【課題】
半導体ウェーハに形成された半導体チップのメモリマット部の最周辺部まで高感度に欠陥判定できる検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】
半導体ウェーハに形成されたダイの回路パターンの繰り返し性に基づいて画像のデータを複数の画像メモリに分配して格納し、画像メモリに格納された画像のデータを繰り返し性の方向に加算平均した合成参照画像と比較して差分画像を生成し、差分画像の差分値が予め定められたしきい値より大きい領域を欠陥と判定し、欠陥の画像のデータと欠陥の座標を含む欠陥情報の複数を統合して出力する。 （もっと読む）

【課題】軽元素から成る微小な試料に対しても充分な高分解能、高コントラストを得ることができ、in-situの状態で試料を観察することができるＸ線顕微装置を提供する。
【解決手段】電子銃の電子源からの電子線をＸ線ターゲットに当ててＸ線を発生させるＸ線発生手段と、試料に照射されたＸ線の透過Ｘ線を撮像素子で撮像する撮像手段とを具備したＸ線顕微装置において、Ｘ線発生手段は波長０．１〜１．２ｎｍの長波長の特性Ｘ線を発生し、Ｘ線ターゲットを真空封止するＸ線透過窓基材はベリリウムで成り、Ｘ線透過窓基材の厚さが１０〜６０μｍであると共に、撮像手段の試料室が密封構成であり、試料室にガスを充填して試料の透過画像を撮像手段で得る。 （もっと読む）

【課題】放射線画像を用いた欠陥検査において、被検査部位の形状と欠陥を自動的に区別することのできる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】表面形状計測手段３０が被検査部位を走査して得た計測結果データを取得する計測ステップと、放射線撮像手段４１を移動させながら被検査部位を撮像して得た撮像画像データを取得する撮像ステップと、被検査部位の所定部位を基準として、計測結果データと、撮像画像データを走査して得られる濃淡パターンデータとを対応付ける対応ステップと、対応ステップで対応付けした計測結果データと濃淡パターンデータの差分を求める差分算出ステップと、差分に基づき被検査部位の内部欠陥を検査する検査ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡を用いた欠陥のレビュー方法、および欠陥のレビュー装置において、電子ビームの自動焦点合わせの設定に要するユーザの工数を低減し、試料の観察を容易化する。
【解決手段】
観察対象の座標上に予め登録された複数個の座標位置について焦点合わせを行い、座標位置における各焦点位置に基づいて焦点合わせの基準を作成し、該基準と前記焦点位置との間のずれ量に基づいて焦点探索範囲を設定し、観察対象の欠陥検出の自動焦点合わせの範囲を、設定された焦点探索範囲に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】被検査試料の特質により欠陥部位のコントラストが十分に得られない場合であっても、スループット低下をきたすことなく、高感度な欠陥検出性能を実現する優れた検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】被検査試料に電子線ビームを繰り返し往復ライン走査させ、試料から発生する２次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求めるＳＥＭ式外観検査装置において、電子線ビームの振り戻しを、画像取得、プリチャージ又はディスチャージに用いる機能を備える。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に対応して検査時の画素サイズを小さくする必要がある場合にもスループットの低下を抑制する手段の提供。
【解決手段】回路パターンを有する被検査試料９に荷電粒子線を照射し、発生した信号から画像を取得し、この画像から回路パターンの欠陥を検出する検査方法及び検査装置において、被検査試料９に対して荷電粒子線を走査する方向の検査画素サイズと、被検査試料を載置して移動するステージ３１，３２，３３の移動方向の検査画素サイズをそれぞれ別個に設定して検査する構成とする。 （もっと読む）

放射線を放射するための放射線発生器と、前記放射線発生器からの放射線を受信するための探知器と、放射線発生器に接続して放射線発生器を昇降させるための第１のフレキシブル部品と、探知器に接続して探知器を昇降させるための第２のフレキシブル部品と、第１のフレキシブル部品及び第２のフレキシブル部品を介して、水平方向上に所定の距離を空けて配置される放射線発生器と探知器とを同時昇降させる駆動装置と、を含む人体安全検査用放射線装置。本発明の人体安全検査用放射線装置は、検出の全過程において、放射線源と探知器とが同時運転することを保証するため、輻射結像の質を向上できる。また、本発明の人体安全検査用放射線装置は、コストを減少するとともに騒音を低減する。
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【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
回路設計データを用いた半導体ウェーハ上の欠陥を自動的に検出し、欠陥発生原因の推定を行う半導体欠陥検査装置ならびにその方法を提供する。
【解決手段】
回路設計データから検査対象回路パターンと比較するために，欠陥発生要因毎に定められた形状変形項目について設計データに変形を加え，複数の形状を作成する。作成された形状群と実パターンの比較により欠陥を検出する。また、それらの欠陥の発生原因を推定し，原因別に欠陥を分類する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リアルタイムに材料を識別することを解決し、二重階調融合とカラー化などのアルゴリズムを利用して材料区分及び階調情報可視化することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物質識別方法は、高エネルギー放射線と低エネルギー放射線とで被検体を透過させて、各画素の値が高エネルギー放射線の被検体の該当部分に対する高エネルギー透明度を示す被検体の高エネルギー透過画像と、各画素の値が低エネルギー放射線が被検体の該当部分に対する低エネルギー透明度を示す被検体の低エネルギー透過画像とを取得するステップと、各画素ごとに、高エネルギー透明度の第１の関数の値と高エネルギー透明度及び低エネルギー透明度の第２の関数の値を算出するステップと、第１の関数の値及び第2の関数の値によって特定される位置を、予め作成した分類曲線で分類し、各画素に対応する被検体の該当部分の物質のタイプを識別するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】有機膜からなり、パターンの形成されたフォトレジストマスクと、有機成分からなる反射防止膜と、金属化合物膜と、が上側からこの順番で積層された基板に対して、電子線を照射することによって、当該パターン上への有機成分からなる残渣の付着の有無を検査するにあたり、容易に残渣の付着を判別する技術を提供する。
【解決手段】残渣が付着した領域では、電子線の到達深さが金属化合物膜の上面よりも浅い位置となり、また残渣が付着していない領域では、電子線の到達深さが反射防止膜の下面よりも深い位置となるように、電子線の加速電圧を算出し、その加速電圧で電子線を基板に照射し、この基板から放出された２次電子像を得る。 （もっと読む）

【課題】被検体のＸ線管電圧依存情報を表わす断層像を、より少ない被曝により最適な画質で得られるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線ＣＴ装置は、複数のＸ線管電圧を設定する手段を含み、複数のＸ線管電圧で撮影される断層像の各々の画像ノイズが略同一となるように、それぞれのＸ線管電圧を用いた撮影に用いる撮影条件を設定する。撮影条件の設定は、Ｘ線管電流の設定である。Ｘ線管電流は、スカウト像より求められる+被検体の幾何学的特徴量に基づいて、複数のＸ線管電圧で撮影される断層像の各々の画像ノイズが略同一となるように設定される （もっと読む）

【課題】スラグ中の微量元素、特に揮発性微量元素を正確且つ迅速に分析することができるスラグ分析方法を提供する。
【解決手段】採取したスラグの少なくとも９５％以上が球換算直径で５０μｍ以下となるようにスラグを粉砕し、圧力３０ｔ／ｃｍ^２以上で且つ２０秒以上加圧プレスすることにより、厚さが２〜４ｍｍで分析面の凹凸が０．０５ｍｍ以下の試料を成形し、上記分析面に対し、電圧３０ｋＶ〜４０ｋＶ、電流５０〜７０ｍＡのＸ線を照射してスラグ中の揮発性微量元素の分析を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
外乱等の影響に依らず、焦点等の調整が行われた高画質画像に基づく測定が可能な試料
の検査，測定方法を提供すること。
【解決手段】
焦点調整が行われた電子ビームを走査して、前記パターンを測定するための画像、或いは測定のための位置合わせを行うための画像を形成し、当該画像の評価値と、予め取得された参照画像の画像評価値を比較し、当該参照画像との比較によって、前記形成された画像が所定の条件を満たさないと判断される場合に、前記電子ビームの焦点調整を再度実行する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】透視拡大率を大きくした場合にも試料ステージとＸ線放射窓が直接接触しないようにする。
【解決手段】 Ｘ線管１は鉛直の上方に向かってＸ線を放射するように配置され、Ｘ線検出器６は２次元的にＸ線を検出する検出面７がＸ線管１に対向するように下方に向けて配置される。Ｘ線管１とＸ線検出器６との間には試料ステージ３が配置される。試料ステージ３は試料５を載せてＸ線光軸９の方向に駆動されるとともに、水平面内で２次元的に駆動される。試料放射窓１３の周囲にフッ素樹脂からなる保護部材１１を配置し、保護部材１１の先端表面１２は試料放射窓１３の先端表面１４よりわずかに突出させる。大きな拡大率の透視像を得る場合に試料ステージ３の試料載置部１５がＸ線管１に接触するが、試料載置部１５は保護部材１１に接触するのみであって、試料放射窓１３には直接的には接触しない。したがって試料ステージの駆動による摩擦の影響が少なくなる。 （もっと読む）

【課題】有機材料中の個々の結晶粒の分布状態を詳細に解析する。
【解決手段】始めに、樹脂材料１の表面上に結晶粒を分散させた有機材料２を蒸着法やスピンコート法等を用いて成膜する。次に、樹脂材料３により有機材料２表面を包埋する。次に、試料を厚みが３０ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内になるまで薄片化する。次に目的とする観察部位Ａの近傍領域Ｂにおいて透過電子顕微鏡を用いた観察のための試料高さ調整，電圧軸調整，非点収差補正調整，及びフォーカス調整を行った後、目的とする観察部位Ａを光軸中心に移動してフォーカス調整を行うことにより、透過電子顕微鏡を用いて薄片化された結晶粒分散有機材料を観察し、結晶粒分散有機材料中の結晶粒の分布状態や原子配列構造を解析する。 （もっと読む）

対象物の放射線画像データを記録する装置は、放射線を放出する放射線源装置（３）と、放出される放射線の放射線経路に配置され、放射線画像データの記録中に対象物を収容するために設けられる対象物ホルダ（５）と、対象物と相互作用した放射線を検出する検出器装置（６）と、放射線源装置および検出器装置が固定される支持構造（２）と、検出器装置が対象物と相互作用した放射線を検出する間に、支持構造または対象物ホルダのいずれか一つを他方の支持構造または対象物ホルダのいずれかに対して円錐振り子運動させるために設けられる走査デバイスとを備える。
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コンテナ内の目標物を分類するためのシステム及び方法が提供される。一態様においては、コンテナ内の持ち込み禁制品を検知するための部品を含む画像形成システムにより発生する警報を分析する方法が提供される。該方法は、画像形成システムからの複数の画像を受信し、警報を発生させる原因となる少なくとも１つの物体に対して少なくとも１つの特性を推定し、少なくとも１つの分類器に少なくとも１つの特性を入力し、少なくとも１つの分類器の票決に基づいて少なくとも１つの物体に判定を下し、コンテナに対して最終判定を下すことを含む。 （もっと読む）