歯科及び整形外科デンシトメトリーモデリングシステムは、患者のデンシトメトリー情報を記憶するようになっているデジタル記憶装置、入力、及び出力を有するコンピュータを含む。歯科又は整形外科入力装置は、エネルギー源及びエネルギーセンサを含み、両者は、患者の外部又は口腔内に配置することができる。センサは、デンシトメトリー信号をコンピュータに転送し、コンピュータは、デジタルデンシトメトリーモデルを生成、記憶、及び比較する。デンシトメトリーモデリング法は、歯科又は整形外科情報のデンシトメトリーデータベースを生成する段階と、患者から最新の歯科又は整形外科デンシトメトリー情報を取得する段階とを含む。最新情報は、患者の過去のデンシトメトリーモデルを含むことができるデータベースと比較され、患者の最新のデンシトメトリーモデルが生成される。
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【課題】 Ｘ線吸収量が被検査物の部位により異なったり被検査物毎にそれが変化しても動的に対処可能なＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗを搬送しながらこれにＸ線を照射し、そのＸ線透過量に基づいて異物の有無を判定するＸ線異物検出装置において、Ｘ線透過量の濃度データに応じて設定される複数の切り出し領域について、それぞれの領域に適した変換特性で前記Ｘ線透過量の濃度データを前記被検査物のＸ線吸収量に対応する変換濃度データに濃度変換するデータ変換部２３Ａ〜２３Ｃと、これらで変換した複数の切り出し領域についての変換濃度データに基づいて異物の有無を判定する異物有無判定部３０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 欠陥ピクセルのデータを正しく抽出し、正常なピクセルを欠陥ピクセルとして誤って検出する誤検を防ぐ。
【解決手段】 ＴＦＴアレイ検査装置１は、二次元の測定データから欠陥データを抽出するＴＦＴアレイ検査装置であり、二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索手段６と、探索結果を記憶する記憶手段７と、探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け手段８とを備えた構成とする。割り付け手段８は、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築して割り付けデータを構成し、割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの測定、検査、欠陥レビュー用などの走査電子顕微鏡において、画像を撮像する時間の短縮と高画質撮像の両立を実現する。
【解決手段】大ビーム電流を用いて低倍画像を撮像し、小ビーム電流を用いて高倍画像を撮像し、ビーム電流の変化によって発生する撮像画像の輝度変化、焦点ずれ、アライメントずれ、視野ずれを補正する制御量を予め全体制御系１１８内のメモリに保存しておき、ビーム電流を切り替える都度これを補正することにより、電流を切り替えた後の調整作業なしで画像を撮像することを可能にする。また、電子ビームの照射経路中に絞り８０１を設けることにより、電流切り替え時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】 特殊な装置を用いることなく、樹脂基材とプライマー層との界面に形成される相溶層の厚さを定量的に数値化できるプライマー形成面の検査方法を提供する。
【解決手段】 樹脂基材とこの表面に形成されたプライマー層との界面付近の断面の画像から、該界面に直交する直線上における輝度プロファイルを取得し、樹脂基材領域Ｅにおける輝度プロファイルの傾きがプライマー層側で変化する変曲点Ｉと、プライマー層領域Ｄにおける輝度プロファイルの傾きが樹脂基材側で変化する変曲点Ｈとの間隔Ｊから、樹脂基材とプライマーとの界面に形成された相溶層の厚さを求めるプライマー形成面の検査方法。 （もっと読む）

【課題】 扉付きのＸ線遮蔽ボックスを用いることなく、Ｘ線の漏洩を確実に防止しながら被検査物の移動を簡易に行えるようにしたＸ線検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間に被検査物５を配置してＸ線を照射し、該被検査物５を上記Ｘ線カメラ２による撮像で検査するＸ線検査装置において、上記被検査物５を収容するトレイ１０を、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき側面１４はＸ線の遮蔽材料により形成する。上記Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間には、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイ１０が移動自在に挿入される挿入間隙４を設ける。 （もっと読む）

【課題】短い作用距離、コンパクトなデザインで、試料の高速かつ高品質な撮像を可能にすると同時に、画像コントラストの増強をもたらす分析システム及び荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの荷電粒子を偏向及びエネルギー選択する荷電粒子ユニットに関する。荷電粒子ビームを偏向及び焦点合わせするための二重焦点セクターユニット４２５，４４５及び電位を形成するためのエネルギーフィルタ４６０が設けられ、これにより荷電粒子ビームの荷電粒子は、荷電粒子のエネルギーに応じて電位鞍点において方向を転換される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線を用いた非破壊欠陥検査システムであって、内部の欠損や空孔の有無および位置を自動的に短時間で検出する非破壊欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】 サンプル１を差し挟む位置にＸ線源２とＸ線検出器３を配し、サンプル１に２個以上の超音波探傷子４、５を付設し、Ｘ線検出器３から得られる投影画像および超音波探傷子４、５から得られる探傷エコーデータを基に演算装置７で処理を行うことにより欠陥の位置を特定する。 （もっと読む）

任意の画素電極に電荷をチャージする。電荷がチャージされた画素電極に接続されたスイッチング素子をオフにした状態で、少なくとも１フレーム期間より長い期間電荷を保持する。電荷を保持した後、画素電極に対し電子ビームを照射し、画素電極から放出される２次電子の情報によって画素電極に関して検査する。
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【課題】
光学式異物検査装置とＸ線分光集光素子及び複数種の特性Ｘ線を使用する微小部蛍光Ｘ線分析装置との複合異物検査装置における各装置間の座標位置合わせを最適化する。
【解決手段】
Ｘ線分光集光素子を使用したＸ線光学系における最適測定高さへの位置合わせを行う高さ移動機構１１、及び複数種特性Ｘ線を使用した同数個のＸ線分析測定座標への位置移動を行うための水平移動機構３，４を備える。特に水平移動機構が回転ステージより構成される際はＸ線分析装置に別途一軸水平移動機構１２を備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線異物検査装置のメンテナンスを容易に行う。
【解決手段】 Ｘ線によって被検査物の異物検査を行うＸ線異物検査装置１において、一方の端部を自由端とし他方の端部を支持端とする片持ちのフレーム１０を備え、この片持ちフレームによって被検査物を移動する搬送機構３とＸ線検出器４を支持する構成とする。また、片持ちフレーム部分を開閉自在に被い、閉鎖状態を保持する器具を有するカバーを備える。片持ちのフレーム構成とすることによって、Ｘ線異物検査装置１の側面部分や底面部分に、支持のための脚部材が存在しない構成とすることができ、支持脚に干渉することなく工具や交換部品をＸ線異物検査装置内に挿入することができ、搬送用のベルト３３やＸ線検出器等の補修，清掃，あるいは部品交換等のメンテナンスを容易に行うことができる。 （もっと読む）

走査線駆動回路および信号線駆動回路の少なくとも一方の駆動回路を含む駆動回路部に電気信号を供給し、この駆動回路部を動作させ、画素電極に電荷をチャージする（Ｓ２）。電荷がチャージされた画素電極に電子ビームを照射し、この電子ビームが照射された画素電極から放出される２次電子の情報によってこの画素電極に関して検査する（Ｓ３）。駆動回路部に電気信号を供給する際は、電気信号供給パッドを介して供給する。電気信号供給パッドに供給された電気信号は、前記電気信号供給パッドから分岐して駆動回路部内の異なる領域に供給される。
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【課題】 従来の拡大再構成による拡大断層像に比して、より高画質の拡大断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 あらかじめ撮影された被写体の断層像の表示画面上で、拡大撮影すべき領域Ｃを指定すると、その指定内容と被写体Ｗの形状・寸法および回転軸Ｒに対する位置に係る情報を用いて、回転テーブル３を回転させたときに被写体ＷとＸ線源１との間に介在する最小隙間が所定の隙間となる位置に回転テーブル３を位置決めし、かつ、その状態で指定された領域がＣＴ撮影領域となるようにＸ線検出器２を位置決めし、その状態でＣＴ撮影することにより、可及的に空間分解能および濃度分解能の高い拡大断層像を得る。 （もっと読む）

本発明は、液晶表示パネルの構成部品であるアレイ基板の検査方法・検査装置に関する。
本発明のアレイ基板の検査方法・検査装置は、検査時間の短縮や設備の減縮を行うことができる。
本発明の検査方法・検査装置では、アレイ基板をテスタチャンバ内に配置した状態で、走査線駆動回路と信号線駆動回路の少なくとも一方を含む駆動回路部に電気信号を供給し（Ｓ１）、この駆動回路部を流れた電気信号を検出することにより前記駆動回路部を検査する（Ｓ２）。電荷がチャージされた画素電極に対して電子ビームを照射し、画素電極から放出される２次電子の情報によって画素電極に関する検査を行う（Ｓ５）。
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【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させ、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でＸ線を検出し、同検出されたＸ線に基づいて上記検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）

手荷物のＣＴスキャンの恐れのある物の判断方法は、バッグの完全な再構成の必要性をなくす。スキャン中にＣＴスキャンデータが解析され、考えられる恐れのある位置を特定する。この解析は、バッグ中の対象物を表現する線図に基づいて解析される。対象物の質量、大きさ、位置、及び原子番号は、この線図データに基づいて決定される。何らかの考えられる恐れは、データを変更し再構成して、恐れの表示を向上させる。２つのエネルギーのスキャンを使用して、考えられる恐れの解像度の密度の決定にも使用できる。
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【課題】半導体等を高速に検査できるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供する。
【解決手段】電子光学系を少なくても３本以上配置し、複数の電子源を搭載した電子銃室を試料室とは独立に真空排気することによって複数の電子源近傍の真空度を常に高真空に保つ。また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出する。 これにより、同一の回路パターン同士でほぼ同時に得られた検出信号を比較し、パターン検査の欠陥判定を同時に行う。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析法によって筒状電池の漏液の有無を高速で、且つ正確に判別することができる筒状電池の漏液検査方法を提供する。
【解決手段】筒状電池Ｂａを各々の軸心が互いに平行となる配置で搬送して漏液検査機構１２に通過させるときに、筒状電池Ｂａの封口側端面３３にＸ線３４を照射し、封口側端面３３から出た蛍光Ｘ線４０を検出窓３５から検出器３９に入射させ、その入射した蛍光Ｘ線４０中に電解液の成分に対応した蛍光Ｘ線４０が含まれていたか否かの分析結果に基づき筒状電池Ｂａの漏液の発生の有無を判別する。検出窓３５は、筒状電池Ｂａの搬送方向に対応する長さ寸法Ｌ１，Ｌ３，Ｌ５が筒状電池Ｂａの間隔Ｃ１，Ｃ２よりも小さく、且つ搬送方向に対し直交方向に対応する長さ寸法Ｌ２，Ｌ４，Ｌ６が筒状電池Ｂａにおける軸心に対し直交方向の断面形状の外形寸法Ｒ１，Ｒ２よりも大きい形状に設定する。 （もっと読む）

【課題】ミラー電子を使った電子線式検査装置においては、ウェハ上で予備帯電された領域の境界が像となって現れてしまい、正しい検査ができなかった。また、予備帯電は検査と同時に行われるため、照射時間を長くする必要がある場合、ステージの移動速度を遅くせざるを得ず、検査速度が遅くなってしまっていた。
【解決手段】予備照射のビーム源とウェハとの間に、そのサイズが可変な開口を設け、その大きさの一辺をウェハのチップ列の幅と等しくなるように設定し、かつ、チップ列と垂直方向へのウェハの動きに合わせて、開口も移動するように制御する。また、ステージの移動速度を遅くすること無く、ウェハの検査時のステージ移動途中に十分なビーム照射ができるように、その開口をチップ列と平行な方向に大きくするよう設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】エネルギー入力ビームをコリメートするための方法及び装置
【解決手段】特に対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための照射方法であって、少なくとも１つのエネルギー入力ビーム源（２１０）によって、複数の個々のエネルギー入力ビーム構成要素（３．１、３．２、３．３、・・・）を備える少なくとも１つのエネルギー入力ビーム（３）を生成することと、複数の投影方向に沿って、少なくとも１つのエネルギー入力ビーム（３）によって検査領域（２）を照射することとの各工程を備える方法において、このエネルギー入力ビーム構成要素（３．１、３．２、３．３、・・・）は、貫通穴を有し、エネルギー入力遮蔽材でできている少なくとも１つのビームマスク（２１１）によって形成されることを特徴とする方法。さらに、対象物を照射するまたは撮像するための撮像方法および装置が記述される。 （もっと読む）