【課題】薄板形状の測定対象物の振動状態を一定に保ち、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を提供する。
【解決手段】薄板検査装置１００は、測定対象物１が載置される突起部３１と、一方の端部側に突起部３１が設けられ、測定対象物１の外周外側から内側に向かって延設された突起部設置部３２と、測定対象物１の外周外側に設置され、測定対象物１の設置位置を決定する位置決定部４０と、測定対象物１に向かって音波を放射し、測定対象物１を振動させる超音波発生部２０と、測定対象物１が振動することによって発生する音を検出し、その音情報に基づいて、測定対象物１のクラックの有無を検知するクラック有無判断部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板に所定のストレスを加える工程が含まれた処理を施す前に、処理中の破壊を生ずる可能性のある基板を事前に見つけ出せるようにした基板事前検査方法を提供する。
【解決手段】基板にストレスを加えるストレス印加工程と、ストレス印加工程で加えたストレスに起因するアコースティック・エミッション現象で基板に発生する弾性波を検出する検出工程とを備え、検出工程で検出した弾性波に基づいて、基板が前記所定のストレスに耐えられるか否かを判断する。前記処理が、基板Ｓを吸着及び加熱するステージ３を備える処理室１で行う処理であって、前記所定のストレスを加える工程が、ステージ３に基板Ｓを吸着した状態で基板を所定の処理温度に加熱する加熱工程である場合、弾性波を検出するセンサ４を設けて、基板Ｓをステージ３に載置した状態で、加熱工程完了前にストレス印加工程及び検出工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】 構造を簡単化して壊れ難くする。
【解決手段】 外壁診断装置本体１は外壁打撃装置３０と打撃振動検出装置３１を備え、屋上側昇降装置４と地上側昇降装置５により、外壁２に沿って昇降される。外壁打撃装置３０は、建物の外壁を打撃する２つの打撃体３６、３７と、打撃体３６、３７が先端に取り付けられたアーム３８、３９と、アーム３８、３９の基端側に装着されたハブ４０と、ハブ４０を回転することにより、アーム３８、３９に取り付けられた打撃体３６、３７を外壁２に向けて周回させるモータ４１を有している。打撃振動検出装置３１で検出された打撃音検出信号は無線により地上装置に送信され、地上側作業員がヘッドホンで聴取し、診断する。 （もっと読む）

【課題】移動飛行体を使用した建築物外壁の浮きを検知するシステムと検知方法、そして外壁浮き検知に使用する移動飛行体の提供を図る。
【解決手段】建築物外壁の浮きを検知するためのシステムであって、屋外に配置される検知装置と、それらを遠隔操作する監視・操縦装置と、からなり、前記検知装置は、移動飛行体に搭載されるとともに、打診器と、移動飛行体操縦受信器と、集音装置並びに打診音送信器と、で構成され、前記監視・操縦装置は、移動飛行体操縦送信器と、打診音受信器並びにスピーカーと、で構成されている。打診器が搭載された移動飛行体を遠隔地から遠隔操縦して適宜建築物の外壁を該打診器により打診し、その打診音を集音装置により集音し、集音された打診音を遠隔地においてスピーカーから出力することにより、建築物外壁の浮きが生じている箇所を特定する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、装置が大型化することなく、検査のばらつきが少ない太陽電池用シリコンウェハのクラックの検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この発明のシリコンウェハのクラックの検出方法は、シリコンウェハ１に超音波発生装置３から超音波３１を付与し、シリコンウェハ１を共振させ、この共振により、シリコンウェハ１内に不可視クラックが存在する場合にはクラックを成長させて亀裂を生じさせ、欠陥があるシリコンウェハ１を判別可能とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体の内部を精度良く検査する。
【解決手段】超音波検査装置１０を用い、被検査体１の第１の面１ａ側から発信部１１によって超音波信号を発信し、被検査体１の第２の面１ｂ側において、カンチレバー１２を走査し、被検査体１を伝播した超音波信号をカンチレバー１２によって受信する。カンチレバー１２の走査位置ごとに、発信部１１から発信した超音波信号と、カンチレバー１２で受信した超音波信号との差分を、信号処理部１４によって検出し、検出した差分を、表示部１５によって２次元表示する。 （もっと読む）

【課題】 金属製の栓で密封された液体容器のひび割れ又は亀裂の箇所を特定できる検査装置を提供する。
【解決手段】 金属製の栓１２で密封された液体容器１０に対して電磁波を放射する円筒状の電磁石１４と、その中心軸線上に配置され、電磁波の放射によって生じる栓の振動音を捕捉するマイク１６とを備える。マイク１６の側面と電磁石１４の内面との間に音を通過させる空間２６を設け、容器１０の栓１２に対向する電磁石１４とマイク１６の各端面の位置を一致させて配置した。 （もっと読む）

【課題】構造物の超音波探傷において発生する電気ノイズを低減することの可能な超音波探傷方法を提供する。
【解決手段】複数の振動子から構成されるアレイ探触子を使用して超音波を構造物に照射し、構造物の欠陥等の反射体による超音波エコーの出力信号を受信する検査工程(S1)と、検査工程で受信した各出力信号を演算処理装置に入力し、各出力信号に含まれる電気ノイズを相関処理により低減するノイズ低減工程(S3)とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面形状が複雑な検査対象の非破壊検査を高速かつ高精度で行うレーザ超音波検査技術を提供する。
【解決手段】レーザ超音波検査装置１０は、第１レーザＲ１を検査対象Ｋに照射して超音波を励起させる送信レーザヘッド２１と、第２レーザＲ２を照射して検査対象Ｋを伝播する超音波を検出する受信レーザヘッド２２と、この受信レーザヘッド２２で検出した超音波に基づいて検査対象Ｋに含まれる欠陥を画像化するための信号処理部と、検査対象Ｋの表面に対する第１レーザＲ１及び第２レーザＲ２の入射角度を調整する角度調整部１３と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】現地へ携帯して現地の設備を停電させることなくその場でがいしのヒビ割れ等の表面の損傷の有無を点検でき、また、がいしからの騒音や発熱がない場合でもがいしに発生している細かなヒビ割れを発見できるがいしの打音点検装置を提供する。
【解決手段】打音点検装置１は、被検がいし５０に打撃を与える打撃機構と、この打撃機構による打撃によって被検がいし５０から発生する打撃音を集音する集音機構（マイク５）と、集音機構で集音された打撃音から得られるがいし表面の破損の有無で変化する物理量が、正常がいしで予め得られた同物理量と所定の許容範囲で一致するか否かを判定し、被検がいし５０から得られた物理量が正常がいしで予め得られた同物理量と所定の許容範囲で一致すると判定された場合に良品判定表示を行い（ＬＥＤ４２を点灯させ）、所定の許容範囲で一致しないと判定された場合に不良品判定表示を行う（ＬＥＤ４３を点灯させる）。 （もっと読む）

【課題】硬い多結晶シリコン棒を簡易的に選別することにより、割れ難い高品質な多結晶シリコン棒を提供すること。
【解決手段】多結晶シリコン棒（１００）の長さを巻尺で測定し、次に、ハンマー（１２０）で多結晶シリコン棒（１００）の打撃を行い、この打撃音をマイク（１３０）を介して録音器（１４０）に収録する。そして、打撃音の音響信号を高速フーリエ変換して周波数分布を表示させる。さらに、高速フーリエ変換後の周波数分布の中で、最も大きな音量を示すピーク周波数ｆを検出する。多結晶シリコン棒の長さ（Ｌ）とピーク周波数ｆの関係を求め、ピーク周波数ｆがｆ≧１４７１／Ｌの領域（Ａ領域）に属するか否かで、多結晶シリコン棒の硬さを判断する。 （もっと読む）

【課題】超音波散乱法における被検査物の欠陥評価の感度を向上させた半導体単結晶中の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】板状の半導体単結晶である被検査物に対して超音波を入射させ、被検査物内で散乱又は反射された超音波に基づいて、被検査物内の結晶欠陥の有無を測定する半導体単結晶中の欠陥検査方法において、被検査物に対して波長が６０μｍ以下、又は周波数が７８ＭＨｚ以上の超音波を、被検査物の表面に垂直な方向と超音波の入射方向のなす角が１０．０度以上１６．４度以下の範囲となるように入射させる方法である。 （もっと読む）

【課題】ウェーハのクラックを確実に検出できるクラック検出装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ１３を、弾性素材を介在させて支柱部材１１と音響センサ１５とで挟み込んで位置決め保持し、この挟持状態において、弾性素材２２を被着した加振部１９を、ウェーハ１３に衝突させて加振し、その際にウェーハ１３に伝わる振動波形を音響センサ１５で検出し、この振動波形の共振周波数よりも高い周波数成分に基づいてクラック検出を行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】
被検査球に非接触で有害なキズをつけることなく検査を実施することができて、光を透過する材質を含む被検査球の全表面及び内部のキズ，異物及び欠陥の有無を判定可能とする。
【解決手段】
球体保持器４と、流体供給装置１を含み、球体保持器４は中心部に流体供給装置１に連通する流体噴出孔２ａを有していると共に、上面に半球状のくぼみを形成してなり、かつ半球状のくぼみには中心より放射方向に１本又は非対称複数本の流体流出溝３を設けて被検査球７を流体噴出孔２ａよりの噴出流体で球体保持器４上に浮揚させ、非接触で回転させながら検査手段により被検査球７の全表面及び内面を検査する。 （もっと読む）

【課題】捕集漏れのＰＭが増加する前に使用を停止することが可能であると共に、限界近くまで有効に使用することが可能な排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】ディーゼル車に搭載される排ガス浄化装置１であって、多孔質セラミックスで構成され単一の方向に延びて列設された隔壁により区画された複数のセル１１，１２を備えるフィルタ本体２０と、それぞれフィルタ本体に当接して配設された発振子３１及び受振子３２を備え、発振子により発振された超音波を受振子で受振することにより、フィルタ本体内を超音波が伝播する伝播時間を計測する超音波センサ３０と、超音波センサによる計測結果に基づく情報をディーゼル車の運転者に報知する報知装置４１，４２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
球内部欠陥探傷装置において、該装置の精度を確認し、被検査球状体の内部欠陥の位置，大きさを把握容易なマスターボールを提供する。
【解決手段】
球内部欠陥探傷装置によりセラミックス球，ガラス球等の球内部に発生する材料欠陥を検出するにあたり、検査装置の精度を確認し、被検査球状体の内部欠陥の位置，大きさの基準として用いるマスターボールであって、セラミックス材料からなるマスターボール球状体１の内部に、金属材料からなる微小球体２を球状体の表面から球径の３．５％から５０％の深さに埋め込んでなる構成よりなる。 （もっと読む）

【課題】 セラミックハニカム構造体の隔壁に変形が生じていても、クラックが生じた製品と良品とを容易に判別することができる非破壊で検査する方法を提供する。
【解決手段】 外周壁とこの外周壁の内側で隔壁により囲まれた流路を有する多孔質セラミックハニカム構造体の検査方法であって、音響信号の発信側探触子と受信側探触子とが隔壁方向と一致するように配置された第１の探触子と、前記隔壁方向と略直交する隔壁方向と一致するように配置された第２の探触子とを前記外周壁に当接し、前記セラミックハニカム構造体の流路方向の複数箇所で音響信号を受信し、前記第１の探触子での受信値の最大値Ｕ1_maxと最小値Ｕ1_minとの比Ｕ1＝(Ｕ1_max-Ｕ1_min)/Ｕ1_max、及び、前記第２の探触子での受信値の最大値Ｕ2_maxと最小値Ｕ2_minとの比Ｕ2＝(Ｕ2_max-Ｕ2_min)/Ｕ2_maxを、予め設定した値Ｕ0と比較することで、欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】 坏土の弾性率が定常値に収束する前の段階で坏土の固化を判定することができ、かつノイズによる誤判定が起こりにくい固化判定技術を提供する。
【解決手段】 本発明の固化判定方法は、（ａ）坏土の成形体を準備する工程と、（ｂ）成形体の固有振動数を時間をおいて複数回測定し、測定間での固有振動数の推移を表す波形の過渡段階における前記固有振動数の推移の連続性を判定する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】強力な音圧レベル（特に１３０ｄＢ以上）の超音波を広範囲に放射させて空中で測定対象物のクラックを効果的に検知可能にしたクラック検知支援装置を提供する。
【解決手段】クラック検知支援装置１００は、圧電素子が設けられ、所定の周波数帯域の超音波を発生する振動子１０と、振動子１０の先端部に取り付けられ、振動子１０の振動と共振することで格子モードでたわみ振動し、所定の音圧レベルの共振波を発生する振動板１２と、振動板１２の全面から放射される共振波によって空中に浮上及び振動する測定対象物５０から発生する音を検出する音検出装置１３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】微細構造の暗騒音に対する感度を維持又は低減しながら、小さな表面下欠陥に対する感度を高めた新しい超音波検査方法及び関連するプローブを開発すること
【解決手段】鋳造材料の欠陥を検査するために、鋳造材料の表面上に配置されるように構成された第１の表面を有するポリカーボネートディレイ（１４）層と、該ポリカーボネートディレイ層の第２の表面上に配置された音響水晶素子（１２）とを用いた、雑音のある材料の超音波検査方法及び関連するプローブが開示される。 （もっと読む）