【課題】光軸調整が容易で耐環境性が向上した小型の誘導ラマン分光ガス分析装置でガス濃度分析の精度を向上させること。
【解決手段】 ポンプ光とプローブ光を測定対象に入射させ、誘導ラマン利得または損失スペクトルを測定する誘導ラマン分光誘導ラマン分光ガス分析装置において、前記ポンプ光と前記プローブ光とを合波してファイバから前記測定対象に出射するＷＤＭ光合波手段と、前記ＷＤＭ光合波手段から出射される前記合波光を集光して前記測定対象に入射させる第１の集光手段と、前記測定対象を透過した透過光を集光して前記分光手段に入射させる第２の集光手段と、前記透過光からポンプ光を除去する分光手段と、前記分光手段から出射されるポンプ光が除去された前記透過光の強度を測定し前記測定対象を分析する分析部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アブレーションレーザ光を照射して生成したプラズマに共鳴波長のレーザを照射して発生させた元素のレーザ誘起蛍光を測定する際に、試料面上のアブレーションレーザスポット位置やスポット面積の変動によって測定値が変動し、精度が劣化する問題を解決する。
【解決手段】アブレーションレーザ光ａの一部を反射して分岐するレーザ光分岐素子８とレーザ分岐光ａ２のスポット位置と面積を測定するための撮像素子１２とを備え、レーザ分岐光ａ２のスポット位置と面積の測定結果に基づいて、レーザ光反射ミラー５の仰角やレーザ光集光レンズ３の光軸上の位置を制御することによって、アブレーションレーザ光ａのスポット位置と面積の変動による測定値の変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】アルゴンガス中に微量窒素と共存し得る一種以上の成分の影響を排除して、窒素濃度を正確に測定することができる簡便な方法を提供する。
【解決手段】試料アルゴンガスを放電管に導入し、前記放電管内で無声放電して発生した光から、窒素ガスに特有な波長の光を分離して光センサーに導入し、前記光センサーによって検知された前記波長の光の強度に基づいて、試料アルゴンガス中の窒素ガス含有量を測定するアルゴンガス中の窒素濃度の測定方法であって、前記試料アルゴンガスを前記放電管内に導入する前に、窒素ガスに特有な波長の光に干渉がある成分を当該試料アルゴンガスから除去することを特徴とするアルゴンガス中の窒素濃度の測定方法である。 （もっと読む）

【課題】ルテノセンまたはルテノセン類似構造化合物から、ルテニウム試料を製造する方法を提供する。またその中に含まれるルテニウムを測定する方法を提供する。
【解決手段】ルテノセンまたはルテノセン類似構造化合物（具体的例示（２，４−ジメチルペンタジエニル）（エチルシクロペンタジエニル）ルテニウム）に濃硫酸を加え、次いで前記濃硫酸の０．５〜５倍体積量の濃硝酸を加えることにより、ルテニウム試料を製造し、その試料中のルテニウムを測定する。 （もっと読む）

【課題】噴霧効率を維持しつつ、塩の析出を低減すること。
【解決手段】一端部に噴霧口（１２ｂ）が形成された筒状の外筒（１２）と、前記外筒（１２）の内部に同軸に配置され且つ前記外筒（１２）との間で噴霧用のガスが流れるガス流路（Ｒ１）が形成される筒状の中筒（１３）と、中筒（１３）の内部に同軸に配置され且つ中筒（１３）との間に隙間をあけて配置された筒状の内筒（１４）と、内筒（１４）の内部に形成されて噴霧口（１２ｂ）に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路（Ｒ３）と、中筒（１３）の先端と外筒（１２）との間のガス出口（２４）に近づくに連れて、断面積が小さくなるように形成されたガス流路（Ｒ１）と、試料流路（Ｒ３）の一端に形成され且つガス出口（２４）と噴霧口（１２ｂ）との間に配置された試料出口（２５）と、を備えたことを特徴とする噴霧器（３）。 （もっと読む）

【課題】 発光電源にかかる負荷を適切に管理することにより、発光電源のメンテナンスを適切な周期で実行できる発光分析装置システムの提供。
【解決手段】 固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行うことで発生した発光光が導入されることにより、発光光を輝線スペクトルに分光する分光器４と、複数の受光素子５ａを有する光検出器５と、１回の発光分析で発光電源３３によって対向電極３にパルス状の電圧を印加することにより、固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で複数回の放電を行う発光電源部３０と、輝線スペクトルの強度を示す測定データを取得する発光分析装置制御部４１と、元素の濃度を算出するデータ処理部２０とを備える発光分析装置システム１であって、発光電源部３０は、固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行った放電回数を計数することにより、放電を過去に行った累積放電回数を記憶する記憶部３２を備える。 （もっと読む）

【課題】鉛の検出限界を下げることができる分析方法を提供すること。
【解決手段】試料中に含まれる鉛の分析方法であって、試料から鉛以外の元素であって、かつ２２０．３３〜２２０．３８ｎｍの範囲に発光スペクトルを有する元素を除去する工程と、前記元素を除去した前記試料について、２２０．３３〜２２０．３８ｎｍの範囲における発光スペクトルを測定する工程とを含む、鉛の分析方法。 （もっと読む）

【課題】 固体材料以外の水素の影響をほぼ完全に除去して、当該固体材料に含まれる水素濃度の定量分析を正確に行うことができる水素分析方法及びその装置の提供を目的とする。
【解決手段】 固体材料表面の測定部位に不活性ガスを供給するガス供給工程と、前記測定部位に向かってレーザーを照射することで前記測定部位にプラズマを発生させるレーザー照射工程と、レーザー照射中においてプラズマから発せられる光を測定して、測定された水素の発光波長の発光強度に基づいて前記固体材料に含まれる水素濃度を分析する分析工程とを有し、前記ガス供給工程では、少なくともプラズマが発生した領域における前記不活性ガスの圧力が、前記測定部位の周囲の圧力よりも高圧になるように、前記不活性ガスを供給する水素分析方法である。 （もっと読む）

【課題】より簡単かつ堅牢な構成で、空間的分解能の高い観測ができるようにする。
【解決手段】高次高調波発生装置４１は、パルスレーザを標的Mに照射することにより、高次高調波を発生させる。高速CCDカメラ４２は、高次高調波を検出し、デジタルの信号としてイメージング装置４３に出力する。イメージング装置４３は、高次高調波のスペクトル強度を演算し、演算により得られた高次高調波のスペクトル強度と、標的に依存しない再結合電子波束のエネルギー分布との比を演算することにより、標的Mの光再結合断面積スペクトルの実測値を演算する。そして、イメージング装置４３は、演算により得られた光再結合断面積スペクトルの実測値に基づいて、標的Mを同定し、標的Mの画像をディスプレイ４４に表示させる。本発明は、例えば、原子または分子の構造を観察する観察システムに適用できる。 （もっと読む）

【課題】安定して連続稼動できるだけの耐久性能を有し、現場で複雑な前処理なしに処理水中の微量元素を連続測定するこができ、かつメンテナンスの容易な連続式濃度測定装置及び方法の提供。
【解決手段】レーザ誘起ブレークダウン分光法により分析対象元素の濃度を分析する連続式濃度測定方法及び装置であって、レーザ発振装置から所定の間隔で発振される第１及び第２のパルスを所定の周期で試料セルに照射し、第２のパルスの照射時刻から遅延時間をおいて、予め選択された発光スペクトルを分光器で分離して受光素子で受光し、受光した発光スペクトルを積算して分析対象元素の濃度を所定の周期で分析するに際し、プラズマ光をレンズで集光し、一方の端部が放射状に配置された素線で構成され、他方の端部が分光器のスリット形状に合わせて行列状に配置された素線で構成されたバンドルファイバを介して分光器に導光する方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】溶鋼湯面にレーザを照射して生成した元素固有の波長の発光を測定する溶鋼連続モニタリングにおいて、レーザ照射ランスが受ける熱影響に起因する精度劣化の問題を解決する。
【解決手段】第３の円筒管２３の周囲に、第３の円筒管２３と同軸の第１、第２の円筒管２４、２５で仕切られたガス流路を２重に設け、ランス２０の上部の不活性ガス導入口２２より流入させた不活性ガスが、最外側のガス流路（第１の空間４１）を通りランス２０の下部（第２の空間４２）で折り返した後、内側のガス流路（第３の空間４３）を通過し、ランス２０の上部（第４の空間４４）にて第３の円筒管２３の内部２６に流入し、ランス２０の下部（開口部３１ａ）より噴出する。 （もっと読む）

【課題】製造された全ての半導体基板の所定の測定点における少なくとも応力と膜厚とを自動的に測定し、かつ、的確に分析して高性能で生産性よい基板製造工程の確立に寄与する基板検査装置を提供できるようにする。
【解決手段】測定対象ウェハ３を移動可能な試料台４上に搬送する搬送装置と、試料台４上のウェハ３表面の測定点Ｐを観察する光学顕微鏡１０と、その測定点Ｐに多波長の偏光された光Ｌ₃を照射してウェハ表面に関する情報を出力するエリプソメータ光学系４０と、ウェハ３の測定点Ｐにレーザ光を照射してウェハ３に関する他の情報を出力するラマン分光光学系２０と、それら情報を用いて膜厚・屈折率及び応力・組成などの物理情報を解析し出力するコンピュータ６０とを備えている。 （もっと読む）

化学工程で気相物質を定量的に監視するための方法が提供され、その方法は、対象の１つ又は複数の反応気体を含む供給気流を提供する段階；ラマン分光装置からの干渉性放射に供給気流を曝露させる段階；供給流中の気体成分の各々からラマンスペクトル信号を得る段階；スペクトル信号を分析して気体成分の各々の存在及び濃度を判定する段階；並びに、分析の結果を提示する段階を含む。一実施形態では、本方法は高純度シリコンの製造法で気相物質を定量的に監視することに役立つ。
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【課題】微量成分の濃度と到達時間とを用いて作成した検量線によって測定する方法によらず、消光曲線の近似曲線の始点における傾きに基づいて微量成分の濃度を高精度に測定する。
【解決手段】微量成分を含まないブランク溶液と複数種類の濃度の微量成分をそれぞれ含む標準溶液とを対象として、蛍光強度の時間変化を示す複数の消光曲線を取得する第１工程と、複数の消光曲線を１階微分可能関数により近似する第２工程と、１階微分可能関数の始点における微係数を算出する第３工程と、複数の始点微係数とブランク溶液及び標準溶液に含まれる微量成分の濃度とを用いて検量線を作成する第４工程と、濃度が未知の微量成分を含む試料溶液を対象として取得した消光曲線を１階微分可能関数にて近似し、その始点微係数及び検量線から試料溶液中の微量成分の濃度を求める第５工程と、を有する。 （もっと読む）

本発明は、鋼ストリップ（１）の表面に被着された金属皮膜層のスペクトル分析のための方法であって、ストリップが、該ストリップに接触することによって該ストリップを案内する円筒状の壁部を有する回転するロール（８）の外面円弧（８１３）に沿って移動させられ、レーザアブレーションビームが、ロールの外面に対して垂直な軸線（４１）に沿って、ストリップ及びロールの目標接触点（１１）に選択的に入射するように、内部キャビティを通って円筒状の壁部へ供給され、ビームが、該ビームに対して透明な壁部開口（８１１）を通って壁部を通過し、接触点のレーザアブレーションからのスペクトルプラズマ放射分布が、スペクトル測定ユニットへ供給されるために、ロールの外面に対して垂直な軸線（４１）に沿って、開口を通って、光学的フィードバックによって収集され、入射及びフィードバックのために使用される外面に対して垂直な軸線が、ロールと同期した回転で移動させられることを特徴とする、方法に関する。本発明は、本発明の方法を実施するための複数の実施の態様を備える装置、及びこの装置の有利な使用にも関する。
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【課題】試料にレーザを照射して生成したプラズマからの発光を光ファイバー入射端面に集光して入射する際に、焦点距離の変動によって入射効率が変動する問題を解決する。
【解決手段】プラズマ発光ｃをレンズ７によって集光して光ファイバー受光端面１２に入射する前にプラズマ発光ｃの一部を分岐し、プラズマ発光分岐光ｃ_１を一定の位置に固定された撮像素子１４で検出してプラズマ発光分岐光ｃ_１の像寸法または像面積を監視し、この像寸法または像面積が一定の大きさに保たれるように集光レンズ７の位置を光軸方向に移動・調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ヘリウムガス雰囲気中で金属材料表面をレーザー照射して発光する水素の発光強度により金属材料中の水素を精度よく分析することができる水素分析装置及び方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】ヘリウムガスをガスボンベ８から密閉容器２内に供給して金属材料Ｓ表面の測定部位をヘリウムガス雰囲気に設定する。測定部位に向かってレーザー照射部５よりレーザーを照射して測定部位にアブレーションが生じないようにヘリウムガスをプラズマ化する。レーザー照射中においてプラズマ化したヘリウムガスの内部で発生する光を光ファイバ１５から分析部１６に伝送し、水素の発光波長の発光強度に基づいて測定部位に含まれる水素を定量的に分析する。 （もっと読む）

【課題】触媒層に含まれる電解質を容易、且つ高精度に検出することができ、その結果、当該触媒層内の電解質の分布や触媒粒子の分布等を解析する。
【解決手段】酸基を有する高分子化合物からなる電解質及び触媒を含む触媒部を有する構造体を、当該酸基に反応しうる結合部と標識部とを有するプローブ分子を含有する溶液に浸漬する工程と、上記標識部を検出することで、上記触媒部に含まれる上記電解質を観察する工程とを含む。上記構造体は、固体高分子電解質膜と上記触媒部とを接合した膜/電極接合体である。 （もっと読む）

【課題】 有機溶媒中に元素を含有する試料において、元素を高感度で分析することができる発光分光分析方法を提供する。
【解決手段】 発光分光分析用プラズマトーチ１０を用いてプラズマ炎２２を形成して、試料３１をプラズマ炎２２に導入することにより、元素を分析する発光分光分析方法であって、試料ガス管１１の内周面で囲まれた空間には、霧滴化された試料３１をキャリアガスとともに流通させ、試料ガス管１１の外周面と補助ガス管１４の内周面との間には、酸素を含有するガスを流通させ、補助ガス管１４の外周面とプラズマ用ガス管１２の内周面との間には、プラズマ用ガスを流通させ、プラズマ用ガス管１２の外周面とクーラントガス管１３の内周面との間には、冷却用ガスを流通させる。 （もっと読む）

【課題】迅速な乾式法による分析を適用しても、亜鉛めっき浴の組成を正確かつ簡便に分析できる溶融亜鉛の分析用サンプル容器およびそれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】側壁部と、前記側壁部から分離可能な平坦な底部とからなり、前記底部には冷却機構が備えられ、かつ少なくとも前記底部の溶融亜鉛と接する面がステンレス鋼、銅、グラッシーカーボン、窒化ホウ素のいずれかよりなる溶融亜鉛の分析用サンプル容器。 （もっと読む）