【課題】 扉付きのＸ線遮蔽ボックスを用いることなく、Ｘ線の漏洩を確実に防止しながら被検査物の移動を簡易に行えるようにしたＸ線検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間に被検査物５を配置してＸ線を照射し、該被検査物５を上記Ｘ線カメラ２による撮像で検査するＸ線検査装置において、上記被検査物５を収容するトレイ１０を、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき側面１４はＸ線の遮蔽材料により形成する。上記Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間には、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイ１０が移動自在に挿入される挿入間隙４を設ける。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線異物検査装置のメンテナンスを容易に行う。
【解決手段】 Ｘ線によって被検査物の異物検査を行うＸ線異物検査装置１において、一方の端部を自由端とし他方の端部を支持端とする片持ちのフレーム１０を備え、この片持ちフレームによって被検査物を移動する搬送機構３とＸ線検出器４を支持する構成とする。また、片持ちフレーム部分を開閉自在に被い、閉鎖状態を保持する器具を有するカバーを備える。片持ちのフレーム構成とすることによって、Ｘ線異物検査装置１の側面部分や底面部分に、支持のための脚部材が存在しない構成とすることができ、支持脚に干渉することなく工具や交換部品をＸ線異物検査装置内に挿入することができ、搬送用のベルト３３やＸ線検出器等の補修，清掃，あるいは部品交換等のメンテナンスを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させ、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でＸ線を検出し、同検出されたＸ線に基づいて上記検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】エネルギー入力ビームをコリメートするための方法及び装置
【解決手段】特に対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための照射方法であって、少なくとも１つのエネルギー入力ビーム源（２１０）によって、複数の個々のエネルギー入力ビーム構成要素（３．１、３．２、３．３、・・・）を備える少なくとも１つのエネルギー入力ビーム（３）を生成することと、複数の投影方向に沿って、少なくとも１つのエネルギー入力ビーム（３）によって検査領域（２）を照射することとの各工程を備える方法において、このエネルギー入力ビーム構成要素（３．１、３．２、３．３、・・・）は、貫通穴を有し、エネルギー入力遮蔽材でできている少なくとも１つのビームマスク（２１１）によって形成されることを特徴とする方法。さらに、対象物を照射するまたは撮像するための撮像方法および装置が記述される。 （もっと読む）

【課題】 被測定物に対して斜めから測定波を照射し被測定物から反射される反射波の回折角から被測定物のひずみを測定するひずみ測定方法において測定精度を向上する。
【解決手段】 本発明のひずみ測定装置は、被測定物２４に所定の光束の測定波を照射する照射手段１０と、被測定物２４によって反射された反射波を検出する検出手段２０と、検出手段２０で検出される反射波を、被測定物２４中及び／又はその近傍に設定される測定領域から反射される反射波に制限する制限手段１６，１８と、検出手段２０で得られた検出結果を、前記測定領域とその測定領域内に存在する被測定物との幾何学的関係から補正する第１補正手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 任意の試料（生細胞など生の生物試料を含む）に対して、前処理を全く必要とせず、大気圧の状態で観察を行うことができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 真空筐体１００に電子透過膜（例えば、コロジオン膜）１３２付きの微小なオリフィス１３０を設けて差動排気を行う。また、電子線Ｂを走査する代わりに、可動ステージ２０２（特にスキャナ２０４）を用いて試料Ｓを走査する。さらに、試料Ｓを電子透過膜（コロジオン膜）１３２に近づけて、電子線Ｂの照射による試料Ｓからの反射電子Ｒ（および二次電子）を、高真空側の上部反射電子検出器３０４と大気圧側の下部反射電子検出器３０６（ならびに高真空側の二次電子検出器３０２）を用いて検出する。
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【課題】一台の装置で、小角散乱、Ｘ線回折、反射率測定等を容易に行える装置を提供する。
【解決手段】試料分析装置は、第１のＸ線収束ビームを試料表面に向け、第２のＸ線平行ビームを試料表面に向けるように構成された照射源を含む。動作アセンブリは、照射源を、Ｘ線が試料表面にかすめ角で向けられる第１の光源位置と、Ｘ線が表面に試料のブラッグ角近傍で向けられる第２の光源位置との間で移動させる。検出素子アセンブリは、照射源が、第１および第２の光源構成のいずれか、および第１および第２の光源位置のいずれかにあるときに、試料から散乱したＸ線を角度の関数として感知する。信号処理部は、検出素子アセンブリからの出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定する。 （もっと読む）

本発明の目的は、空孔または粒子のサイズを短時間で高精度に測定することができる空孔または粒子サイズ分布測定装置を提供することである。多孔質性の絶縁体膜３内に存在する空孔Ｙのサイズ、または薄膜中の粒子のサイズを測定する際に、絶縁体膜３を基板４の表面に形成して成る試料５に対して、入射角度が絶縁体膜３の全反射臨界角度より大きく、かつ基板４の全反射臨界角度の１．３倍を超えない所定の入射角度θｉで、Ｘ線Ｒを絶縁体膜３表面側から照射する。照射されたＸ線のうち、絶縁体膜３に入射して基板４の表面で反射された反射成分が空孔Ｙに入射せずに絶縁体膜３から出射した散乱成分であって、前記反射成分が空孔Ｙに入射せずに絶縁体膜３から出射したときの出射成分よりも出射角度が大きい散乱成分を検出する。
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【課題】 電子ビームの照射により生じる基板電流を検出する技術をさらに改善し、コンタクトホールの詳細な形状や半導体デバイスの内部状態を非破壊で検査する。
【解決手段】 平行電子ビーム２を試料５に照射して試料５に流れる電流を電流計９により測定する。電子ビーム２の加速電圧を変えて測定を繰り返し、データ処理装置１０において、加速電圧の違いによる試料５への電子ビーム２の透過率の違いに基づく電流値の違いから、試料５の深さ方向の構造に関する情報を求める。 （もっと読む）

【課題】斜出射ＥＰＭＡ分析において、複数の波長分散形Ｘ線分光器に対するＸ線取出し角度を簡単に設定できるようにする。
【解決手段】回転機構の上に傾斜角調整機構が載っている構造を有する試料ステージに分析試料を載置する。波長分散形Ｘ線分光器と同一のＸ線取出し各度に設定されたエネルギー分散形Ｘ線分光器を用いて、分析に用いる特性Ｘ線の全反射角またはその近傍の取出し角度になるように分析試料の傾斜角度を設定する。分析試料の傾斜角度を保ったまま、各々の波長分散形Ｘ線分光器のＸ線取出し方向に試料を回転させて測定を行う （もっと読む）

【課題】 本発明は、露出制御回路を含み、それによりＸ線画像の過剰露出領域によるＸ線源の設定に関する逆効果を防止するＸ線検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、Ｘ線源１の調節用の制御信号を供給する露出制御回路２０よりなる。露出制御回路２０は過剰露出の生じないＸ線画像の領域から制御信号を決定する。このため、露出制御回路は、電子画像信号の信号レベルとＸ線装置の設定、例えば高電圧及びＸ線源の陽極電流に依存する上限値とを比較して、Ｘ線検出器５，８，７によりＸ線画像から形成される測定部分を電子画像信号から決定する。 （もっと読む）

【課題】 発泡体に内部欠陥としてボイドがあるか否かを検査者毎にばらつきなく非破壊でかつ内部欠陥の有無を容易に判断し得る発泡体内部検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 発泡体１を挟んでＸ線源１１と対峙する位置にＸ線検出装置１２を配置し、発泡体１を透過したＸ線を検出する。Ｘ線検出装置１２で検出した画像データを解析装置１３に格納する。画像データはＸ線の透過量分布を示すので、気泡分布計算部１３ｂで画像データを２値化して画素毎に黒白を決定し、Ｘ線の透過量の多い白の画素をつないで発泡体１内の気泡分布を計算する。判定処理部１３ｃにより、計算した気泡分布で白の領域の面積を計算し、基準面積と比較して上記領域がボイドであるか否か判断して発泡体１が良品か否か判断する。 （もっと読む）

【課題】 サンプルの迅速なＸＲＲ及びＸＲＤに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。
【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってＸ線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したＸ線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したＸ線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも１つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したＸ線を検出器アレイが検知する第１の構造と、サンプルのＢｒａｇｇ角の近傍において、表面から回折したＸ線を検出器アレイが検知する第２の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。 （もっと読む）

【課題】 実用的な寸法形状で、十分に強度の大きい軟Ｘ線を取り出せる横型Ｘ線管などを提供する。
【解決手段】 筒状の筐体4 内にその軸方向Y に並ぶフィラメント2 とターゲット3 を有し、陰極であるフィラメント2 から放射した熱電子e_tを陽極であるターゲット3 に衝突させて、そのターゲット3 から筐体の側壁4aに向かうＸ線B を窓7 を介して出射する横型のＸ線管1 であって、筐体の側壁4aから外方向X に突出する筒状で非磁性体の突出部8 を有し、その突出部8 の先端部に前記窓7 が設けられており、突出部の側壁8aを外側から挟むように磁石10A,10B を有することにより、突出部8 を含む空間に磁場を形成して、ターゲット3 からの散乱電子e を窓7 へ到達しないように偏向させる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置の稼動状況が非定常状態の場合であっても、良品側の搬送経路に不良品が混入することを防止できるＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】物品の搬送方向から見てＸ線検査システムの上流側または下流側の装置が停止することにより、Ｘ線検査システムの稼動状況が非定常状態となった場合、Ｘ線検査システム１の動作モードは停止モードに移行させられる。そして、停止モード移行時にＸ線検査システム１に滞在していた物品は、所定の数式によって求められる時間が経過するまでの間、Ｘ線検査装置による検査の結果に基づいて良品用および不良品用のコンベアのいずれかに振り分けられる。これにより、非定常状態となっても不良品が良品用のコンベアに振り分けられることを防止できる。また、非定常状態となってＸ線検査システムの動作が停止しても、シールドボックス内に物品５が残存するという問題も生じない。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物内の爆発物等を同定することができ、且つ、検査時間を短時間化する。
【解決手段】 検査対象物２にＸ線を照射して得られるＸ線像に基づいて爆発物等が存在する可能性が高い特定部位を抽出し（５、７、８、１２）、該抽出した特定部位にテラヘルツ波を含む電磁波を照射し（１１）、前記特定部位における前記電磁波の吸収スペクトルまたは反射スペクトルの少なくとも一方に基づいて爆発物等の有無を探知する（１２）。 （もっと読む）

【課題】
従来の中性子ラジオグラフィやトモグラフィでは実空間構造情報が得られない欠点を解消し、結晶粒又は磁区の方位情報をも含めた測定を可能とする新しい３次元マッピング法を提供する。
【解決手段】
パルス中性子源から導かれた中性子ビーム孔と移動機構を備えた試料部分とコリーメーターとスリットを備えたカウンター部分からなり、試料の一部分に中性子ビーム孔を絞ることで、その部分のみの原子核及びスピンの構造情報を測定し、試料全体の構造分布をマッピングする方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ビームを形成する装置において、そのスリットの心合わせは重大な困難を生じ、そのサイズが小さく、かつ複数の場合は特にそうである。
【解決手段】プレートと、該プレートに形成された開口とを備え、該開口は頂点に収束する輪郭を有し、さらに、その頂点から既知の距離で前記プレートに形成された口と、Ｘ線ビームを配向する際にフィードバックとして使用されるＸ線検出器とを備え、Ｘ線ビームは、前記開口を通過してＸ線検出器へ至るよう配置され、Ｘ線ビームおよび前記開口が相互に対して移動され、Ｘ線ビームは、Ｘ線検出器のフィードバックを使用して前記頂点まで移動し、Ｘ線ビームは、前記口まで前記既知の距離を移動するＸ線ビームを形成する装置。 （もっと読む）

【課題】 簡素化された構成で、転がり易かったり滑り易かったりする物品の検査とシールドボックスの搬入口及び搬出口からの一次散乱Ｘ線の漏洩防止とが両立するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 シールドボックス本体１１を水平に貫通して、両端部が搬入口及び搬出口から突出する第２搬送コンベア６を設ける。また、第２搬送コンベア６の上流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より高い搬送面を有する第１搬送コンベア５を連設し、該第１搬送コンベア５の下流側端部で前記搬入口を覆う。また、第２搬送コンベア６の下流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より低い搬送面を有する第３搬送コンベア７を連設する。そして、シールドボックス本体１１の下流側に防護カバー１３を連設し、該カバー１３の後壁面１３ａを前記第２搬送コンベア６の搬送面の高さまで垂下させる。 （もっと読む）

【課題】 装置に設けられる検知手段を減らして、コストを削減し、安価で充分な安全性を確保する。
【解決手段】 開口部４を有する筐体２と、開口部４内に着脱可能に配設されて開口部４の下面を遮蔽し、被検体を搬送する搬送手段１０と、開口部４の前面を開閉可能に遮蔽するとともに筐体２及び搬送手段１０に支持される遮蔽扉１５と、遮蔽扉１５の開閉状態を検知して信号を出力する検出手段としてのインターロックスイッチ１６と、開口部４内にて被検体にＸ線を照射するＸ線照射手段４０と、被検体を透過してくるＸ線を検出して被検体中における異物の混入を検出するＸ線検出手段５０とを備える。 （もっと読む）