【課題】原子力容器の外観検査のためのシステムおよび装置を提供する。
【解決手段】システムは、原子力容器１０１の中の領域へ移動可能である、潜水可能に遠隔作動される車両（ＳＲＯＶ）システム１０５を含む。ＳＲＯＶシステム１０５は、原子力容器コンポーネントの外観検査のための操縦可能な検査カメラ組立体を含み、検査カメラ組立体は、ＳＲＯＶシステム１０５に関連して操縦可能である。また、システムは、原子力容器の中の領域から離れた領域に配置された制御システム１１５も含む。制御システム１１５は、ＳＲＯＶシステム１０５の移動および検査カメラ組立体の操縦を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査プローブと伝熱管との中心軸を合わせること。
【解決手段】伝熱管５が開口する管板４の管板面に固定される検査ロボットに設けられ、伝熱管５に挿入される検査プローブ３０を自身の中心軸Ｃ１に沿って挿通案内する筒状のガイド部材２２２と、検査ロボットに設けられ、ガイド部材２２２の中心軸Ｃ１に対して自身の中心軸Ｃ３を平行とするとともに、各中心軸Ｃ１，Ｃ３が伝熱管５の配列間隔を基準とした間隔で配置されており、かつ伝熱管５に対して嵌合可能に設けられた嵌合部２２３２ｃと、嵌合部２２３２ｃの中心軸Ｃ３に沿って当該嵌合部２２３２ｃを移動させる移動手段２２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを抑制した検査ステージを備えたマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を目視によって検査する場合に用いられるマクロ検査装置であって、基板を搬送する搬送ラインの横に配置し、少なくとも、基板の１つの基板端を吸着及び吸着解除する基板端吸着及び吸着解除手段と、前記基板端吸着及び吸着解除手段をスライドする手段と、前記基板端が吸着された基板をスライドする際には浮上させ、スライドした後には浮上を解除し吸着する浮上吸着手段と、を有する検査ステージを備えたことを特徴とする基板マクロ検査装置。 （もっと読む）

【課題】高反射性面の表面特性測定に適した装置および
方法を提供する。
【解決手段】測定面（１０）は少なくとも１つの放射線装置（２）によって照射され、測定面で散乱された前記放射線のうち少なくとも１つの測定信号を出力する少なくとも１つの第１の放射線検出装置（４）とを備え、前記測定面（１０）の光沢度測定を実施するための第２の放射線装置（１２）と第２の放射線検出装置（１４）とを含む。前記第２の放射線装置（１２）は、前記測定面（１０）に所定の入射角（ａ）で放射を行い、前記第２の放射線検出装置（１４）は少なくとも前記第２の放射線装置（２）によって照射され、その後に、前記測定面（１０）から反射された前記放射線の少なくとも一部を受信する。本発明によれば、前記第２の放射線装置（１２）が前記測定面に放射するにあたり、前記測定面（１０）に垂直な方向（Ｍ）に対して形成される前記入射角（ａ）が５０°以下である。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面に存在する表面欠陥と水滴を精度良く判別することにより、表面欠陥の検出精度の向上を実現させた表面欠陥の検査装置を提供する。
【解決手段】表面欠陥の検出対象たるワーク１０の被検査面１０ａに対して照明光を照射する照明装置３と、被検査面１０ａを撮像するカメラ２と、該カメラ２により撮像した画像データを画像処理してワーク１０の被検査面１０ａにおける表面欠陥５を検出する画像処理装置４と、を備える表面欠陥検査装置１であって、照明装置３は、被検査面１０ａに対して拡散反射させた照明光である拡散照明光Ｘを照射し、かつ、画像処理装置４は、照明装置３により拡散照明光Ｘが照射された被検査面１０ａをカメラ２により撮像した画像データに基づいて、ワーク１０の被検査面１０ａにおける表面欠陥５を検出する。 （もっと読む）

【課題】リアルタイム性を確保し且つ安定性の高いトラッキングを行う。
【解決手段】ホモグラフィー行列取得装置３０は、撮像装置１１が出力する画像データを取り込む。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに局所的ホモグラフィー行列を計算し、また、その計算レートよりも低いレートで、大域的ホモグラフィー行列を計算する。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに、局所的ホモグラフィー行列を用いて画像データを変換し、参照画像との相関を求める。相関が高い場合は、当該画像データに対応して計算した局所的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する一方、相関が低い場合は、最新の大域的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する。ロボット制御装置４５は、ホモグラフィー行列取得装置３０からホモグラフィー行列データを読み込んでロボット本体１２の姿勢を計算し動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】コストを抑制しながら検査精度を向上させる。
【解決手段】スコープ本体２１のロッド部材２３には照明ユニット２５が設けられ、スコープ本体２１の先端部２８には反射板２７が設けられる。また、照明ユニット２５と反射板２７との間に位置する挿入軸２６には受光窓３１が形成される。検査時には、受光窓３１が隙間Ｘに対向するまで、吸排気ポート１２，１３にスコープ本体２１の先端部２８が挿入される。そして、照明ユニット２５からスコープ本体２１の先端部２８に向けて光が照射され、この光は反射板２７を介して吸排気ポート１２，１３のポート内壁面３３に照射される。このように、簡単な構成によって吸排気ポート１２，１３の内部からポート内壁面３３を照らすことができ、コストを抑制しながら検査精度を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】水中ケーブルを曳航しながら航走する水中航走体と、その支援システム等の小型化と制御の簡単化を図ることができる、水中航走体、管内調査システム、水中航走体の上昇及び下降制御方法、及び、管内調査方法を提供する。
【解決手段】水中ケーブル４２の接続点Ｐを航走用推進器２２の推進軸の軸線Ｃから上下方向に関して距離Ｈを置いて設けるとともに、航走用推進器２２が発生する推進力Ｔによって発生する接続点Ｐ回りの第１モーメントＭ１と、水中航走体２０の水中重量の沈下力Ｗｔ又は浮上力Ｆｔによって発生する接続点Ｐ回りの第２モーメントＭ２とが、推進力Ｔが予め設定した設定推進力Ｔ０であるときに等しくなるように、水中重量の沈下力Ｗｔ又は浮上力Ｆｔを設定し、水中航走体２０の上昇又は下降の制御を、航走用推進器２２の推進力Ｔの増減によって行う。 （もっと読む）

【課題】角度検出感度を向上させるとともに、検出可能な角度範囲を広くする。
【解決手段】波長域が互いに異なる山形輝度分布が互いに重なり合うように帯状面光源を構成し、各波長域の撮影画像の該山形輝度分布に対応する画素値分布に基づいて検査面の角度を２段階で検出する。第１段階では、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素値間の大小関係と曲線近似情報とに基づいて、光源面上周期内参照光位置ｘを決定し、第２段階では、明度の値と曲線近似情報とに基づいて、周期内参照光位置ｘがどの周期ｉに属するか、すなわち、周期始点位置Ｘｉを求める。次いで参照光位置Ｘ＝Ｘｉ＋ｘを検査ラインでの検出角に変換する。 （もっと読む）

【課題】 橋梁下面の外観検査を、作業員が容易かつ効率的に行うことができ、なおかつ一定以上の検査精度を確保することができる橋梁点検装置を提供する。
【解決手段】 橋梁１００上に配置される支持体２と、支持体２に支持される形で橋梁１００上からその側方に向けて延出し、橋梁１００の側方外側を回り込む形で、延出先端部のカメラ４を橋梁１００の下面よりも下側に位置させる屈曲変形可能なアーム部材３を備え、カメラ４によりによって橋梁１００の下面を少なくとも正対方向Ｑとは異なる斜め方向Ｐから撮影された場合であっても、その橋梁下面画像を補正して、正対方向Ｑから見た正対画像とすることができ、これを表示出力することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置を用いて、複雑な形状のワークに対しても、精度良く欠陥を検出することができる欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】視点Ｓ１から撮像した検査画像Ｇ１と、視点Ｓ２から撮像した検査画像Ｇ２と、視点Ｓ１から撮像した良品画像Ｌ１と、視点Ｓ２から撮像した良品画像Ｌ２と、を取得して、検査画像Ｇ１と良品画像Ｌ１の、輝度比Ｒ１を表した画像である第一のコントラスト画像Ｃ１と、検査画像Ｇ２と良品画像Ｌ２の輝度比Ｒ２を表した画像である第二のコントラスト画像Ｃ２と、を生成するとともに、各コントラスト画像Ｃ１・Ｃ２の輝度比の差分ΔＲを表した差分画像ΔＣを生成して、差分画像ΔＣにおいて、輝度比の差分ΔＲが閾値αを越えている各画素８ａ・８ａ・・・を検出するとともに、検出した各画素８ａ・８ａ・・・が連続する範囲の面積が、閾値βを越えている範囲を欠陥部として検出する。 （もっと読む）

【課題】ワークに対してカメラを任意の位置、姿勢に移動させながら視覚検査を行うことができるものであって、設備全体の小型化を図る。
【解決手段】支持台２上にＹＺロボット３を設け、その前方に回転テーブル４を設ける。ＹＺロボット３は、Ｚ軸移動機構５、Ｙ軸移動機構６、前後（Ｙ軸）方向に延びる光軸Ｏを有しワークＷを撮影するカメラ７を備え、カメラ７を前後（Ｙ軸）及び上下（Ｚ軸）方向に自在に移動させる。回転テーブル４は、ワークＷを載置し、垂直方向に延びる回転軸θ周りに自在に回転させる。カメラ７の先端に１８０度以上の画角を有する超広角レンズ１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】チューブのような筒状体の搬送効率を低下させることなく、筒状体の内部について精密な品質検査を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】内部検査装置１は、搬送されるチューブ１０に対して撮像ユニット６を用いてチューブ１０の内部を撮像し、撮像された画像からチューブ１０の内部についての品質を検査する。チューブ１０は、これを水平に寝かされた姿勢で支持部材１４に支持されており、軸線方向でみた開口の向きと高さ方向でみた軸線の位置が一様に揃えられている。撮像を開始する前にチューブ１０は、位置決め機構４を用いてチューブ１０の開口の位置が揃えられる。ボアスコープ３４は、チューブ１０の開口から内部へ向けて軸線に沿って移動しながらチューブ１０の内面を撮像する。撮像して得られた画像に基づき、チューブ１０の内面についての品質を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】被覆が剥離された被覆電線端部の良否をより一層的確に検査することのできる被覆電線検査装置を提供する。
【解決手段】被覆が剥離された被覆電線Ｒの端部の状態を検査する被覆電線検査装置Ｂであって、前記被覆電線Ｒを搬送する搬送ユニットと、被覆が剥離された前記被覆電線Ｒの芯線Ｓを撮像する撮像手段３ａ、３ｂと、該撮像手段３ａ、３ｂにより撮像された画像に基づいて前記剥離の良否を判定する判定手段６と、該判定手段６による判定が不良であった場合に、前記剥離の良否を目視で判定すべく、前記被覆電線Ｒを前記搬送ユニットにより前記撮像手段３ａ、３ｂ側に搬送させて、該撮像手段３ａ、３ｂにより再度撮像される前記芯線Ｓの画像を表示する表示手段７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ１０の回転精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ウェハ１０を保持して回転可能なウェハホルダ２８と、ウェハホルダ２８に保持されて回転するウェハ１０のアペックス部１３を連続的に撮像する撮像部３５と、ウェハホルダ２８の回転軸と垂直な方向へ２次元的にウェハホルダ２８を相対移動させるＸＹステージ２１と、ウェハ１０の中心Ｃ１とウェハホルダ２８の回転中心Ｃ２との間のオフセットＤを測定するためのステージアライメント用センサ３０と、ステージアライメント用センサ３０を用いて測定したオフセットＤに応じて、撮像部３５がウェハ１０のアペックス部１３を連続的に撮像できるようにＸＹステージ２１の作動を制御する制御部４５とを備え、制御部４５は、ウェハホルダ２８の回転中心Ｃ２の移動軌跡Ｔが円弧状となるようにＸＹステージ２１の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】粘性材料が濡れ広がり易い材質からなる場合や、光の反射が不順になり易い材質からなる場合であっても、塗布対象上への塗布状態の正確な検査結果を得ることができる塗布状態検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板Ｐｂ上に所定の描画パターンで塗布されたペーストＰｓｔを撮像してその画像を取り込んだ後（ステップＳＴ１）、その取り込んだ画像に基づいて、基板Ｐｂ上に塗布されたペーストＰｓｔの輪郭Ｇを抽出し（ステップＳＴ２）、その抽出したペーストＰｓｔの輪郭ＧからペーストＰｓｔの輪郭長を求める（ステップＳＴ３）。そして、求めたペーストＰｓｔの輪郭長をそのペーストＰｓｔの描画パターンに対応して定められた輪郭長の基準範囲と比較し、ペーストＰｓｔの輪郭長が基準範囲内にあるかどうかの判定を行って（ステップＳＴ４〜ＳＴ６）、ペーストＰｓｔの塗布状態の良否判断を行う（ステップＳＴ７及びＳＴ８）。 （もっと読む）

【課題】問題が発生した場合にその原因を把握して、検査装置の復旧を迅速に行う。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムである。前記検査装置は、全体的な動作状況、検査の進行状況等が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】カメラ画像からワークの種類および姿勢を認識するときの処理時間を短縮する。
【解決手段】ワークＷｉは外面Ｆごとに方向性を有する識別可能なマークＣが付与され、ロボット１０は前記マークＣおよび前記ワークＷｉを撮像する撮像手段１２と前記マークＣが撮像されたマークマスタ画像Ｍを格納する第１マスタ画像格納手段４２と、前記ワークＷｉが撮像された前記ワークＷｉの姿勢ごとのワークマスタ画像Ｎを格納する第２マスタ画像格納手段４３とを有し、上記画像を取り込む画像入力工程Ｓ３と、前記マーク画像Ｐと前記マークマスタ画像Ｍとを比較する第１画像比較工程Ｓ４と、その結果から前記ワークＷｉの姿勢を判定する姿勢判定工程Ｓ５と、判定結果の姿勢に対応する前記ワークマスタ画像Ｎと前記ワーク画像Ｒとを比較する第２画像比較工程Ｓ６と、その結果から前記ワークＷｉの種類を判定する種類判定工程Ｓ７とを有するワーク識別方法。 （もっと読む）

【課題】被検査体表面の欠陥部を迅速且つ簡単に高精度で検出する表面検査装置及び表面状態検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、波長域が互いに異なる複数の光源１２、１３、１４を有する照射部２と、照射部２の複数の光源１２、１３、１４から照射されて検査面Ｗａで反射した反射光を波長域別に分光して撮像する撮像部３とを有し、照射部２は、複数の光源１２、１３、１４が検査面Ｗａに面して順番に隣接して並ぶ構成を有することを特徴としている。これにより、反射光を撮像可能な角度範囲を拡大し、検査面Ｗａに対する照射部２または撮像部３の相対角度の許容誤差範囲を広げて、欠陥部の検出能力を向上させる。 （もっと読む）