半導体薄膜タイプのガスセンサー装置には、その片面に、少なくとも１個のガスセンサー、抵抗発熱体薄膜、及び当該センサー及び抵抗発熱体薄膜を電気的に接触させるためのパッドが含まれている。当該発熱体素子、ガスセンサー薄膜及び接点パッドは、全てスパッタ法によって作製される。
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【課題】 金属酸化物半導体ガスセンサで温度変化に対する動的応答からガス成分の種類に関する情報と濃度に関する情報とを良好に分離して取り出すことで、単一のガスセンサにおけるガス成分の同定の正確性を向上させる。
【解決手段】 ガスセンサ１０の温度を変化させたときのその動的応答波形を時間に関して微分して得たｎ次（ｎ＝１、２、…）微分波形は、濃度に依らずガス成分毎に異なる位置の固定点を通過するため、この固定点を各ガス成分毎に予め測定して固定点情報記憶部２５に格納しておく。成分が未知である試料ガスを分析する際には、ガスセンサ１０の温度を変化させたときの動的応答波形を取得し微分演算処理部２２でｎ次微分を行い、ガス種判別処理部２３はｎ次微分波形が固定点情報記憶部２５に格納されているいずれの固定点を通過するのかを判定し、その結果に基づいてガス成分を同定する。 （もっと読む）

【課題】 被検知ガスに対して応答時間及び応答復帰時間が短い半導体式ガス検知素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物半導体を主成分とするガス感応部２を備える半導体式ガス検知素子１であって、前記ガス感応部２のガスを検知する側の表面と内部とに亘る孔部を有し、当該孔部が前記表面における溝状の開口部に連通している。 （もっと読む）

【課題】 高温高湿雰囲気中で使用しても耐湿性に優れるガスセンサを提供する。
【解決手段】 ガスセンサ１は、シリコン基板２上に、ＳｎＯ_２を主成分とする金属酸化物半導体部４１が形成され、その金属酸化物半導体部４１の表面にＰｄから構成される触媒部４２が分散して形成されており、金属酸化物半導体部４１と触媒部４２とで感応部４として構成されている。さらに、感応部４上にＳｉＯ_２を主成分とする絶縁部７が分散して形成されている。そして、絶縁部７が形成された感応部４の表面において、ＳｉとＰｄの原子数比であるＳｉ／（Ｐｄ＋Ｓｉ）で示される表面添加率が６５％以上９７％以下、かつ、ＳｉとＳｎの原子数比であるＳｉ／（Ｓｎ＋Ｓｉ）で示される表面添加率が７５％以上９７％以下となるように、触媒部４２と絶縁部７とは金属酸化物半導体部４１の表面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】
ガス選択燃焼層に好適な性能を維持しつつ、粘度およびチクソ性を向上させるようなガス選択燃焼層の印刷ペーストを提供する。
【解決手段】
薄膜ガスセンサのガス選択燃焼層の形成に使用される印刷ペーストであって、触媒を担持したアルミナ粉末である触媒粉末と、アルミナゾルバインダと、エチルセルロースである粘度調整材と、有機溶剤と、を含むようにした。粘度調整材により粘度およびチクソ性を向上させ、また、ガス感度も一定の性能を維持する。 （もっと読む）

【課題】
第一ガス選択燃焼層に従来よりも容積が大きい空隙を形成し、応答性、選択性および耐環境性を向上させた薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
薄膜ガスセンサ１０のガス感知層５は、詳しくは、接合層５ａ，感知電極層５ｂ，感知層５ｃ，第一ガス選択燃焼層５ｄを備える。この感知層５ｃはＳｂ−ｄｏｐｅｄ ＳｎＯ_２層であり、第一ガス選択燃焼層５ｄはＰｄ担持Ａｌ_２Ｏ_３焼結材である。このうち、第一ガス選択燃焼層５ｄは、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）小径粉末およびアルミナ大径粉末の混合物に第一の触媒を担持させてなる触媒粉末を含む焼結材を焼結させた多孔質体による層を採用した薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 センサ素子を加熱するヒータへの印加電圧の制御を行うための構成を簡易化することができるセンサのヒータ制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ワンチップマイコンの出力ポート（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４）のそれぞれに、抵抗値がそれぞれ１４０，１４０，４３０，４３０（Ω）の各抵抗器３１，３２，３３，３４の一端を接続する。抵抗器３１〜３４の他端は、一端が接地された抵抗値Ｒｚのヒータ３０の他端に接続する。ガスセンサを駆動させてから３０秒間、すべての出力ポート（Ｐ１〜Ｐ４）からＨｉレベル（５Ｖ）の信号出力を行うと、抵抗器３１〜３４の合成抵抗値とヒータ３０の抵抗値との分圧として４．２Ｖの電圧がヒータ３０に印加される。その後、出力ポート（Ｐ３，Ｐ４）をＬｏレベル（ＧＮＤ）に切り替えると、ヒータ３０には分圧として３．２Ｖの電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】 十分に品質保証されたガスの製造が可能なオンサイト型ガス製造方法および装置を提供するとともに、これを用いたガス製造販売システムを提供する。
【解決手段】 ガス製造装置は、原料供給装置１、製造装置２、精製装置３、品質保証装置４とがこの順序で直列に配置され、製造したガスが消費装置５に供給可能となっている。まず、原料を原料供給装置１を介して、または原料供給装置１に貯蔵しておき、これを製造装置２に供給する。製造装置２にて発生させたガスは、精製装置３に送られ、不純物を取り除くことにより高純度化を実施する。高純度化されたガスは、品質保証装置４に送られ、ガス中の不純物濃度を分析することにより、必要に応じて分析結果を製造装置２などにフィードバックし、ガスの品質保証を行なう。品質保証されたガスは、ガスの消費装置５に供給される。 （もっと読む）

【課題】結晶粒または微粒子セラミックスから構成されるガスセンサでは、粒径縮小による高感度化と、粒成長による経時変化がトレードオフの関係にあるため、高感度化と信頼性耐久性の両立が困難であった。また、高感度かつ高耐久性・高信頼性を有するセラミックスセンサを、Ｓｉ集積回路とモノリシックに集積化するのが困難であった。
【解決手段】熱により粒成長等のセラミックス構造変化が生じない人工的なナノ構造体セラミックス膜によりガスセンサを構成する。ナノメータレベルのパターン状テンプレートに、ゾルゲル法を用いてセラミックス薄膜を形成するとともに、十分に焼成して緻密化する。さらに、上記ガスセンサを、集積回路とモノリシックに集積化する。 （もっと読む）

【課題】 特定ガスの濃度変化に応じて制御信号を可及的に正しく発しうるガス検知装置及びその制御方法並びに車両用空調装置を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ１０は、ＣＯガスを検出可能なガス検出素子１２と、センサ値Ｓ（ｎ）に基づいてガス検知を判断するワンチップマイコン１５とが設けられる。ワンチップマイコン１５のＣＰＵ１７は、センサ値Ｓ（ｎ）に基づいてガス検出素子１２の感度を判定し、その判定結果に基づいてガス検知性能を変化させる。また、オートベンチレーションシステム１００は、車室内へ空気を送るダクト２５内に設けられ、車室内から空気を取り入れる内気循環ダクト２４と車室外から空気を取り入れる外気導入ダクト２３とを選択的に開閉するフラップ２６と、ガスセンサ１０から発せられる制御信号に基づいてフラップ２６を駆動するステップモータ２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】低コストで、処理回路と制御回路と変換回路とを一体的に集積することができ、余計なマスクや工程を必要としないガス検知半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ガス検知半導体装置１は、シリコン基板２上に形成され、当該シリコン基板２は、ＣＭＯＳ技術互換性のある高温金属からなるヒーター６が埋め込まれた酸化ケイ素絶縁薄膜３を有している。上記高温金属は、タングステンである。上記装置１は少なくとも、絶縁層４によってヒーター６から隔離されるガス感受性層を備える１つの検知領域を有している。最終製造過程工程の１つの工程として、検知領域内に薄い膜を形成するために、基板がエッチバックされる。当該エッチバック工程及びガス感受性層の形成工程を除いて、タングステンヒーター６を含む他のすべての層は、タングステン金属化を用いたＣＭＯＳプロセスが利用される。 （もっと読む）

【課題】危険有害性物質を高精度かつリアルタイムに識別することができ、識別のために危険有害性物質に測定者が近接する必要のない危険有害性物質センサユニットおよびセンシングシステムを提供する。
【解決手段】カプセル（Ａ）と、該カプセル（Ａ）に取り付けられ危険有害性物質特異的認識物質（Ｂ）と、前記カプセルに取り付けられ前記危険有害性物質特異的認識物質（Ｂ）が前記危険有害性物質と特異的に結合したことを検知するセンサ（Ｃ）と、前記カプセル（Ａ）内に収納された警告表示物質（Ｄ）と、前記センサ（Ｃ）の検知信号を受けて前記警告表示物質（Ｄ）を前記カプセル（Ａ）の外に放出させる表示物質放出手段（Ｅ）と、を少なくとも構成要素としてセンサユニットを構成する。また、前記センサ（Ｃ）の検知信号を受けて位置情報を発信する位置情報発信手段（Ｇ）を必要に応じて組み合わせ使用する。 （もっと読む）

【課題】 吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供する。
【解決手段】 複数の孔を有する多孔質部材と多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたナノ構造体とを含む吸着剤である。ここで、ナノ構造体は炭素からなり得る。また、多孔質部材は２００℃以上の耐熱性を有することが好ましい。さらに、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサである。 （もっと読む）

【課題】 感応層における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れるガスセンサ素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ素子１は、結晶密度の異なる２つの層（基板側感応層４４、触媒側感応層４５）を有する感応層４１を備える。基板側感応層４４は、触媒側感応層４５に比べて高密度の結晶で構成されることから、密着性に優れるため、感応体側絶縁層３４（基板２）との剥離が生じがたく、また、基板側感応層４４自体の強度も高まるためクラックや膜ハガレなどの破損が生じがたい。また、触媒側感応層４５は、基板側感応層４４に比べて低密度の結晶で構成されており、酸化性ガスのガス選択性に優れた特性を有する。ガスセンサ素子１によれば、感応層４１における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れた特性を有する。 （もっと読む）

【課題】製造時に効率よくセンサチップをセンサベースに固定することができるガスセンサを提供することにある。
【解決手段】センサベース５と、センサベース５の主表面に対してその主表面が垂直になっている加熱型センサチップ１を備えたガスセンサであり、別の態様として、センサベース５と、加熱型センサチップ１と、前記センサチップ１に接続された複数のワイヤ２と、前記センサベース５に一列又は二列に立設され、前記ワイヤ２を介してセンサチップ１を保持する複数のピン３とを備えたガスセンサであり、前記ガスセンサにおいて前記加熱型センサチップ１を覆うセンサカバーを備えたこと、又は前記センサベースの主表面が方形であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 結露が十分に防止され、装置の小型化が可能で、且つ、十分な検知感度を有するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 化学的にガスを検知するセンサ素子部１００と、センサ素子部１００に接して設けられ水分を除去する水分除去部５０と、を備えるガスセンサ１ａ。 （もっと読む）

キャリヤーガス中の還元性および酸化性ガスを検出するための分析装置であって、該検出手段が、酸素の非存在下で作動する、半導体型金属酸化物を基材とするセンサーであること、該装置が、該センサーを含む測定チャンバーに接続する手段を包含すること、および処理および制御が、該ガスをリアル−タイムで認識する機構を包含し、該機構がダイアグラムを与え、そのダイアグラム上に、該キャリヤーガスに対して行った測定が位置し、識別され、ガスをリアル−タイムで分析できることを特徴とする。
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特異検体ではなく一般検体である、バッジなどの携帯でき着用できる化学物質検出デバイスであって、該デバイスは既知および未知の空中の化学的な危険について人員に知らせ、人員を保護する理想的な方法を提供する。本発明のデバイスは安価で、低電力要求で、着用可能でも良く、一般的な化学的危険を検出し警報を出すように設計しても良い。本発明のデバイスはその一態様において、二または三以上のセンサーデバイス；それぞれのセンサーデバイスに連結し、環境の状態および状況を決定するためにそれぞれの二または三以上のセンサーデバイスからの信号を処理するように構成されたプロセッシングモジュール；および環境の状態または状況についての情報を使用者に伝達する通信モジュール、を含む。 （もっと読む）

【課題】 高い温度でも好適に水蒸気や水素分子を含む可燃性ガスのガス濃度を測定できるガスセンサ及びガス濃度測定方法を提供すること。
【解決手段】
固体電解質のジルコニアを主成分とする基体９に、被測定ガスと接する検知電極１１と検知電極１１の対極となる相手電極１３とを配置したセンサ素子３を用い、被測定ガス中のガス濃度を測定するガス濃度測定方法において、検知電極１１として酸化インジウムを用い、被測定ガス中にセンサ素子３を配置して、検知電極１１と相手電極１３との間の交流インピーダンスを測定することにより、水蒸気の濃度を検知する。 （もっと読む）