【課題】物質を優れた精度で、かつ、確実に検知することのできる、物質検知センサを提供する。
【解決手段】絶縁層２を、電極４および導電性層５が内側に向き、かつ、端子部６の膨出部１０が外側に向くように、略円筒状に丸めるとともに、絶縁層２の重複領域２０を厚み方向に重ねる。このガス検知センサ１では、絶縁層２に突出部を形成しないので、重複領域２０におけるシール性を高めることができるとともに、絶縁層２の内側の電極４と電気的に接続される端子部６を、絶縁層２の外側に露出させることができる。そして、絶縁層２の内部に特定のガスを流し、特定のガスの漏出を防止しながら、端子部６から、１対の電極４間における導電性層５の電気抵抗値の変化を検知する。 （もっと読む）

感度、選択性および長時間安全性を向上させることができる薄膜型高活性ガスセンサーを開示する。また、その薄膜型高活性ガスセンサーの製造方法であって、製造工程の単純化、薄膜化および小型化を図ることができるものを開示する。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、低分子シロキサンなど検知素子の性能を劣化させるガスを含んだガス中においても、水素濃度を正確に検知することができる水素検知素子及び水素検知センサを提供する。
【解決手段】
水素検知素子１は、水素を溶解して電気抵抗が変化する特性を有する金属からなる感応部２と、感応部２の電気抵抗の変化を検出する検出部６とを備える。水素検知センサは、水素検知素子１と、水素検知素子１の少なくとも感応部２を実装するパッケージ部１０と、金属メッシュ又は多孔質金属焼結体からなり、パッケージ部１０に感応部２を覆うように装着されるフィルター部１６とを備える。感応部２又はフィルター部１６は、その表面が撥水処理されている。 （もっと読む）

【課題】サージ電圧等の印加に対しても破壊されることがなく、安定で信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】図は薄膜ガスセンサの平面図であり、感知膜電極７間にバリスタ（R）等の非直線性抵抗素子を形成した例である。つまり、感知膜電極７を形成する際に、ニードル状に突起のあるパターンを図示のように対向させる。そして、上層のSnO₂層を形成する際に、図示のようにSnO₂を形成する部分に窓開けし、ここにバリスタ（R）等の非直線性抵抗素子10を形成したものである。 （もっと読む）

【解決課題】 粉末材料の安定供給とプラズマ中での速やかな加熱・溶融・蒸発とを、同時に満たすことができるプラズマスプレーＰＶＤ用粉末、かかる粉末を用いた堆積膜の製造方法、ならびに、堆積膜を提供する。
【解決手段】 １次粒子の少なくとも一部の粒子が融着してなる２次粒子を含むプラズマスプレーＰＶＤ用粉末であって、該プラズマスプレーＰＶＤ用粉末のＢＥＴ比表面積が、前記２次粒子の平均粒子径から算出した外部比表面積の１００倍以上１５０００倍以下であるプラズマスプレーＰＶＤ用粉末。 （もっと読む）

【課題】 電池駆動が可能で、水素と区別してメタンを選択的に検出でき、経時安定性の高いガスセンサを提供する。
【構成】 シリコン基板に設けた空洞上へ突き出した 支持層上に、ヒータ層と電極層とを設けて、ガス検出用の金属酸化物半導体膜で被覆する。金属酸化物半導体膜は、酸化第２スズと、酸化第２スズ１００重量部当たり１〜６重量部のＰｔとを含み、膜厚が５〜４０μｍの第１層と、酸化第２スズと、酸化第２スズ１００重量部当たり１〜６重量部のＰｄとを含み、膜厚が１５〜６０μｍで、前記第１層を被覆する第２層とからなり、第１層と第２層との膜厚の合計が２０〜８０μｍである。 （もっと読む）

【課題】ヒステリシス特性によるセンサ精度の低下を減少させる水素センサであって、熱ストレス等による割れなどの不具合が生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。
【解決手段】ＴａＮからなるセラミックス層内に、柱状のＰｄ粒子をその軸心をセラミック層の厚さ方向に配向させてセラミックス層内に分散させる検知膜を用いる。これにより、別途の保護膜を設けなくても、検知膜が非水素成分の影響を受けることがなく、また、ヒステリシス特性による水素センサの精度低下を減少できる。 （もっと読む）

【課題】高温の熱履歴を受けても、金属配線の剥離が生じない中空構造素子を提供する。
【解決手段】基板側から順に、基板１と、Ｓｉ含有絶縁層２と、Ｐｔ又はＰｔ基合金の金属配線３と、を有し、基板１は、Ｓｉ含有絶縁層２を中空状態で支持するように構成されている中空構造素子であって、Ｓｉ含有絶縁層２と金属配線３との間には、酸化アルミニウムを主成分とする酸化物４の密着層を有している。Ｓｉ含有絶縁層２は、密着層４と接触する表面がＳｉ含有層から構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カーボンナノチューブアレイを利用したセンサー及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブアレイを利用したセンサー及びその製造方法は、第一電極と、第二電極と、カーボンナノチューブアレイと、少なくとも１つの第一導電金属層と、少なくとも１つの第二導電金属層と、を備える。カーボンナノチューブアレイは、第一電極と第二電極の間に配置されていて、且つカーボンナノチューブアレイの第一端部が少なくとも１つの第一導電金属層を通じて第一電極に電気的に接続され、カーボンナノチューブアレイの第二端部が少なくとも１つの第二導電金属層を通じて第二電極に電気的に接続される。カーボンナノチューブアレイの第一端部と第二端部に、それぞれ第一金属親和性膜と第二金属親和性膜が形成されていて、第一金属親和性膜が第一導電金属層に接触し、第二金属親和性膜が第二導電金属層に接触する。 （もっと読む）

【課題】電池駆動形ガスセンサとして使用しても、その特性が大きく変動しないガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層上に一対の電極を形成し、その上に半導体薄膜からなるガス感知層を形成し、さらにその最表面に選択燃焼層を形成した薄膜ガスセンサにおいて、ガス感知層７と選択燃焼層８との間に触媒拡散防止層９を設けることにより、高湿度環境下においても選択燃焼層８の貴金属触媒がガス感知層７まで拡散しないようにすることで、センサ特性が大きく変化しないようにする。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム構造の薄膜ガスセンサにおけるガス選択性を、従来のものより向上させる。
【解決手段】感知層７を、第１層としてドナーとなる＋５価または＋６価の元素を添加したＳｎＯ２層９、その上の第２層として触媒となる元素を添加したＳｎＯ２層１０の、２層構造とするものは既に公知であるが、ガス選択性の点でいまだ不十分なので、この発明では、第２層１０における触媒添加量を１０ｗｔ％を超え６０ｗｔ％以下とすることにより、水素ガス選択性，メタンガス選択性ともに向上させる。 （もっと読む）

【課題】測定環境中に含まれる湿度に関わらず、微量の測定対象ガスを高精度で測定することが可能な、ガスセンサの予備処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、感応部に金属酸化物を含むガスセンサを予備処理する方法であって、予め、測定雰囲気よりも高湿度の雰囲気において、前記感応部の温度を、前記測定雰囲気で測定するときよりも高い温度に保持するステップを有することを特徴とする方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】導電性構造体に接している、導電性の低い領域を製造する方法を提案すること
【解決手段】導電率の低い、導電性の構造体に接する領域を製造する方法であって、ａ）導電性構造体を設けるステップと；ｂ）当該導電性構造体を物質Ａと接触接続させるステップと；ｃ）導電性構造体と接触接続している物質Ａに刺激を加えるステップとを有している形式の方法において、ステップｃ）において刺激を加えることによって少なくとも部分的に物質Ａが物質Ａ１と物質Ａ２に変化するように、物質Ａを選択し、前記物質Ａ１が前記導電性構造体によって取り入れられ、前記物質Ａ２は前記導電性構造体によって取り入れられず、前記導電性構造体および物質Ａよりも低い導電率を有している方法。 （もっと読む）

【課題】高精度、高信頼で低コストの熱式空気流量センサを提供する。
【解決手段】空気流量を計測するための流量センサ素子４と、空気流の少なくとも温度、圧力および湿度のいずれかを計測するための環境センサ素子５と、前記流量センサ素子４が配置された副通路７と、前記副通路７が構成され前記主空気流３中に配置されるハウジング１５とを備え、流量センサ素子４が配置された副通路７よりも主空気流３中心側に、副通路７と隔離され且つ主空気流３と連通した環境センサ素子５を収納する計測室１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 シリコン等の被毒物質に対する被毒耐性が高く、ガス感度の経時的な変化を長期間に亘って抑制できるガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスセンサ１００は、酸化物半導体からなる感ガス膜１３１と、この感ガス膜１３１上に分散された触媒粒子１３３と、これら感ガス膜１３１及び触媒粒子１３３上に形成された保護層１４０とを有する。このうち保護層１４０は、平均粒子径Ｄが５００ｎｍ以下の酸化物粒子１４１から構成されている。また、保護層１４０は、平均粒子径をＤ（ｎｍ）、保護層１４０の厚みをＴＨ（ｎｍ）としたとき、２０≦ＴＨ／Ｄ≦５００となる形態とされている。 （もっと読む）

【課題】超高感度、高応答性、高選択性、長期安定性の優秀な特性を有する商業的環境有害ガスセンサー具現のための半導体酸化物ナノ繊維を利用したガスセンサー及びそのナノ繊維の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるセンサーは、絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成されている金属電極と、前記金属電極上に形成されており、酸化物半導体Ｌａ_n+1Ｎｉ_nＯ_3n+1（ｎ＝１、２、３）ナノ繊維を含む感知層とを含む。したがって、酸化物半導体Ｌａ_n+1Ｎｉ_nＯ_3n+1（ｎ＝１、２、３）は、ＡＢＯ₃型の基本結晶構造を有するので、構造的に安定し、酸素欠陥による非化学量論的な組成を有する代表的な物質であって、表面に多い酸素欠陥を有していて、酸化物の表面で反応ガス吸着及び酸化／還元反応によって大きい電気抵抗の変化を有することができる。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式のガスセンサを用いたガス分析装置で、センサ出力の検出値の微分波形のノイズを除去し、ピーク値の正確な位置特定、精度高い波形分析を行えるようにする。
【解決手段】吸着燃焼式のガスセンサのマイクロヒータを一定昇温制御する。１回目の４０ミリ秒の間に、マイクロヒータを一定昇温制御しながらマイクロヒータの抵抗値を高速サンプリングする。１回目の４０ミリ秒でガスセンサの余分なガス成分、水分等を焼き飛ばす。その後の１０秒間マイクロヒータを１００℃に保ち、計測ガスを吸着させる。２回目の４０ミリ秒の間に、マイクロヒータを一定昇温制御しながらマイクロヒータの抵抗値を高速サンプリングする。計測値を微分して微分波形を求める。微分波形をウェーブレット分解・合成し、ノイズを除去する。ノイズを除去した微分波形からピーク値を求め、ガス種を判定する。ピーク値の抵抗値からガス濃度を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＴＶＯＣガスのように複数のガスからなり、比較的分子量の大きなガスを含有するガスに対しても優れた耐湿性を示すガスセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】基板の表面に所定の間隔を設けて形成した一対の電極と、当該電極間に形成した感応層とを備えたガスセンサであって、感応層は酸化スズ層に白金、パラジウム及び金を分散させてあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多成分系のガスから特定化学物質を高選択的および高感度に検出でき、さらに装置の小型化および測定時間の短縮化を達成できる化学物質センシング素子を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を化学式（１）または（２）で示される化学構造を含む化合物で表面修飾してなるセンシング部を備え、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する（Ｒ¹とＲ⁴とはＨ、ＣおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ²とＲ⁵とはＨおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ³とＲ⁶とはＨおよびＮａのうちいずれかを含む化学構造である）。
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ＮＯ_ｘ貯蔵材料が、担体、即ち、担体上に含浸されたカリウム塩を包含し、その担体上に含浸されたカリウムが、白金族金属と共に促進され、及び、ＮＯ_ｘ貯蔵材料は、ＮＯ_ｘ貯蔵材料上のＮＯ_ｘ充填の量に基づき変化する電気特性を有する。直接のＮＯ_ｘ測定の装置は、ＮＯ_ｘ貯蔵材料で被覆されたセンサーを含む。ＮＯ_ｘ含有ガスのＮＯ_ｘフラックスを決定する方法は、ガスをその装置に曝し、且つ、装置により生成された信号を、ＮＯ_ｘフラックスの信号見本に転化することを含む。 （もっと読む）