【課題】 基板上に組込まれた状態の電解コンデンサについて、その劣化状態を容易に判定できる劣化診断装置および劣化診断方法を提供する。
【解決手段】 透過画像取得部８は、基板２０に対して一方からＸ線を照射し、基板２０を介して対向する他方において、透過したＸ線に応じた透過画像を取得する。画像処理部２は、ＣＣＤ部１６から電気信号を受けて、基板２０の透過画像を生成し、透過画像の中から画像の濃淡の程度に応じてＸ線が透過した領域（透過領域）と透過しなかった領域（不透過領域）とに２値化する。演算部４は、２値化された透過画像に基づいて、診断対象の電解コンデンサにおいて電解液が存在する領域を設定し、その設定した領域に含まれる不透過領域の面積、すなわち電解液の残存量を算出する。そして、演算部４は、電解液の残存量が所定の基準値以上であるか否かに応じて、劣化状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】半田接続部の不良を確実に検査できるＸ線検査装置及びＸ線検査方法を提供すること。
【解決手段】プリント基板１０はプリント基板側半田４ｂ、プリント基板側ランド６、基材５、プリント基板側レジスト７などを備え、プリント基板側ランド６に対して間隔を隔ててプリント基板側レジスト７が設けられる構造である。また、回路素子２０は、インターポーザ１のプリント基板側半田４ｂに対応する位置に形成される回路素子側ランド２、その回路素子側ランド２上に形成される回路素子側半田４ａ（半田ボール）などを備える。そして、この回路素子２０をプリント基板１０に実装した状態において、透過型の３次元Ｘ線検査装置を用いてプリント基板側ランド６及びプリント基板側ランド６の周辺の水平断層画像を作成して半田接続部の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、Ｘ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、平面的に配置された複数の検査対象品を上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に移動させ、同平面移動工程による上記検査対象品の位置の変更を行いながら、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面をもつ検出器でＸ線画像を取得し、上記複数の回転位置におけるＸ線画像から同じ検査対象品の透過像を抽出し、抽出した透過像に基づいて検査対象品の再構成演算を実行し、検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】平面型検出器の構成が可能でありかつ信号処理用電子回路装置を配置するための十分な空間が検出面の近くに存在する検出器モジュールを提供する。
【解決手段】検出素子のアレイ１０およびプリント回路基板１１を有する検出器モジュール８において、プリント回路基板１１は、検出素子のアレイ１０を収容するための第１の範囲１４と、第１の範囲１４に対して相対的に曲げられた少なくとも１つの第２の範囲１２，１３とを含むＵ字形もしくはＬ字形にされ、検出器モジュール８は垂直構成にされる。この構成によって、隣接して配置された多数の検出器モジュール８に基づく平面型検出器が実現される。 （もっと読む）

【課題】 欠陥検査において欠陥検出閾値及び欠陥検出フォーカス等のパラメータを高精度で且つ短時間に設定できるようにする。
【解決手段】 検査対象基板にエネルギービームを照射することによって、当該検査対象基板から反射されたエネルギービームをディジタル画像信号として取得し、取得されたディジタル画像信号の強度が閾値を超える場合に当該ディジタル画像信号を欠陥として検出する。閾値は、ディジタル画像信号に含まれるノイズ信号の最大強度に基づいて設定される。 （もっと読む）

【課題】 静電レンズと試料との間の放電を防止し、かつ高い電圧を印加可能で、さらに、対物レンズの軸上色収差の絶対値と軸上色収差補正レンズの軸上色収差の絶対値とが等しくなるように調整可能なパラメータを持つ対物レンズを提供する。
【解決手段】 電子線装置であって、電子線の焦点を合わせて試料に照射する対物レンズを備え、対物レンズは、試料側に向うほど半径が小さくなる、少なくとも１つの円錐形状の電極と、軸対称電極とを有し、軸対称電極は、前記円錐形状の電極より試料側に配置されたほぼ接地の電極であり、試料面での電界強度を小さくする位置に配置され、さらに、負の軸上色収差を生じる多極子レンズと、電圧制御装置とを備え、電圧制御装置が軸対称電極の電圧を調整して、もしくは軸対称電極の電圧と少なくとも１つの円錐形状の電極の電圧との双方を調整して、対物レンズの軸上色収差の絶対値を多極子レンズの軸上色収差の絶対値と等しくする。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の内部構造データからリングアーチファクトを簡便に除去する。
【解決手段】 回転手段上の回転軸と重ならない位置に配置された被検査体にＸ線を照射して得られた各投影像を再構成して再構成データを作成し、次に、この再構成データの回転軸と垂直な断面データ３１を取得し、この断面データ３１において、周縁部から回転軸１５まで被検査体自体のデータ７ａが存在しない角度範囲θ１を検出し、そして、この被検査体自体のデータ７ａが存在しない角度範囲θ１の断面データ（真正断面データ）３４を基に、被検査体自体のデータ７ａが存在する角度範囲（３６０°−θ１）について被検査体自体のデータ７ａを除いた擬似断面データ３５を作成し、上記再構成データの断面データ３１と、真正断面データ３４及び擬似断面データ３５からなる断面データ３６との差分を計算し、被検査体自体の内部構造データの断面データ７ａを得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 コークスに混入している固形異物を高精度で検出することができる異物検出装置及び検出方法、並びに検出された固形異物を除去することができる異物除去装置及び除去方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、コークスに混入している固形異物を検出するための異物検出装置であって、固形異物を混入している可能性のあるコークスである被測定コークスに対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、前記被測定コークスを透過した前記Ｘ線の所定領域における透過Ｘ線強度を測定するＸ線強度測定手段と、前記透過Ｘ線強度の数値を所定の閾値と比較して、その比較結果に基づいて前記所定領域内の前記被測定コークスが前記固形異物を混入しているか否かを判定する判定手段と、を備える、 （もっと読む）

【課題】 基板の不良や欠陥をより高感度で検査する。
【解決手段】 生成した電子ビーム３１０をビーム束３１１，３１２に分割して検査対象ＴＩおよび参照対象ＴＲにそれぞれ照射し、各対象から発生する二次電子等を集光してそれぞれ得られた二次ビーム３１５，３１６を重畳して結像し、像信号を検出し、二次ビーム３１５，３１６の各位相差に起因する干渉縞を用いて検査対象ＴＩの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】適正な量子検出効率と高ＳＮ比を維持し、患者へのＸ線照射線量を抑制したデジタル放射線像形成組立体を得る。
【解決手段】高適合性画像形成組立体は、入射放射線を受けかつ対応する光信号を放出するように構成された単体蛍光体フィルム１０、単体蛍光体フィルム１０に結合される電子装置１２、着脱可能な電子強化層１４で構成する。電子装置１２は、単体蛍光体フィルム１０から光信号を受信しかつ画像形成信号を生成する。単体蛍光体フィルム１０は、シリコーン結合剤内に分散されたＸ線蛍光体粒子を含む。単体蛍光体フィルム１０の厚さは、１ｍｍより薄く、要件に応じて変える。 （もっと読む）

【課題】 非導電性材料からなる球体の表面に導電膜が被覆されてなる導電性粒子の表面被覆の欠陥を迅速にかつ高精度に検出することを可能とする表面検査方法を提供する。
【解決手段】 非導電性材料からなる球体の表面を導電膜で被覆してなる導電性粒子３の表面欠陥を検査するにあたり、複数の導電性粒子３を重なり合わないように配置し、複数の導電性粒子３をＸ線カメラ６で撮影し、Ｘ線による画像を得、複数の導電性粒子３を撮影した画像における導電性粒子３の濃度に基づき、導電性粒子の表面の欠陥を検出する各工程を備え、上記表面被覆の欠陥を検出する工程において、表面被覆に欠陥が存在しない場合の導電性粒子の画像に対応した基準データと、Ｘ線カメラで撮影された導電性粒子の画像データとを比較することにより、表面欠陥の有無を検出する、導電性粒子３の表面検査方法。 （もっと読む）

【課題】使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることが抑えられるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置１０であって、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、制御コンピュータ２０とを備える。Ｘ線照射器１３は、Ｘ線を照射する。Ｘ線ラインセンサ１４は、Ｘ線照射器１３からのＸ線を検知する。制御コンピュータ２０は、Ｘ線ラインセンサ１４の検出レベルに基づきＸ線ラインセンサ１４の使用が不可であると判断した場合に、Ｘ線ラインセンサ１４の使用が不可である旨を報知する。 （もっと読む）

【課題】
従来は、二次元又は三次元形状計測の際に用いた計測手法固有の形状算出式のパラメータと形状指標値とを関連づけ，前記パラメータを調整することにより，形状を補正する場合、補正による形状変形の自由度も形状の算出に用いられるモデル式に依存するため，多くの形状バリエーションをもつ補正対象には不向きであった。
【解決手段】
本発明では、任意の三次元形状計測手法によって計測された半導体パターンの三次元形状に曲線式を当てはめ，別途算出した形状指標値に基づいて前記曲線式のパラメータを調整することによって前記三次元形状を補正するようにした。前記形状指標値と前記パラメータとの関係をデータベースに蓄積し，計測時は前記関係をもとに計測形状の補正が実施されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 上流の検査装置で検出された欠陥を、レビュー装置に対して確実に、高精度に、しかも短時間にアライメントをして効率よく、詳細再検査（ＡＤＲ）や欠陥分類（ＡＤＣ）を行うことができるようにしたレビュー装置を提供する。
【解決手段】 検査装置で検査されて検出された欠陥検査情報を基に、多数の欠陥から複数のアライメント候補を選択して絞り込む欠陥選択部２４０と、該絞り込まれた複数のアライメント候補の各々を撮像して複数のアライメント候補のＳＥＭ画像を取得する検出系２１と、該取得された複数のアライメント候補のＳＥＭ画像を基に複数のアライメント候補についての特徴量を算出し、該算出された複数のアライメント候補についての特徴量を基に該複数のアライメント候補についてのアライメント適／不適を判定する判定部２４３とを備えたレビュー装置である。 （もっと読む）

対象物の画像を記録する為の走査方式の放射線検知装置であって、対象物と相互作用をした後、扇形イオン化放射線ビームに暴露される一次元検知器ユニット（４１）と、前記対象物の二次元画像を作成する為に反復して検知している間、対象物に対して一次元検知器ユニット（４１）及び扇形ビームを相対移動させるデバイス（８７，８８，８９，９１）と、反復検知を制御する為の制御装置を備える。一次元検知器ユニット（４１）は、イオン化放射線感応厚さｄｔを有し、厚さｄｔは、一次元検知器ユニットを照射する時には、扇形ビームの厚さよりも大きい。各々の一次元画像の暴露時間を短くし、且つ二次元画像の空間分解能を高くする為に、扇形ビームの一次元画像は、前記移動のｎ番目の長さ単位毎に記録される。ここで、ｎは、この長さ単位において扇形ビームの厚さのほぼ半分よりも小さくはなく、この長さ単位において一次元検知器ユニット（４１）のイオン化放射線感応厚さ（ｄｔ）より小さい。
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【課題】 取得した投影データの再構成画像において、擬似焦点による２重画像を防止する。
【解決手段】 ターゲット上のＸ線焦点２を頂点とし、その中心軸４がカソードから放出される熱電子流と略同軸上にある円錐形状に第１照射野２ａを形成するＸ線源１の焦点２から、上記カソードより放出される熱電子流に略直交する検出面を初期姿勢とする２次元検出器へ降ろした垂線と直角に交わる被検査体５回転軸を中心として、被検査体回転機構に載置した被検査体５をＸ線源１と二次元検出器の間で回転させ、被検査体５の投影データを取得する際、被検査体５の全部又は特定部分を、本来のＸ線焦点２による第１照射野２ａのうち擬似焦点３による第２照射野３ａの影響を受けない領域に移動して、各角度位相における被検査体５の投影データを取得する。 （もっと読む）

【課題】放射線透過撮像期間中の部品の動きが像の品質にマイナスの影響を及ぼさない程度に大きくないことを保証する方法を提供すること。
【解決手段】物体の放射線透過検査用システムは、物体の一方の側に位置する放射線源（１６）と、物体のもう一方の側に位置する放射線検出器（１８）とを含み、放射線検出器は放射線源（１６）からの放射を受け取るように位置付けされている。少なくとも１つの動きセンサ（４０）、（４２）、（４４）、（４６）が、動きを検出するために、放射線検出器（１８）、放射線源、または物体に関連づけられている。部品の動きの大きさが、予め設定された限界値と比較される。撮像プロセスは、どの動きの大きさも限界値未満であるときに行われる。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡を真空雰囲気内に設けることを不要にし、プレアライメントを行わないでアライメントを行うことができる電子線装置及び評価方法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭの視野２３のＸ方向あるいはＹ方向の少なくとも一方の寸法をダイシングライン２１，２２の幅よりも大きくなるように設定すると共に、ローディング精度を所定の範囲内にして、該ダイシングライン２１，２２あるいは該ダイシングライン２１，２２近傍のパターン２６を利用してアライメントを行っている。また、ＳＥＭの画像に基づいて被検査領域か否かを判断する手段を有し、前記被検査領域が、ＳＥＭの視野外へ出るのを防止する方向にステージを移動させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 検査タイヤ11の内部欠陥を検査する際、誤検出を避けながら検出精度を向上させる。
【解決手段】 検査タイヤ11の側壁部21を同心円状をした複数のリング状領域に区画する一方、回転中の検査タイヤ11の各リング状領域を透過してきた放射線の画像データに対し検出手段40によりしきい値処理を行うようにしたので、前述のしきい値を各リング状領域毎に異なる最適値に設定することができ、これにより、内部欠陥を誤検出および検出ミスの双方を防止しながら検出することができる。 （もっと読む）

【課題】未知の被検体に対しても、管電圧と管電流を容易に設定できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１１と、このＸ線管１１の管電圧と管電流とを制御するＸ線制御部１５と、被検体２１を透過したＸ線２２を検出するＸ線検出器１２とを有するＸ線検査装置１において、Ｘ線検出器１２で検出した被検体の透過画像からこの透過画像のコントラストとノイズとの比であるコントラスト対ノイズ比を算出し、このコントラスト対ノイズ比に基づいてＸ線管１１の管電圧及び管電流の最適な値を求めてＸ線制御部１５に出力する自動管電圧管電流設定部１３ｂとを有する。 （もっと読む）