【課題】埋設管の隙間に挿入されたカメラヘッドの押し込み方向への進行ガイドをスムーズに行うことができ、長距離押し込み型ハードケーブル（押し込みケーブル）の押し込み操作による管内検査を円滑に効率よく実施できる。
【解決手段】カメラヘッド１４の径方向に対して湾曲した形状をなし、その外周面が円弧状の凸面に形成されたスキッド５１をカメラヘッド１４に取着して、電纜管入線済み管路となる埋設管５の内部を調査する。 （もっと読む）

【課題】より高精度でハニカム構造体の検査を行なうことができるハニカム構造体の検査方法、製造方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】柱状のハニカム構造体７０の検査方法において、ハニカム構造体７０の側面７０Ｓに対して第１の角度から光源１１０より光を照射しつつハニカム構造体７０の側面７０Ｓをカメラ１００により検査する工程と、ハニカム構造体７０の側面７０Ｓに対して第１の角度とは異なる第２の角度から光源１１０より光を照射しつつハニカム構造体７０の側面７０Ｓをカメラ１００により検査する工程とを含む。ハニカム構造体７０の側面７０Ｓに生じたクラック７０ｃｒや凹み７０ｄや欠け７０ｃｈ等の欠陥は、ハニカム構造体７０の側面７０Ｓに対する光の照射角度によって、測定のし易さがそれぞれ大きく異なる。そのため、より高精度でハニカム構造体７０の検査を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明をウエハ、ディスプレイパネル、磁気ディスクなど試料上に発生した欠陥の部位に対して、走査電子顕微鏡で画像を撮像しようと試みたとき、画像に欠陥が写っていないといった失敗が生じる割合を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥の座標と特徴量を有する欠陥検査データを入力し（２４１）、欠陥毎に走査電子顕微鏡での検出可否を予測し（２４２）、予測結果に基づいて走査電子顕微鏡で撮像する座標をサンプリングし（２４３）、予測結果に基づいて加速電圧を設定した電子光学系、ないしは光学系で欠陥部位の画像を撮像する（２４４）。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面を検査部４にて検査するための検査装置および検査方法である。回転軸心Ｌ１，Ｌ２が相互に平行に配設されている一対の回転軸１１，１２にてワークを支持させた状態で、回転体１１，１２をワークに接触させる。一対の回転軸１１，１２を回転駆動させることにより、回転体３１をワークとともに回転させる。回転軸１１，１２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体３１の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１１，１２との間に滑りがあるか否かを判断しつつ、ワークＷの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、検査対象物上の直線状の欠陥を検出し、検査対象物の良否判定処理を実行する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】画像メモリ５に記憶した撮像画像の各画素の濃度に基づく微分演算を行い微分絶対値および微分方向値を算出し、微分絶対値に、各画素の微分方向値に対応する重み付け値を乗じて、ノイズ成分の除去または前記直線状の欠陥の境界を強調する強度値をそれぞれ算出し、直線状の欠陥の長手方向に連続し、幅手方向に並設する複数の検査領域を、撮像画像に設定し、該検査領域に配置された各画素の強度値を合算した積算値を、前記検査領域に配置された画素数で除算し、前記検査領域における強度値の特徴量Ｆを、検査領域ごとに算出し、特徴量Ｆのいずれか１つが所定の閾値以上である場合、検査対象物２が直線状の欠陥を有する不良品であると判定する判定ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査することで表面上の欠陥を検出する場合において、設備投資を抑えつつも欠陥の検出精度を高めること、並びにガラス基板の波打ち等に起因した種々の問題発生を可及的に回避することを可能とする。
【解決手段】ガラス基板１０と、このガラス基板１０の表面１０ａに対向配置した欠陥検知手段５とを相対移動させ、ガラス基板１０の表面１０ａに沿って欠陥検知手段５を走査させることにより、ガラス基板１０が欠陥を有するか否かを検査するに際し、ガラス基板１０を、上記相対移動方向と直交する断面において、その表面１０ａ側が凹状となる湾曲形態で保持する。ガラス基板１０は、例えば縦姿勢とされ、その上辺１１と下辺１２とを一対の端部保持手段３，４でそれぞれ保持することにより上記の湾曲形態で保持される。 （もっと読む）

【課題】検査速度の低下を伴うことなく、かつ装置容積に占める信号処理部の比率を増加させることなく、データメモリのオーバーフローを回避し、ウエハ全面の検査データを取得するが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】後処理手段１１１のブロック化手段３００は前処理手段からのデータを任意のデータ数で１ブロックとし１ブロックで１データを取り出す。ブロック化手段３００は状態監視手段３０２の指示でブロック化数を変更する。閾値処理手段３０１は設定閾値に従いブロック化手段３００からのデータに対し閾値を越えた場合にデータを取得しメモリ３０３へ送る。状態監視手段３０２はメモリ３０３の空容量を監視しメモリ３０３内の空き容量の減少を検知した場合ブロック化手段３００に対し、メモリ３０３がオーバーフローしないように１ブロックのデータ数を増加させる。 （もっと読む）

【課題】検査表面を多方向から撮影して欠陥を判定する装置および方法において、ワークの姿勢と撮影手段の受光部の向きを変化させると、機構が複雑となる問題が考えられる。
【解決手段】ワークＷの表面の検査区域Ｔから異なる方向から、検査区域Ｔに向かって照射可能な発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）と、発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）が発した光を絞って検査区域Ｔに照射するためのレンズ手段（Ｌ_１・・・Ｌ_８）と、受光部が検査区域Ｔに正対するように検査区域Ｔの表面に対して鉛直方向に固定して配置され、発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）が発した光の検査区域Ｔにおける反射光を受光可能な撮影手段Ｃと、撮影手段Ｃが発光手段（Ｏ_１・・・Ｏ_８）の点灯方向に対応して受光部により反射光を受光して、異なる方向からの照光に対応した検査区域Ｔの表面の画像を撮影するように撮影手段Ｃを制御する制御部とを備えることを特徴とする欠陥検出装置により解決する。 （もっと読む）

【課題】積層フィルムの擬似欠陥の有無の判定を簡単に行う。
【解決手段】偏光板１３とセパレータ１５を有する積層フィルム９上に、偏光フィルタ１９を配置する。偏光フィルタ１９の偏光軸を、偏光板１３の偏光軸と略直交させる。積層フィルム９の直下にライン光源１７を配置し、偏光フィルタ１９の直上にラインセンサカメラ２０を配置する。ライン光源１７から積層フィルム９に向けて検査光２４を照射する。積層フィルム９及び偏光フィルタ１９を透過した検査光２４をラインセンサカメラ２０で撮像する。撮像により得られた画像データ４１から、輝度が高くなる高輝度領域４０を欠陥画像データとして抽出する。欠陥画像データが２つの高輝度領域４０が並ぶ特定欠陥画像データである場合に、この欠陥画像データに対応するフィルム欠陥部分を、擬似欠陥であると判定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査工程における未検査を抑制すること。
【解決手段】ウエハを保持するステージ１２と、前記ステージに保持されたウエハのアライメントを行なうアライメント部３２と、アライメントされた前記ウエハ表面の欠陥を検査する検査部３４と、前記アライメント部が前記アライメントを開始してから前記欠陥の検査が終了するまでの時間である検査時間が所定時間より短い場合、前記アライメント部に前記アライメントを再度行なわせ、前記検査部に前記欠陥を再度検査させる制御部３６と、を具備する欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 作業者が疲労し難く、作業効率を維持でき、視力を損なう虞がなく、健康上も問題なく、目視による検査が効率的にできる光透過性物品検査装置を提供する。
【解決手段】 半透明の搬送ベルト１６上に物品を載置させて移動させる搬送装置２と、搬送装置２を支持する支持架台３と、搬送ベルト１６の下方に、半導体発光素子５９，６３，６４，６５をプリント基板５７，６１上に載置、固定したＬＥＤ装着体５３，５４を配設し、搬送ベルト１６を下方から照射する照射装置４と、搬送ベルト１６を作動、制御すると共に、半導体発光素子５９，６３，６４，６５の発光を制御する制御装置５とから物品検査装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミナの状態（微細凹凸構造の形状、欠陥等）を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド１００に光を照射するライン状照明装置１０（第一の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１２（第一の撮像手段）と；モールド１００に光を照射するライン状照明装置２０（第二の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインＣＣＤカメラ２２（第二の撮像手段）と；２つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置３０（画像処理手段）とを有する検査装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。
【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】異物を伴わない単なるフィルム基材の波打ち現象を欠陥と誤認識することのない反射防止フィルム基材の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材５に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の反射撮像光学系７，１０とフィルム基材５に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の透過撮像光学系６，９とを備え、第一の反射撮像光学系が欠陥を検出した場合、第二の透過撮像光学系もフィルム基材上の同じ位置に欠陥を検出していた場合に限り、当該部位に欠陥があると判定することを特徴とする反射防止フィルム基材５の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】
浸透探傷試験にて、余剰浸透液を温水で洗浄・除去するに当り、分離温度と洗浄に用いる温水の温度との温度差によって探傷精度を変化させ得る浸透探傷試験用水洗性水ベース浸透液及び該浸透液を用いる浸透探傷試験方法を提供する。
【解決手段】
曇点を有する界面活性剤と該界面活性剤が水に溶解して単一相になっている状態と該界面活性剤が水から分離して二相になっている状態との二つの相状態間を温度変化によって可逆的に変化するように混合してなる主溶剤及び該主溶剤に溶解する油溶性赤色染料又は油溶性蛍光染料からなり、前記単一相になっている状態から前記二相になっている状態の変化が当該水ベース浸透液の曇点の温度以上の温度において生じる浸透探傷試験用水洗性水ベース浸透液と該浸透液を用いる浸透探傷試験方法。 （もっと読む）

【課題】ウェハを外周で保持する機構では、ウェハが自重で撓む場合がある。そこで平面度を保持するためにウェハとウェハ下の保持台との間に空気を供給する方法がある。しかし、この方法では異物がウェハに付着する場合がある。
【解決手段】ウェハの平面度を保持するためにウェハ、及びウェハ下の保持台に負電圧をかける。この静電力によってウェハに上向きの力を与え、平面を保持する。また、この方法により負に帯電した異物の付着を防止する。 （もっと読む）

【課題】 多様な種類のボトルに適用可能であり、ボトル底面に存在する欠陥の有無を高精度に判定することができる、透明体ボトルの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 開口部１０３を有する透明体ボトルの底外面１０２に向けて第１の周波数の拡散光を照射可能な第１光源部３と、前記透明体ボトルの底外面１０２に向けて第２の周波数の平行光を照射可能な第２光源部４と、前記透明体ボトルの開口部１０３に隣接し、前記第１光源部３及び第２光源部４から照射された光を判別して、前記開口部１０３を通して前記底内面を撮像するエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記透明体ボトルの底面の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】鋼材を加熱する際に生じる温度ムラの影響を受けずに鋼材表面の欠陥、例えば、溶融亜鉛メッキを施す際に生じるいわゆるドロス疵を正しく認識する鋼材の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】予め、無欠陥部を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアン標準偏差を鋼材表面温度の関数として定めておく。被検査鋼材を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアンを算出し、そのラプラシアンを、表面温度に対応するラプラシアンの標準偏差で補正し、補正したラプラシアンに基づいて被検査材表面付近の欠陥の有無を評価する。 （もっと読む）