【課題】薄膜ヒータのオンオフに伴いベースに働く熱応力を、緩和する。
【解決手段】半導体基板のキャビティ８に、中心に孔１１を備えかつ薄膜ヒータを有する絶縁膜７を配置する。孔１１から見た絶縁膜７の一端とその反対側の端部との間に、孔１１の周囲を取り巻きかつ折り返すように薄膜ヒータが配置され、薄膜ヒータの各部は互いに直列に接続されている。孔の一方で他方に比べて薄膜ヒータの配線１２が１本少なく、孔の一方に薄膜ヒータと同材質でかつヒータ電流が流れないダミーの配線１６，１７が１本設けられている。
【効果】薄膜ヒータのオンオフに伴う熱応力を緩和できる。 （もっと読む）

【構成】
半導体チップの中空部に感ガス部を設けると共に、感ガス部に接続された複数のパッドを設ける。通気性のあるセラミックパッケージもしくはガラスパッケージの、半導体チップ側の面とその反対面とに配線を設けて、互いに接続する。パッケージのチップ側の面の配線に複数のパッドをフリップチップ接続する。
【効果】
ダイボンドもワイヤボンドも無しに、MEMS型ガスセンサをプリント基板へ組み付けることができる。 （もっと読む）

【構成】
半導体チップの一面に感ガス部を有する絶縁膜が設けられ、感ガス部の裏面で半導体チップにキャビティが設けられている。半導体チップは、一面から反対面へと貫通し、感ガス部に電気的に接続される導電性のビアと、反対面に設けられかつビアに接続される配線とを備え、感ガス部は半導体チップに固着された通気性のカバーで覆われている。
【効果】
パッケージへのダイボンドもワイヤボンドも無しに、ガスセンサをプリント基板に実装できる。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜メンブレン構造体において、ヒータを含むセンサを搭載する際に、薄膜メンブレンの熱絶縁性をさらに向上させながら、薄膜メンブレンの保持性をさらに向上させることである。
【解決手段】薄膜メンブレン構造体１０は、薄膜メンブレン２０と、薄膜メンブレン２０を保持する保持基板３０とを備える。保持基板３０は、薄膜メンブレン２０の上下面のいずれか一方側の面を保持面として保持面の周縁部を保持する周壁部と、薄膜メンブレン２０の周縁部の内側である内側部の少なくとも１箇所で薄膜メンブレンの保持面を保持する内側保持部と、周壁部と内側保持部とを接続しながら薄膜メンブレンの保持面との間に空隙３１を有する接続部とを含む。 （もっと読む）

【課題】望ましい多数のセンサー素子を収容し、さらに、自動車用途に使用するための実質的にすべての適用可能なサイズ制限、またはその他の望ましい工業環境に適合する、ガスセンサーデバイス中の部品として使用するためのガス検知装置および／または導電性装置を提供する。
【解決手段】（ａ）センサー素子と、（ｂ）センサー素子に電流を供給する導体とを含むガス検知装置であって、導体数対センサー素子数の比が約０．５８５以下である、ガス検知装置。 （もっと読む）

【課題】化学センサを具備する半導体装置の製造コストを低減し、あるいは、複数の測定原理によって精度の高い検出をする。
【解決手段】半導体装置は、第１のセンサ素子及び第２のセンサ素子を具備し、第１のセンサ素子は、第１の導電層と、第１の導電層上に形成された第１の感応膜とを有し、第２のセンサ素子は、第１の導電層とは異なる第２の導電層と、第２の導電層上に形成された第２の感応膜とを有する。センサ素子の製造方法は、センサ素子のうち導電層を半導体基板に又は半導体基板上に形成する工程（ａ）と、感応膜を構成する成分を含む液体を導電層上にインクジェット装置によって吐出して、感応膜を形成する工程（ｂ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】衝撃や振動等によるダイヤフラム構造体上に設けられた層状部の剥離を抑制すると共に、生産性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム構造体３９Ｄ、４９Ｄと、ダイヤフラム構造体の絶縁層上に形成されたガス検知層を含む層状部３１、４１と、ガス検知層を介して互いに接続する一対の検知電極３６Ａ，３６Ｂ、４６Ａ，４６Ｂと、電極取出し辺３Ｐ、４Ｐに沿って設置されて検知電極に接続する一対の検知パッド３３、４３とを有するガス検出素子３、４と、検知パッドに接続する基板側パッド２３が表面に形成され、複数のガス検出素子が一列に並ぶよう実装された配線基板２とを備え、ガス検出素子の下面Ｒ１と配線基板の表面との間に介装される第１接着層６１，６２と、隣接するガス検出素子の下面Ｒ２同士を跨ぐように当該下面と配線基板の表面との間に介装される第２接着層６３とを備えるガスセンサ１０である。 （もっと読む）

【課題】ウエハをメタルマスクで覆ってスパッタリングを行う際に、ウエハを覆うメタルマスクの位置を精度良く定めることができるダイヤフラム構造体を有する半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化性ガスを検知するガスセンサ素子の製造工程において、周知の方法によりシリコンウエハ１００の第二面１０１に電極５０，発熱体４０等を形成した後に、第一面１０２に、空洞部１２と、メタルマスクを保持する保持部材を取り付ける孔部７０を形成するための空洞部１４のパターニングを行う。そして、エッチング処理を行い空洞部１２，１４を形成し（図３（ａ）参照）、空洞部１４の底部をなす絶縁層２０を針等の貫通部材で貫通することにより、シリコンウエハ１００のデッドスペースに孔部７０を形成する（図３（ｂ）参照）。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によるガス中の水分濃度の測定結果の変化を抑制すると共に、高精度に水分濃度を測定することができる水分濃度検出装置を得ること。
【解決手段】ガス絶縁機器１０内の水分濃度と平衡状態となる水素イオン導電性の固体電解質膜２の温度を温度センサ３で検出し、発熱体４へ流す電流を制御することにより、固体電解質膜２の温度を一定の高温に保つ。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で、ガス中のフタル酸ジアルキルを検出できるガスセンサ及びガス検出方法を提供する。
【解決手段】メソポーラスシリカを充填した捕集カラム１と、捕集カラム１を加熱する加熱装置２と、ＳｎＯ_２を主成分としてなる金属酸化物の表面に、所定の細孔を持ったシリカマスクが形成されたセンサ素子４と、センサ素子４の電気抵抗値を測定する検出器５と、測定すべき空間から採取された空気を試料ガスとして、捕集カラム１に流通させると共に、同空気を脱離用ガスとして、捕集カラム１及び前記センサ素子４に流通させる空気流通手段とを備えているガスセンサを用いてガス中のフタル酸ジアルキルを検出する。 （もっと読む）

【課題】感湿性および加工性に優れ、容易かつ安価に製造可能な湿度センサ用感湿膜、および湿度センサの提供。
【解決手段】下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する導電性高分子を含む塗膜からなる、湿度センサ用感湿膜。


式（１）中、Ｒ^１〜Ｒ^４は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜２４の直鎖または分岐のアルキル基、炭素数１〜２４の直鎖または分岐のアルコキシ基、酸性基、水酸基、ニトロ基、ハロゲン原子であり、Ｒ^１〜Ｒ^４のうちの少なくとも一つは酸性基またはその塩である。 （もっと読む）

【課題】より簡便且つ安定的に長期間使用可能な水素センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る水素センサ１は、水素の吸蔵および放出により可逆的に物性値が変化する金属からなる水素感応体１０を、フィルム状、シート状または平板状の樹脂からなる基板１２の表面に薄膜状に形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体式薄膜ガスセンサにおいて、ガス検知の性能を十分に発揮させることである。
【解決手段】 薄膜ガスセンサ１０は、Ｓｉ基板の中央部に熱絶縁された薄膜メンブレン構造体と、薄膜メンブレン構造体上に形成される薄膜ヒータ３０と、感ガス膜７０と、ヒータ電極用中間膜層４２，４３と薄膜ヒータ電極４０，４１とを含む薄膜ヒータ電極部と、感ガス膜電極用中間膜層５２，５３と感ガス膜電極５０，５１を含む感ガス膜電極部とを有して構成される。ここで、ヒータ電極用中間膜層４２，４３はＴｉＮまたはＴａＮを含み、感ガス膜電極用中間膜層５２，５３は、ＴｉＯ₂またはＴａ₂Ｏ₅またはＡｌ₂Ｏ₃の少なくとも１つを含む。 （もっと読む）

【課題】検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うに、非検出対象ガスの影響を排除し、消費電力の低減を図ることができながらも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を短くして検知応答規定時間内に警報を発することが可能な技術を提供する。
【解決手段】ガス検知装置であって、筐体の外部に存在する検出対象ガスが筐体の内部に設けられたセンサ素子に到達してガス検知層にて検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することの検出が可能となる下限時間の検知応答時間と、筐体の外部に存在する検出対象ガスを筐体内のガス検知層にて検出することが必要とされる時間の検知応答規定時間とに関して、ガス種を判定するガス種判定手段による判定結果に基づいて、検出タイミングが、検知応答時間以上かつ検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、通常周期を変更する通電周期変更手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】水素ガスセンサに環境変動の影響があっても、高価な湿度センサ等を用いることなく適正に水素ガスを検出できる水素ガス検出装置、及び水素ガス検出方法を提供する。
【解決手段】プロトン導電層２と、プロトン導電層と触媒層３を介して接合される第一の電極層４ａと、プロトン導電層と接合される第二の電極層４ｂとが基板１０上に積層形成され、水素ガスに感応する水素ガス検知部と、水素ガス検知部に所定のモニタ電圧を印加したときに、電極層４ａ，４ｂ間に流れるモニタ電流値に基づいて水素ガス検知部の環境条件を検知する環境条件検知部２４と、モニタ電圧の非印加時に電極層間に発生する電圧値を、環境条件検知部により検知された環境条件に基づいて補正し、補正後の電圧値に基づいて水素ガス検知情報を出力する信号処理部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】湿度センサ素子と同一の基板に備えた電子部品から発せられた熱の影響を受けにくく、正確な湿度測定が可能な湿度センサを提供する。
【解決手段】湿度変化を測定する湿度センサ素子と、動作時に熱を発する電子部品を含む周辺回路と、湿度センサ素子及び周辺回路を外部回路に接続させるコネクタとを同一の基板に搭載した湿度センサにおいて、湿度センサ素子と電子部品を互いに平面的に重複しない位置で配置して、基板上に、湿度センサを設けたセンサエリアと、電子部品を設けた放熱エリアを設定し、放熱エリアの放熱性をセンサエリアの放熱性より高める放熱手段と、センサエリアと放熱エリアを熱的に分離する熱分離手段との少なくとも一方を設けた。 （もっと読む）

【課題】電池駆動型であって、感知薄膜にクラックが生じることなく信頼性が高く、消費電力が低減された薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】貫通孔を有する基板と、貫通孔を有する基板と、前記基板の第一の表面に接し、前記貫通孔の開口部を覆うように設けられた支持絶縁薄膜と、前記支持絶縁薄膜の反基板側表面上に設けられる薄膜ヒータと、支持絶縁薄膜およびヒータ層を覆うように設けられる層間絶縁膜と、さらに前記層間絶縁膜の上に形成された、金属電極とガス感知薄膜とを有し、前記金属電極とガス感知薄膜とが選択燃焼層で覆われた薄膜ガスセンサにおいて、前記ガス感知薄膜がグラフェン薄膜からなるものとする。 （もっと読む）

【課題】 内燃機関から排出された気体の酸素濃度を安定して検出することができる抵抗型酸素センサ素子を提供する。
【解決手段】 絶縁基板１の一方の主面側に一対の酸素分圧検出電極２とＣｅＯ_２を含有する酸素分圧検出層３とが形成され、他方の主面上にヒータ電極４とヒータ保護層５とを有し、絶縁基板中に含まれるＳｉ量が基板の重量に対して１５ｐｐｍ以下でかつ、酸素分圧検出電極２に含まれるＳｉ量が酸素分圧検出層３の重量に対して１重量％以下であることにより、酸素分圧検出層の抵抗値の経時変化を小さくすることができる。 （もっと読む）

【構成】
Si基板に設けた架橋部もしくはダイアフラムにヒータ付きの感ガス部を設けたガスセンサチップを、プリント基板に組み付ける。半田ペーストを塗布したプリント基板の配線に回路部品と共にキャップを配置し、半田ペーストを溶解／凝固させて回路部品とキャップとを同時にプリント基板に半田付けする。
【効果】
キャップを回路部品と同じ工程で取り付けることができる。 （もっと読む）