【課題】
回路パターンを有する半導体装置等の検査において、陰影コントラストの強調された像を取得することを可能にし、浅い凹凸の微細な異物等を高感度に検出することを可能にする荷電粒子ビーム検査技術を提供する。
【解決手段】
高分解能観察の為に電子光学系の対物レンズに電磁重畳型対物レンズ１０３を用い、その対物レンズを用いて電子ビームを細く絞り、対物レンズ内にアシスト電極１０６と左・右検出器１１０、１１１を設け、その電子ビームを試料１０４に照射することで発生する二次電子の速度成分を選別し、さらに方位角成分を選別して検出する。 （もっと読む）

【課題】中性子モデレータ及び中性子照射方法並びに危険物質検出装置において、発生する２次ガンマ線を低減して必要となる高速中性子及び熱中性子を取り出し可能とし、危険物質の構成元素に拘らず高精度にこの危険物質を検出可能とする。
【解決手段】検査対象物Ａを挿入及び排出可能な検査室２１を設けると共に、この検査室２１の周囲に熱中性子吸収材１５を設け、検査室２１内で検査対象物Ａに対向して中性子発生源１１を配置する一方、中性子発生源１１に対して検査対象物とは反対側に中性子減速材１２を配置し、中性子減速材１２の周囲をガンマ線遮蔽材１３，１４により被覆し、検査対象物Ａから発生するガンマ線を検出するＧｅ検出器２４及びＢＧＯ検出器２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバの外部からの外光を遮断しつつ、走査光学系の光ビームを真空チャンバ内部に導いて試料上を走査することが可能となる真空チャンバ装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバの内部に設けられ、試料を載置し、任意の方向に移動可能とする真空試料ステージ部と、真空チャンバの外部に配置され、試料を走査するための走査ビームを出射、偏向する走査光学系と、真空チャンバと走査光学系とを連結するとともに、真空チャンバ内部へ入射する外光を遮光する外光遮光手段と、真空チャンバと外光遮光手段との連結部分に設けられ、走査ビームが透過可能な内部観察用手段と、走査光学系から出射された走査ビームを、外光遮光手段及び内部観察用手段を介して真空チャンバの内部に導く走査ビーム折り返し手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】十分なＸ線遮蔽能力と共に柔軟性を備えたＸ線遮蔽材であって、鉛やタングステン等のＸ線遮蔽金属の粉体の脱落が防止されたＸ線遮蔽材の提供。
【解決手段】Ｘ線遮蔽性金属によって構成された柔軟性構造体からなることを特徴とする、Ｘ線遮蔽材。 （もっと読む）

【課題】散乱イオンのエネルギースペクトルを測定するにあたり、特定の散乱イオンを検出対象から除外するためのデフレクタに求められる必要電力を削減する。
【解決手段】散乱イオン１８をそのエネルギーに応じて第１の方向に偏向する磁気形成手段２４と、その偏向された散乱イオンの到達位置を検出するイオン検出器２８と、特定のイオンを検出対象から除外するデフレクタ２６とが用いられる。デフレクタ２６は、イオン検出器２８に向かう散乱イオン１８を第１の方向と直交する第２の方向に偏向する電場を形成して、当該第２の方向への偏向量が一定以上の散乱イオンを前記イオン検出器の散乱イオン検出可能領域から逸脱させる。その電場は、当該電場を通過する散乱イオンのエネルギーが大きいほどその偏向量を大きくするような強さ分布または形状を有する。 （もっと読む）

【課題】作業性の極めて優れたＸ線分析装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線照射室３１を形成する本体ブロック３と、前記本体ブロック３の試料側端部に設けられ、一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるＸ線通過孔４１２を有する通過孔部材４と、隔膜Ｆを保持するとともに、前記通過孔部材４に取り付けられて、前記Ｘ線通過孔４１２の試料側に前記隔膜Ｆを固定する膜固定部材５と、を備え、前記通過孔部材４が本体ブロック３に取り付けられている状態において、前記通過孔部材４と前記膜固定部材５とを弾性固定部材６により着脱可能に構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率的に高解像度で長尺状の被検査物をＸ線検査する。
【解決手段】被検査物であるテープ２２を一定速度で搬送しながらＸ線を透過させ、透過したＸ線を、外周面に輝尽性蛍光体を備えた回転する回転ドラム６０に照射する。Ｘ線の照射位置よりも回転方向下流側で励起光Ｌａを走査照射し、輝尽性蛍光体から発する輝尽発光光Ｌｂをフォトマルチプライヤー７８で受け、２次元のＸ線画像を得る。励起光Ｌａを走査照射した位置よりも回転方向下流側では、消去光を照射して残像を消去する。残像の消去された輝尽性蛍光体は、回転ドラム６０の回転により再び、Ｘ線照射位置に戻るので、長尺状のテープ２２を順次Ｘ線検査することができる。 （もっと読む）

【課題】散乱角の小さい散乱イオンを優先的に採取することによって高い測定精度を得る。
【解決手段】イオンビーム１５が照射された試料から散乱する散乱イオンのエネルギースペクトルを測定するための装置であって、磁場が形成された真空容器内で前記散乱イオンを検出するイオン検出器と、このイオン検出器と前記試料との間の位置に設けられるイオン選別用のアパーチャ１６とを備える。アパーチャ１６は、イオンビーム１５の通過を許容する開口３０を有し、特定の散乱角を有しかつ前記磁場により前記イオンビーム１５のビーム軸に特定の位置で収束するイオンのみが前記開口３０を通過する位置に設けられる。この開口３０の周縁部１６ａにはテーパー面３６やテーパー面３８が形成される。 （もっと読む）

【課題】回折角度２θの高角度領域において分解能が高く、低角度でバックグラウンドが低く、しかもスリット幅の制御が非常に簡単であるＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源Ｆと、Ｘ線検出器１０と、発散スリット２と、散乱スリット８とを有するＸ線回折装置である。試料Ｓへ入射するＸ線Ｒ_１の入射角度θは測定に際して所定角速度で変化し、Ｘ線検出器１０による回折線検出角度２θはＸ線入射角θの２倍の角速度でθ方向と逆方向に変化する。発散スリット２のスリット幅はＸ線照射幅Ｗ_０が常に試料幅Ｗ_Ｓに一致するように変化し、散乱スリット８のスリット幅は一定値に保持される。発散スリット２と散乱スリット８のうちのスリット幅が狭い方のスリットによってＸ線検出器１０に入るＸ線が規制される。高角度領域における分解能を高く維持できる。 （もっと読む）

【課題】簡便な装置構成によって、バックグランドのガンマ線などを弁別しかつ中性子のイメージを測定可能とする中性子強度分布測定装置を提供する。
【解決手段】中性子照射により蛍光を発生するシンチレータ３と、ＸＹ方向のそれぞれの両端から出力信号Ｖｘ１、Ｖｘ２、Ｖｙ１、Ｖｙ２を取り出す構造の位置検出型光電子増倍管４とを組合わせる。信号処理装置５では、該出力信号のパルス幅により、中性子と他の粒子との弁別を行うとともに、各信号の強度比またはパルス幅の差から中性子照射位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】
通常の単一エネルギーのみを使用するパルス中性子非弾性散乱測定では、使用したいエネルギーのパルス時間幅とチョッパーの開口時間幅をほぼ等しくなるように調節することで最適な実験条件を実現させてきたが、複数の入射エネルギーを使用するＲＲＭ法においては、チョッパーの開口時間幅が常に一定になってしまうため、パルス中性子の有する複数の入射エネルギーで同時に最適な実験条件を実現させることができなかった。
【解決手段】
スリットパッケージを構成する中性子吸収材の両面に中性子スーパーミラーを貼付することにより、透過できなかった中性子ビームをミラーによる反射で透過させ、実効的なチョッパー開口時間幅の中性子エネルギー依存性を、中性子源におけるパルス時間幅の中性子エネルギー依存性に、広いエネルギー範囲に亘って近付けようとするものである。 （もっと読む）

【課題】測定対象物表面に放射線を照射する放射線源が，単純な平面的なものであったので，微小な測定対象や，局所的な元素分析が必要なときにも，広い範囲に放射線を照射してしまうという欠点を解消すること。
【解決手段】上記放射線源が，上記測定対象物表面の放射線照射点に対向する円錐面状に形成されてなり，且つ上記放射線源を保持する放射線源ホルダに，上記放射線源から上記測定対象物表面の放射線照射点に向けて先細りする放射線通路が形成されてなることを特徴とする粒子線励起Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線によって高い空間分解能で被検体の表面形状を検査できるようにする。
【解決手段】Ｘ線検査装置に、真空容器５に収められたリング状の電子エミッタ６およびリング状のＸ線ターゲット７を備える。リング状のＸ線ターゲット７から放出されたＸ線は、すべて所定のＸ線照射領域１１に向かう。このＸ線は、被検体に照射され、被検体から放たれる散乱または蛍光Ｘ線１２は、反射Ｘ線コリメータ２を通って、Ｘ線二次検出器３によって検出される。リング状のＸ線ターゲット７から放出されるＸ線９は、すべて所定のＸ線照射領域１１に向かうため、Ｘ線ターゲット７の熱衝撃を大きくすることなく、Ｘ線強度を増加させ、検査精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】出射側開口端から被検査体までの作動距離を長くすることができ、表面に凹凸がある被検査体の分析、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線回折分析を被検査体の大きさに拘わらず行うことができるＸ線集束素子及び該Ｘ線集束素子を備えるＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線遮蔽部材２３は、入射側開口端の口径（キャピラリ２０の外径）と略同径の環状部材２３２からＸ線遮蔽部材２３を支持する３本の支持部材２３３をＸ線遮蔽部材２３の中心に向かって設け、環状部材２３２をキャピラリ２０に固定している。環状部材２３２、支持部材２３３、Ｘ線遮蔽部材２３は、タンタル、タングステン、モリブデンなどのＸ線を遮蔽する金属を用いて一体成形により形成する。Ｘ線遮蔽部材２３の軸方向寸法（厚さ）は、Ｘ線を遮蔽するのに十分な寸法に設定する。 （もっと読む）

【課題】 カメラ長を短くし、もって、多くのラウエ斑点を観察することが可能であり、かつ、その分解能にも優れた背面反射Ｘ線回折像観察装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管１０からのＸ線を試料４０に投射して得られる反射Ｘ線回折像を、Ｘ線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた暗箱２０を介してCCD素子３１に導いて背面反射Ｘ線回折像を観察する背面反射Ｘ線回折像観察装置は、暗箱の一面にコリメータ１５を垂直に取り付け、それに対向する面には透過型の蛍光板を設け、更に、その内部には、透過型蛍光板上に形成された可視光像を暗箱のその他の面に取り付けたCCD素子に導くための鏡面を配置しており、コリメータは第１のピンホールＰ１と第２のピンホールＰ２を備えると共に、蛍光板上に設けられた第３のピンホールＰ３（２７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】結晶相のみの試料であっても標準試料を要することなく非点収差の補正が可能な、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡の観察位置に試料を位置させるための試料ホルダー（３０）は、内部に段差（１３）を有する第１の開口（１２）が形成された試料ホルダー本体（１０）と、前記段差（１３）によってその周縁の一部が支持されることにより前記第１の開口（１２）内に回転可能に収納されかつ中心部に前記試料（７）を保持するための第２の開口（１５）を有する試料保持部材（１１）と、前記第２の開口（１５）を少なくとも一部を残して被覆する非晶質材料膜を備えたカバー部材（２０）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】頻繁に試料を回転させることなく、また正確な試料の面合わせを必要とせず、高精度に結晶材料の構造あるいはひずみを測定できるイオン分光分析装置を提供する。
【解決手段】散乱角１８０°（観察角０°）を取り囲む方向と散乱角１３５°（観察角４５°）を取り囲む方向に二次元位置敏感・時間分析型検出器１４，１５を配置する。 （もっと読む）

【課題】ソーラスリットを設けるための空間を節約することができ、この空間の節約によりＸ線強度を上げることができるＸ線供給装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源から発生したＸ線Ｒをソーラスリット１８の後方へ供給するＸ線供給装置である。ソーラスリット１８は、スペーサ２８によって互いに間隔をおいて積層された複数の金属箔２７を有し、スペーサ２８はＸ線進行経路の片側において金属箔２７の一端部を支持し、Ｘ線源からのＸ線Ｒはスペーサ２８によって支持された金属箔２７の一端部に隣接する端部から入射し、その端部の反対側の端部から出射し、複数の金属箔２７のうちスペーサ２８によって支持された一端部と反対側の端部は開放端である。Ｘ線Ｒの進行経路に対して直角の方向に沿って金属箔２７の開放端に対向してモノクロメータ又は試料が設けられる。 （もっと読む）

【課題】特定の散乱イオンのみを通過させる散乱イオンの弁別性能を確保しつつ、測定室内において圧力差を生じさせないイオン弁別手段（アパーチャ）を具備する平行磁場型ラザフォード後方散乱イオン測定装置を提供すること。
【解決手段】特定の散乱イオンを通過させるイオン通過用開口部Ｚａの周りに形成された散乱イオンの遮断部Ｚｂに、イオンビームＨの軸を中心とする放射線に沿って伸びる複数のスリットＺｃが設けられ、このスリットＺｃは、板状の遮断部ＺｂにイオンビームＨの軸方向に対して斜め方向Ｒ１に測定室２０内の試料側２０ａとイオン検出器側２０ｂとを連通させるよう形成されており、イオンビームＨの軸方向から見て相互に重なり合う部分５１、５２を有することにより、イオンビームＨの軸方向から見て隙間が形成されない状態となってアパーチャＺ１が構成されている。 （もっと読む）

【課題】構成部品の増大につながるプリズムを用いることなく、ＣＣＤが放射線に晒されないようにする。
【解決手段】放射線を出射する放射線源２と、該放射線源２から出射された放射線を可視光に変換する平板状の波長変換手段３と、該波長変換手段３により変換された可視光を撮像する撮像手段４とを備え、波長変換手段３が、放射線に対して傾斜して配置され、撮像手段４が、放射線の経路外に配置されている放射線観察装置１を提供する。 （もっと読む）