弾性表面波素子上に反応膜が形成された質量負荷による周波数変化量の測定により検出対象物質を検出もしくは定量する弾性表面波センサーであって、弾性表面波素子自体の構造の改良により感度が高められた弾性表面波センサーを提供する。ＳＨタイプの弾性表面波を利用しており、オイラー角が（０°，０°〜１８°，０°±５°）または（０°，５８°〜１８０°，０°±５°）である回転ＹカットＬｉＴａＯ_３基板と、該ＬｉＴａＯ_３基板２上に形成されており、Ａｕを主成分とする表面波励振用電極３と、表面波励振用電極３を覆うようにＬｉＴａＯ_３基板上に形成されており、検出対象物質または検出対象物質を結合する結合物質を結合する反応膜４とを備え、上記インターデジタル電極３の波長で規格化された膜厚が０．８〜９．５％の範囲とされている、弾性表面波センサー１。
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【課題】 反応の初期段階において解離定数の予測を行えるようにすること。
【解決手段】 質量センサの下流側にサンプルの濃度センサを備える。これにより質量センサで質量が検出された際のサンプル液の濃度を知ることができる。濃度と質量を所定の理論式に代入すると解離定数の予測値を得ることができる。濃度センサは、対向する電極で構成されたコンデンサとする。電極間にアナライトが存在すると誘電率が変化するため、誘電率によりアナライト濃度を検出することができる。また、コンデンサは小型化できるため、マイクロリアクタを小型に保つことができる。なお、質量センサは水晶振動子の共振周波数を出力し、測定装置はこの周波数の遷移から質量を算出することができる。
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【課題】 試験体表面近傍にあるきずからのエコーと、試験体表面から試験体内部へ延びているきずからのエコーを識別し、検査結果の精度向上を図った超音波探傷装置を得る。
【解決手段】 探傷器１からの送信信号として出力される電気信号により駆動された横波斜角探触子２からは超音波が発生する。横波斜角探触子２の屈折角は、試験体表面から内部に延びているきずを検出するために大きく設定されており、横波斜角探触子２から送信される超音波により、試験体内部に横波が伝搬するだけでなく、試験体の表面に沿って表面波も伝搬していく。表面波は母材３の表面に沿って伝搬吸音材７により減衰する。一方試験体内部を伝搬する横波は、吸音材７の影響を受けない。 （もっと読む）

【課題】複雑な３次元形状を有する被検査面についても、精度のよいレーザー超音波探傷が行える技術を提案する。
【解決手段】被検査面５ａ・５ｂに対し送信プローブ１２からレーザー光２２・２３を照射させて超音波を励起させるとともに、被検査面に対し受信プローブ１３からレーザー光２２・２３を照射させて前記超音波を受信し、受信された超音波のデータから被検査面に存在する欠陥を検出するレーザー超音波探傷法であって、距離計測手段１２ｂ・１３ｂにて送信プローブ１２及び受信プローブ１３から被検査面５ａ・５ｂまでの距離Ｌ２・Ｌ３を計測しつつ、前記距離Ｌ２・Ｌ３に基づいて、前記送信プローブ１２から照射させるレーザー光２２の出力設定を調整するとともに、送信プローブ１２及び受信プローブ１３の可変集光レンズ１２ａ・１３ａの焦点距離を調整することで、前記レーザー光の照射条件を逐次補正する。 （もっと読む）

【課題】 溶液を受容体に容易に接触させることができるようにする。
【解決手段】 弾性表面波センサ１０は、圧電基板１２の表面に、圧電基板１２に弾性表面波を生成するすだれ状電極からなる励振用ＩＤＴ１４を有する。また、圧電基板１２の表面には、励振用ＩＤＴ１４が励振した弾性表面波を受信するすだれ状電極からなる受信用ＩＤＴ１６が設けてある。表面弾性波の伝搬領域である励振用ＩＤＴ１４と受信用ＩＤＴ１６との間には、受容体２２が露出して設けてある。励振用ＩＤＴ１４と受信用ＩＤＴ１６とは、電極封止部材２４によって覆ってある。電極封止部材２４は、すだれ状電極の周囲に密閉空間を形成する。 （もっと読む）

円環状に周回帯Ｂを定義可能な曲面を有する３次元基体（４０）と、この３次元基体（４０）の周回帯（Ｂ）上に位置し、周回帯（Ｂ）に沿って多重周回するように弾性表面波を励起する電気音響変換素子（２１）と、３次元基体（４０）の周回帯（Ｂ）の少なくとも一部に存在し、特定のガス分子と反応する感応膜（２５）とを備える。周回帯（Ｂ）を多重周回して、すだれ状電極（２１）で再び高周波電気信号に変換された高周波電気信号は、スイッチ部（２３）を介して検出・出力部（２４）に供給され、検出・出力部（２４）で検出される。
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【課題】被測定物質の体積変化を防止しながら、複数の被測定物質のセンシングを迅速に効率良く行う。
【解決手段】カバー部材２０と基台３０との間に、開口を有する空間を形成した状態で、基台３０上にカバー部材２０を覆設する。そして、この空間内にセンシング領域２３を形成するようにセンサ素子が設けられる。基台３０は、表面上に、弾性波を励振する搬送電極３１と、搬送電極３１からの弾性波の伝搬により形成された搬送経路３２と、を有する圧電基板等からなる。そして、搬送経路３２上に供給された被搬送物質を、搬送電極３１からの弾性波の伝搬により、カバー部材２０と基台３０との間の空間内に存在するセンシング領域２３に搬送して、センシングを行うように構成している。 （もっと読む）

弾性表面波の侵入深さは波長に対応する。インパルス活性化温度散乱（ISTS）を利用して、より薄い膜を測定するために、測定波長を約１ミクロンまで減ずることが有利である。測定波長を減ずる１つの方法は、高い開口数を有するレンズを使用して、励起及びプローブレーザを光学システムにおいて、より広い角度で収束させることである。これを行う一方で、増大した光学的/機械的な許容誤差を、特定の波長に対して整合板又は減光フィルターのいずれかを調整することによって、励起レーザパターンとプローブレーザパターン間の位相を微調整することにより低減させることができる。特別に設計されたビーム遮断板を備える光学システムにより発生される望まれない回折次数ビームを遮断することは、長波長性能を維持する上で必要とされる。 （もっと読む）

【課題】レーザ超音波検査における時間軸直線性の確認、送受信間距離の測定、探傷感度の調整および欠陥深さ測定の校正等を実施することにより、検出値に対する高信頼性が得られるようにする。
【解決手段】レーザ超音波検査方法において、時間軸の直線性を確認するための時間軸直線性確認工程を備え、この時間軸直線性確認工程では、垂直探触子で送信した一定周期のパルス信号をレーザ超音波検査装置の受信レーザで観測した際における、Ｍ番目とその後のＮ番目との裏面エコーの観測時刻差を（Ｎ−Ｍ）等分することで計算される理想的な等間隔エコーの観測時刻と、前記Ｍ番目から前記Ｎ番目の間の（Ｎ−Ｍ−１）個の裏面エコーの観測時刻との比較を行ってそれぞれの比較値の偏差を求め、等分した時間に対する前記偏差の最大値の割合が一定値以下になることで時間軸直線性が保たれていることを確認する。 （もっと読む）

【課題】物質分析用微小物体として使用可能な弾性表面波又は弾性波素子を使用し、多種類のこれらの素子の相互の容易な識別を可能にし安価に準備可能なこれらの素子の識別装置を提供することである。
【解決手段】基体１２の球形状外表面に設けられ弾性表面波が伝搬可能な伝搬路と、伝搬路に弾性表面波を発生伝搬させ伝搬された弾性表面波を検出する弾性表面波・発生／検出手段１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃと、を備える弾性表面波素子１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを識別する弾性表面波素子識別装置は：基体の外表面に設けられ伝搬路に沿い伝搬する弾性表面波の伝搬特性を所望の値にする伝搬特性変更手段１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃと、弾性表面波・発生／検出手段から検出された弾性表面波の所望の値の伝搬特性により弾性表面波素子を識別する弾性表面波素子識別手段２３，２３ａと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

基板上に、本ゲッター材料により吸着された分子が、２つの送受波器（２、３）の間で送信された信号の周波数を変化させることが出来るように、ガス感知材料（６）の少なくとも１つの層が、２つの相互デジタル送受波器（２、３）の間に配置され、そしてゲッター材料を含む、圧電性基材（１）を含む弾性表面波ガスセンサー、特に真空または水素センサー。本発明は、また製造本センサーのための工程にも関する。
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【課題】大量生産に適し常に安定して良好な弾性表面波伝搬性能を発揮可能な弾性表面波
素子、及びこのような弾性表面波素子を用いた環境差異検出装置を提供することである。
【解決手段】この発明の弾性表面波素子は：弾性表面波が伝搬可能な曲面が連続した少な
くとも円環状の曲面の一部を含む表面を有する３次元基体１２と；上記表面に弾性表面波
を励起し上記表面に沿い弾性表面波を伝搬させるとともに伝搬する弾性表面波を受信可能
な電気音響変換素子１４と；を備え、３次元基体がＬｉＴａＯ_３結晶であり、３次元基体の表面において電気音響変換素子は、これらの結晶の結晶面と前記表面との交線に沿い弾性表面波を伝搬させ、前記交線は前記表面の最大外周線である、ことを特徴とし、環境差異検出装置は、弾性表面波素子の複数の伝搬表面帯の電気音響変換素子の弾性表面波受信信号を比較し夫々が接する空間部分の環境の差異を検出する。 （もっと読む）

【課題】 被計測物の深さ方向の弾性的性質を容易に高い計測精度で求めることができる超音波非破壊計測方法及びそれに用いる超音波非破壊計測装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、表面波を用いた超音波非破壊計測方法であって、超音波振動子から複数周波数の成分を含む超音波パルスを被計測物に照射して表面反射波及び表面伝播波を生じさせ、その後、該表面反射波及び該表面伝播波を受信して、周波数バンドフィルタＦ_１〜Ｆ_ｎを用いて該複数周波数における波形を分離し、次いで、分離した各波形から伝播時間差Δｔ１〜Δｔｎ及び表面波音速Ｖ１〜Ｖｎを求め、その後、これらから周波数毎の位相速度を算出して、該位相速度から被計測物の複数の深さにおける硬度等の弾性的性質を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 伝搬面の伝搬状態を測定する際に、温度測定を不要としつつ、伝搬状態を変化させる要因を分析する。
【解決手段】多重周回弾性表面波素子１０の伝搬面１１に励起される弾性表面波の駆動周波数を変化させ、弾性表面波の伝搬状態の変化率を求める。例えば、弾性表面波が球状部材１２を多重周回する際の１周回に要する周回時間の変化率を求めることで、伝搬面１１の物理状態を示す物理量のうち、周波数に依存する質量変化量Δｍと、周波数に依存しない温度変化量Δｔとを個別に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】接触媒質を使用することなく、非検査材の１００μｍ以下の微小傷を検出することが可能な非線形電磁超音波センサおよびこれを用いた微小傷検出装置並びに微小傷検出方法の提供。
【解決手段】被検査材Ｐの直上に配置され電磁力を利用して表面波およびＳＨ波をそれぞれ励振する超音波送信子１と、この超音波送信子１の駆動周波数に対して１倍および実数倍の受信特性を有する複数の超音波受信子２ａ，２ｂとから構成される非線形電磁超音波センサである。表面波およびＳＨ波をそれぞれ超音波送信子１から励振することで、被検査材Ｐのスリット状の傷に対して超音波が垂直に入射する場合、表面波は傷開口部を密着させるが、ＳＨ波は密着させない。このとき、表面波の引っ張り振動時には傷の幅が拡がるので表面波は通過しないが、圧縮振動時には傷の幅が狭まるので表面波は通過する。これにより、高調波成分が発生し、非線形超音波を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 微視組織、介在物、微視き裂などを非破壊的に画像化し、検出・評価することできる超音波材料評価装置を提供する。
【解決手段】 信号発生器、高出力アンプ、送信超音波探触子、走査機構、受信超音波探触子、ハイパスフィルタ又はバンドパスフィルタ、デジタル波形記憶部、増幅器、コンピュータを備えた超音波材料評価装置において、反射法あるいは透過法を用いて、信号発生器からの信号を高出力アンプで増幅し、送信超音波探触子を励起し、受信超音波探触子からの信号をハイパスフィルタ又はバンドパスフィルタを介して増幅後デジタル波形記録手段に同期加算してあるいは加算せずに収録し、パーソナルコンピュータを用いて前記収録波形をデジタル波形解析により処理し、波形のひずみ、高調波振幅等の非線形特性を求め画像化することができるので、工業材料等の微視組織、介在物、微視き裂などを非破壊的に画像化し、検出・評価することできる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子や表面弾性波素子により測定を行う場合、素子の中心周波数等を迅速に決定できるようにする。
【解決手段】圧電素子又は表面弾性波素子のアドミタンスの実数部又は虚数部をパラメータ（Ｙ）とし、パラメータ（Ｙ）の極値を与える極値周波数（ｆ_x）の決定方法であって、所定の周波数間隔（Δｆ）でパラメータ（Ｙ）を測定し、パラメータ（Ｙ）の実際の極値を与える周波数区間（Δｆ_i）を特定し、前記周波数区間（Δｆ_i）を挟む連続する少なくとも３つの周波数区間（Δｆ_i-1，Δｆ_i，Δｆ_i+1）において、周波数（ｆ）に対するパラメータ（Ｙ）の変化量（ΔＹ_i-1／Δｆ，ΔＹ_i／Δｆ，ΔＹ_i+1／Δｆ）を線形近似して条件式（ΔＹ／Δｆ＝αｆ＋β）を求め、この条件式（ΔＹ／Δｆ＝αｆ＋β）における変化量（ΔＹ／Δｆ）が０となる周波数（ｆ）を極値周波数（ｆ_x）とするようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電型基板上に発生させる表面弾性波（ＳＡＷ）を多チャンネル化・多機能化することにより、様々な環境情報や生体医療因子に起因した物理化学的パラメータ（温度，湿度，荷重，気圧，ガス成分，磁気，材料損傷，生体成分微量分析等）による環境変化因子をＳＡＷ伝播特性変化によって同時に、且つ、高精度で検出することができる表面弾性波デバイスセンサを提供することである。
【解決手段】 圧電型基板２に接合させたＩＤＴ３からなる素子に高周波電流または高周波電圧を印加し、前記圧電型基板２の表面近傍に表面弾性波（ＳＡＷ）５を発生させ、このＳＡＷ５の伝播特性によって環境変化因子を検出する表面弾性波（ＳＡＷ）デバイスセンサ１において、前記圧電型基板２上に複数の機能性薄膜６からなる表面弾性波伝播経路４を形成して多チャネル化することで、環境変化因子を複数同時に検出させるようにした。 （もっと読む）

【課題】
従来の方法では不可能であったマイクロビーム照射による照射像の二次元的な形状を、長寿命な素子で、高分解能（時問・空間）に計測することにある。
【解決手段】
長寿命な素子で、高分解能（時間・空間）に計測する手段として、表面弾性波を効率的に誘起・伝播する特性を持ち、放射線に対して耐性をもつ物質にマイクロビームの形状を持つ放射線を照射することにより励起される表面弾性波を検出することにより、マイクロビーム照射による照射像の二次元的な形状を、計測する。 （もっと読む）

【課題】超音波材料特性解析装置により超低膨張ガラスの線膨張係数の解析・評価を可能にする。
【解決手段】超低膨張ガラス材料に対して、バルク波(縦波と横波)の音速、減衰係数の周波数依存性と密度を計測することにより、その基本音響特性を明らかにし、装置校正用の標準試料を作成する。標準試料を用いた絶対校正法により、LSAWとLSSCWの両方の速度の絶対値を求める。これらの値から、バルク波音速、弾性定数、ヤング率、ポアソン比を求めることができる。さらに、音響特性と線膨張係数の関係を求め、音響特性から線膨張係数を評価する。また、化学組成比、屈折率、密度などとの関係を求めることにより、それらの変化を音速の変化として捉える。周期的な脈理による特性分布が存在する場合は、脈理面に対する基板の切り出し角度を選択することにより、基板内の正確な音響特性分布を把握して評価を行う。 （もっと読む）