びコリメータ３ｂにより単色且つ平行にし、単色且つ平行にされたＸ線を被検体４に照射する。そして被検体４を透過したＸ線を検出して撮影装置６により被検体４の投影画像の撮影を行う。この撮影を、被検体４を回転させることにより放射線を異なる角度で被検体に入射させて複数回行い、複数回の撮影により得られた被検体４の複数の投影画像を処理装置７により合成してトモシンセシス画像を作成する。 （もっと読む）