【課題】分解能に優れ、かつ検査効率の高い基板検査装置およびこれを備えた基板検査システム並びに基板検査方法を提供する。
【解決手段】試料である基板１１に電子ビームを一次電子ビーム３１ａ，３１ｂとして照射する一次電子ビーム照射手段と、一次電子ビーム３１ａ，３１ｂの照射を受けて、基板１１から発生する二次電子、反射電子および後方散乱電子を導いて二次電子ビーム３２ａ，３２ｂとして拡大投影する写像投影手段と、二次電子ビーム３２ａ，３２ｂを検出し、画像信号として出力する電子ビーム検出手段と、この電子ビーム検出手段から供給される画像信号を受けて電子ビーム画像を表示する表示器３０と、上記画像信号を処理して画像データを出力する信号処理手段６２と、上記画像データを格納する記憶手段６３と、制御手段２９とを備えた基板検査システムにおいて、二次電子ビーム３２ａ，３２ｂを直接画像信号に変換する薄型の裏面照射型ＣＣＤ素子を上記電子ビーム検出手段に備える。 （もっと読む）

【課題】 オペレータの勘や経験に頼ることなく、現在の透視位置を直感的に確実に把握することができ、また、一連の簡単な操作により透視位置の設定や倍率変更、加えて回転ないしは傾動を含むマニピュレータ制御を行うことのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 ステージ３上の被写体Ｗを撮影する光学カメラ３０を設け、その光学カメラ３０による被写体Ｗの外観像Ｗｏ上でマーカーＭを移動させ、かつ、その移動による指令内容を透視位置の変更／透視範囲（倍率）の変更、加えて回転角度および傾動角度の変更のいずれかに設定する入力手段２６を設け、その入力手段の操作によるマーカーの移動により指定された透視位置・透視範囲（倍率）・回転角度・傾動角度が得られるように、ステージ３等を自動的に駆動制御することで、現在の透視位置を直感的に把握し、簡単な操作により被写体Ｗ上の意図する位置の意図する倍率のＸ線透視像を得ることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 コンベアを容易に引き出すことができ、清掃性及びメンテナンス性に優れたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 本体フレーム（２）と、搬送経路（Ｒ）の側方へのＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カバー（３）と、それを回動支持する回転軸（２１）と、を備え、Ｘ線漏洩防止カバー（３）及び回転軸（２１）の最下端部を、コンベア（４１）を検査領域（Ｆ）外へ移動する移動手段（４３）を有する搬送機構（４）の最上端部よりも上方に位置させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】１つ又は複数の欠陥関連の機能を遂行するコンピュータ実行方法を提供する。
【解決手段】検査データ中のノイズを識別する一方法は、所定の数よりも少ない数の検査データの組の中で検出される事象を、ノイズとして識別する。欠陥をビン分類する一方法は、欠陥の特性、及び、これらの欠陥が検出された検査データの組に基づいて、これらの欠陥をグループにビン分類する。欠陥解析のために欠陥を選択する一方法は、これらの欠陥の互いの近接性、及び、グループ（１つ又は複数）により形成される空間シグネチャに基づいて、欠陥をこのグループ（１つ又は複数）にビン分類することを含む。欠陥解析のために欠陥を選択する別の方法は、欠陥解析のために、欠陥特性（１つ又は複数）のうち、もっとも多様なものを有する欠陥を選択することを含む。一方法は、試料のために生み出された検査データを、この試料のために生み出された欠陥レビューデータと組み合わせたものを使用して、この試料上の欠陥を分類することを含む。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡応用装置および試料検査方法において、試料の帯電を制御することができる技術を提供する。
【解決手段】光電子２を放出する帯電制御電極４を、ウェハ３（試料）の直上に平行に配置し、且つ、帯電制御電極４を通して紫外光をウェハ３に照射できるように、貫通する孔を持つ構造とした。具体的には、メッシュ形状もしくは１つあるいは複数の孔が開いた金属板を帯電制御電極４とする。帯電制御電極４を試料の直上に平行に設置することで、負電圧を印加した場合、ウェハ３に対してほぼ垂直に電界が発生する為、光電子２が効率良くウェハ３に吸着する。また、ウェハ３と同程度の大きさを持つ帯電制御電極４を使用する事で、ウェハ３全面の帯電を一括で均一に除去でき、処理にかかる時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 物品を収納して搬送される箱の角部や側縁部あるいは物品の周縁部が繰り返して接触することによるＸ線漏洩防止部材の磨耗を防止すると共に、箱や物品がＸ線漏洩防止部材を押し退けてスムーズに通過することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 シールドボックス内の搬入口及び搬出口に垂設されて、該搬入口及び搬出口を覆うＸ線遮蔽部３１を、左右両端及び略中央の柔軟部材３５…３５と略中央の柔軟部材３５の左右両側に隣接する金属部材３６，３６とで構成する。その場合、前記金属部材３６，３６を、上面が開口する箱Ｙに物品を収納した商品Ｇの前方角部が接触したり両側縁部が摺接したりする箇所に配設する。また、柔軟部材３５には、鉛を含有するゴム材料を、金属部材３６には、ゴム材料より若干厚みの薄いステンレス鋼を使用する。 （もっと読む）

Ｘ線断層撮影及び／又はトモシンセシス装置２は、検査物体６の走査・透過用Ｘ線を生成するためのＸ線源を備えた位置を固定されたＸ線管と、透過シーケンスの間検査物体６を位置を固定して配置しておくための位置を固定された検査物体用支持体８と、検査物体６の透過後のＸ線を検出するための位置を固定されたＸ線検出器１０とを有する。この発明によるＸ線検出器１０は、ほぼ平坦な検出面を有し、検出面１２の寸法は、Ｘ線源と検査物体６の間隔及び検査物体６とＸ線検出器１０の間隔を考慮して、走査の間Ｘ線が物体６を透過した後常に検出面１２上に当たるように選定される。
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【課題】電子線装置のスループット向上、精度向上等の改善を目的とする。
【解決手段】本発明に係る電子線装置においては、電子線を放出する単一の電子銃と、コンデンサレンズと、複数の孔を設けた開口板と、Ｅ×Ｂ分離器と、対物レンズを有し、前記電子銃からの電子線を検査されるべき試料面上に照射する第一次光学系と、前記試料から放出され、前記対物レンズで加速され、かつ前記Ｅ×Ｂ分離器で前記第一次光学系から分離された二次電子を、二次電子検出装置に入射させる第二次光学系とを備え、前記コンデンサレンズを２段として前記電子銃に隣接して配置し、前記２段のコンデンサレンズの後方に前記開口板を配置し、電子線を前記開口板に照射して複数の電子ビームを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程途中のウエハ検査で、高分解能を維持して浅い凹凸、微小異物のレビュー、分類を高精度に行う目的で、二次電子を検出系の中心軸を合わせると共に、検出系の穴による損失を避けて高収率な検出を実現する。
【解決手段】高分解能化可能な電磁界重畳型対物レンズにおいて、試料２０から発生する二次電子３８を加速して対物レンズ１０による回転作用の二次電子エネルギー依存性を抑制し、電子源８と対物レンズ１０の間に設けた環状検出器で二次電子の発生箇所から見た仰角の低角成分と、高角成分を選別、さらに方位角成分も選別して検出する際、加速によって細く収束された二次電子の中心軸を低仰角信号検出系の中心軸に合わせると共に、高仰角信号検出系の穴を避けるようにＥｘＢで二次電子を調整・偏向する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴデータのような空間離散データによる内部欠陥検査について、より高精度な検査を行えるようにする。
【解決手段】空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法について、要素を複数の含むサイズの第１の検出領域を空間離散データに設定する処理１０２、欠陥検出対象とする第１の検出領域を抽出する処理１０４、抽出された欠陥検出対象の第１の検出領域の特徴量を計測する処理１０５、欠陥検出対象の第１の検出領域を細分化した第２の検出領域を第１の検出領域に設定する処理１０６、第２の検出領域の特徴量を計測する処理１０７、第１、第２の各検出領域の特徴量を用いて実際の欠陥と擬似的な欠陥を判別するための欠陥判別基準を設定する処理１９８、および欠陥判別基準に基づいて欠陥を検出する処理１０９を含むものとしている。 （もっと読む）

【課題】 高感度で小型化が容易であり、しかも放射線損傷が少ない一次元イメージセンサを提供する。
【解決手段】 基本構成として、被検体（不図示）を透過した放射線１（電磁波あるいは放射線）の入射する方向に延在するシンチレータ２を備えている。そして、放射線１の入射する方向に対しほぼ直交する方向であって上記シンチレータ２の下部に配置された光学素子３と、該光学素子３の更に下部に配置された二次元受光素子４とを有する。これ等は、好ましくはスリット状の開口部５を有する遮蔽体６に覆われている。上記開口部５の所定の箇所にはシンチレータ２で発生するシンチレーション光の遮光膜７が取り付けられる。そして、二次元受光素子４の光電変換で生成した電気信号の出力を外部に伝送するケーブル８、電気回路９が取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】 互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、テープ状の検査対象物を長手方向に給送して一定の範囲ごとに合否判定を行う自動Ｘ線検査装置において、何らかの原因により判定動作が異常終了した場合でも、それまでに得られた判定結果を無駄にすることなく、異常終了に対応する位置から確実に判定動作を再開することのできる自動Ｘ線検査装置を提供する。
【解決手段】 給送装置１による検査対象物Ｗの給送位置を刻々と検出する給送位置検出手段５を設けるとともに、検査対象物Ｗの一定の範囲の合否判定ごとにその判定動作が正常に終了したか否かを判別し、異常終了と判別した場合には給送を停止するとともに、給送位置検出手段５の出力に基づいて、その判定に供したＸ線透過データを取り込んだ検査対象物Ｗの給送位置を特定して、その位置から運転を再開することにより、中断前後の判定結果を確実に連続させることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 物品の端部に存在する異物の検出を高精度に行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０は、搬送中の商品Ｇに対して斜め方向からＸ線を照射し、このＸ線の透過光を検出して作成される２次元のＸ線画像に基づいて異物検査を行うＸ線検査装置であって、分割領域設定部３１ｂが、Ｘ線画像に含まれる商品Ｇに相当する縁領域Ｇｂを複数の領域（各分割領域Ｇｂ１〜Ｇｂ４）に分割し、検出レベル設定部３１ｃが、各分割領域Ｇｂ１〜Ｇｂ４について適正な検出レベルを設定して異物検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 低いエネルギーのＸ線（電磁波）を照射して検査を行う場合でも、高感度でＸ線（電磁波）を検出し、高解像度の画像を作成して高精度な検査を実施することが可能な電磁波検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０では、基板３１と、フォトダイオード３２と、蛍光体３３とを有しており、Ｘ線照射器１３側からみて、フォトダイオード３２、蛍光体３３の順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】検出器において生じた飽和現象をおよび被写体のはみ出し現象を補正する。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線検出器を対向させて保持する保持装置と，検査対象に対するＸ線源およびＸ線検出器の相対位置を変化させる回転装置と，計測データの演算処理を行う制御処理装置とを有するＸ線計測装置において，被写体を設置せずに撮影した感度データと被写体の計測データの除算演算を行う手段と，除算データを対数変換処理する手段と，対数変換データにおいて飽和領域を判別する手段と，飽和領域における値を飽和領域の境界点から外挿した値に変換する手段と，被写体のはみ出し領域における値を対数変換データの端から外挿した値に変換する手段と，値を変換した後の対数変換データを用いて再構成演算を行い３次元像を得る手段を有することを特徴とするＸ線計測装置により実現される。 （もっと読む）

【課題】
非破壊でエッチング後パターンの立体形状を定量的に評価する方法がなかった
。このため、エッチング条件出しに多くの時間とコストがかかっていた。また、
従来の寸法測定のみでは、立体形状の異常を検知することができず、エッチング
プロセス制御が困難であった。
【解決手段】
ＳＥＭ画像の信号量変化を利用して、エッチング加工ステップに対応したパタ
ーンの立体形状情報を算出することにより、立体形状を定量的に評価する。また
、えられた立体形状情報に基づいて、エッチングプロセス条件出しやプロセス制
御を行う。
【効果】
非破壊で、エッチング後パターンの立体形状を定量的に評価することが可能と
なる。また、エッチングプロセスの条件出しの効率化がはかれる。さらに、エッ
チングプロセスの監視あるいは制御を行うことにより、安定なエッチングプロセ
スを実現できる。
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【課題】スループットを大きくする等のため照射電流値を増加する場合にも試料表面の帯電量を適切に制御することができ、歪の小さい鮮明な画像データが取得され、信頼性の高い検査を行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査方法は、荷電粒子ビーム２を試料１０に照射するビーム源１と、試料表面からの荷電粒子を検出部する検出部１８とを備える検査装置を用いる。試料１０の表面が所定の電気抵抗値を有する抵抗膜４２により被覆され、荷電粒子ビーム２が試料１０に照射され、試料表面から発生される二次荷電粒子等が検出部１８により検出される。 （もっと読む）

【課題】 異物の検出が不要な領域を従来より適切に抽出することができ、異物の検出の信頼性を従来より向上することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線異物検出装置のコンピュータは、搬送される被検査体を透過したＸ線量に基づいて生成されたＸ線画像中の被検査体に対応すると想定される被検査体領域３１を被検査体中の容器の影響が強いと想定される容器影響領域３１ａ及び容器影響領域３１ａ以外の非容器影響領域３１ｂに分割するための分割閾値を設定し、画素の濃度分布及び分割閾値に基づいて容器影響領域３１ａ及び非容器影響領域３１ｂを分割し、非容器影響領域３１ｂのみのＸ線画像に対して異物の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】容易に調整可能で焦点深度の深い、収差補正手段を備えた走査形荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】複数開口をもつ絞りを使用することにより、収差の補正状態をSEM画像から判定して、収差補正手段の調整にフィードバックする。略輪帯形状の絞りを収差補正手段と併用する。 （もっと読む）

【課題】大面積基板上に形成された複数の電子デバイスを検査するための方法及び装置が開示されている。
【解決手段】一実施例において、本装置は検査されるべき基板の大きさよりもちょっと幅広い少なくとも１つのチャンバ内で、一線形軸において前記基板上において検査を行なう。クリーンルームのスペース及びプロセスの時間は、システムのより小さいサイズ及び容量によって最小化される。 （もっと読む）