ガス検知半導体素子。ガス検知半導体素子１’は、ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時に形成されるドープされた単結晶シリコンから成る抵抗性ヒータ６が埋込まれる二酸化シリコン薄層３’を有するシリコン基板２’上に作製される。素子１’は、絶縁層４’によってヒータ６’から分離されたガス感知層９’を備えた検知領域を含む。作製の最終工程の１つとして、基板２’は、検知領域に薄膜を形成するためにバックエッチングされる。ヒータ６’は、熱拡散プレート１６’を包囲する略円形の構造を有し、弓形部分が互いに入れ子になって入り組んだ形態で相互接続されている２つの湾曲した抵抗器２０’，２１’から成る。ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時にヒータを作製することは、ＣＭＯＳ工程後のバックエッチングおよびガス感知層の蒸着の他、ＩＣ処理工程で既に採用されている作製工程以外の工程を要することなくガス検知半導体素子が製造されるという点で、特に有利である。この円形の形状は、電力損失および加熱面積を一定として膜の大きさを最小にするには最善の解決策であることから、利点である。
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【目的】長期のパルス駆動においてもPt感知膜電極とSnO₂ガス感知膜の間に問題の発生しない薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【構成】Si基板Bの貫通孔の一端を覆って張られその周縁がSi基板に固定された、酸化ケイ素または／および窒化ケイ素などからなる支持膜L1〜L3（ダイヤフラム構造という）上に、少なくとも、薄膜ヒータHが形成され、これを被覆する絶縁膜L4上に一対のPt感知膜電極Eを有するSnO₂ガス感知膜Sが形成されてなる薄膜ガスセンサにおいて、前記Pt感知膜電極と前記SnO₂ガス感知膜の間に、Sn-Ptからなる合金中間層Iを設ける。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサ素子を長期間にわたって使用した場合にも感応層と触媒部との密着力低下が抑制されるガスセンサ素子およびそのようなガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】ガスセンサ素子（１）の製造工程のうち感応層（４１）および触媒部（４２）を加熱する熱処理工程において、酸素濃度が１０ｐｐｍ以下に規定されている。ガスセンサ素子（１）の触媒部（４２）は、アスペクト比が２．０以上となる粒子（感応層４１との密着状態が良好となる粒子）の割合が少なくとも２０％以上に規定されており、感応層（４１）からの剥離を抑制できる。また、ガスセンサ素子（１）は、感応層（４１）および触媒部（４２）に対する熱処理が施されることから、素子抵抗の経時的な安定性の向上を図ることができる。よって、ガスセンサ素子（１）は、素子抵抗の経時的な安定性の向上を図りつつ、感応層（４１）と触媒部（４２）との密着力低下を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】
消費電力の増加を極力抑え、ガス感知層が温度により影響される事態を排するとともに目的ガスに感応するようにして、周囲環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ガス感知層が目的ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して目的ガス濃度を算出し、また、ガス感知層が一酸化炭素ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して一酸化炭素ガス濃度を算出し、温度による影響を排した薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】
消費電力の増加を極力抑えつつガス感知層による吸湿を抑止して高い感度を維持するようにして、環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ガス感知層がガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動するガス検知駆動（Ｈｉｇｈ状態）と、ガス感知層が吸湿抑制温度となるように所定期間にわたりヒーター層をＯＮ／ＯＦＦ駆動する（パルスＯｎ状態とパルスＯｆｆ状態とを交互に繰り返す）吸湿抑制駆動と、を交互に行って、ガス感知層５の吸湿を抑制するような薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】 特定のガス分子の高選択検出を行うことが可能であるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 そこで、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化物を含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内の表面の少なくとも一部が、有機物又は無機酸化物で被覆されているセンサを提供するものである。
また、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化スズを含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内に無機物の粒子が担持されているセンサを提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 電源を内蔵したセンサ装置において、低消費電力と広濃度範囲の計測を両立する。
【解決手段】低濃度域に感度をもつ低消費電力のFET方式センサと高濃度域に感度を有するヒータ加熱が必要なセンサとを組み合わせてセンサ装置とする。動作例を示せば、常時、ガス漏洩を検知する際は、低濃度域のセンサを動作させ、ヒータへの通電は遮断する。FET方式センサが第1の設定閾値を越える値を検出したところでヒータ加熱を開始する。ヒータが第2の閾値の温度を越えた場合、高濃度域センサの起動が完了したと判断し、それ以後は、第3の設定閾値以下の濃度はFET方式センサの出力値、閾値以上の場合は高濃度域センサの出力値をセンサ装置の出力とする。 （もっと読む）

【課題】大気中の一酸化炭素や炭化水素の濃度を検出するガスセンサを提供する。
【解決手段】酸化物半導体微粒子により構成されている多孔体からなるガス検出部分を少なくとも二つ備え、その一つは特定可燃性ガス成分をガス検出部分に到達させないための触媒層を有し、もう一つは前記触媒層を有さず、前記特定可燃性ガス成分以外のガスに対する前記触媒層を有するガス検出部分の電気抵抗値と前記触媒層を有しないガス検出部分の電気抵抗値とがほぼ相殺されるようにこれらのガス検出部分を接続する電気回路を備えたガスセンサ。
【効果】大気中の一酸化炭素や炭化水素の濃度を高精度に検出できる新しいタイプのガスセンサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、複数のガスに対するガス感知層を１チップ化することを目的とする。
【解決手段】 薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板１と、基板の上に設けられた支持層２と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター５と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層６と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第１および第２のガス感知層１０，２０であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第１および第２のガス感知層と、第１のガス感知層と電気的に接触して設けられた第１の電極対１５，１６と、第２のガス感知層と電気的に接触して設けられた第２の電極対２５，２６とを備えるセンサが提供される。 （もっと読む）

【課題】特定物質の濃度を高感度に検出する、単純な構造のバイオセンサーを提供する。
【解決手段】液体試料中の基質または金属イオンを検出するバイオセンサーであって、基板１１上に配置された一対の電極１２と、一対の電極１２間の基板１１上に複数の微粒子１３を配列形成してなる微粒子層１４と、微粒子層１４の表面に固定されるとともに基質に特異的に作用する酵素１５と、一対の電極１２に接続されるとともに、微粒子層１４の電気伝導度を測定する測定器２０とを備えたことを特徴とするバイオセンサー１である。 （もっと読む）

【課題】 被検査部の状況を確実に認識し、迅速かつ的確なガス検知を行えるガス検知装置を提供する。
【解決手段】 被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応部を備えたガス検知素子１と、ガス検知素子１から出力を得る出力検出部３と、出力検出部３で得られた値に基づき被検知ガスの濃度レベルを判別する判別手段９と、ガス検知対象となる被検査部から被検知ガスを採取するガス採取部８とを設けたガス検知装置Ｘにおいて、ガス採取部８の先端部分８１及びその周辺の少なくとも何れか一方に向けて、照明光を照射可能な照明手段４を設ける。 （もっと読む）

【課題】 金属酸化物結晶形成の際の結晶子径制御と焼成時の結晶成長に伴うメソ構造崩壊抑制により、比表面積の大きいメソ多孔質金属酸化物結晶材料を提供し、金属酸化物ガス検出素子、光触媒等の高感度化、高効率化を実現する。
【解決手段】 メソ多孔質テンプレートの空孔に金属酸化物前駆体を充填し、金属酸化物前駆体充填メソ多孔質シリカを加水分解水溶液に添加し、空孔内部において金属酸化物前駆体の加水分解反応を進行させ、細孔内に多数の金属酸化物結晶を生じさせる。次いで、３００℃以上で加熱焼成することにより結晶子径を１〜２ｎｍに抑えつつ結晶成長させ、しかる後、テンプレート部分をＮａＯＨまたはＨＦ水溶液により溶出せしめることによりメソ多孔質を有し、結晶子径が１〜２ｎｍの金属酸化物材料を形成する。 （もっと読む）

【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、半導体基板（２）上に構成されたダイヤフラム層（３）を備えたガスセンサであって、該ダイヤフラム層（３）上で評価領域（８）内に金属製の評価構造体（７）が配置され、かつ評価領域（８）の外に金属製の加熱構造体（９）が配置されており、評価構造体（７）及び加熱構造体（９）上に配置されたガス感応層（１０）を備えており、該ガス感応層（１０）が加熱構造体（９）によって加熱可能であって、ガス感応層（１０）の電気抵抗が評価構造体（７）によって評価可能であって、加熱構造体（９）が、ダイヤフラム層（３）の上側で接着を行う酸化層（６）上に配置されていて、カバー酸化層（１１）によってガス感応層（１０）から分離されている形式のものに関する。確実な機能形式を得るために、このガスセンサにおいては、評価領域（８）内で、酸化エッチングの影響を受けない接着剤層（１３）がダイヤフラム層（３）と評価構造体（７）との間に配置されているか、又は評価構造体（７）が評価領域（８）内で加熱構造体（９）に応じて、カバー酸化層（１１）によってガス感応層（１０）から分離されており、カバー酸化層（１１）が接触孔（１２）を有していて、該接触孔（１２）が、評価構造体（７）とガス感応層（１０）との間の直接的な接触を形成するために、それぞれ評価構造体（７）の表面の中央領域を露出している。
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基板（１）に配置された第１のメタライゼーション平面と、この第１のメタライゼーション平面に被着された、コンタクト孔（７）によって構造化されたパッシベーション層（６）と、このパッシベーション層（６）にかつコンタクト孔（７）内に厚膜技術で形成された感応性のセラミックス層（９）とを備えたセンサにおいて、セラミックス層（９）の固着を改善するために、第２のメタライゼーション平面として形成されていて、パッシベーション層（６）とセラミックス層（９）との間に配置された定着剤層（８）が設けられていることが提案される。
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【課題】 支持体に２つのガス検出素子を搭載してなるガスセンサにおいて、ガス検出素子の製造コストを低減でき、支持体の接続性を良好にし、また支持体の平面形状を小さくすることができるガスセンサを提供する。
【解決手段】 ガスセンサ１０（ガスセンサ本体１）は、第１，第２ガス検出素子３，４とこれを搭載した配線基板（支持体）２とからなる。第１ガス検出素子３には、外側第１ヒータパッド３４Ａ，外側第１検知パッド３３Ａ，内側第１検知パッド３３Ｂ，内側第１ヒータパッド３４Ｂがこの順に一列に並んでいる。第２ガス検出素子４は、第２ガス感応膜４２の材質を除き、同一の材質、形状、構成を有している。配線基板２のパッド形成辺部２２Ｐには、第１，第２ガス検出素子３，４のうち４つのパッドと接続する基板側共通パッド２３Ｃ等、５つのパッドが一列に並んでいる。 （もっと読む）

第１及び第２のガス判定部４ａ，４ｂは、所定のサンプリング周期で第１及び第２のセンサ１，２の出力を取り込み、この出力と第１基準値との偏差から求めた空気の汚れ度合いを示す第１汚れ信号が所定の検知レベルを越えるとガス検知信号を出力し、このガス検知信号を受けて切替制御部５がダンパ２０を内気循環に切り替える。基準値更新部６は、サンプリング周期よりも長い第１更新周期が経過する毎に、各センサ１，２の今回の出力から前回更新時の第１基準値を差し引いた値に所定の更新比率を掛け合わせ、さらに前回更新時の第１基準値を加えた値を、新たな第１基準値としており、汚れ方向に第１基準値を更新する場合に比べて清浄方向に第１基準値を更新する場合の更新速度を速めている。
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【課題】 基体上に形成した厚膜状のガス検知層と基体との間に導電性を有する密着層を形成し、ガス検知層の密着性を維持することができるガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 発熱抵抗体５に対応する位置の保護層３４上に、酸化物半導体からなる多孔質性のガス検知層４が形成される。また、ガス検知層４と保護層３４との間には、ガス検知層４の主成分を主成分とした導電性の密着層７が薄膜形成される。厚膜形成されるガス検知層４は保護層３４への密着性に劣るが、密着層７がガス検知層４の表面上の凹凸を埋めるように接触面全体に広がるため、両者の密着性は高められる。さらに密着層７とガス検知層４とは主成分が同じであり、互いの構成成分が混合されて混合層７１を形成するため、密着性がより向上する。 （もっと読む）

【課題】電気接点数を低減することが可能な、ガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの信号ラインを有する、センサ・アレー、特にガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置において、少なくとも１つの信号ラインが少なくとも２つの並列ライン・ブランチに分岐され、少なくとも２つの並列ライン・ブランチ内にそれぞれ、少なくとも１つのセンサと、それぞれのセンサに直列に結合されている少なくとも１つのダイオードとが配置される。この場合、少なくとも２つのダイオードは電気的に逆の遮断方向を有し、少なくとも１つの信号ラインに印加された電位の極性により、少なくとも１つの信号ライン内を流れる電流の少なくとも大部分が、第１の並列ライン・ブランチ内を流れたか、または第２の並列ライン・ブランチ内を流れたかが決定される。 （もっと読む）

【課題】 停止状態の車両の始動に先立って車両状態の検査を行う場合であっても、車両を速やかに始動させることが可能な車両用始動制御方法を提供する。
【解決手段】 水素吸蔵の有無に応じて変化する特性により水素の検出を行う水素検出センサと、前記水素検出センサの起動および停止を指示するスイッチと、を備えた車両用始動制御方法であって、前記スイッチにより前記水素検出センサを起動したときに、前記水素検出センサにより水素が検出されないときには、前記車両の起動を開始する。 （もっと読む）