【課題】多孔板の表面における汚れ、傷、めっき不良、異物の付着等を正確に検出することができる多孔板表面検査方法及び装置を提供すること。
【解決手段】多孔板Ｗの表面側から反射用の照明光を照射するとともに、多孔板Ｗの裏面側からバックライト用の照明光を照射して、多孔板Ｗの表面Ｗａを撮像部４で撮像する。そして、その画像に基づいて多孔板Ｗの表面Ｗａで反射した反射光１２の光量と、多孔板Ｗの透孔部Ｗｃを透過した透過光１１の光量を測定して、これら２つの光量が同一且つ予め設定された範囲の光量となるように、反射用の照明光とバックライト用の照明光の光量を調節する。そして、光量の調節がなされた状態で、多孔板Ｗの表面Ｗａを撮像して、その撮像した画像に基づいて多孔板Ｗの表面Ｗａの欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】板材の表面の側端部近傍における汚れ、傷、めっき不良、異物の付着等を検出することができる板材検査方法及び板材検査装置を提供すること。
【解決手段】板材Ｗの表面側から反射用の照明光を照射するとともに、板材Ｗの裏面側からバックライト用の照明光を照射して、板材Ｗの表面と板材Ｗの側端部よりも外側の部分までを含む範囲Ｓを撮像部４で撮像する。そして、その画像に基づいて板材Ｗの表面で反射した反射光１２の光量と、板材Ｗの側端部Ｗｂよりも外側部分のバックライト光１１の光量を測定して、これら２つの光量が同一且つ予め設定された範囲の光量となるように、反射用の照明光とバックライト用の照明光の光量を調節する。そして、光量の調節がなされた状態で、板材Ｗの表面と板材Ｗの側端部Ｗｂよりも外側の部分とを含む範囲を撮像して、その撮像した画像に基づいて板材Ｗの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】ペットボトルのリーク検査と外観検査を行うためのメインロータを１つにすることができ、ヘッドにおいて空気漏れがないペットボトルのリーク検査および外観検査装置を提供する。
【解決手段】ペットボトル１を支持して搬送するメインロータ４と、ペットボトル１の口部１ｍをシールして気体をボトル内に供給する容器押えヘッド３５と、円形軌道の半径方向外側に配置された１台の照明ＬＥＤ１と円形軌道の半径方向内側に配置された少なくとも２台のカメラＣＡＭ１−ａ，ＣＡＭ２−ａとからなる第１検査ステーションＳ１と、円形軌道の半径方向内側に配置された１台の照明ＬＥＤ２と円形軌道の半径方向外側に配置された少なくとも２台のカメラＣＡＭ３−ａ，ＣＡＭ４−ａとからなる第２検査ステーションＳ２とを備え、検査ステーションＳ１，Ｓ２によりペットボトル１の胴部全周を検査可能である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板を確実に支持バーから離隔し、基板全面を検査できる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【解決手段】
発明は、所定方向に長い複数の支持バーに設けられた複数の吸着孔からエアを吸引して基板を保持し、検査光を前記基板の表面に走査しながら照射して前記基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光し、前記吸引を停止し、前記基板を前記支持バーから離隔して上昇させて前記所定方向と垂直な方向にシフトし、前記基板の全面を検査する基板検査装置または基板検査方法において、前記基板からの離隔は、前記吸着孔から前記支持バーの前記基板の載置面に設けられた溝にエアを供給することによって行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に形成される欠陥で、欠陥単独では面積的に許容レベルの欠陥の中から異常と見なすべき欠陥を抽出するための判定ロジック及び該判定ロジックを備える自動欠陥検査装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、フィルムの搬送機構と、搬送されるフィルムの表面を撮像する撮像機構と、前記撮像データに基づいてフィルム上の異常部分を抽出しその面積を算出する画像処理機構と、を有する自動欠陥検査装置であって、画像処理機構は、予め設定された面積より大きな面積を有する異常部分を欠陥として判定する機構と、フィルムを特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を超えた場合に欠陥として判定する機構と、を有することを特徴とする自動欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】透明な保護膜で被覆され、回路基板に付着した異物の検出能力を向上することができる異物検出装置を提供すること。
【解決手段】防滴膜２３が塗布された回路基板２０における異物検出装置１００であって、回路基板２０における防滴膜２３で被覆された部位に対して赤色光を照射する赤色ＬＥＤ１２，１３ａ〜１３ｄと、回路基板２０における赤色光が照射された領域を撮像するカメラ１１ａ〜１１ｅと、カメラ１１ａ〜１１ｅから出力された画像データに基づいて回路基板２０からの反射光輝度を測定し、この反射光輝度が所定の値を超えているか否かによって回路基板２０における異物を検出するものであり、反射光輝度が閾値を超えている場合に異物が有ると判定する処理部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。
【解決手段】異状検査システム１００（検出装置）は、検査対象物３を撮像する光源ユニット１０及び検出ユニット２０と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物３中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット３０と、を備える。この異状検査システム１００では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドや焦点距離が変更された場合でも、その変更に対応して自己の動作状態を診断できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、検査ヘッド１０から照射された検査光を反射面８１によって検査ヘッド１０に向けて反射できる反射鏡８０と、検査ヘッド１０の移動経路上に配置され、検査ヘッド１０が通過可能な貫通孔６１が形成されたカバー部材６０と、貫通孔６０を開閉できるシャッター部材７１と、を備え、反射鏡８０がシャッター部材７１に設けられており、シャッター駆動機構７２によって反射鏡８０の反射面８１から軸線Ａｘまでの距離を調整する。 （もっと読む）

【課題】基板に付着した異物のみを確実に検出すること。
【解決手段】検査対象となる基板のデジタル画像の画素毎に、当該画素を含む小領域の画素群を設定する。次いで、各画素の輝度値を、当該画素を含む画素群の輝度値と対比する。この対比により、各画素の当該画素群に対する輝度値のばらつき度合を表す量を輝度確認値として前記画素毎に演算する。次いで、この輝度確認値に基づいて、異物の存否を判定する。基板の輝度は、ばらつき度合が小さい。これに対し、異物は、自然に形成された不定形の物体であるため、その輝度は、全体としてグラディエーションを伴ったばらつき度合の高い特性を有している。そこで、輝度確認値を演算することにより、製品と異物の輝度のばらつき度合の相違点を利用し、異物を峻別することができる。 （もっと読む）

【課題】 容易に主配管内部を点検することが可能な配管内検査具を提供する。
【解決手段】 流体が充水されている発電所の主配管の内部を、流体の充水状態を維持しつつ、前記主配管から分岐されている枝配管から前記主配管内部に挿入して、前記主配管内部の検査をする配管内検査具であって、前記主配管内部を検査する検査部と、前記検査部を前記主配管内部に挿入可能にすべく、前記検査部の挿入経路に存在する異物を除去可能な除去部とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの低コントラストの欠陥でも欠陥抽出を容易にする反射防止フィルム欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】透明なフィルム状の基材に反射防止材料をコーティングして製造される反射防止フィルムの欠陥検査装置であって、少なくとも、前記反射防止フィルムを搬送する搬送手段と、搬送される反射防止フィルムを裏面から押し当て、円周表面に黒色部材を備えた検査ローラと、前記黒色部材に付着した異物を洗浄するローラと、前記検査ローラに押し当てられた反射防止フィルムの表面を照明する手段と、照明された前記反射防止フィルムを撮像して撮像画像を得る撮像手段と、撮像画像を処理して欠陥を抽出する画像処理手段と、欠陥を抽出した場合に製造工程に欠陥検出信号を出力する手段と、を備えたことを特徴とする反射防止フィルム欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】基板が備えるそりやうねりの影響を考慮しながら、正確かつ簡便に、異物の付着や欠陥を有した箇所を異常箇所として検出することができる基板の検査方法、及び、この方法を利用した基板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板の表面に対してｐ偏光の光を照射して得られた鏡面反射光から、基板の表面を複数の小領域に分割した分割小領域に対応する画素を有した基板画像を取得し、該基板画像に基づき、異物の付着や欠陥を有した箇所を異常箇所として検出する基板の検査方法であり、ｉ）基板の理論上のブリュースター角θ_Bを含む角度範囲ｄでｐ偏光の入射角を相対的に変化させる入射面内走査とii）入射面と基板とが交わる線を中心軸にして基板を相対的に傾斜させる傾斜走査とを組み合わせて基板画像を取得し、上記で得られた全基板画像において画素の光量が一度もゼロにならない分割小領域を基板の異常箇所として検出するようにする。 （もっと読む）

【課題】溶液中に含まれている気泡と異物を迅速かつ精度良く判別することができる、溶液中の異物検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段により溶液中の異物を撮像して溶液中の異物を検出する異物検出方法であって、（ａ）前記撮像手段により得られた画像に対して、予め設けられた第１の閾値と比較し明部データと暗部データを抽出する第１の演算手段と、（ｂ）前記第１の演算手段により抽出された暗部データの凸包図形を生成し、抽出する第２の演算手段と、（ｃ）前記第１の演算手段により抽出された暗部データの面積と、前記第２の演算手段により抽出された暗部データの凸包図形の面積の比を演算し、予め設けられた第２の閾値と比較して、気泡と異物を判別する第３の演算手段を有する溶液中の異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】パターンマッチングし難い条件にあるアライメントマークを持つ半導体ウエハについて、高精度な試料の位置合わせ、高感度な検査を実現する。
【解決手段】アライメントマークの画像データのパターン幅計測、輝度分布取得が可能な解析手段と、積算処理、減算処理、２値化処理、膨張処理、収縮処理が可能な画像処理手段を備え、画像データに処理を加えて、アライメントマークを明瞭にした後にパターンマッチングを行うようにする。 （もっと読む）

【課題】検査用スターホイールから排出される際に先行するキャップと後続のキャップとの間に定間隔を維持しつつ排出することができ、この定間隔を維持した状態で、キャップを直線搬送している間にキャップを検査することができる容器用キャップの検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の容器用キャップ１を複数のポケット５ａで支持して所定の円形軌道上を搬送する検査用スターホイール５と、検査用スターホイール５によって搬送される容器用キャップ１を照明とカメラとにより撮像する第１の検査ステーションと、検査用スターホイール５から検査用キャップを受け取って容器用キャップ１を真空吸着して直線経路上を搬送するバキュームコンベヤ１０と、バキュームコンベヤ１０によって搬送される容器用キャップ１を照明とカメラとにより撮像する第２の検査ステーションとを備えた。 （もっと読む）

【課題】長期的に安定した検出感度を得ることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象が無い状態のラインＣＣＤカメラの各素子の出力値と目標値とから各素子のＳ補正係数を算出する第１のＳ補正係数算出部と、検査対象が有る状態のラインＣＣＤカメラの出力値が所定の範囲になるように照明光を調整する照明調光部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第１のＳ補正係数による補正後の出力値と目標値とから第２のＳ補正係数を算出する第２のＳ係数算出部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第２のＳ補正係数による補正後の出力値と予め設定された％閾値とから欠陥検査を行うための閾値を設定する閾値設定部とを備える。 （もっと読む）

【目的】パターン領域と非パターン領域の間に段差がある被検査試料であっても、効率的に検査可能なパターン検査装置を提供する。
【構成】パターン領域内に指定される被検査領域を記憶する被検査領域記憶部と、被検査試料上のパターン面高さ測定位置に対するパターン面高さ信号を検出するパターン面高さ検出部と、パターン面高さ検出部で検出されるパターン面高さ信号を用いて、被検査試料に対するフォーカスを合わせるオートフォーカス機構と、パターン面高さ測定位置が被検査領域内に位置するか否かを判定する判定部と、判定部が、パターン面高さ測定位置が被検査領域内に位置すると判定する場合にはオートフォーカス機構を駆動し、パターン面高さ測定位置が被検査領域内に位置しないと判定する場合にはオートフォーカス機構を停止するオートフォーカス機構制御部と、を有することを特徴とするパターン検査装置 （もっと読む）

【課題】基板表面の離散的であって線状に分布する欠陥(線状スクラッチ欠陥)を他のランダムに分布する微小な欠陥と区別して分類することを可能にする。
【解決手段】基板表面欠陥検査装置１０００は、基板１を載置して回転可能なステージ手段１９０と、基板１に光を照射する照明光源１１０と、基板１からの反射・散乱光を検出する検出手段１２０，１３０，１４０と、検出される信号を増幅してＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段１５１，１５２，１５３と、このＡ／Ｄ変換手段で変換された検出器から出力される信号を処理して基板上の欠陥を検出して検出した欠陥を分類する欠陥検出手段１６０とを備えて構成し、欠陥検出手段１６０は、検出器から出力される信号を処理して基板の表面の微小な欠陥を抽出し、この抽出した微小な欠陥の中から線状の領域に離散的に存在する線状欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタの設定には、オペレータの目視によるスキャン画像の確認と空間フィルタの調整の繰り返し作業が必要とされる。また、設定状態がオペレータに依存する。
【解決手段】散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）を同時に観察すると共に、散乱光の像（ビーム像）と回折光の像（フーリエ像）の各強度プロファイルを同時に監視する。１本の空間フィルタだけを回折光の像の視野範囲でスキャンし、空間フィルタを挿入しない場合の強度プロファイルに対する状態変化を検出する。検出された状態変化に基づいて空間フィルタの設定条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】検査光の光源として発光ダイオードを用いた場合でも、パーティクルを精度良く検出することができるパーティクル検出用光学装置を提供すること。
【解決手段】パーティクル検出用光学装置２は、基板４の基板表面４ａに検査用光源部３１から検査光Ｌを照射し、基板表面４ａのパーティクルＰによって散乱された検査光Ｌの散乱光を撮像部２９により撮像し、得られた画像データに基づいて基板４上のパーティクルＰを検出する。検査用光源部３１は光源としての発光ダイオード４１と、発光ダイオード４１から射出された検査光Ｌを平面検査領域２４に向けて出射すると共に、平面検査領域２４に沿って走査する走査ミラー４３２と、検査光Ｌが収束光の状態で平面検査領域２４に照射される状態とする凸レンズ４４と、基板表面４ａによって反射された検査光Ｌの反射光を当該基板表面４ａの側に反射する反射鏡（反射部材）２６を備えている。 （もっと読む）