【課題】湾曲する部位に貼付して湿度を計測する可撓性湿度センサを提供する。
【解決手段】有機高分子からなる支持基板１０上に一対の櫛状電極１２ｂと該電極から延設されるリード線接続端子１２ａとで構成される貴金属からなる電極構成体１２が接着剤１１により貼設され、該リード線接続端子１２ａには半田付けが可能な金属を析出させ、一対の櫛状電極面１２ｂには湿度に応答性するイオン伝導性感湿膜１３を被覆する構造からなり、該感湿膜の抵抗値の変化を測定することにより湿度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象のガスのニオイを人の感覚で表現可能なニオイ測定装置を提供する。
【解決手段】ニオイ測定装置は、ＲＯＭに、快、不快の程度を表す座標系及び興奮、沈静の程度を表す座標系で定義されたニオイ感応マップに、半導体ガスセンサの出力電圧から算出された２７個の特徴値による自己組織化マップを分割して非線形投影したニオイ感応投影マップが格納されている。半導体ガスセンサの出力から特徴値を算出してニオイ感応投影マップに入力し、ニオイ感応マップの２次元座標上の原点からの位置ベクトルを算出する。位置ベクトルの２次元座標上の方向及び大きさが、ニオイガスを人が嗅いだときのニオイ及びその程度に対応する。 （もっと読む）

【課題】センサ構造及び製造プロセスが単純で、かつ、応答速度や感度が高いセンサを製造することが可能なガス検出用素子及びこのガス検出用素子を備えた水素センサを提供する。
【解決手段】基板上に設けられる導体又は半導体からなる薄膜上に、水素吸蔵能及び／又は水素放出能の異なる２種類以上の金属を含む金属層を設けた。 （もっと読む）

【課題】選択的に感度を向上させた金属酸化物センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、選択的に感度を向上させた金属酸化物センサの製造するために、該センサ内部にＺｎＯセンサ電極を備えるＺｎＯセンサを形成する工程、および該ＺｎＯセンサ電極をプラズマ流に曝露する工程を包含する。 （もっと読む）

【課題】酸化スズ薄膜に対するパラジウムの拡散を促進でき、その結果として、ガス感知膜となる酸化スズ薄膜のガス応答性及び感度の向上ができる光照射によるドーピング方法を提供する。
【解決手段】基板に形成された酸化スズ薄膜表面に対してパラジウム溶液を接触させた状態で光照射を行うことにより、パラジウムを酸化スズ薄膜に拡散する。光照射は、紫外線領域の波長の光を発する光源にて行うことが好ましい。又、基板に設けられた酸化スズ薄膜を、パラジウム溶液中に浸してもよいが、パラジウム溶液を、酸化スズ薄膜表面に滴下して行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 従来のものに比べてより一層低消費電力化を図り、感度の向上を図る。
【解決手段】半導体ガスセンサのヒーターを駆動するに当たり、前以てクリーニングするために、−２００〜０msの期間（３０mWで約４５０℃に加熱する状態）を経た後、ガス検知するための低温の状態、ここでは約５０〜４００msの期間（４．５mWで約１００℃に維持する状態）に移行するとき、センサへのパワー供給を一定値以下、例えば１５０msだけ停止することにより、この時間分だけパワー消費を低減させ、感度も向上させる。 （もっと読む）

【課題】
簡易な工夫にて感知電極層と感知層との間で剥離部が発生する事態を抑止し、信頼性を向上させた薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】
感知電極層１０１は、複数箇所に散在する複数の貫通孔１０４を有し、これら複数の貫通孔１０４の中に感知層１０２が充填されて、感知電極層１０１内に感知層１０３と電気絶縁層１４とが接する固定部を形成した薄膜ガスセンサとした。また、このような薄膜ガスセンサ１を製造する薄膜ガスセンサの製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、常温でも安定に動作するため低消費電力化および小型化が可能であり、生産性及び再現性よく、低コストで製造できるガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 絶縁性基板１に、厚さ１０〜３０ｎｍの、酸化スズ（ＳnＯ₂）などからなる材料非晶質層を形成した後、この非晶質層を急速加熱処理によって多結晶化して、ガス感応層である金属酸化物半導体微結晶層３を形成する。この結果、粒径が非晶質層の厚さとほぼ同じでよく揃い、ほぼ球形の微結晶粒子２が、面方向に結晶粒界を介して接合した単粒子層（単層構造）からなる微結晶層３が得られる。その中央部に白金（Ｐt）などからなる島状の増感体（触媒）４をスパッタリング法などで均一に配置し、センサ領域７を形成する。この際、単層の最密充填構造を有するポリスチレン微粒子層をマスクとして用いることにより、増感体４を蜂の巣（ハニカム）形の格子パターンに配置する。 （もっと読む）

【課題】運搬が容易で、牛や馬の呼気ガスに含まれる低濃度域の水素と高濃度域のメタンを共に検出することができる畜産用呼気検査装置を提供する。
【解決手段】畜産用呼気検査装置は、清浄空気と共に牛又は馬の呼気ガスが供給され、呼気ガス中のガス成分に応じて流動遅延を生じさせる部材を充填したガス分離カラムと、１〜１００ｐｐｍの濃度範囲の水素、１０〜４０００ｐｐｍの濃度範囲のメタン及び１０〜１００ｐｐｍの濃度範囲の一酸化炭素に対して感度を有し、ガス分離カラムの排気側に設けられて、呼気ガスに含まれるＨ_２、ＣＨ_４、ＣＯのガス濃度に応じた出力を順次発生する半導体ガスセンサ３０と、半導体ガスセンサ３０の出力のピークおよびリテンションタイムをもとにＨ_２、ＣＨ_４、ＣＯのガス濃度をそれぞれ求める演算処理部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び／又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】不良品率を低減しつつ、低濃度から高濃度までＣＯを高分解能で検知し、感度の長期安定性を向上させ、製造コストを抑制する。
【解決手段】薄膜状の支持膜１０ｃ，２０ｃと、その外周部またはその両端部を支持するＳｉ基板１０ａ，２０ａと、支持膜１０ｃ，２０ｃの上側に形成された薄膜ヒーター１０ｅ，２０ｅと、薄膜ヒーター１０ｅ，２０ｅを覆う電気絶縁膜１０ｆ，２０ｆと、ドーパントを含むＳｎＯ_２薄膜によって電気絶縁膜１０ｆ，２０ｆ上に形成されたガス感知膜１０ｇ，２０ｇと、ガス感知膜１０ｇ，２０ｇの抵抗を測定する電極１０ｈ，２０ｈと、選択燃焼層１０ｋ，２０ｋとを有する半導体式薄膜ガスセンサチップ１０，２０が複数設けられたガス警報器において、半導体式薄膜ガスセンサチップ１０と半導体式薄膜ガスセンサチップ２０とでガス感知膜１０ｇ，２０ｇの抵抗のガス依存性を異ならせた。 （もっと読む）

【課題】感応層の微細構造を最適化することにより高い選択性示すことができるガスセンサ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】ガスセンサ素子１は、基板２の表面に形成された絶縁層３と該絶縁層３表面に形成された感応部４とを備え、感応部４は感応層４１と電極４２とを備え、感応層４１は、酸化スズを主成分とし柱状の酸化スズ結晶集合体を主体とする下層４１１と下層４１１上に位置しＲｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｏｓ、Ｉｒ及びＰｔのうちの少なくとも１種含み、好ましくはＰｔ及び／又はＰｄを主成分とする上層４１２とを備える。上記下層の層厚をｘ、上記上層の層厚をｙとすると、１１≦ｘ／ｙ≦６３であることが好ましい。感応部４は、感応層４１として無定形な酸化スズ結晶集合体を主体とする酸化スズを主成分とする層を備えても良い。 （もっと読む）

【課題】特定ガスの濃度変化を良好に検出する上で、絶縁性の密着層を介したガス検知層と検出電極との電気的な接続を図り、製造の際の手間を軽減できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガス検知層４と絶縁被膜層３またはその上部に形成した検出電極６との間に密着層７を形成し、両者の密着性を高め剥離を防止する。この密着層７を絶縁性酸化物から構成することで、ガス検知層４の特性に対し影響が生じない。そして、この密着層７の一部を、ガス検知層４を構成する物質の一部が貫通することで（図中点線で囲った部分）、ガス検知層４と検出電極６とが電気的に接続され、特定ガスの濃度変化に応じて変化するガス検知層４の電気的特性が検出される。 （もっと読む）

【課題】 ガスを検出する感度を高められ、しかも、長期間に亘ってガスを検出する感度を高く維持できるガスセンサ用金属酸化物半導体材料の製造方法を提供する。
【解決手段】 攪拌中のアルカリ水溶液中に金属塩を滴下して酸化物前駆体が分散した水溶液を生成する。酸化物前駆体が分散した水溶液と貴金属コロイド溶液とを加えて酸化物前駆体と貴金属コロイドとがほぼ均等に分散された分散液を生成する。分散液の沈殿物を焼成して金属酸化物半導体材料を製造する。 （もっと読む）

【構成】 ガス検出装置のＥＥＰＲＯＭへの基準信号の書き込みを可能にし、ガス検出装置を調整槽にセットする。そして例えば６５ppmのＣＯを注入し、０秒目、６秒目、６９秒目のセンサの抵抗値の対数をＥＥＰＲＯＭに書き込む。次いでＣＯ濃度を２００ppmに増加し、同様の手順を行う。さらにＣＯ濃度を４００ppmまで増加させる。
【効果】 ＥＥＰＲＯＭに簡単に基準信号を書き込むことができ、可変抵抗を調整する必要が無く、調整作業が簡単になる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて電気絶縁層と感知層との応力変化による影響を回避し、マイクロクラックの発生を抑止するようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層１４と感知層１５ｂとの間に部分安定化ジルコニア薄膜中間層などの安定化層１６を設け、この安定化層１６の変形により電気絶縁層１４とガス感知層１５ｂとの応力変化を吸収するような薄膜ガスセンサ１とした。また、他にも電気絶縁層と感知層との間に設けられた安定化層を密着結合させることにより、電気絶縁層とガス感知層との応力変化を回避する薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィ技術を用いることなく、また、大型化を招くことなく、検出感度の非常に高い半導体ガスセンサを容易かつ低コストに得られるようにする。
【解決手段】 基板１上に設けた一対の電極２，３間に金属酸化物半導体層４を形成し、この金属酸化物半導体層４中に、導電性微細粒子群９を一対の電極２，３間の全域に亘り連続コンタクトしないで、電極２，３間に少なくとも一つの微小ギャップｇが形成されるような拡散状態に混在させてある。
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【課題】 車両の速度の変動時においても、触媒層の浄化性能の劣化判定を、劣化判定の信頼度を損なわずに行うことが可能な車載診断装置を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１１０において、ＣＰＵ３０１は、浄化率算出前期間中央浄化率が測定浄化率よりも小さいか否かを判断する。この処理において、ＣＰＵ３０１は、ステップＳ１０８の処理において記憶された浄化率算出前期間中央浄化率と、ステップＳ１０１の処理において記憶された測定浄化率とを比較し、浄化率算出前期間中央浄化率が測定浄化率よりも小さいと判断した場合には、オゾン浄化触媒層１０５が正常であると判定して、本サブルーチンを終了する。また、ＣＰＵ３０１は、浄化率算出前期間中央浄化率が測定浄化率よりも小さいと判断しなかった場合には、オゾン浄化触媒層１０５が異常であると判定して、ステップＳ１１２に処理を移す。 （もっと読む）

【課題】 金属酸化物半導体表面上における貴金属の分散の度合いが良好で耐熱耐久性に優れるガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
ＳｎＯ_２を主成分とする金属酸化物半導体部の表面上に、貴金属Ｍ（例えばＰｄ）から構成される触媒部を分散した状態で添加して形成し、さらに酸化ケイ素を主成分とする絶縁部を形成する。このとき、触媒部が形成される一方絶縁部が形成される前の状態で、金属酸化物半導体部表面をＸＰＳで測定したＭ／（Ｍ＋Ｓｎ）で示される表面添加率が、取出角４５°で６０％以上８５％以下、かつ、取出角４５°における表面添加率から取出角９０°における表面添加率を減じた値が１．０％以上となるようにする。すると、貴金属Ｍは金属酸化物半導体部表面上にて均一に分散されて偏析が生じないため、ガスセンサの耐熱耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【目的】ガス濃度に対するセンサ抵抗の変化率（勾配）が大きく、少なくともCO検知濃度範囲（30ppmCO〜500ppm CO/air）で出力の直線性が高いCOセンサを得ることができる薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【構成】Si基板Bの１面に形成された絶縁支持薄膜L上に、少なくとも、薄膜のヒータHを形成し、この薄膜のヒータをSiO₂などの絶縁膜L4で覆い、その上にガス感知膜用の電極Eを形成し、さらにSnO₂を主成分とするガス感知膜Sを形成する薄膜ガスセンサの製造方法において、ガス感知膜の形成工程を、スパッタによるSnO₂成膜工程と逆スパッタによるエッチング工程とを交互に行うようにする。 （もっと読む）