【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、平面的に並べられた複数の検査対象品を上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に移動させ、上記検査対象品の位置の変更を行いながら、上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸に対して傾斜した検出面を持つ検出器であって、上記立体角に含まれる複数の位置に配設された複数の検出器でＸ線画像を取得し、取得した複数のＸ線画像から、異なる検出器で取得したＸ線画像であって同一の検査対象品を含む複数のＸ線画像を抽出し、これらのＸ線画像に基づいて当該検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】ミラー電子を使った電子線式検査装置においては、ウェハ上で予備帯電された領域の境界が像となって現れてしまい、正しい検査ができなかった。また、予備帯電は検査と同時に行われるため、照射時間を長くする必要がある場合、ステージの移動速度を遅くせざるを得ず、検査速度が遅くなってしまっていた。
【解決手段】予備照射のビーム源とウェハとの間に、そのサイズが可変な開口を設け、その大きさの一辺をウェハのチップ列の幅と等しくなるように設定し、かつ、チップ列と垂直方向へのウェハの動きに合わせて、開口も移動するように制御する。また、ステージの移動速度を遅くすること無く、ウェハの検査時のステージ移動途中に十分なビーム照射ができるように、その開口をチップ列と平行な方向に大きくするよう設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】エネルギー入力ビームをコリメートするための方法及び装置
【解決手段】特に対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための照射方法であって、少なくとも１つのエネルギー入力ビーム源（２１０）によって、複数の個々のエネルギー入力ビーム構成要素（３．１、３．２、３．３、・・・）を備える少なくとも１つのエネルギー入力ビーム（３）を生成することと、複数の投影方向に沿って、少なくとも１つのエネルギー入力ビーム（３）によって検査領域（２）を照射することとの各工程を備える方法において、このエネルギー入力ビーム構成要素（３．１、３．２、３．３、・・・）は、貫通穴を有し、エネルギー入力遮蔽材でできている少なくとも１つのビームマスク（２１１）によって形成されることを特徴とする方法。さらに、対象物を照射するまたは撮像するための撮像方法および装置が記述される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大掛かりな検出装置を必要とせず、表面のみならず材料内部の非破壊検査で、材料内部を簡便に検査可能とすることを目的とする。
【解決手段】 ミュー粒子を材料内部で停止させ、材料内部でミュー粒子崩壊によって生じた陽電子の寿命を検出することにより材料内部の欠陥を検査する非破壊検査方法である。 （もっと読む）

放射線不透過性ポリマー物品を形成するための組成物および方法が開示される。一つの態様では、放射線検査装置および方法を使用してそのような放射線不透過性ポリマー物品の存在および属性を決定する。本発明の放射線不透過性ポリマー物品は、放射線不透過性材料、たとえばバリウム、ビスマス、タングステンまたはそれらの化合物を粉末化ポリマー、ペレット化ポリマーまたは溶媒もしくは水中のポリマー溶液、エマルションもしくは懸濁液と混合することによって作成することができる。本発明の放射線不透過性ポリマー材料は、放射線検出性物体を作成することに加えて、放射線防護物品、たとえば放射線防護服および爆弾格納容器を作成するために使用することもできる。また、ナノ材料の使用によって高められた放射線防護を達成することができる。本発明の原理は、火炎、化学的、生物学的および投射物の危険を含む他のタイプの危険に対して防護を提供するために使用することができる。

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【課題】欠陥検査装置で特定された欠陥は、他の装置を用いて解析が行われる。他の装置での欠陥位置の特定は、ビットパターンがウエハ上に数百個配列されているような場合は手作業でカウントしなければならないため、非常に困難で欠陥位置の誤認識も招く。また欠陥位置の特定に時間がかかるので、欠陥の解析結果がでるまでに時間がかかる。つまり製造ラインへのフィードバックが遅れ、スループットを低下させている。
【解決手段】欠陥検査装置で検出された欠陥の周辺に、レジストを用いてマーキングを形成する。
【効果】欠陥検査装置で検出された欠陥を、解析装置で正確に簡便に特定することができるため、短時間で解析結果が得られる。そのため、製造ラインへのフィードバックが早くなり、歩留まりが向上し、コスト低減に繋がる。 （もっと読む）

【課題】レシピ作成及び欠陥確認の使い勝手がよく、かつ迅速に行うことのできるパターンの検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥確認画面は、ウェハマップを表示する「マップ表示部」６１、欠陥画像を一覧表示する「画像表示部」６２、欠陥の詳細情報を表示及び設定する「リスト表示部」６３、選択された欠陥項目についてグラフ表示する「グラフ表示部」６４を有する。それぞれの表示部は連動して動作し、選択されたマップ情報に対応して欠陥画像、欠陥情報リスト、欠陥グラフが変化する。これら情報を利用して入力された分類コード及びクラスタリング条件及び表示フィルタはレシピに登録される。 （もっと読む）

【課題】 搬送パイプの交換時期を的確に判定することができ、点検方法による個人差がなく、メンテナンスが容易なＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物を着脱交換可能な搬送パイプ１１ｂを通して搬送する搬送手段１０と、搬送パイプに向かってＸ線を照射するＸ線発生部２１および搬送パイプを透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２を有し、そのＸ線検出部２２の検出情報に基づいて被検査物中の異物の有無を判定する異物検出手段２０とを備えたＸ線異物検出装置において、被検査物が搬送パイプ内にない非搬送状態で搬送パイプを透過するＸ線の透過量を検出するようＸ線検出部２２を制御する非搬送時検出制御部４１と、前記非搬送状態におけるＸ線の透過量を記憶する透過量記憶部４２と、透過量記憶部４２の記憶情報に基づいて、搬送パイプが交換時期に達しているか否かを判定する交換時期判定手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】金属材料からなる鋳型における鋳造中の溶湯の挙動を精度良く把握することが可能な溶湯挙動可視化装置を提供する。
【解決手段】溶湯挙動可視化装置１に、エックス線を照射するエックス線照射手段２と、金属材料からなり、該エックス線照射手段により照射されたエックス線が透過可能な所定の肉厚を有する試験用の鋳型３と、照射されたエックス線の強度を可視光の強度に変換して透過画像を結像する撮像管４と、該透過画像を撮像する撮像手段５と、該試験用の鋳型の内部に溶湯を供給する溶湯供給手段６と、該試験用の鋳型の温度を調整する鋳型温度調整手段７・８・９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させ、上記立体角に含まれる位置に配設されるとともに上記検査対象品の移動平面に対して略平行の検出面でＸ線を検出し、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でＸ線を検出し、上記平行Ｘ線検出工程によって検出したＸ線と上記傾斜Ｘ線検出工程によって検出したＸ線とのいずれかまたは組み合わせに基づいて上記検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
電子線を照射し、その二次電子などを検出する検出系では高速で検出するには検出器の面積が重要なファクタである。現在の電子光学系、検出器の技術では一定以上の面積の検出器が必要で、面積に逆比例する周波数で制約を受け、２００Msps以上の検出は実質的に困難である。
【解決手段】
例えば必要面積４mm角、４mm角時の速度を１５０Mspsとして４００Mspsで検出するには、単体の高速な２mm角の検出器を４個並べ、それらを増幅後、加算してA/D変換する。又は、二次電子偏向器で順次８mm角の検出器に二次電子を入射させ、１００Mspsで検出、A/D変換後並べる。いずれも、４mm角の面積と４００Mspsの速度を達成可能である。
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【課題】 樹脂封止された電子部品内部の軽元素異物の位置や形状を非破壊で調べる。
【解決手段】 Ｘ線源１６と、第１の結晶２、第２の結晶４及び第３の結晶６を備えるＸ線干渉計７と、Ｘ線検出器２０を備えたＸ線撮像装置１において、第１のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第１の集光用ゾーンプレート２６とそれと対になる第１の平行化用ゾーンプレート２８が設定され、第２のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第２の集光用ゾーンプレート３０とそれと対になる第２の平行化用ゾーンプレート３２が設定されたことを特徴とするＸ線撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、超音波探傷画像の寸法位置を一致させて精度の高い欠陥判定を行うことができる。
【解決手段】 本発明の検査処理方法によれば、Ｘ線探傷画像を得る際被検査部の任意に設定した検査開始位置を走査通過して検出するため検査開始位置を通過した通過分の画像を含んだＸ線探傷画像に対して、任意に設定した終端開始位置及び被検査部に対して走査した検査走査長から設定した仮の終端終了位置における前後であって所定長の位置間の画像をそれぞれ切り取る。そして、切り取った２つの画像に含まれる通過分の画像が一致するように切り取った２つの画像を張り合わせる。更には、張り合わせた画像上での終端開始位置で切り離す。次に、切り離した各終端画像を、終端開始位置及び仮の終端終了位置から前後の所定の位置間の画像を切り取った残りのＸ線探傷画像の各終端にそれぞれ連結する。 （もっと読む）

【課題】 テストピースの投入を伴う検出感度調整や選別確認作業を短時間で行なうことのできる異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物の搬送路１１ｐｗが形成された搬送パイプ１１と、被検査物に含まれる異物を搬送方向所定位置で検出する異物検出手段１２、１３とを備えた異物検出装置において、被検査物が搬送路に供給される供給位置と前記検査位置との間の搬送パイプ１１に装着され、検査位置１１ａより搬送方向上流側で搬送路１１ｐｗから分岐する分岐路５１ｐｗを形成するとともにテストピース投入口５１ｅを形成する分岐パイプ５１と、分岐路５１ｐｗを搬送路１１ｐｗに連通および遮断させるよう分岐パイプ５１に装着されたバルブ５２と、バルブ５２が開弁したとき、投入口５１ｅに投入されたテストピースを搬送路１１ｐｗ側に付勢する付勢手段５５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴ装置などのコンピュータ断層像撮像装置について、空間分解能の向上とアーチファクトの低減を同時に可能とする。
【解決手段】放射線２を照射する放射線源１、複数の放射線センサ６ｓを配列して形成された放射線検出器６、および回転走査のための回転を行う回転手段を備え、放射線源から照射されて被検体を透過した放射線を放射線検出器で検出して得られる透過データをもとに再構成画像を生成させるようになっているコンピュータ断層像撮像装置について、回転手段の回転中心を、放射線源と放射線検出器それぞれの中心を結ぶ線分に対して一方の側と他方の側のそれぞれに所定量だけオフセットさせ、一方の側へのオフセット状態での３６０度回転走査と他方の側へのオフセット状態での３６０度回転走査を対にして行い、この対の回転走査で得られる透過データを用いて再構成画像の生成を行えるようにしている。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡の撮像画像の画質を向上させる。
【解決手段】１次電子ビーム１０８を試料ウェハ１０６に照射する電子源１０１、加速電極１０２、集束レンズ１０３、偏向器１０４、対物レンズ１０５等と、試料ウェハ１０６から発生する放出電子信号１０９をサンプリングしてデジタル画像を取得する検出器１１０、デジタル化手段１１１等と、取得した前記デジタル画像の記憶、表示もしくは処理を行う画像メモリ１１６、入出力部１１８、画像生成部１１５、画像処理部１１４等とを備えた走査型電子顕微鏡に、前記記憶、表示もしくは処理されるデジタル画像の画素サイズよりも細かい間隔で放出電子信号１０９をサンプリングするサンプリング手段と、サンプリングされた放出電子信号１０９を元に画素サイズを大きくしてデジタル画像を生成する画像生成処理手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】コンタクトホールの底や内部配線を観察できるようにする。
【解決手段】コンタクトホール１０２の観察では、絶縁物１０１の表面に正の帯電１０６を作り、この電界で二次電子１０４をホール内から吸引する。絶縁物に埋没した配線では、電子ビームを試料内に進入させ、配線の有無を表面の帯電量の変化として映し出し、これを観察する。具体的には、観察前に観察時の加速電圧と異なり、積極的に正または負の帯電を起こす加速電圧で試料表面を一定時間照射し、そののち観察に適した加速電圧に戻して観察する。 （もっと読む）

【課題】 透視対象物の移動や回転、傾動時に、透視対象物がＸ線源やＸ線検出器等に干渉することを未然に防止することができ、オペレータの負担を軽減して作業能率を向上させることのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 透視対象物Ｗを撮影する光学カメラ５を設け、その光学カメラにより複数の方向から撮影した透視対象物Ｗの外観像から、透視対象物Ｗの形状、寸法に係る情報を得る画像処理手段１０ｃと、その情報を用いて、透視対象物の移動・回転・傾動時に透視対象物ＷのＸ線源１やＸ線検出器２、あるいは他の装置部材との干渉を監視する干渉監視手段１０ｄを設けることにより、オペレータが随意に透視対象物を移動・回転・傾動させても、干渉前にその動作を制限する。 （もっと読む）

【課題】 圧着接合面における圧着平行度を容易に自動検査できるフリップチップ接合検査方法およびフリップチップ接合検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 フリップチップ実装された接合基板に対して垂直方向にＸ線を照射した回路基板透視画像を撮像し（Ｓ１）、回路基板透視画像中のバンプ接合面がボンディングツールの傾き等によって圧着接合面における圧着平行度が保たれていない場合、強く押されているところはバンプ径が大きく増大し、また逆にあまり加圧されていないバンプはそれほどバンプ径が増大せず撮像されるため、バンプ径の変化方向および変化の割合を求める（Ｓ３）ことで接合されたベアチップの接合面の傾斜量を求めて（Ｓ４）圧着接合面の平行度の良否判定を行う（Ｓ５）ことができ圧着接合面における圧着平行度を容易に自動検査できるフリップチップ接合検査方法およびフリップチップ接合検査装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 パイプ中の所定の被検査物の移動速度の測定精度の向上が図れ、もって選別における無駄を削減することが可能なＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】 パイプ１１０と、Ｘ線照射手段１２０と、Ｘ線検出手段１３０と、異物混入判定を行う制御処理部１４０とを備えたＸ線異物検出装置１００において、Ｘ線検出手段１３０が、複数のＸ線ラインセンサ１３１ａ、１３１ｂを有し、制御処理部１４０が異物混入判定を行う判定手段１４１、および、複数のＸ線ラインセンサ１３１ａ、１３１ｂから出力される検出信号に基づいてパイプ１１０中を移動する被検査物１の移動速度を算出する移動速度算出手段１４２、および、判定手段１４１の判定結果と移動速度算出手段１４２が算出した移動速度に基づいて被検査物１を選別するための選別信号を生成する選別信号生成手段１４３を有する構成を有している。 （もっと読む）